JP2002258185A - ビーム合成方法・ビーム合成用プリズム・マルチビーム走査用光源装置・マルチビーム走査装置 - Google Patents
ビーム合成方法・ビーム合成用プリズム・マルチビーム走査用光源装置・マルチビーム走査装置Info
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Abstract
な全く新規なビーム合成用プリズムを実現し、このビー
ム合成用プリズムを用いて、新規なビーム合成方法・マ
ルチビーム走査用光源装置、マルチビーム走査装置を実
現する 【解決手段】法線の方向が互いに異なる2以上の平面を
入射面として有するビーム合成用プリズム3の、入射面
の各々に、所定の方向から合成すべき光ビームを入射さ
せ、1以上の入射面による屈折を利用して、複数の光ビ
ームを所望の合成形態に合成して、共通の射出面から射
出させる。
Description
・ビーム合成用プリズム・マルチビーム走査用光源装置
・マルチビーム走査装置に関する。
置、光プロッタ、「CTスキャン装置等の出力を描画す
る光描画装置」等の画像形成装置に関連して広く知られ
ている。被走査面の複数走査線を同時に光走査する「マ
ルチビーム走査装置」は、光走査を高速化できる光走査
装置として知られ、近来その実用化が活発化している。
の光学系が複数の光ビームに共通化されるので、複数の
光ビームを、上記共通の光学系に適合するように相互に
近接したビームとしてビーム合成する必要がある。
光源として半導体レーザを用いる場合、放射される光ビ
ームが実質的な直線偏光であることを利用し、偏向分離
膜を有するプリズムを用いて合成する方法が知られてい
るが、偏光分離膜を持つプリズムは高価であり、マルチ
ビーム走査装置のコスト高を招来する。
方法も知られているが、この場合は、光利用効率が低
い。また、偏光分離膜を持つプリズムやハーフミラーを
用いる合成方法では3以上の光ビームを合成するのが困
難である。
現でき、3以上の光ビーム合成も容易な、新規なビーム
合成用プリズムを実現すること、このビーム合成用プリ
ズムを用いて、新規なビーム合成方法およびマルチビー
ム走査用光源装置、さらにはマルチビーム走査装置を実
現することを課題とする。
法は「2以上の光源から放射された複数の光ビームを互
いにマルチビーム走査用の複数光ビームとして合成する
方法」であって、以下の特徴を有する(請求項1)。
平面を入射面として有するビーム合成用プリズム」の入
射面の各々に、所定の方向から合成すべき光ビームを入
射させ、1以上の入射面による屈折を利用して、複数の
光ビームを所望の合成形態に合成して、共通の射出面か
ら射出させる。「所望の合成形態」は、所望のマルチビ
ーム走査を行うために必要な光ビーム群としての合成形
態をいう。
フミラー」では、ビーム合成上「光ビームの反射」が重
要な意義を有するが、この発明においては「1以上の入
射面による屈折」がビーム合成に利用される。
ビーム合成用プリズムの入射面よりも光源側もしくは射
出側に「正のパワーを持つシリンドリカル面」を配し、
合成された複数光ビームの個々を副走査方向に集束させ
ることができ(請求項2)、この場合、「正のパワーを
持つシリンドリカル面」を、ビーム合成用プリズムの入
射面よりも光源側に配することにより、光源からの各光
ビームを副走査方向において集束性の各光ビームとして
ビーム合成用プリズムに入射させる(請求項3)ことも
できるし(請求項3)、ビーム合成用プリズムの射出側に
配することにより、合成された各光ビームをそれぞれ副
走査方向に集束させるようにする(請求項4)こともでき
る。
成方法における「正のパワーを持つシリンドリカル面」
は、凸のシリンドリカルレンズ面とすることができる
(請求項5)。正のパワーを持つシリンドリカル面として
は他に「シリンドリカルミラーの、凹のシリンドリカル
面」を用いることができる。
「ビーム合成用プリズムの射出側に配する、正のパワー
を持つシリンドリカル面」は、ビーム合成用プリズムの
射出面として形成することもできる(請求項6)。
ム合成方法においてはまた、入射する複数の光ビームに
対して、ビーム合成用プリズムの位置および/または態
位を調整することにより「複数の光ビームの合成形態を
調整する」ことができる(請求項7)。
上の光源から放射された複数の光ビームを互いにマルチ
ビーム走査用の複数光ビームとして合成する」のに用い
られるものであって、以下の如き特徴を有する(請求項
8)。
平面を入射面として有し、入射面の各々に、所定の方向
から合成すべき光ビームを入射させ、1以上の入射面に
よる屈折を利用して、複数の光ビームを所望の合成形態
に合成して、共通の射出面から射出させる」ように構成
される。
「入射面が2面で、これら2面の入射面が互いに角をな
して交差する」構成である(請求項9)ことも、「入射
面が3面で、これら3面の入射面が互いに角をなして交
叉し、且つ、各入射面の法線が互いに1つの平面に平行
である(即ち、各入射面が角柱面状である)」構成とす
る(請求項10)こともでき、さらには「入射面が4面
で、これら4面を互いに4角錐面状に組み合わせた」構
成(請求項11)とすることもできる。
ーム合成用プリズムにおける「共通の射出面」は、正の
パワーを持つシリンドリカル面とすることができる(請
求項12)。
「複数の光ビームを偏向手段により同時に偏向させ、共
通の走査結像光学系により被走査面上に、副走査方向に
互いに分離した光スポットとして集光させ、複数走査線
を同時に走査するマルチビーム走査装置」に用いられる
もので、複数の光源と、ビーム合成手段とを有する。
「複数の光源」は各々、被走査面を走査するための光ビ
ームを放射する。複数の光源としてはLEDや種々のレ
ーザ光源を用いることができるが、最も好適であるのは
半導体レーザである。
から放射される複数の光ビームを、マルチビーム走査用
の複数光ビームとして合成する手段で、上記請求項8〜
12の任意の1に記載のビーム合成用プリズムを有する
(請求項13)。
装置は「合成された複数の光ビームのそれぞれを、副走
査方向に集束させる1方向集束手段」を有することがで
きる(請求項14)。この1方向集束手段は「ビーム合
成用プリズムよりも光源側に設けられた1以上のシリン
ドリカルレンズ」である(請求項15)ことも、「ビー
ム合成用プリズムの射出側において、合成された複数の
光ビームに共通に設けられたシリンドリカルレンズ」で
ある(請求項16)こともできる。
載のものを用いる場合「ビーム合成用プリズムの射出面
として形成された正のパワーを持つシリンドリカル面
が、1方向集束手段の少なくとも一部を兼ねる」ように
できる(請求項17)。
て形成された「正のパワーを持つシリンドリカル面」
は、単独で上記1方向集束手段を構成することもできる
し、他のシリンドリカルレンズやシリンドリカルミラー
とともに1方向集束手段を構成することもできる。
マルチビーム走査用光源装置は、光源側からビーム合成
用プリズムに入射する複数の光ビームと、ビーム合成用
プリズムとの、相対的な位置および/または態位を調整
可能とすることができる(請求項18)。
の光ビームを偏向手段により同時に偏向させ、共通の走
査結像光学系により被走査面上に、副走査方向に互いに
分離した光スポットとして集光させ、複数走査線を同時
に走査する」ものである。
は、マルチビーム走査用光源装置として請求項13記載
のものを用いることを特徴とする。また、請求項20記
載のマルチビーム走査装置は、マルチビーム走査用光源
装置として請求項14〜18の任意の1に記載のものを
用い、偏向手段として、偏向反射面を回転させる方式の
ものを用い、合成された複数の光ビームの、副走査方向
における集束位置近傍に偏向手段の偏向反射面を位置さ
せたことを特徴とする。
走査装置の実施の1形態を示している。図1(a)は、
全体の光学配置を副走査方向から見た状態を示す。符号
1a、1bは「光源」としての半導体レーザ、符号2
a、2bはカップリングレンズ、符号3はビーム合成用
プリズム、符号4はシリンドリカルレンズ、符号5は
「偏向手段」としてのポリゴンミラー、符号6は「走査
結像光学系」としてのfθレンズ、符号7は被走査面を
示す。被走査面の実体をなす感光媒体は、この実施の形
態においては光導電性の感光体ドラムである。
面に至る光路上で「被走査面における副走査方向に対応
する方向」を言う。
らポリゴンミラー5に至る部分を、図1(a)における
下方から見た状態であり、図の上下方向が副走査方向で
ある。即ち、半導体レーザ1a、1b、カップリングレ
ンズ2a、2bは、副走査方向から見ると、図1(a)
に示すように、互いに重なりあって見える。
散性のレーザ光束は、それぞれカップリングレンズ2
a、2bにより以後の光学系に適した光束形態に変換さ
れる。カップリングレンズ2a、2bから射出する光ビ
ームの光束形態は、平行光束、弱い発散光束、弱い集束
光束の何れでもあり得るが、以下では説明の具体性のた
め、カップリングレンズ2a、2bのカップリング機能
を「コリメート作用」とし、カップリングレンズ2a、
2bから「実質的な平行光束」が射出するものとする。
た各光ビーム(平行光束)は、ビーム合成用プリズム3
に入射して、マルチビーム走査用の複数光ビームとして
「ビーム合成」され、シリンドリカルレンズ4に入射す
る。シリンドリカルレンズ4は副走査方向にのみ正のパ
ワーを有し、ビーム合成されて入射してくる2つの光ビ
ームをそれぞれ副走査方向にのみ集束させ、ポリゴンミ
ラー5の偏向反射面近傍に「主走査方向に長い線像」と
して結像させる。
像」は、互いに副走査方向に分離している。ポリゴンミ
ラー5は、図示されない駆動手段により等速回転され、
2つの光ビームを等角速度的に偏向させる。偏向された
2つの光ビームは、fθレンズ6により被走査面7上に
「副走査方向に所定の間隔をもって分離」した2つの光
スポットとして集光し、2走査線を同時に走査する。こ
の走査により2走査線ずつ画像が書き込まれる。
「断面が3角形形状」である。このビーム合成用プリズ
ム3は、入射面(光源側の面)が2面であり、これら2
面の入射面が互いに角をなして交差している。
a、1bから放射されカップリングレンズ2a、2bで
平行光束化された各光ビームは、副走査方向において互
いに角をなし、ビーム合成用プリズム3の手前で交叉
し、ビーム合成用プリズム3の別個の入射面に入射す
る。
で、これらの入射面に入射する各光ビームは、入射面部
分で屈折により偏向され「所望の合成形態」即ち「被走
査面7をマルチビーム走査するのに適合する2光ビー
ム」にビーム合成される。換言すると、半導体レーザ1
a、1b側からの2つの光ビームの方向、両光ビームの
交叉位置およびビーム合成用プリズム3の位置及び態位
は、上記所望の合成形態を実現するように設定される。
ザ1a、1b側からの2つの光ビームの方向、両光ビー
ムの交叉位置及びビーム合成用プリズム3の位置関係が
変われば、ビーム合成された2つの光ビームの「合成形
態」も変化するので、これらを変化調整することにより
「合成形態」を所望のものに調整できる。
ている。図の上下方向が副走査方向である。なお繁雑を
避けるため、混同の虞がないと思われるものについて
は、全図を通じて同じ符号を用いる。
ザ1a、1bから放射された光束は、カップリングレン
ズ2a、2bにより平行光束化されたのち、シリンドリ
カルレンズ4a、4bに入射する。シリンドリカルレン
ズ4a、4bは、副走査方向にのみ正のパワーを持ち、
光源側からの各光ビームを副走査方向に集束させる。
た各光ビームは、ビーム合成用プリズム3に入射し、図
1の実施の形態と同様にして「所望の合成形態」に合成
されてビーム合成用プリズム3から射出し、ポリゴンミ
ラー5の偏向反射面に入射する。
4bにより副走査方向に集束する光束となっており、偏
向反射面位置に「副走査方向に分離した、主走査方向に
長い線像」として結像する。
ームは、図1の実施の形態と同様にfθレンズにより被
走査面上に「副走査方向に分離した光スポット」として
集光し、被走査面の2走査線を同時に走査する。図2に
示すような構成であると、シリンドリカルレンズ4a、
4bの焦点距離を長くとっているので、シリンドリカル
レンズの4a、4bのシリンドリカル面の曲率を小さく
でき、シリンドリカルレンズ4a、4bの製造が容易で
ある。
焦点距離を、図2の実施の形態の場合よりも短くすれ
ば、ポリゴンミラー5をビーム合成用プリズム3に近づ
けることができ、光源から偏向手段に至る光路長を短く
できるので、マルチビーム走査装置のコンパクト化が可
能となる。
す。この形態においては、半導体レーザ1a、1bから
放射された各光束は、カップリングレンズ2a、2bに
より平行光束化され、シリンドリカルレンズ4a、4b
により副走査方向に集束されつつビーム合成用プリズム
3Aに入射する。
であり、これら2面の入射面が互いに角をなして交差す
るが、図に示すように断面形状が楔状で、半導体レーザ
1bからの光ビームを入射させる入射面は、入射光ビー
ムの主光線に対して直交し、また射出面もこの入射面に
平行である。したがって、半導体レーザ1bからの光ビ
ームはビーム合成用プリズム3Aを直進的に透過する。
受ける入射面は、射出面に対して図の如く傾いている。
したがって、半導体レーザ1aからの光ビームはビーム
合成用プリズム3Aの入射面で屈折されて偏向する。
リズム3Aの相対的な位置関係は、所望の合成形態を実
現するように設定される。図1、図2の実施の形態と比
較すると、図3の実施の形態では、半導体レーザ1bか
らの光ビームがビーム合成用プリズム3Aの屈折作用を
受けず、同プリズム3Aを直進的に透過するので、半導
体レーザ1b、カップリング2b、シリンドリカルレン
ズ4bを配置する際の調整が容易である。
半導体レーザ1aと1b、カップリングレンズ2aと2
b、シリンドリカルレンズ4a、4bが、副走査方向に
近接するので、光源から偏向手段に至る部分を「副走査
方向にコンパクト化」することが可能である。
ンドリカルレンズ4a、4bを用いる代わりに、図1に
示す実施の形態のように、ビーム合成用プリズム3Aと
ポリゴンミラー5との間に、2本の光ビームに共通のシ
リンドリカルレンズ(図1のシリンドリカルレンズ4に
相当するもの)を用いても良い。
す。半導体レーザ1a、1bから放射された各光束は、
カップリングレンズ2a、2bにより平行光束化され、
ビーム合成用プリズム3Bに入射する。ビーム合成用プ
リズム3Bは入射面が2面で、これら2面の入射面が互
いに角をなして交差する。
のビーム合成用プリズム3とは「各入射面の傾きが逆」
であるので、半導体レーザ1a、1bからの各光ビーム
は、相互に交叉する位置よりも光源側でビーム合成用プ
リズム3Bに入射する。
成用プリズム3Bの各入射面部分で屈折されて偏向す
る。半導体レーザ1a、1b、ビーム合成用プリズム3
Bの相対的な位置関係は、所望の合成形態を実現するよ
うに設定される。
向にのみ正のパワーを有するシリンドリカルレンズ4に
入射して副走査方向にのみ集束され、ポリゴンミラー5
の偏向反射面近傍に「副走査方向に分離した、主走査方
向に長い線像」として結像する。ポリゴンミラー5によ
り偏向された各光ビームは、図1の実施の形態と同様に
fθレンズにより被走査面上に「副走査方向に分離した
光スポット」として集光し、被走査面の2走査線を同時
に走査する。
面が3面あるビーム合成用プリズム3Cを用いて、半導
体レーザ1a、1b、1cからの光ビームを合成するも
のである。ビーム合成用プリズム3Cは「平面である射
出面」に対して傾いた2つの入射面(半導体レーザ1
a、1bからの光ビームが入射する)と、射出面に対し
て平行な入射面(半導体レーザ1cからの光ビームが入
射する)。
はそれぞれ、カップリングレンズ2a、2b、2cによ
り平行光束化され、図示のように1点で交叉した後、ビ
ーム合成用プリズム3Cに入射する。半導体レーザ1
a、1bからの光ビームは、入射面の部分で屈折により
偏向される。半導体レーザ1cからの光ビームはビーム
合成用プリズム3Cを直進的に透過する。
合成用プリズム3Cにより所望の合成形態にビーム合成
され、シリンドリカルレンズ4によりポリゴンミラー5
の偏向反射面近傍に「副走査方向に分離した、主走査方
向に長い線像」として結像する。ポリゴンミラー5によ
り偏向された各光ビームは、図1の実施の形態と同様に
fθレンズにより被走査面上に「副走査方向に分離した
光スポット」として集光し、被走査面の2走査線を同時
に走査する。
ンドリカルレンズ4を用いる代わりに、図2や図3の実
施の形態のように、ビーム合成用プリズムの光源側に、
各光ビームに作用する個別的なシリンドリカルレンズ
(図3のシリンドリカルレンズ4a、4b等に相当す
る)を用いても良い。
2例示す。図6(a)に示すビーム合成用プリズム3D
は、入射面を4面有するものである。このビーム合成用
プリズム3Dを用いると、4本の光ビームのビーム合成
を行うことができる。
Eは、2面の入射面が互いにクロスするように形成され
ている。このビーム合成用プリズム3Eを、例えば、図
の上下方向を副走査方向に対応させて用いると、主走査
方向に互いに角をなす2つの光ビームを合成して、副走
査方向に並列した光ビームとしてビーム合成することが
できる。
るビーム合成用プリズムは、何れも「射出面が平面」で
あるものである。ビーム合成用プリズムの射出面は平面
である必要はなく、これをシリンドリカル面とすること
もできる。図7は、このように射出面をシリンドリカル
面としたビーム合成用プリズム30を用いた実施の形態
を特徴部分のみ示している。
に示すように、図1の実施の形態におけるビーム合成用
プリズム3の射出側に、シリンドリカルレンズ4を接合
して一体化したものであり、半導体レーザ1a、1bか
らの光ビームを、所望の合成形態にビーム合成する機能
とともに、ビーム合成された各光ビームを、ポリゴンミ
ラー5の偏向反射面近傍の位置に「互いに副走査方向に
分離した、主走査方向に長い線像」として結像させる機
能とを有することになる。
シリンドリカルレンズ(図1のシリンドリカルレンズ4
や、図2のシリンドリカルレンズ4a、4b等)を省略
することができ、マルチビーム走査装置をコンパクト化
・低コスト化できる。
シリンドリカル面を持つビーム合成用プリズムを3例示
す。ビーム合成用プリズム30Cは、図5に示したビー
ム合成用プリズム3Cの射出面をシリンドリカル面とし
たものであり、ビーム合成用プリズム30D、30E
は、図6に示したビーム合成用プリズム3D、3Eの射
出面をシリンドリカル面とした例である。
施の形態において、ビーム合成用プリズム3をシリンド
リカルレンズ4の光軸方向に変位可能としたものであ
る。ビーム合成用プリズムを図の如く変位調整すること
により、ビーム合成された光ビームのビーム間隔を調整
することができる。
を保持具3aに保持させて、図のように「回転可能」と
した例である。このようにしても、ビーム合成された光
ビームの副走査方向の間隔を調整できる。
り、被走査面上に形成される光スポットの副走査方向の
間隔(走査線ピッチ)を調整できる。なお、ビーム合成
用プリズムの平行移動や回転により走査線ピッチを調整
することは、ビーム合成用プリズム3A、3B、3C、
3D、3E等でも可能である。
ーム合成用プリズム3、3A、3B、3C、3D、3
E、30、30C、30D、30Eは何れも、2以上の
光源から放射された複数の光ビームを互いに「マルチビ
ーム走査用の複数光ビームとして合成する」のに用いら
れるビーム合成用プリズムであって、法線の方向が互い
に異なる2以上の平面を入射面として有し、入射面の各
々に、所定の方向から合成すべき光ビームを入射させ、
1以上の入射面による屈折を利用して、複数の光ビーム
を「所望の合成形態」に合成して、共通の射出面から射
出させるように構成されたもの(請求項8)である。
B、3E、30、30Eでは、入射面が2面で、これら
2面の入射面が互いに角をなして交差する(請求項
9)。
射面が3面であり、これら3面の入射面が互いに角をな
して交叉し、且つ、各入射面の法線が互いに1つの平面
に平行である(請求項10)。
であり、これら4面が互いに4角錐面状に組み合わせら
れている(請求項11)。また、ビーム合成用プリズム
30、30C,30D、30Eでは、共通の射出面が正
のパワーを持つシリンドリカル面である(請求項1
2)。
態では、2以上の光源1a、1b(および1c)から放
射された複数の光ビームを互いにマルチビーム走査用の
複数光ビームとして合成する方法であって、法線の方向
が互いに異なる2以上の平面を入射面として有するビー
ム合成用プリズム3、3A、3B、3C、30の入射面
の各々に、所定の方向から合成すべき光ビームを入射さ
せ、1以上の入射面による屈折を利用して、複数の光ビ
ームを所望の合成形態に合成して、共通の射出面から射
出させるビーム合成方法(請求項1)が実施される。
た実施の形態では、ビーム合成用プリズムの入射面より
も光源側もしくは射出側に、正のパワーを持つシリンド
リカル面を配して、合成された複数光ビームの個々を、
副走査方向に集束させるビーム合成方法(請求項2)が
実施され、図2、図3の実施の形態では、ビーム合成用
プリズム3、3Aの入射面よりも光源側に正のパワーを
持つシリンドリカル面(シリンドリカルレンズ4a、4
bのシリンドリカル面)を配し、副走査方向において集
束性の各光ビームをビーム合成用プリズム3、3Aに入
射させるビーム合成方法(請求項3)が実施される。
態では、ビーム合成用プリズム3、3B、3Cの射出側
に正のパワーを持つシリンドリカル面(シリンドリカル
レンズ4のシリンドリカル面)を配し、合成された各光
ビームをそれぞれ副走査方向に集束させるビーム合成方
法(請求項4)が実施される。
施されるビーム合成方法において、上記「正のパワーを
持つシリンドリカル面」は凸のシリンドリカルレンズ面
であり(請求項5)、図7の実施の形態では「正のパワ
ーを持つシリンドリカル面」がビーム合成用プリズム3
0の射出面とされている(請求項6)。
数の光ビームに対して、ビーム合成用プリズムの位置お
よび/または態位を調整することにより、複数の光ビー
ムの合成形態を調整するビーム合成方法(請求項7)が
実施される。
において、半導体レーザ1a、1b(および1c)、カ
ップリングレンズ2a、2b、(および2c)、ビーム
合成用プリズム3、3A、3B、3C、30は、複数の
光ビームを偏向手段により同時に偏向させ、共通の走査
結像光学系により被走査面上に、副走査方向に互いに分
離した光スポットとして集光させ、複数走査線を同時に
走査するマルチビーム走査装置に用いられるマルチビー
ム走査用光源装置を構成する。
置は、複数の光源1a、1b(および1c)と、これら
光源から放射される複数の光ビームを、マルチビーム走
査用の複数光ビームとして合成するビーム合成手段3、
3A、3B、3C、30とを有するが、これらビーム合
成用プリズムは、前述した請求項8〜12の任意の1に
記載のビーム合成用プリズムである(請求項13)。
は、合成された複数の光ビームのそれぞれを、副走査方
向に集束させる1方向集束手段(シリンドリカルレンズ
4、4a、4b、ビーム合成用プリズム30)を有し
(請求項14)、図2、図3の実施の形態に係るマルチ
ビーム走査用光源装置では、1方向集束手段が、ビーム
合成用プリズムよりも光源側に設けられた1以上のシリ
ンドリカルレンズ4a、4bである(請求項15)。
態に係るマルチビーム走査用光源装置では、1方向集束
手段が、ビーム合成用プリズムの射出側において、合成
された複数の光ビームに共通に設けられたシリンドリカ
ルレンズ4である(請求項16)。
用光源装置では、ビーム合成用プリズム30は請求項1
2記載のものであって、ビーム合成用プリズム30の射
出面として形成された正のパワーを持つシリンドリカル
面が、1方向集束手段を兼ねる(請求項17)。
用光源装置では、光源側からビーム合成用プリズム3に
入射する複数の光ビームと、ビーム合成用プリズム3と
の、相対的な位置および/または態位が調整可能である
(請求項18)。
ム走査装置は、複数の光ビームを偏向手段5により同時
に偏向させ、共通の走査結像光学系6により被走査面7
上に、副走査方向に互いに分離した光スポットとして集
光させ、複数走査線を同時に走査するマルチビーム走査
装置であって、マルチビーム走査用光源装置として、前
記請求項13記載のものを用いるもの(請求項19)で
ある。
チビーム走査装置は、マルチビーム走査用光源装置とし
て、請求項14〜18の任意の1に記載のものを用いた
ものであり、偏向手段5として「偏向反射面を回転させ
る方式のもの」が用いられ、合成された複数の光ビーム
の、副走査方向における集束位置近傍に偏向手段の偏向
反射面を位置させたもの(請求項20)である。
ば、新規なビーム合成方法・ビーム合成用プリズム・マ
ルチビーム走査用光源装置・マルチビーム走査装置を実
現できる。
の研磨や樹脂成形等により「偏光分離膜を持つプリズ
ム」よりも安価に作製でき、ハーフミラーを用いて行う
ビーム合成に比して光の利用効率が高く、また実施の形
態にも示したように3以上の光ビームのビーム合成も容
易である。
を用いるビーム合成方法・マルチビーム走査用光源装置
では、複数の光ビームを光利用効率良くビーム合成で
き、この発明のマルチビーム走査用光源装置を用いるマ
ルチビーム走査装置は、低コストに構成でき、光源にお
ける光の利用効率が高い。
るための図である。
分のみ示す図である。
部分のみ示す図である。
部分のみ示す図である。
部分のみ示す図である。
図である。
部分のみ示す図である。
面」としたビーム合成用プリズムの実施の形態を3例示
す図である。
部分のみ示す図である。
Claims (20)
- 【請求項1】2以上の光源から放射された複数の光ビー
ムを互いにマルチビーム走査用の複数光ビームとして合
成する方法であって、 法線の方向が互いに異なる2以上の平面を入射面として
有するビーム合成用プリズムの、上記入射面の各々に、
所定の方向から合成すべき光ビームを入射させ、1以上
の入射面による屈折を利用して、複数の光ビームを所望
の合成形態に合成して、共通の射出面から射出させるこ
とを特徴とするビーム合成方法。 - 【請求項2】請求項1記載のビーム合成方法において、 ビーム合成用プリズムの入射面よりも光源側もしくは射
出側に、正のパワーを持つシリンドリカル面を配して、 合成された複数光ビームの個々を、副走査方向に集束さ
せることを特徴とするビーム合成方法。 - 【請求項3】請求項2記載のビーム合成方法において、 ビーム合成用プリズムの入射面よりも光源側に正のパワ
ーを持つシリンドリカル面を配し、副走査方向において
集束性の各光ビームをビーム合成用プリズムに入射させ
ることを特徴とするビーム合成方法。 - 【請求項4】請求項2記載のビーム合成方法において、 ビーム合成用プリズムの射出側に正のパワーを持つシリ
ンドリカル面を配し、合成された各光ビームをそれぞれ
副走査方向に集束させることを特徴とするビーム合成方
法。 - 【請求項5】請求項2または3または4記載のビーム合
成方法において、 正のパワーを持つシリンドリカル面を、凸のシリンドリ
カルレンズ面とすることを特徴とするビーム合成方法。 - 【請求項6】請求項4記載のビーム合成方法において、 正のパワーを持つシリンドリカル面を、ビーム合成用プ
リズムの射出面とすることを特徴とするビーム合成方
法。 - 【請求項7】請求項1〜6の任意の1に記載のビーム合
成方法において、 入射する複数の光ビームに対して、ビーム合成用プリズ
ムの位置および/または態位を調整することにより、複
数の光ビームの合成形態を調整することを特徴とするビ
ーム合成方法。 - 【請求項8】2以上の光源から放射された複数の光ビー
ムを互いにマルチビーム走査用の複数光ビームとして合
成するのに用いられるビーム合成用プリズムであって、 法線の方向が互いに異なる2以上の平面を入射面として
有し、上記入射面の各々に、所定の方向から合成すべき
光ビームを入射させ、1以上の入射面による屈折を利用
して、複数の光ビームを所望の合成形態に合成して、共
通の射出面から射出させるように構成されたことを特徴
とするビーム合成用プリズム。 - 【請求項9】請求項8記載のビーム合成用プリズムにお
いて、 入射面が2面であり、これら2面の入射面が互いに角を
なして交差することを特徴とするビーム合成用プリズ
ム。 - 【請求項10】請求項8記載のビーム合成用プリズムに
おいて、 入射面が3面であり、これら3面の入射面が互いに角を
なして交叉し、且つ、各入射面の法線が互いに共通の平
面に平行であることを特徴とするビーム合成用プリズ
ム。 - 【請求項11】請求項8記載のビーム合成用プリズムに
おいて、 入射面が4面であり、これら4面が互いに4角錐面状に
組み合わせられていることを特徴とするビーム合成用プ
リズム。 - 【請求項12】請求項8〜11の任意の1に記載のビー
ム合成用プリズムにおいて、 共通の射出面が正のパワーを持つシリンドリカル面であ
ることを特徴とするビーム合成用プリズム。 - 【請求項13】複数の光ビームを偏向手段により同時に
偏向させ、共通の走査結像光学系により被走査面上に、
副走査方向に互いに分離した光スポットとして集光さ
せ、複数走査線を同時に走査するマルチビーム走査装置
に用いられるマルチビーム走査用光源装置であって、 複数の光源と、 これら光源から放射される複数の光ビームを、マルチビ
ーム走査用の複数光ビームとして合成するビーム合成手
段とを有し、 上記ビーム合成手段が、請求項8〜12の任意の1に記
載のビーム合成用プリズムを有することを特徴とするマ
ルチビーム走査用光源装置。 - 【請求項14】請求項13記載のマルチビーム走査用光
源装置において、 合成された複数の光ビームのそれぞれを、副走査方向に
集束させる1方向集束手段を有することを特徴とするマ
ルチビーム走査用光源装置。 - 【請求項15】請求項14記載のマルチビーム走査用光
源装置において、 1方向集束手段が、ビーム合成用プリズムよりも光源側
に設けられた1以上のシリンドリカルレンズであること
を特徴とするマルチビーム走査用光源装置。 - 【請求項16】請求項14記載のマルチビーム走査用光
源装置において、 1方向集束手段が、ビーム合成用プリズムの射出側にお
いて、合成された複数の光ビームに共通に設けられたシ
リンドリカルレンズであることを特徴とするマルチビー
ム走査用光源装置。 - 【請求項17】請求項14記載のマルチビーム走査用光
源装置において、 ビーム合成用プリズムが請求項12記載のものであっ
て、ビーム合成用プリズムの射出面として形成された正
のパワーを持つシリンドリカル面が、1方向集束手段の
少なくとも一部を兼ねることを特徴とするマルチビーム
走査用光源装置。 - 【請求項18】請求項14〜17の任意の1に記載のマ
ルチビーム走査用光源装置において、 光源側からビーム合成用プリズムに入射する複数の光ビ
ームと、上記ビーム合成用プリズムとの、相対的な位置
および/または態位を調整可能としたことを特徴とする
マルチビーム走査用光源装置。 - 【請求項19】複数の光ビームを偏向手段により同時に
偏向させ、共通の走査結像光学系により被走査面上に、
副走査方向に互いに分離した光スポットとして集光さ
せ、複数走査線を同時に走査するマルチビーム走査装置
であって、 マルチビーム走査用光源装置として、請求項13記載の
ものを用いることを特徴とするマルチビーム走査装置。 - 【請求項20】複数の光ビームを偏向手段により同時に
偏向させ、共通の走査結像光学系により被走査面上に、
副走査方向に互いに分離した光スポットとして集光さ
せ、複数走査線を同時に走査するマルチビーム走査装置
であって、 マルチビーム走査用光源装置として、請求項14〜18
の任意の1に記載のものを用い、偏向手段として、偏向
反射面を回転させる方式のものを用い、 合成された複数の光ビームの、副走査方向における集束
位置近傍に偏向手段の偏向反射面を位置させたことを特
徴とするマルチビーム走査装置。
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