JP6211515B2 - マイクロチャネルプレート、イメージインテンシファイヤ、荷電粒子検出器および検査装置 - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 鉛ガラスからなる本体を備えたマイクロチャネルプレートにおいて、
前記本体は、
それぞれが所定方向に沿って伸びた中空構造を有するとともに、所定の抵抗率を有する複数の第1クラッドガラスと、
前記複数の第1クラッドガラスそれぞれの外周面に接触した状態で前記複数の第1クラッドガラスの外周面で挟まれた空間に少なくとも一部が位置する第2クラッドガラスであって、前記複数の第1クラッドガラスそれぞれよりも低い抵抗率を有する第2クラッドガラスと、を備えたマイクロチャネルプレート。 - −70度〜+80度の温度範囲において、前記複数の第1クラッドガラスおよび前記第2クラッドガラスの抵抗率は、温度上昇とともに減少する傾向を有し、
前記温度範囲において、前記複数の第1クラッドガラスそれぞれにおける抵抗率の変化率は、前記第2クラッドガラスにおける抵抗率の変化率よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載のマイクロチャネルプレート。 - 前記第2クラッドガラスの鉛含有量は、前記複数の第1クラッドガラスそれぞれの鉛含有量よりも多いことを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロチャネルプレート。
- 前記所定方向に直交する前記本体の断面において、前記第2クラッドガラスがハニカム構造を構成していることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレート。
- 前記所定方向に直交する前記本体の断面において、前記断面に占める前記複数の第1クラッドガラスの面積比は、前記断面に占める前記第2クラッドガラスの面積比よりも小さいことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレート。
- 前記所定方向に直交する前記本体の断面において、前記断面に占める前記第2クラッドガラスの面積比は、25%以上であることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレート。
- 請求項1〜6の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレートを含むイメージインテンシファイヤ。
- 請求項1〜6の何れか一項に記載のマイクロチャネルプレートを含む荷電粒子検出器。
- 請求項8の荷電粒子検出器を含む検査装置。
- 質量分析装置、光電子分光装置、電子顕微鏡または光電子増倍管を含むことを特徴とする請求項9に記載の検査装置。
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