JPWO2014104159A1 - 液浸部材及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2012年12月27日に出願された米国特許仮出願61/746,470に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXの一例を示す概略構成図である。本実施形態の露光装置EXは、液体LQを介して露光光ELで基板Pを露光する液浸露光装置である。本実施形態においては、基板Pに照射される露光光ELの光路ATLが液体LQで満たされるように液浸空間LSが形成される。液浸空間LSとは、液体で満たされた部分(空間、領域)をいう。基板Pは、液浸空間LSの液体LQを介して露光光ELで露光される。本実施形態においては、液体LQとして、水(純水)を用いる。
また、第1部材21の下面25(253など)と第2部材22の上面221との間の空間と、第3空間SP3とを接続する流路、および第1部材21の外面27と第2部材22の内面31との間の空間と、第3空間SP3とを接続する流路の少なくとも一方を、第1部材21に設け、第3空間SP3から、第1部材21と第2部材22との間の空間に液体LQを流すようにしてもよい。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第5実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第6実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第7実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第8実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第9実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第10実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第11実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第12実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第13実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第14実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第15実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第16実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第17実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第18実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第19実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
なお、X軸方向における第2開口部の両側において第2空間SP2の一部のZ軸方向の大きさが、Y軸方向における第2開口部の両側の第2空間SP2のZ軸方向の大きさよりも大きくなるような第2部材の凹部4000の形状、位置、大きさは、図40Aに限定されないことは言うまでもない。例えば、図40B、図40Cに示すように、第2開口部(28など)と液体回収部第(43など)との間において、第2開口部から離れた位置に凹部4000を形成してもよい。
また、図40Dに示すように、X軸方向における第2開口部の両側において第2開口部(28など)から液体回収部(43など)まで、第2空間SP2のZ軸方向の大きさが、Y軸方向における第2開口部の両側の第2空間SP2のZ軸方向の大きさよりも大きくなるように、第2部材の下面に凹部4000を設けてもよい。
なお、上記のように、液体供給と液体回収の少なくとも一方によって、液浸空間LSの液体LQから終端光学素子13が受ける圧力の変動が低減できる場合には、第1部材21が終端光学素子13を保護する機能を有していなくてもよいし、図36のように、保護部材54を設けなくてもよい。
Claims (103)
- 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置で用いられ、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成可能な液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、
前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、
前記光学部材を保護する保護部と、を備え、
前記保護部は、前記液浸空間の液体から前記光学部材が受ける圧力の変動を低減する液浸部材。 - 前記保護部は、前記光路の周囲の少なくとも一部に配置される
請求項1に記載の液浸部材。 - 前記保護部は、前記露光光が通過可能な第1開口を有する
請求項1又は2に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な所定方向に移動可能であり、
前記第2部材は、前記露光光が通過可能な第2開口を有し、
前記所定方向に関して、前記第2開口の寸法は、前記第1開口の寸法よりも大きい
請求項3に記載の液浸部材。 - 前記第2部材の少なくとも一部は、前記保護部の下に移動可能である
請求項1〜4のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記保護部は、前記光路の外側において前記光学部材と前記第2部材との間に配置される
請求項1〜5のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記保護部は、前記第2部材の移動期間において前記光学部材と前記第2部材とが対向しないように、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される
請求項6に記載の液浸部材。 - 前記第1部材が、前記保護部を有する
請求項1〜7のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記保護部は、前記第1部材のうち前記光路に最も近い第1部位を含む
請求項8に記載の液浸部材。 - 前記第1部位は、前記保護部の最下部である
請求項9に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記光路に最も近い第2部位を含み、
前記第2部位は、前記光路に対して前記1部位の外側に配置され続ける
請求項9又は10に記載の液浸部材。 - 前記第2部位が前記光路に対して前記第1部位の外側に配置され続けるように、前記第2部材の可動範囲が定められる
請求項11に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記露光光が通過可能な第1開口を有し、
前記第2部材は、前記露光光が通過可能な第2開口を有し、
前記第1部位は、前記第1開口の周囲の少なくとも一部を規定し、
前記第2部位は、前記第2開口の周囲の少なくとも一部を規定する
請求項11又は12に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な所定方向に移動可能であり、
前記所定方向に関して、前記第2開口の寸法は、前記第1開口の寸法よりも大きい請求項13に記載の液浸部材。 - 前記第1部位は、間隙を介して前記射出面の下方に配置される
請求項9〜14のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、
前記保護部の最下部は、前記第2上面と同じ高さ、又は前記第2上面よりも下方に配置される
請求項1〜15のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記保護部の最下部は、前記第2下面よりも上方に配置される
請求項16に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、
前記保護部の最下部は、前記第2下面と同じ高さ、又は前記第2下面よりも下方に配置される
請求項1〜15のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、
前記保護部の最下部は、前記第2上面よりも上方に配置される
請求項1〜15のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記光路に対して前記最下部の外側において、前記第1部材と前記第2上面との間に間隙が形成され、
前記光学部材の光軸と平行な方向に関して、前記最下部と前記第2上面との距離は、前記間隙の寸法よりも小さい
請求項19に記載の液浸部材。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置で用いられ、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成可能な液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、
前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、
前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、
前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、
前記壁部の最下部は、前記第2上面と同じ高さ、又は前記第2上面よりも下方に配置される液浸部材。 - 前記壁部の最下部は、前記第2下面よりも上方に配置される
請求項21に記載の液浸部材。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置で用いられ、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成可能な液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、
前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、
前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、
前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、
前記壁部の最下部は、前記第2下面と同じ高さ、又は前記第2下面よりも下方に配置される液浸部材。 - 光学部材の射出面と基板との間の液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置で用いられ、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成可能な液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、
前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、
前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、
前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、
前記壁部の最下部は、前記第2部材の第2上面よりも上方に配置され、
前記光路に対して前記最下部の外側において、前記第1部材と前記第2上面との間に間隙が形成され、
前記光学部材の光軸と平行な方向に関して、前記最下部と前記第2上面との距離は、前記間隙の寸法よりも小さい液浸部材。 - 前記壁部は、前記光路に最も近い第1部位を有し、
前記第2部材は、前記光路に最も近い第2部位を有し、
前記第2部位は、前記光路に対して前記1部位の外側に配置され続ける
請求項21〜24のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 光学部材の射出面と基板との間の液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置で用いられ、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成可能な液浸部材であって、
前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、
前記物体と対向可能であり、前記光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、
前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、
前記壁部は、前記光路に最も近い第1部位を有し、
前記第2部材は、前記光路に最も近い第2部位を有し、
前記第2部材の移動期間において、前記第2部位は、前記光路に対して前記第1部位の外側に配置され続ける液浸部材。 - 前記第2部位が前記光路に対して前記第1部位の外側に配置され続けるように、前記第2部材の可動範囲が定められる
請求項25又は26に記載の液浸部材。 - 前記第1部位は、間隙を介して前記射出面の下方に配置される
請求項25〜27のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記露光光が通過可能な第1開口を有し、
前記第2部材は、前記露光光が通過可能な第2開口を有し、
前記第1部位は、前記第1開口の少なくとも一部を規定し、
前記第2部位は、前記第2開口の少なくとも一部を規定する
請求項25〜28のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な所定方向に移動可能であり、
前記所定方向に関して、前記第2開口の寸法は、前記第1開口の寸法よりも大きい
請求項29に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記露光光が通過可能な第1開口を有し、
前記第2部材は、前記露光光が通過可能な第2開口を有し、
前記第2部材は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な所定方向に移動可能であり、
前記所定方向に関して、前記第2開口の寸法は、前記第1開口の寸法よりも大きい
請求項1〜24に記載の液浸部材。 - 前記光路に面する前記第2部材の端面の少なくとも一部が、前記光軸に対する放射方向に関して外側に向かって下方に傾斜する
請求項1〜31のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記光路に面する前記第2部材の端面は、第1内面と、前記第1内面の下方に配置され、上端が前記第1内面と結ばれ、下端が前記第2部材の第2下面と結ばれる第2内面と、を含み、
前記第1内面と前記第2内面とは、非平行であり、前記光学部材の光軸と平行な方向に関して、前記第2内面の寸法は、前記第1内面の寸法よりも大きく、
少なくとも前記第2内面が、前記光路に対して外側に向かって下方に傾斜する
請求項32に記載の液浸部材。 - 前記光路に面する前記第2部材の端面の少なくとも一部が、前記光軸に対する放射方向に関して外側に向かって上方に傾斜する
請求項1〜31のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記光路に面する前記第2部材の端面は、第1内面と、前記第1内面の上方に配置され、下端が前記第1内面と結ばれ、上端が前記第2部材の第2上面と結ばれる第2内面と、を含み、
前記第1内面と前記第2内面とは、非平行であり、前記光学部材の光軸と平行な方向に関して、前記第2内面の寸法は、前記第1内面の寸法よりも大きく、
少なくとも前記第2内面が、前記光路に対して外側に向かって上方に傾斜する
請求項34に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、少なくとも一部が前記第2部材と対向可能な第1下面を有し、
前記第1下面は、第1領域と、前記光路に対して前記第1領域の外側に配置され、前記第1領域よりも上方に配置される第2領域と、を含む
請求項1〜35のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置で用いられ、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成可能な液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、
前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、
前記第1部材は、少なくとも一部が前記第2部材と対向可能な第1下面を有し、
前記第1下面は、第1領域と、前記光路に対して前記第1領域の外側に配置され、前記第1領域よりも上方に配置される第2領域と、を含む液浸部材。 - 前記第1領域は、前記光学部材の光軸に対して傾斜する
請求項36又は37に記載の液浸部材。 - 前記光学部材の光軸と前記第1領域とがなす角度と、前記光軸と前記第2領域とがなす角度とは、異なる
請求項36〜38のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1下面は、前記第1領域と前記第2領域とを結び、前記光学部材の光軸に対して傾斜する傾斜領域を有する
請求項36又は37に記載の液浸部材。 - 前記第1領域と前記第2領域との間に段差を有する
請求項36又は37に記載の液浸部材。 - 前記第1下面は、前記光路に対して前記2領域の外側に配置され、前記光学部材の光軸と平行な方向に関して前記第2領域との位置が異なる第3領域を含む
請求項36〜41のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第3領域は、前記第2領域よりも下方に配置される
請求項42に記載の液浸部材。 - 前記第1領域は、前記第3領域よりも下方に配置される
請求項43に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記第2領域の下方において移動される
請求項36〜44のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記光路に対して前記第1領域の外側において移動される
請求項36〜45のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記第2部材と対向可能な凹部を有し、
前記第2領域は、前記凹部の内側に配置される
請求項36〜46のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記凹部の下方において移動される
請求項47に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、少なくとも一部が前記第1部材と対向する第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、
前記第2上面は、前記第1領域よりも上方に配置される
請求項36〜48のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2下面は、前記第1領域よりも上方に配置される
請求項49に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記露光光が通過可能な第2開口を有し、
前記第2上面の少なくとも一部は、前記第2開口の上端の周囲に配置され、
前記第2下面の少なくとも一部は、前記第2開口の下端の周囲に配置される
請求項49又は50に記載の液浸部材。 - 前記第1部材は、前記露光光が通過可能な第1開口を有し、
前記第1下面の少なくとも一部は、前記第1開口の下端の周囲に配置される
請求項36〜51のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1液体を供給する第1液体供給部をさらに有する
請求項1〜52のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 第2液体を供給する第2液体供給部をさらに有する
請求項53に記載の液浸部材。 - 前記第2液体供給部は、前記第1部材と前記第2部材との間の空間に面するように配置される
請求項54に記載の液浸部材。 - 前記第2液体供給部は、第1状態で前記第2部材が対向し、第2状態で前記物体の表面が対向するように配置される
請求項54又は55に記載の液浸部材。 - 前記第2部材の移動において、前記第2部材が前記第2液体供給部と対向する第1状態及び対向しない第2状態の一方から他方に変化する
請求項54又は55に記載の液浸部材。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置で用いられ、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成可能な液浸部材であって、
前記第1液体を供給する第1液体供給部と、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、
前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、
第2液体を供給する第2液体供給部と、を備え、
前記第2部材は、前記第2液体供給部と対向する第1状態及び対向しない第2状態の一方から他方に変化するように移動される液浸部材。 - 前記第1部材は、前記露光光が通過可能な第1開口と、前記第1開口の下端の周囲に配置される第1下面と、を有し、
前記第2液体供給部は、前記第1下面に配置される
請求項54〜58のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材が前記第2液体供給部と対向しない第2状態において、前記第2液体供給部から液体が供給される
請求項54〜59のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材が前記第2液体供給部と対向する第1状態において、前記第2液体供給部から液体が供給される
請求項54〜60のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材が移動する期間の少なくとも一部において、前記第2液体供給部から液体が供給される
請求項54〜61のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1液体供給部は、前記光学部材の外面との間の空間及び前記射出面から射出される前記露光光の光路を含む空間の少なくとも一方に面するように前記第1部材に配置される
請求項53〜62のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第1部材に配置される液体回収部をさらに有する
請求項1〜63のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記物体が対向するように前記第2部材に配置される流体回収部をさらに有する
請求項1〜64のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記液浸空間が形成されている状態において、前記第2部材は移動可能である
請求項1〜65のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記射出面から前記露光光が射出される期間の少なくとも一部において、前記第2部材は移動可能である
請求項1〜66のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材は、前記光学部材の光軸と垂直な面内において移動される
請求項1〜67のいずれか一項に記載の液浸部材。 - 前記第2部材の少なくとも一部は、前記第1部材の下方に配置される請求項1〜68のいずれか一項に記載の液浸部材。
- 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
請求項1〜69のいずれか一項に記載の液浸部材を備える露光装置。 - 第1液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を有し、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材と、
前記光学部材を保護する保護部材と、を備え、
前記保護部材は、前記液浸空間の液体から前記光学部材が受ける圧力の変動を低減する露光装置。 - 前記保護部材は、前記光路の外側において前記光学部材と前記第2部材との間に配置される
請求項71に記載の露光装置。 - 前記第2部材の少なくとも一部は、前記第1部材の下方に配置される請求項71または72記載の露光装置。
- 前記第2部材は、前記物体との相対速度が小さくなるように移動される
請求項70〜73のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2部材は、前記物体との相対加速度が小さくなるように移動される
請求項70〜74のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2部材は、前記第2部材と前記物体との相対速度が、前記第1部材と前記物体との相対速度よりも小さくなるように移動される
請求項70〜75のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2部材は、前記第2部材と前記物体との相対加速度が、前記第1部材と前記物体との相対加速度よりも小さくなるように移動される
請求項70〜76のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記物体は、前記基板を含み、
前記液浸空間が形成された状態で、前記基板は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な面内において、第1経路を移動後、第2経路を移動し、
前記第1経路において、前記基板の移動は、前記面内における第2軸と実質的に平行な第2方向への移動を含み、
前記第2経路において、前記基板の移動は、前記面内において前記第2軸と直交する第3軸と実質的に平行な第3方向への移動を含み、
前記第2部材は、前記基板が前記第2経路を移動する期間の少なくとも一部において、前記第3方向に移動される
請求項70〜77のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記基板が前記第1経路を移動するときに前記液浸空間の液体を介して前記基板のショット領域に前記露光光が照射され、前記第2経路を移動するときに前記露光光が照射されない
請求項78に記載の露光装置。 - 前記基板は、前記第2経路を移動された後に、第3経路を移動され、
前記第3経路において、前記基板の移動は、前記第1方向の反対の第3方向への移動を含み、
前記第2部材は、前記基板が前記第3経路を移動する期間の少なくとも一部において、前記第2方向の反対の第4方向に移動される
請求項78又は79に記載の露光装置。 - 前記物体は、前記基板を含み、
前記液浸空間が形成された状態で、前記基板がスキャン方向にスキャン移動しながら前記基板の第1ショット領域が露光された後、第2ショット領域が露光開始位置に配置されるように前記基板がステップ方向にステップ移動され、
前記基板のステップ移動の少なくとも一部において、前記第2部材は、前記ステップ方向と実質的に同方向に移動される
請求項70〜77に記載の露光装置。 - 前記基板のスキャン移動の少なくとも一部において、前記第2部材は、前記ステップ方向と実質的に逆方向に移動される
請求項81に記載の露光装置。 - 前記物体は、前記基板を保持して移動可能な基板ステージを含む
請求項70〜82のいずれか一項に記載の露光装置。 - 請求項70〜83のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、
を含むデバイス製造方法。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する露光方法であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、前記光学部材を保護する保護部と、を備える液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成することと、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、
前記保護部で前記液浸空間の液体から前記光学部材が受ける圧力の変動を低減することと、を含む露光方法。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する露光方法であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、前記壁部の最下部は、前記第2上面と同じ高さ、又は前記第2上面よりも下方に配置される液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を含む露光方法。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する露光方法であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、前記壁部の最下部は、前記第2下面と同じ高さ、又は前記第2下面よりも下方に配置される液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を含む露光方法。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する露光方法であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、前記壁部の最下部は、前記第2部材の第2上面よりも上方に配置され、前記光路に対して前記最下部の外側において、前記第1部材と前記第2上面との間に間隙が形成され、前記光学部材の光軸と平行な方向に関して、前記最下部と前記第2上面との距離は、前記間隙の寸法よりも小さい液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を含む露光方法。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する露光方法であって、
前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記物体と対向可能であり、前記光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、前記壁部は、前記光路に最も近い第1部位を有し、前記第2部材は、前記光路に最も近い第2部位を有し、前記第2部材の移動期間において、前記第2部位は、前記光路に対して前記第1部位の外側に配置され続ける液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を含む露光方法。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する露光方法であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記物体と対向可能であり、前記射出面から射出される前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、前記第1部材は、少なくとも一部が前記第2部材と対向可能な第1下面を有し、前記第1下面は、第1領域と、前記光路に対して前記第1領域の外側に配置され、前記第1領域よりも上方に配置される第2領域と、を含む液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を含む露光方法。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する露光方法であって、
前記第1液体を供給する第1液体供給部と、前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、第2液体を供給する第2液体供給部と、を備え、前記第2部材は、前記第2液体供給部と対向する第1状態及び対向しない第2状態の一方から他方に変化するように移動される液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を含む露光方法。 - 光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する露光方法であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備える液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成することと、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、
保護部材で記液浸空間の液体から前記光学部材が受ける圧力の変動を低減することと、を含む露光方法。 - 前記第2部材は、前記第2部材の少なくとも一部が前記第1部材の下方に配置された状態で、前記第1部材に対して移動する請求項85〜92のいずれか一項に記載の露光方法。
- 請求項85〜93のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - コンピュータに、光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置の制御を実行させるプログラムであって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、少なくとも一部が前記第1部材の下方に配置され、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、前記光学部材を保護する保護部と、を備える液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成することと、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、
前記保護部で前記液浸空間の液体から前記光学部材が受ける圧力の変動を低減することと、を実行させるプログラム。 - コンピュータに、光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置の制御を実行させるプログラムであって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、少なくとも一部が前記第1部材の下方に配置され、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、前記壁部の最下部は、前記第2上面と同じ高さ、又は前記第2上面よりも下方に配置される液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を実行させるプログラム。 - コンピュータに、光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置の制御を実行させるプログラムであって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、少なくとも一部が前記第1部材の下方に配置され、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、前記壁部の最下部は、前記第2下面と同じ高さ、又は前記第2下面よりも下方に配置される液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を実行させるプログラム。 - コンピュータに、光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置の制御を実行させるプログラムであって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、少なくとも一部が前記第1部材の下方に配置され、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、前記第2部材は、第2上面と、前記物体の表面と対向可能な第2下面と、を有し、前記壁部の最下部は、前記第2部材の第2上面よりも上方に配置され、前記光路に対して前記最下部の外側において、前記第1部材と前記第2上面との間に間隙が形成され、前記光学部材の光軸と平行な方向に関して、前記最下部と前記第2上面との距離は、前記間隙の寸法よりも小さい液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を実行させるプログラム。 - コンピュータに、光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置の制御を実行させるプログラムであって、
前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、少なくとも一部が前記第1部材の下方に配置され、前記物体と対向可能であり、前記光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、前記第1部材は、前記光学部材と前記第2部材との間に配置される壁部を有し、前記壁部は、前記光路に最も近い第1部位を有し、前記第2部材は、前記光路に最も近い第2部位を有し、前記第2部材の移動期間において、前記第2部位は、前記光路に対して前記第1部位の外側に配置され続ける液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を実行させるプログラム。 - コンピュータに、光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置の制御を実行させるプログラムであって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、少なくとも一部が前記第1部材の下方に配置され、前記物体と対向可能であり、前記射出面から射出される前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備え、前記第1部材は、少なくとも一部が前記第2部材と対向可能な第1下面を有し、前記第1下面は、第1領域と、前記光路に対して前記第1領域の外側に配置され、前記第1領域よりも上方に配置される第2領域と、を含む液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を実行させるプログラム。 - コンピュータに、光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置の制御を実行させるプログラムであって、
前記第1液体を供給する第1液体供給部と、前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、少なくとも一部が前記第1部材の下方に配置され、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、第2液体を供給する第2液体供給部と、を備え、前記第2部材は、前記第2液体供給部と対向する第1状態及び対向しない第2状態の一方から他方に変化するように移動される液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成すること、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、を実行させるプログラム。 - コンピュータに、光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置の制御を実行させるプログラムであって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、少なくとも一部が前記第1部材の下方に配置され、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、を備える液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成することと、
前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光の少なくとも一部において、前記第1部材に対して前記第2部材を移動することと、
保護部材で記液浸空間の液体から前記光学部材が受ける圧力の変動を低減することと、を実行させるプログラム。 - 請求項95〜102のいずれか一項に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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---|---|---|---|---|
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US9494870B2 (en) * | 2012-10-12 | 2016-11-15 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposing method, device manufacturing method, program, and recording medium |
US9651873B2 (en) | 2012-12-27 | 2017-05-16 | Nikon Corporation | Liquid immersion member, exposure apparatus, exposing method, method of manufacturing device, program, and recording medium |
US9720331B2 (en) * | 2012-12-27 | 2017-08-01 | Nikon Corporation | Liquid immersion member, exposure apparatus, exposing method, method of manufacturing device, program, and recording medium |
WO2015052781A1 (ja) | 2013-10-08 | 2015-04-16 | 株式会社ニコン | 液浸部材、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
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Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007005363A (ja) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2007053329A (ja) * | 2005-01-31 | 2007-03-01 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
WO2007129753A1 (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-15 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2008034801A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-02-14 | Canon Inc | 露光装置およびデバイス製造方法 |
US20090231560A1 (en) * | 2008-03-17 | 2009-09-17 | Nikon Corporation | Immersion lithography apparatus and method having movable liquid diverter between immersion liquid confinement member and substrate |
JP2009239286A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Nikon Corp | 液浸システム、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
JP2010157724A (ja) * | 2008-12-29 | 2010-07-15 | Nikon Corp | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
JP2011205121A (ja) * | 2005-11-16 | 2011-10-13 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
JP2012084879A (ja) * | 2010-10-14 | 2012-04-26 | Nikon Corp | 液浸露光装置、液浸露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
JP2012138511A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Nikon Corp | 露光装置の制御方法、露光装置、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
JP2012142461A (ja) * | 2011-01-01 | 2012-07-26 | Canon Inc | 露光装置及びデバイスの製造方法 |
WO2013153939A1 (en) * | 2012-04-10 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Liquid immersion member and exposure apparatus |
JP2013236000A (ja) * | 2012-05-10 | 2013-11-21 | Nikon Corp | 液浸部材、露光装置、露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG102627A1 (en) | 1996-11-28 | 2004-03-26 | Nikon Corp | Lithographic device |
DE69829614T2 (de) | 1997-03-10 | 2006-03-09 | Asml Netherlands B.V. | Lithographiegerät mit einer positioniervorrichtung mit zwei objekthaltern |
US6897963B1 (en) | 1997-12-18 | 2005-05-24 | Nikon Corporation | Stage device and exposure apparatus |
US6208407B1 (en) | 1997-12-22 | 2001-03-27 | Asm Lithography B.V. | Method and apparatus for repetitively projecting a mask pattern on a substrate, using a time-saving height measurement |
WO2001035168A1 (en) | 1999-11-10 | 2001-05-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Interference lithography utilizing phase-locked scanning beams |
US6452292B1 (en) | 2000-06-26 | 2002-09-17 | Nikon Corporation | Planar motor with linear coil arrays |
EP1364257A1 (en) | 2001-02-27 | 2003-11-26 | ASML US, Inc. | Simultaneous imaging of two reticles |
TW529172B (en) | 2001-07-24 | 2003-04-21 | Asml Netherlands Bv | Imaging apparatus |
TWI242691B (en) | 2002-08-23 | 2005-11-01 | Nikon Corp | Projection optical system and method for photolithography and exposure apparatus and method using same |
US7110081B2 (en) * | 2002-11-12 | 2006-09-19 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
EP1420302A1 (en) * | 2002-11-18 | 2004-05-19 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
CN101430508B (zh) | 2003-09-03 | 2011-08-10 | 株式会社尼康 | 为浸没光刻提供流体的装置和方法 |
US7589822B2 (en) | 2004-02-02 | 2009-09-15 | Nikon Corporation | Stage drive method and stage unit, exposure apparatus, and device manufacturing method |
SG10201710046XA (en) | 2004-06-09 | 2018-01-30 | Nippon Kogaku Kk | Substrate holding device, exposure apparatus having same, exposure method, method for producing device, and liquid repellent plate |
JP4444743B2 (ja) * | 2004-07-07 | 2010-03-31 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
KR101506100B1 (ko) | 2004-09-17 | 2015-03-26 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 |
SG124359A1 (en) * | 2005-01-14 | 2006-08-30 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP4844186B2 (ja) | 2005-03-18 | 2011-12-28 | 株式会社ニコン | プレート部材、基板保持装置、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
US7804577B2 (en) * | 2005-11-16 | 2010-09-28 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
US7864292B2 (en) | 2005-11-16 | 2011-01-04 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP4567651B2 (ja) * | 2005-11-16 | 2010-10-20 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 露光装置及びデバイス製造方法 |
WO2007083758A1 (ja) | 2006-01-19 | 2007-07-26 | Nikon Corporation | 移動体駆動方法及び移動体駆動システム、パターン形成方法及びパターン形成装置、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
US8004651B2 (en) | 2007-01-23 | 2011-08-23 | Nikon Corporation | Liquid recovery system, immersion exposure apparatus, immersion exposing method, and device fabricating method |
US8237911B2 (en) | 2007-03-15 | 2012-08-07 | Nikon Corporation | Apparatus and methods for keeping immersion fluid adjacent to an optical assembly during wafer exchange in an immersion lithography machine |
US8134685B2 (en) | 2007-03-23 | 2012-03-13 | Nikon Corporation | Liquid recovery system, immersion exposure apparatus, immersion exposing method, and device fabricating method |
US8068209B2 (en) | 2007-03-23 | 2011-11-29 | Nikon Corporation | Nozzle to help reduce the escape of immersion liquid from an immersion lithography tool |
SG151198A1 (en) * | 2007-09-27 | 2009-04-30 | Asml Netherlands Bv | Methods relating to immersion lithography and an immersion lithographic apparatus |
JP2009088037A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Nikon Corp | 露光方法及びデバイス製造方法、並びに露光装置 |
US8289497B2 (en) * | 2008-03-18 | 2012-10-16 | Nikon Corporation | Apparatus and methods for recovering fluid in immersion lithography |
US8896806B2 (en) | 2008-12-29 | 2014-11-25 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
US20110199591A1 (en) * | 2009-10-14 | 2011-08-18 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposing method, maintenance method and device fabricating method |
JP2011086804A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Nikon Corp | 液浸部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
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US9568828B2 (en) | 2012-10-12 | 2017-02-14 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposing method, device manufacturing method, program, and recording medium |
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007053329A (ja) * | 2005-01-31 | 2007-03-01 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2007005363A (ja) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2011205121A (ja) * | 2005-11-16 | 2011-10-13 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
WO2007129753A1 (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-15 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2008034801A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-02-14 | Canon Inc | 露光装置およびデバイス製造方法 |
US20090231560A1 (en) * | 2008-03-17 | 2009-09-17 | Nikon Corporation | Immersion lithography apparatus and method having movable liquid diverter between immersion liquid confinement member and substrate |
JP2009239286A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Nikon Corp | 液浸システム、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
JP2010157724A (ja) * | 2008-12-29 | 2010-07-15 | Nikon Corp | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
JP2012084879A (ja) * | 2010-10-14 | 2012-04-26 | Nikon Corp | 液浸露光装置、液浸露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
JP2012138511A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Nikon Corp | 露光装置の制御方法、露光装置、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
JP2012142461A (ja) * | 2011-01-01 | 2012-07-26 | Canon Inc | 露光装置及びデバイスの製造方法 |
WO2013153939A1 (en) * | 2012-04-10 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Liquid immersion member and exposure apparatus |
JP2013236000A (ja) * | 2012-05-10 | 2013-11-21 | Nikon Corp | 液浸部材、露光装置、露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
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