JPH0153767B2 - - Google Patents

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JPH0153767B2
JPH0153767B2 JP57109368A JP10936882A JPH0153767B2 JP H0153767 B2 JPH0153767 B2 JP H0153767B2 JP 57109368 A JP57109368 A JP 57109368A JP 10936882 A JP10936882 A JP 10936882A JP H0153767 B2 JPH0153767 B2 JP H0153767B2
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JP
Japan
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deflection
semiconductor lasers
light
scanning
point
Prior art date
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JP57109368A
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English (en)
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Kazuo Minora
Masamichi Tatsuoka
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Priority to DE19833320255 priority patent/DE3320255A1/de
Priority to US06/504,420 priority patent/US4571021A/en
Publication of JPS59126A publication Critical patent/JPS59126A/ja
Publication of JPH0153767B2 publication Critical patent/JPH0153767B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/123Multibeam scanners, e.g. using multiple light sources or beam splitters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体レーザーを光源部として複数
個用いた走査装置に関するものである。
従来、特開昭54―158251号に見られる様に、半
導体レーザーの光出力部を複数個並べた所謂る半
導体レーザーアレイを使用して走査線ピツチを密
にしようとすると、半導体レーザーアレイの方向
を走査線に対して直交する方向でなく斜めに傾け
る必要がある。この様な半導体レーザーアレイか
らの各光束は、アレイの端面の法線に平行な方向
の光線を中心光線として発散する。
第1図は従来の複数ビーム走査装置の一例を示
す図で、半導体レーザー装置1内に設けられた複
数の光出力部1a,1bから、集光レンズ2の光
軸gに平行に各中心光線ha,hbが出射する。こ
れらの中心光線は集光レンズ2の焦点Fを通り、
シリンドリカルレンズ3を通過した後偏向器4の
偏向ミラー面4a上に到達する。このとき、各光
出力部1a,1bからの中心光線ha,hbは偏向
ミラー面4a上にて、偏向ミラーによる光束の偏
向方向に互いに離れた位置で反射される。
シリンドリカルレンズ3は各光出力部1a,1
bから出射して、集光レンズ2を通過した各光束
は、シリンドリカルレンズ3によつて偏向ミラー
面4aの近傍に線像が形成される。
偏向ミラー面4aで反射した光束はアナモフイ
ツク走査レンズ系5によつて例えば感光体の如き
被走査媒体6の表面上に結像される。
第2図は、第1図と直交する面内の結像の様子
を図示したもので、偏向ミラー面4aの近傍の点
と感光体表面上の点とを共役関係にするアナモフ
イツク走査レンズを使用している。
アナモフイツク走査レンズ5は例えば球面レン
ズ5aと、トーリツクレンズ5bによつて構成さ
れる。
半導体レーザー装置の各光出力部1aと1bか
ら出射した中心光線ha,hbは前述の様に偏向ミ
ラー面4a上にて互いに離れた位置に入射する。
すなわち、シリンドリカルレンズ3によつて形成
される線像の中心位置は、複数の光出力部のうち
どれか一つに対応した線像だけはその中心位置を
所望の位置に設置可能であるがそれ以外の線像中
心位置は所望の位置から離れることになる。第2
図の破線で示した光路がこの場合の結像の様子を
示すもので、ずれた線像の中心位置Pは、所望の
位置からずれ、レンズ系5によつて、被走査媒体
表面上に結像されなくなり、被走査媒体表面から
離れた点P′に結像され、所謂るデフオーカスが発
生する。偏向ミラー4が回転すると、そのデフオ
ーカス量はさらに著しく大きくなり、被走査媒体
表面上での結像スポツトは大きくなつてしまう。
本発明の目的は、上述した欠点を改良し、半導
体レーザーアレーの様な光源を用いても、被走査
媒体面上で各々のビームスポツトが良好に結像さ
れる様な走査装置を提供することにある。
本発明に係る複数ビーム走査装置に於いては複
数の半導体レーザーを光源部として用い、該各々
の半導体レーザーからの光束の中心光線が偏向走
査面と垂直な方向から見て実質的に同一の点を通
過、又は通過するかの如く前記各々の半導体レー
ザーの発光方向を定め、偏向走査面と平行な方向
から見て前記各々の半導体レーザーからの光束の
中心光線の前記同一の点を通過する位置が変位す
るように前記各々の半導体レーザーの発光方向を
定めるとともに、前記同一の点と偏向手段の偏向
反射面の近傍の点とが、偏向走査面、即ち偏向器
の偏向反射面の法線が反射面の回転に伴つて経時
的に形成する面内に於いて、光学的に共役な関係
となる様に光学系を設定することにより、上記目
的を達成せんとするものである。
ここで、各々の半導体レーザーから発散される
光束の中心光線が実質的に同一の点を通過すると
言うことは、偏向走査面に対して垂直な方向から
見ればそれ等の光束の中心光線は、あたかも一点
で交わつている様に見えるが、偏向走査面から見
れば、前記各々の半導体レーザーからの光束の中
心光線は前記交わる点で僅かずつ偏向走査面と直
交する方向に偏位している。
又、本発明に係る走査装置では、各々の半導体
レーザーからの光束の中心光線は、偏向走査面と
垂直な方向から見て、厳密に一つの点で交わる様
にしなくても、それ等の中心光線が或る領域内に
集束していれば、本発明の目的とする効果を得る
ことが出来るものである。
以下、図面を用いて本発明を詳述する。
第3図は本発明に係る走査装置の原理を示す為
の図で、光源と偏向器の間の光学系を偏向走査面
と垂直な方向から見た図である。11a,11b
は半導体レーザーであり、各レーザーは共通の基
板であるマウント10の上にその光束発生面がマ
ウント10の端面と平行になる様に配されてい
る。半導体レーザーが設けられているマウント1
0の端面10a,10bは、各レーザー11a,
11bからの発散光束の中心光線が同一の点Po
を通過して来たかの如く設定される。換言すれ
ば、半導体レーザー11a,11bが設けられる
位置で、端面10aと10bに各々法線をたてる
と、各々の法線がPoを通過する様に、端面10
aと10bは設定されている。更に、偏向走査面
と平行な方向から見れば、各々の半導体レーザー
の中心光線のPo点を通過する位置が、偏向走査
面と直交する方向に僅かに変位する様に、マウン
ト上に設けられる半導体レーザーの位置は設定さ
れる。上記Po点と偏向器の偏向反射面13aの
所定の近傍の点Pとは、結像レンズ12により光
学的に共役な関係に保たれている。又、各々の半
導体レーザーチツプ11a,11bは、結像レン
ズ12から等しい距離に配されている。
第4図は本発明に係る走査装置の他の実施例に
於ける光源と偏向器との間の光学系を偏向走査面
と垂直な方向から見た図、第3図に示す番号と同
一の付番を施こしたものは、同一の部材を示して
いる。第4図に示す装置では、円筒あるいは円板
状のマウント14の側面(円筒面)の法線方向
に、各発光部からの光束の中心光線が出射する様
に、半導体レーザーチツプ11a,11bを配置
したものである。そして、マウント14の中心の
位置を前述したPo点に合致させてあるものであ
る。更に、Po点に於ける各半導体レーザーチツ
プの中心光線に関係は第3図で述べた状態と同一
である。その為に、円板状マウント14は、紙面
に立てた垂直に対して直角に交わることなく、或
る程度角度を有して設けられている。
第5図は前記第3図及び第4図に示す実施例の
変形実施例を示す図で、マウント15が矩形状で
あり、平面或いは平板状のマウントの一端面の近
傍に上述した関係を満足する半導体レーザーチツ
プ11a,11bが配されている以外は全く同じ
状態で配されている。
第9図は同じく半導体レーザーチツプが3個配
されている場合の実施例を示すものである。上記
第3図、第4図及び第5図で示す実施例では、半
導体レーザーチツプは2個であるので、各々のレ
ーザーチツプが結像レンズ12から等しい距離に
配することは容易であつた。尚各半導体レーザー
を結像レンズ12から等しい距離の位置に配する
のは言うまでもなく、被走査面でそれぞれのビー
ムスポツトをほぼ等しい条件で良好に結像させる
為である。第6図に示す実施例では、3個の半導
体レーザー11a,11b,11cの光出力部が
1直線上に配列、即ち結像レンズ系12の光軸に
対して垂直な一平面内に配列する様にしている。
そして各々の発光部からの光束の中心光線が実質
的に一点Poを通過する様に、各々のレーザーチ
ツプは円板状のマウント16の側面である円筒面
の法線方向に各々の中心光線が射出される様に配
されている。尚、円板状マウント16のレーザー
チツプを設置した面は、紙面に立てた垂直に対し
ては直角ではなく多少傾むいており、従つて各々
の発光部からの中心光線がPo点で完全に合致す
ることなく、Po点で空間的にねじれの関係にな
る様にしている。光出力部を2ケ使用する場合、
その配列間隔あるいは各中心光線の出射方向のア
ライメント精度を緩和することが可能である。光
出力部の数が2ケの場合に上記の精度が不充分の
場合には各光出力部から出射した光束の中心光線
は偏向面13aの近傍の所望の点を通らないが、
偏向面によつて光束が偏向される面に対して垂直
な方向から見た場合、前記2本の中心光線は交わ
るところがある。第7図はその様な場合を示す図
である。この様な場合上記2本の中心光線の交点
Pを次の様な方法で偏向ミラー面13aの近傍の
所望の位置に合致させる。すなわち、マウント1
4と結像レンズ12を一体化した光束集光系17
全体の直交する二方向の平行移動調整あるいは、
第7図の紙面に垂直な軸の回りの回転調整と光線
方向の平行移動の調整によつて、上記2本の中心
光線の交点Pを所望の位置に合致させることが可
能となる。
第8図A,Bは本発明に係る走査装置を適用し
た倒れ補正走査装置の一実施例を示す概略展開図
で、Aは平面図、即ち、走査面内の光ビームの様
子を示す図、Bは正面図、即ち倒れ補正面内の光
ビームの様子を示す図である。各半導体レーザー
21a,21b,21cより射出された光束は、
第6図で説明した如く各々の中心光線がPoなる
位置から発せられたかの如く各レーザーチツプが
配されており、各々の光束は結像レンズ23に入
射する。結像レンズ23は前記Poなる位置と、
偏向器25の偏向反射面25aの近傍の位転P点
とを光学的に共役な位置とさせる。従つて、走査
面内では、各々の光束の中心光線ha,hb,hcは、
P点に集束する。
一方、倒れ補正断面内では、半導体レーザー2
1a,21b,21cの各々の発光部の位置と前
記結像レンズ23の焦平面とほぼ合致する様に設
けられているので各々の光束は結像レンズ23で
コリメートされる。これ等コリメートされた各々
の光束は、倒れ補正断面内のみにてパワーを有す
る正のシリンドリカルレンズ24により集光さ
れ、偏向反射面25a近傍に結像する。従つて、
偏向器25の偏向反射面25aの近傍には、第8
図Cで示す様に3本の結線L1,L2,L3が偏向器
の回転軸25bの方向に並んで形成されている。
これ等の線像は、特開昭56―36622号公報で示さ
れる様な、球面レンズ26とトーリツクレンズ2
7より成る走査用レンズ系により、回転ドラム2
8上に良好なスポツトとして結像される。尚、第
8図BではL2のみの結像光束を代表として示し
ている。
以下に数値例を示す。
第1の数値例として、結像レンズ23の焦点距
離を11mm、シリンドリカルレンズ24と偏向ミラ
ー面25aとの間隔を100mmとすると結像レンズ
23とPoの距離は12.36mmとなり、第4図におけ
る実施例において円筒マウント14の半径は1.36
mmとなる。したがつて半導体レーザーチツプの間
隔を0.4mmとすると、結像レンズ23の光軸から
各光出力部の光束の中心光線の傾いは各々4.86゜
になる。
第2の数値例として、結像レンズ23の焦点距
離を21mm、シリンドリカルレンズ24と偏向ミラ
ー面25aとの間隔を100mmとすると結像レンズ
23とPoの距離は26.58mmとなり、第4図におけ
る実施例において円筒マウント14の半径は5.58
mmとなる。したがつて半導体レーザーチツプの間
隔を0.4mmとすると、結像レンズ23の光軸から
各光出力部の光束の中心光線の傾きは各々2.05゜
となる。
以上、本発明に係る走査装置では簡単な構成で
あるにも拘わらず、複数の走査スポツトが良好な
結像状態で被走査面を走査することを可能にした
ものである。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は、従来の複数ビーム走査装
置を示す為の図、第3図、第4図、第5図、第6
図及び第7図は各々、本発明に係る複数ビーム走
査装置を説明する為の図、第8図A,B,Cは本
発明に係る装置を適用した倒れ補正光学系の一実
施例を示す図。 10,14,15,16…マウント、11a,
11b,11c…半導体レーザー、12…結像レ
ンズ、13a…偏向反射面、17…光束集光系。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 複数の半導体レーザーを光源部として用い、
    該各々の半導体レーザーからの光束を偏向手段を
    用いて被走査面を走査する装置に於いて、 偏向走査面と垂直な方向から見て前記各々の半
    導体レーザーからの光束の中心光線が実質的に同
    一の点を通過もしくは通過するかの如く前記各々
    の半導体レーザーの発光方向を定め、偏向走査面
    と平行な方向から見て前記各々の半導体レーザー
    からの光束の中心光線の前記同一の点を通過する
    位置が変位するように前記各々の半導体レーザー
    の発光方向を定め、偏向走査面内において前記同
    一の点と偏向手段の偏向反射面の近傍の点とを光
    学的に共役とする光学手段を前記光源部と前記偏
    向手段との間に設けた事を特徴とする複数ビーム
    走査装置。 2 前記複数の半導体レーザーが共通の基板上に
    設けられている特許請求の範囲第1項記載の複数
    ビーム走査装置。
JP57109368A 1982-06-04 1982-06-25 複数ビ−ム走査装置 Granted JPS59126A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57109368A JPS59126A (ja) 1982-06-25 1982-06-25 複数ビ−ム走査装置
DE19833320255 DE3320255A1 (de) 1982-06-04 1983-06-03 Abtastvorrichtung mit mehreren strahlen
US06/504,420 US4571021A (en) 1982-06-25 1983-06-15 Plural-beam scanning apparatus

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57109368A JPS59126A (ja) 1982-06-25 1982-06-25 複数ビ−ム走査装置

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Publication Number Publication Date
JPS59126A JPS59126A (ja) 1984-01-05
JPH0153767B2 true JPH0153767B2 (ja) 1989-11-15

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ID=14508462

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JP57109368A Granted JPS59126A (ja) 1982-06-04 1982-06-25 複数ビ−ム走査装置

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JP (1) JPS59126A (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0668577B2 (ja) * 1984-07-20 1994-08-31 富士ゼロックス株式会社 レ−ザビ−ム走査装置
GB2169134B (en) * 1984-11-16 1988-11-16 Canon Kk Multibeam emitting device
JPS61159785A (ja) * 1985-01-08 1986-07-19 Canon Inc 半導体装置
DE3716191A1 (de) * 1986-05-15 1987-11-19 Canon Kk Halbleiterlaser-anordnung
US4799229A (en) * 1986-05-15 1989-01-17 Canon Kabushiki Kaisha Semiconductor laser array
JPH0727123B2 (ja) * 1986-08-21 1995-03-29 ミノルタ株式会社 面倒れ補正走査光学系
DE3750174T2 (de) * 1986-10-30 1994-11-17 Canon K.K., Tokio/Tokyo Belichtungseinrichtung.
US5196957A (en) * 1990-03-20 1993-03-23 Olive Tree Technology, Inc. Laser scanner with post-facet lens system
US5247383A (en) * 1990-03-20 1993-09-21 Olive Tree Technology, Inc. Scanner with a post facet lens system
JPH05142489A (ja) * 1991-11-20 1993-06-11 Canon Inc 光走査装置
JP3222023B2 (ja) 1994-11-09 2001-10-22 株式会社東芝 光走査装置
US6359640B1 (en) 2000-04-28 2002-03-19 Lexmark International, Inc. Method and apparatus for minimizing visual artifacts resulting from laser scan process direction position errors

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4474422A (en) * 1979-11-13 1984-10-02 Canon Kabushiki Kaisha Optical scanning apparatus having an array of light sources

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US4571021A (en) 1986-02-18
JPS59126A (ja) 1984-01-05

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