JP7501864B2 - コリメートを行うカバー要素によって覆われたスキャンミラーを備えた送信器 - Google Patents
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Description
2 スキャンミラー
3 ハウジング
4 カバー要素
4.1 (カバー要素4の)入射領域
4.2 (カバー要素4の)出射領域
5 光学的ブロック
5.1 (光学的ブロック5)の入射面
5.21、・・・、5.2n (光学的ブロック5)の出射面
5.31、・・・、5.3n (光学的ブロック5)の第1のミラー面
5.4 (光学的ブロック5)の第2のミラー面
6 殻
S1、・・・、Sn レーザー光線
A1、・・・、An (レーザー光線S1、・・・、Snの)光線軸
fa (レーザーダイオード1.11、・・・、1.1nの)ファスト軸(速軸)
sa (レーザーダイオード1.11、・・・、1.1nの)スロー軸(遅軸)
MP (スキャンミラー2の)中心点
L 垂線
HK 単一中心的な半球殻
PS 放物面状のミラー面
FPS 放物面状のミラー面の焦点
α1、・・・、αn 入射角度
Claims (7)
- -少なくとも2つのレーザーダイオード(1.1、・・・、1.n)にしてそれぞれが光線軸(A1、・・・、An)及びファスト軸(fa)及びスロー軸(sa)での異なる放射角を有するレーザー光線(S1、・・・、Sn)を放射する少なくとも2つのレーザーダイオード(1.1、・・・、1.n)、及び
-その中心点(MP)の周りで揺動可能なスキャンミラー(2)であって透明なカバー要素(4)を備えるハウジング(3)内部に配設されたスキャンミラー(2)を含む、
送信器にして、
前記少なくとも2つのレーザーダイオード(1.1、・・・、1.n)はそれらのスロー軸(sa)の方向で並んで、1つの列を形成して配設されており、また、前記光線軸(A1、・・・、An)が互いに平行に延びており、
少なくとも2つの前記レーザー光線(S1、・・・、Sn)の前記光線軸(A1、・・・、An)が以下のように前記カバー要素(4)へ向けられている、すなわち、前記光線軸(A1、・・・、An)が、少なくとも2つの前記レーザー光線(S1、・・・、Sn)が入射領域(4.1)内で前記カバー要素(4)を通って通過した後に前記中心点(MP)に当たりまた少なくとも2つの前記レーザー光線(S1、・・・、Sn)が前記スキャンミラー(2)での反射の後に出射領域(4.2)内で再度前記カバー要素(4)を横断するように、前記カバー要素(4)へ向けられている、
送信器において、
・前記カバー要素(4)が前記入射領域(4.1)において、
-前記ファスト軸(fa)の方向でのみ少なくとも2つの前記レーザー光線(S1、・・・、Sn)を予めコリメートするための円柱面の形状のトロイダル入射面(5.1)、及び
-少なくとも2つの前記レーザー光線(S1、・・・、Sn)を前記スロー軸(sa)及び前記ファスト軸(fa)の方向で予めコリメートするための少なくとも1つのトロイダル出射面(5.21、・・・、5.2n)、又は、
-少なくとも2つの前記レーザー光線(S1、・・・、Sn)を前記スロー軸(sa)の方向でのみ予めコリメートするための円柱面の形状に形成された少なくとも1つの出射面(5.21、・・・、5.2n)、を有しており、
前記ファスト軸(fa)及び前記スロー軸(sa)の方向で同一の小さい収束角を有する少なくとも2つの前記レーザー光線(S1、・・・、Sn)が、前記スキャンミラー(2)の前記中心点(MP)へ向けられ、反射され、及び、前記カバー要素(4)を通過した後に負の屈折力を有する前記出射領域(4.2)内で完全にコリメートされること、及び、
・前記カバー要素(4)が、前記出射領域(4.2)にて、
-曲率中心(K)の周りに単一中心的な半球殻(HK)の一部分を有し、前記半球殻(HK)は、前記半球殻(HK)の前記曲率中心(K)及び前記スキャンミラー(2)の前記中心点(MP)が一致するように前記スキャンミラー(2)を覆って配設されていること、
を特徴とする送信器。 - 請求項1に記載の送信器において、
前記カバー要素(4)が、1つの殻(6)及びこの殻(6)内に組み入れられた又は境を接している光学的ブロック(5)によって形成されており、その際前記殻(6)には前記単一中心的な半球殻(HK)の一部分が形成されており、
また、前記光学的ブロック(5)には、
-円柱面の形状のトロイダル入射面(5.1)、
-それぞれの前記レーザー光線(S1、・・・、Sn)を前記スキャンミラー(2)の前記中心点(MP)へ向けるために、前記少なくとも2つのレーザーダイオード(1.1、・・・、1.n)にそれぞれ割り当てられたミラー面(5.31、・・・、5.3n)、及び、
-少なくとも1つの前記トロイダル出射面(5.21、・・・、5.2n)、が形成されていること、
を特徴とする送信器。 - 請求項1に記載の送信器において、
前記殻(6)が単一中心的な前記半球殻(HK)の一部であること、
を特徴とする送信器。 - 請求項2に記載の送信器において、
少なくとも2つの前記レーザーダイオード(1.1、・・・、1.n)にそれぞれ割り当てられた前記ミラー面が、互いに傾斜した平坦面を有する複数の第1のミラー面(5.31、・・・、5.3n)として形成されており、その結果、少なくとも2つの前記レーザー光線(S1、・・・、Sn)が異なる角度分だけ転向されること、
を特徴とする送信器。 - 請求項2に記載の送信器において、
少なくとも2つの前記レーザーダイオード(1.1、・・・、1.n)にそれぞれ割り当てられた前記ミラー面が、ちょうど1つの第1のミラー面(5.31)として存在しており、当該第1のミラー面(5.31)が放物面(PS)であり、その結果、少なくとも2つの前記レーザー光線(S1、・・・、Sn)が異なる角度分だけ転向されること、
を特徴とする送信器。 - 請求項2に記載の送信器において、
前記光学的ブロック(5)が第2のミラー面(5.4)を有しており、それを用いて少なくとも2つの前記レーザー光線(S1、・・・、Sn)が折り返されること、
を特徴とする送信器。 - 請求項1に記載の送信器において、
前記カバー要素(4)が一体的に製造されていること、
を特徴とする送信器。
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| KR102615202B1 (ko) * | 2020-03-26 | 2023-12-19 | 주식회사 위멤스 | 광스캐너 패키지 및 제조 방법 |
| US20230127991A1 (en) * | 2020-03-26 | 2023-04-27 | Wemems Co.,Ltd. | Light scanner package and method for manufacturing same |
| DE102020113647A1 (de) | 2020-05-20 | 2021-11-25 | Blickfeld GmbH | Optical System for Light Detection and Ranging, LIDAR |
| US12000932B2 (en) | 2020-07-31 | 2024-06-04 | Uatc, Llc | Light detection and ranging (LIDAR) system having rotatable prism disk for beam steering of lasers |
| US20220043124A1 (en) * | 2020-08-07 | 2022-02-10 | Uatc, Llc | Light Detection and Ranging (LIDAR) System Having Transmit Optics for Pre-Collimation Steering |
| DE102020211784A1 (de) * | 2020-09-21 | 2022-03-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Optische messvorrichtung zur ortsaufgelösten abstandsbestimmung |
| US12506326B2 (en) * | 2020-10-19 | 2025-12-23 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Laser package and method for operating a laser package |
| US12224551B2 (en) | 2020-12-10 | 2025-02-11 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Laser package and projector with the laser package |
| DE102020216012A1 (de) | 2020-12-16 | 2022-06-23 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Sendeeinheit für einen LIDAR-Sensor, ein LIDAR-Sensor und ein Verfahren zur Aussendung von Primärlicht in ein Sichtfeld mittels eines LIDAR-Sensors |
| DE102020216026A1 (de) | 2020-12-16 | 2022-06-23 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Sendeeinheit für einen LIDAR-Sensor, LIDAR-Sensor und ein Verfahren zur Aussendung von Primärlicht in ein Sichtfeld mittels eines LIDAR-Sensors |
| DE102021200968A1 (de) | 2021-02-03 | 2022-08-04 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | LiDAR-System sowie Mehrfachpolygonspiegel |
| US12380203B2 (en) * | 2021-06-30 | 2025-08-05 | Citrix Systems, Inc. | Redirection of attachments based on risk and context |
| CN113985600A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-01-28 | 珩图科技(上海)有限公司 | 一种大尺寸mems微镜结构及制作方法 |
| US20240181709A1 (en) * | 2022-12-01 | 2024-06-06 | Vulcanforms Inc. | Control of additive manufacturing systems including multiple laser energy sources |
| CN117784399A (zh) * | 2024-02-28 | 2024-03-29 | 安徽瑞控信光电技术股份有限公司 | 一种阵列快反镜 |
| CN121026001A (zh) * | 2024-05-27 | 2025-11-28 | 空中客车简化股份公司 | 检测模块、检测装置、检测系统和检测方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080123170A1 (en) | 2006-11-27 | 2008-05-29 | Riegl Laser Measurement Systems Gmbh | Scanning apparatus |
| JP2013241308A (ja) | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Panasonic Corp | 成形金型 |
| WO2017033476A1 (ja) | 2014-09-01 | 2017-03-02 | 三菱電機株式会社 | 波長結合外部共振器型レーザ装置 |
Family Cites Families (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3899145A (en) * | 1973-07-20 | 1975-08-12 | Us Navy | Laser transmitting and receiving lens optics |
| JPS58192015A (ja) * | 1982-05-04 | 1983-11-09 | Toshiba Corp | 複数光束走査装置 |
| FR2682791B1 (fr) * | 1991-10-18 | 1995-04-28 | Thomson Csf | Procede d'evitement des collisions entre aeronefs et ensemble optique destine a sa mise en óoeuvre. |
| DE69632882T2 (de) * | 1995-02-27 | 2005-07-14 | Symbol Technologies, Inc. | Abtastmodul für einen optischen Abtaster |
| JPH11109035A (ja) * | 1997-10-08 | 1999-04-23 | Nabco Ltd | 物体検出装置 |
| DE19939750C2 (de) | 1999-08-21 | 2001-08-23 | Laserline Ges Fuer Entwicklung | Optische Anordnung zur Verwendung bei einer Laserdiodenanordnung sowie Laserdiodenanordnung mit einer solchen optischen Anordnung |
| JP2003021801A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-24 | Canon Inc | 画像表示装置 |
| JP2004340880A (ja) | 2003-05-19 | 2004-12-02 | Soatec Inc | レーザ測定装置 |
| DE10354780A1 (de) * | 2003-11-21 | 2005-06-30 | Schott Ag | Refraktiv-diffraktive Hybridlinse, insbesondere zur Strahlformung von Hochleistungsdiodenlasern |
| DE10360950A1 (de) * | 2003-12-23 | 2005-07-21 | Sick Ag | Optoelektronische Erfassungseinrichtung |
| DE202005015719U1 (de) * | 2005-10-07 | 2005-12-08 | Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg | F/theta-Objektiv und Scannervorrichtung damit |
| EP1890168A1 (de) * | 2006-08-18 | 2008-02-20 | Leica Geosystems AG | Laserscanner |
| JP5056362B2 (ja) * | 2007-02-06 | 2012-10-24 | 株式会社デンソーウェーブ | レーザレーダ装置 |
| JP2009116151A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Canon Inc | 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 |
| JP2010060689A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Panasonic Corp | 光学反射素子ユニット |
| DE102008049477A1 (de) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren und Vorrichtung zur Projektion mindestens eines Lichtstrahls |
| JP5257053B2 (ja) * | 2008-12-24 | 2013-08-07 | 株式会社豊田中央研究所 | 光走査装置及びレーザレーダ装置 |
| JP2010175488A (ja) * | 2009-01-31 | 2010-08-12 | Keyence Corp | 光走査型光電スイッチ |
| US8038066B2 (en) * | 2009-04-29 | 2011-10-18 | Hand Held Products, Inc. | Laser scanner with deformable lens |
| DE102011006159A1 (de) * | 2011-03-25 | 2012-09-27 | Osram Ag | Gradientenlinse, Projektionsvorrichtung und Verfahren zum Projizieren von Licht |
| CN102914872B (zh) * | 2012-11-20 | 2015-06-03 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 半导体激光器椭圆光斑的整形和准直装置 |
| DE102012025281A1 (de) * | 2012-12-21 | 2014-06-26 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Optische Objekterfassungseinrichtung mit einem MEMS und Kraftfahrzeug mit einer solchen Erfassungseinrichtung |
| US9086273B1 (en) * | 2013-03-08 | 2015-07-21 | Google Inc. | Microrod compression of laser beam in combination with transmit lens |
| JP2014186136A (ja) | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Denso Corp | 鏡面を有する半導体装置 |
| CN103543495B (zh) * | 2013-08-05 | 2015-06-03 | 华中科技大学 | 一种图像采集和原位投影的光学装置 |
| US8836922B1 (en) * | 2013-08-20 | 2014-09-16 | Google Inc. | Devices and methods for a rotating LIDAR platform with a shared transmit/receive path |
| JP2016033529A (ja) * | 2014-07-30 | 2016-03-10 | リコー光学株式会社 | 光偏向器のカバー用光透過性部材、光偏向器、光学レンズ及び光学ミラー |
| JP6671629B2 (ja) | 2015-03-18 | 2020-03-25 | 株式会社リコー | 物体検出装置、センシング装置、及び移動体装置 |
| DE102015110141A1 (de) | 2015-06-24 | 2016-12-29 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Sendeeinheit für eine optische Sensorvorrichtung |
| JP6852085B2 (ja) * | 2015-11-30 | 2021-03-31 | ルミナー テクノロジーズ インコーポレイテッド | 分布型レーザー及び複数のセンサー・ヘッドを備える光検出及び測距システム、並びに、光検出及び測距システムのパルス・レーザー |
-
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2023
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080123170A1 (en) | 2006-11-27 | 2008-05-29 | Riegl Laser Measurement Systems Gmbh | Scanning apparatus |
| JP2013241308A (ja) | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Panasonic Corp | 成形金型 |
| WO2017033476A1 (ja) | 2014-09-01 | 2017-03-02 | 三菱電機株式会社 | 波長結合外部共振器型レーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IL272804B (en) | 2022-12-01 |
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