JPWO2013172278A1 - マイクロチャネルプレート - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 還元処理前に絶縁性を呈する一方、還元処理後に導電性を呈する鉛ガラスからなる本体を備えたマイクロチャネルプレートにおいて、
前記本体は、
それぞれが所定方向に沿って伸びた中空構造を有する第1クラッドガラスと、
前記複数の第1クラッドガラスそれぞれの外周面に接触した状態で前記複数の第1クラッドガラスの外周面で挟まれた空間に少なくとも一部が位置する第2クラッドガラスと、を備え、
還元処理前の比較において、前記第1クラッドガラスは、前記第2クラッドガラスの耐酸性よりも高い耐酸性を有することを特徴とするマイクロチャネルプレート。 - 塩酸、硝酸、硫酸、リン酸、およびこれらの混合液のうちのいずれかに対する耐性として、前記第1クラッドガラスの還元処理前の耐酸性は、前記第2クラッドガラスの還元処理前の耐酸性よりも高いことを特徴とする請求項1に記載のマイクロチャネルプレート。
- 前記第2クラッドガラスの鉛含有量は、前記第1クラッドガラスの鉛含有量よりも多いことを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロチャネルプレート。
- 還元処理前の前記第1クラッドガラスは、重量比20.0%以上48.0%未満の酸化鉛を含み、還元処理前の前記第2クラッドガラスは、重量比48.0%以上65.0%未満の酸化鉛を含むことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレート。
- 還元処理前の前記第1クラッドガラスは、重量比40.0%以上65.0%未満の二酸化珪素を含み、還元処理前の前記第2クラッドガラスは、重量比20.0%以上40.0%未満の二酸化珪素を含むことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレート。
- 前記第1クラッドガラスは、還元処理前において酸化ジルコニウムを含むことを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレート。
- 前記所定方向に直交する前記本体の断面において、前記第1クラッドガラスの外周が六角形に変形することにより、前記第2クラッドガラスがハニカム構造を構成していることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレート。
- 前記所定方向に直交する前記本体の断面において、前記断面に占める前記第1クラッドガラスの面積比は、前記断面に占める前記第2クラッドガラスの面積比よりも小さいことを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレート。
- 前記所定方向に直交する前記本体の断面において、前記断面に占める前記第2クラッドガラスの面積比は、25%以上であることを特徴とする請求項1〜8の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレート。
- 還元処理前に絶縁性を呈する一方、還元処理後に導電性を呈する鉛ガラスからなる本体を備えたマイクロチャネルプレートにおいて、
前記本体は、
それぞれが所定方向に沿って伸びた貫通孔を有するクラッドガラスであって、還元処理前において重量比48.0%以上65.0%未満の酸化鉛を含むクラッドガラスと、
前記クラッドガラスにおける複数の貫通孔の内壁上設けられたコーティング材であって、還元処理前において、前記クラッドガラスの還元処理前の耐酸性よりも高い耐酸性を有するコーティング材を備えたマイクロチャネルプレート。 - 還元処理前の前記クラッドガラスは、重量比20.0%以上40.0%未満の二酸化珪素を含むことを特徴とする請求項10に記載のマイクロチャネルプレート。
- 請求項1〜11の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレートを含むイメージインテンシファイヤ。
- 請求項1〜11の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレートを含むイオン検出器。
- 請求項13に記載のイオン検出器を含む検査装置。
- 質量分析装置、光電子分光装置、電子顕微鏡または光電子増倍管を含む請求項14に記載の検査装置。
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