JPWO2012056620A1 - 超音波モータ - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第一実施形態にかかる超音波モータ10の構造を示す概略図である。図2A、図2Bは、振動子50の斜視図である。
はじめに、本実施形態の超音波モータ10の概要について説明する。
第一振動子領域51は、厚さ方向に分極された圧電素子20aおよび固定部30aを有する。第二振動子領域52は、厚さ方向に分極された圧電素子20bおよび固定部30bを有する。
発振回路80は、圧電素子20a、20bにそれぞれ交番電圧を印加して、第一振動子領域51および第二振動子領域52を個別に面拡がり方向に共振させる電圧印加手段である。
第一振動子領域51は、面拡がり方向の共振により固定部30aに対して接離方向に振動する第一振動部位(振動端部23a)を含む。第二振動子領域52は、面拡がり方向の共振により固定部30bに対して接離方向に振動する第二振動部位(振動端部23b)を含む。
本実施形態の超音波モータ10は、第一振動部位(振動端部23a)と第二振動部位(振動端部23b)とを連結する連結部55と、この連結部55に設けられた接触子60と、を備えている。
超音波モータ10は、接触子60によって移動子100を正方向または逆方向(図1の左方)に切り替え駆動する。本実施形態の移動子100の移動方向は直線方向であり、図1に白抜矢印で示す左右方向に対応する。本実施形態では、図1の右方を移動子100の正方向とし、図1の左方を逆方向とする。本実施形態の移動子100は、接触子60と接触して駆動力をうける付勢面102が基台104の表面に形成されてなる。基台104の裏面にはローラ106が設けられている。このほか、移動子100としては、回転ローラを枢支したものでもよい。この場合の移動方向は回転ローラの周方向(回転方向)となる。
駆動電極54a、54bは、第一振動子領域51および第二振動子領域52の一方面に個別に設けられて発振回路80により交番電圧が選択的に印加される印加電極である。共通電極54cは、圧電素子20の他方面に第一振動子領域51と第二振動子領域52とにまたがって形成されて交番電圧が同時に印加される印加電極である。
スイッチSW1のコモン端子S0は、発振器82の一方の出力端子83に常時接続されている。端子S1は第一振動子領域51の駆動電極54aと接続され、端子S2は第二振動子領域52の駆動電極54bと接続されている。発振器82の他方の出力端子84は第一振動子領域51および第二振動子領域52の共通電極54cと接続されている。このように、各電極領域に配線を行うだけでよいため、複雑な配線工程は不要である。
この状態で、スイッチSW1を端子S1側に入れると、交番電圧は駆動電極54aと共通電極54cに印加される。一方、スイッチSW1を端子S2側に入れると、交番電圧は駆動電極54bと共通電極54cに印加される。
これにより、スイッチSW1を端子S1に入れた場合には第一振動子領域51が共振し、第二振動子領域52は開放される。逆にスイッチSW1を端子S2に入れた場合には第二振動子領域52が共振し、第一振動子領域51は開放される。このとき、共振側と開放側の振動子領域は凹部36により実質的に分断されているため、共振側の振動子領域における歪みは、連結部55、56を変位させて接触子60を駆動するにとどまり、開放側の振動子領域には実質的に伝達されない。
かかる圧電素子20に対して、第一振動子領域51に印加する正弦波電圧の周波数を変化させながら圧電素子20のインピーダンスをシミュレートした。このとき、固定部30、接触子60、駆動電極54a、54bおよび共通電極54cの剛性は無視している。
これにより、連結部55に形成した接触子60(図1を参照)には、第一振動子領域51の共振により図5における右上方向に間欠的に駆動力が生じる。
このように、本実施形態の印加手段(発振回路80)は、交番電圧を印加する圧電素子20a、20bの選択を切り替えることで、接触子60の往復運動の軌跡を変化させる。
図7Aは、本実施形態にかかる超音波モータ10(振動子50)を示す平面模式図である。図7Bは、連結部55の近傍に関する部分拡大図である。
具体的には、第一接続部55aの延在する角度θは30度であり、振動端部23aが共振する角度φは45度である。なお、振動端部23bの接離方向D4と基準方向D1とのなす角も30度である。
言い換えると、本実施形態の振動子50のモード形状は、接触子60が移動子100(図1を参照)に対して最大の付勢力を与える位相において第一接続部55a(第二接続部55b)の延在方向が振動端部23a(振動端部23b)の変位方向と略一致する。
図9Aは、第一振動子領域51と第二振動子領域52が略同一の正方形であって、かつ対角線同士が直線状に配置されている第一変形例にかかる振動子50の模式図である。図9Bは、第一振動子領域51と第二振動子領域52が略同一の円形である第二変形例にかかる振動子50の模式図である。各図において、固定部30aを固定して駆動電極54aに正弦波電圧を印加した場合の共振方向を両側矢印で示している。
この変形例のように第一振動子領域51と第二振動子領域52をそれぞれ円形とすることで、それぞれの振動子において等方的な面拡がり振動が生じるため、周縁部24の任意の位置から第一接続部55a、第二接続部55bを延出させた場合も接触子60を好適に駆動することができる。
図10は、本実施形態の振動子50の分解斜視図である。
本実施形態の振動子50は、第一振動子領域51、第二振動子領域52および連結部55に亘る金属製のベース部材58を備えている。第一振動子領域51および第二振動子領域52は、交番電圧の印加電極である駆動電極54aが形成された圧電素子20がベース部材58にそれぞれ接合されて構成されている。
これにより、第一振動子領域51には面拡がり方向の共振が生じる。そして、ベース部材58の長辺部中央に設けた接触子60には、この長辺方向に対して斜め直線方向の軌跡を描く振動が生じる。直線あるいは回転自在などに設置されている移動子100(図1を参照)に接触子60が接触することで、これを移動させることができる。
そして、正弦波電圧の給電と開放を第一振動子領域51と第二振動子領域52とで切り替えることにより、移動子100の移動方向の正逆の切り替えが可能となる。
図12は、本実施形態の超音波モータ10の構造を示す概略図である。本実施形態の超音波モータ10は、第一実施形態と同様に振動子50を用いて移動子100を駆動するものであり、発振回路80が帰還発振器(アンプ)112、第1回路C1および第2回路C2を含む自励発振回路により構成されていることを特徴とする。振動子50、弾性部材33、34、移動子100、基台104、ローラ106および設置台110は第一実施形態と共通である。
端子S11は、駆動電極54bとアース端子115との間に接続された抵抗R11、R12の中間に設けられている。端子S12は、駆動電極54aとアース端子116との間に接続された抵抗R21、R22の中間に設けられている。
帰還発振器112の発振周波数は、圧電素子20a、20bの共振周波数に設定されている。
つまり、本実施形態の超音波モータ10によれば、スイッチSW2を切り替えるだけで、移動子100を左右方向に選択的に移動させることができる。
図13は、本実施形態の超音波モータ10の構造を示す概略図である。本実施形態の超音波モータ10は、図7Aに示した第二実施形態の振動子50を用いて移動子100を駆動するものである。弾性部材33、34、移動子100、基台104、ローラ106および設置台110は第一実施形態と共通である。図13では、連結部55を図中下方に配置して接触子60を付勢面102に当接させ、移動子100の左右方向に駆動する状態を示している。
ここで、発振回路80が圧電素子20aと圧電素子20bに交番電圧を同時に印加するとは、圧電素子20aに対する印加時間と圧電素子20bに対する印加時間との少なくとも一部同士が重複していることをいう。
そして、位相差(θ1)を反転して、第二振動子領域52に印加する第二電圧をV0・sin(ωt−90°)=−V0・cos(ωt)とすると、連結部55、56の回転方向は反転する。具体的には、図14Bに示すように、第一の連結部55は図中の反時計回り(CCW)に楕円運動し、第二の連結部56は時計回り(CW)に楕円運動する。
かかる圧電素子20に対して、第一振動子領域51には第一電圧として正弦波電圧を印加し、第二振動子領域52には第一電圧との位相差が+90度の第二電圧を印加した。そして、これらの周波数を同時に変化させながら圧電素子20のインピーダンスをシミュレートした。このとき、固定部30、接触子60、駆動電極54a、54bおよび共通電極54c(図13を参照)の剛性は無視した。
図16Aから図16Dは、この共振周波数の正弦波電圧(第一電圧)を第一振動子領域51に印加し、第二振動子領域52に上記の第二電圧を印加した状態における圧電素子20をFEM解析して得られた変位モード図である。図5と同様に、変位モード図では変位量の大きい部位を濃色で示し、変位量の少ない部位を淡色で示している。
図17は、本実施形態の振動子50の分解斜視図である。
本実施形態の振動子50は、第一の圧電素子20aおよび第二の圧電素子20bと、連結部55を含む金属製のフレーム部59と、を備えている。フレーム部59は、第一の圧電素子20aおよび第二の圧電素子20bをそれぞれ嵌め込んで装着するための貫通孔38を有している。第一の圧電素子20aおよび第二の圧電素子20bの表裏の主面には、電極(駆動電極54)が設けられている(裏面側の電極は図示省略)。
たとえば上記各実施形態において、第一振動子領域51および第二振動子領域52は固定部30a、30bの一点でそれぞれ固定することを例示したが、これに限られない。複数点にて第一振動子領域51および第二振動子領域52をそれぞれ固定してもよい。この場合において、振動端部23a、23bが固定部に対してそれぞれ接離方向に振動するとは、当該複数点の固定部のうちの一つまたは複数点の固定部の重心位置に対して接近または離間する方向に振動することを意味する。また、上記実施形態では二つの振動子領域を横並びに配置してそれぞれに交番電圧を印加することを例示したが、これに限られない。3以上の振動子領域を配置してもよい。
(1)厚さ方向に分極された圧電素子および固定部をそれぞれ有する第一振動子領域および第二振動子領域と、前記圧電素子にそれぞれ交番電圧を印加して前記第一振動子領域および前記第二振動子領域を個別に面拡がり方向に共振させる印加手段と、前記第一振動子領域と前記第二振動子領域とを連結する連結部と、前記連結部に設けられた接触子と、を備え、前記第一振動子領域は、前記共振により前記第一振動子領域の前記固定部に対して接離方向に振動する第一振動部位を含み、前記第二振動子領域は、前記共振により前記第二振動子領域の前記固定部に対して接離方向に振動する第二振動部位を含み、前記連結部は、前記第一振動部位と前記第二振動部位とを連結していることを特徴とする超音波モータ。
(2)前記連結部が、前記第一振動部位から前記接触子に向かって延在する第一接続部と、前記第二振動部位から前記接触子に向かって延在する第二接続部と、を有し、前記第一接続部と前記第二接続部の延在方向が互いに交叉していることを特徴とする上記(1)に記載の超音波モータ。
(3)前記第一接続部と前記第二接続部とが互いに交叉して連結されて、前記連結部が鉤型に屈曲して形成されている上記(2)に記載の超音波モータ。
(4)前記第一振動部位が前記第一振動子領域の周縁部であり、前記第二振動部位が前記第二振動子領域の周縁部であり、かつ、前記接触子が、前記第一振動子領域または前記第二振動子領域が前記面拡がり方向に共振したときの変位量が極大となる位置に設けられている上記(1)から(3)のいずれかに記載の超音波モータ。
(5)前記第一振動子領域と前記第二振動子領域との間に凹部が設けられている上記(1)から(4)のいずれかに記載の超音波モータ。
(6)前記第一振動子領域および前記第二振動子領域が、互いに隣接する矩形状をなし、前記凹部が、前記第一振動子領域および前記第二振動子領域の互いに近接する辺同士の間に形成された、前記辺に沿って延在するスリット状の貫通孔である上記(5)に記載の超音波モータ。
(7)第一および第二の前記圧電素子と、前記圧電素子の表裏面に設けられた電極と、前記連結部を含む金属製のフレーム部と、を備え、前記フレーム部は、前記第一および第二の圧電素子を嵌め込んで装着するための貫通孔を有する上記(1)から(6)のいずれかに記載の超音波モータ。
(8)前記印加手段が、前記第一振動子領域の前記圧電素子に前記交番電圧を印加し、かつ同時に前記第二振動子領域の前記圧電素子に前記交番電圧と位相が異なる他の交番電圧を印加して、前記接触子を円運動または楕円運動させることを特徴とする上記(1)から(7)のいずれかに記載の超音波モータ。
(9)前記印加手段が、前記交番電圧と前記他の交番電圧との位相差を正負反転または増減させる位相差調整手段を含み、前記位相差調整手段が前記位相差を正負反転または増減させることで、前記接触子の前記円運動もしくは前記楕円運動の回転方向が反転し、または前記円運動もしくは前記楕円運動の軌跡が変化することを特徴とする上記(8)に記載の超音波モータ。
(10)前記第一振動子領域の前記固定部と前記第二振動子領域の前記固定部とを結ぶラインの両側に第一の前記連結部と第二の前記連結部とが設けられ、前記第一の連結部と前記第二の連結部には前記接触子がそれぞれ設けられており、前記第一の連結部の前記接触子の前記円運動もしくは前記楕円運動の回転方向と、前記第二の連結部の前記接触子の前記円運動もしくは前記楕円運動の回転方向と、が互いに反対である上記(8)または(9)に記載の超音波モータ。
(付記2)上記接触子を移動子に予圧する付勢手段をさらに備える上記の超音波モータ。
(付記3)上記第一振動子領域と上記第二振動子領域とが、互いに略同一の長方形、正方形または円形である上記の超音波モータ。
(付記4)上記面拡がり方向の共振による上記第一振動子領域および上記第二振動子領域の変位モード形状が、上記圧電素子の面央部を不動点とし周縁部を最大変位点とすることを特徴とする上記の超音波モータ。
(付記5)上記第一接続部および上記第二接続部を収容する筐体をさらに備えるとともに、上記固定部が上記不動点を上記筐体に固定する上記の超音波モータ。
(付記6)上記第一振動子領域と上記第二振動子領域との並び方向を基準として、上記第一接続部の延在方向が、上記接離方向よりも浅い角度である上記の超音波モータ。
(付記7)上記接触子が、上記連結部の少なくとも外側の表面に上記第一接続部および上記第二接続部よりも硬質の材料が皮膜形成されてなることを特徴とする上記の超音波モータ。
(付記8)上記印加手段が、交番電圧の印加を上記第一振動子領域と上記第二振動子領域とに切り替えることで、上記接触子の上記面拡がり方向の変位成分が、上記第一振動子領域と上記第二振動子領域との並び方向に反転する上記の超音波モータ。
(付記9)上記第一振動子領域および上記第二振動子領域の一方面に個別に設けられて上記交番電圧が上記印加手段により選択的に印加される駆動電極と、他方面に上記第一振動子領域と上記第二振動子領域とにまたがって形成されて上記交番電圧が同時に印加される共通電極と、を備える。
(付記10)上記第一振動子領域および上記第二振動子領域における上記圧電素子と上記連結部とが圧電材料により一体に形成されているとともに、上記圧電素子の一方面には上記第一振動子領域および上記第二振動子領域に駆動電極が個別に積層され、上記圧電素子の他方面には上記第一振動子領域および上記第二振動子領域に亘る共通電極が積層されている上記の超音波モータ。
(付記11)上記第一振動子領域、上記第二振動子領域および上記連結部に亘る金属製のベース部材を備え、上記第一振動子領域および上記第二振動子領域は、上記交番電圧の印加電極が形成された上記圧電素子が上記ベース部材にそれぞれ接合されて構成されている上記の超音波モータ。
(付記12)上記第一振動子領域と上記第二振動子領域との間に、上記第一振動子領域と上記第二振動子領域の並び方向に対して交叉する方向に延在する凹部が貫通孔として形成されている上記の超音波モータ。
(付記13)前記印加手段が、前記第一振動子領域の前記圧電素子または前記第二振動子領域の前記圧電素子に選択的に前記交番電圧を印加して、前記接触子を往復運動させる上記の超音波モータ。
(付記14)前記交番電圧を印加する前記圧電素子の選択を前記印加手段が切り替えることで、前記接触子の往復運動の軌跡が変化することを特徴とする上記の超音波モータ。
Claims (10)
- 厚さ方向に分極された圧電素子および固定部をそれぞれ有する第一振動子領域および第二振動子領域と、前記圧電素子にそれぞれ交番電圧を印加して前記第一振動子領域および前記第二振動子領域を個別に面拡がり方向に共振させる印加手段と、前記第一振動子領域と前記第二振動子領域とを連結する連結部と、前記連結部に設けられた接触子と、を備え、
前記第一振動子領域は、前記共振により前記第一振動子領域の前記固定部に対して接離方向に振動する第一振動部位を含み、
前記第二振動子領域は、前記共振により前記第二振動子領域の前記固定部に対して接離方向に振動する第二振動部位を含み、
前記連結部は、前記第一振動部位と前記第二振動部位とを連結していることを特徴とする超音波モータ。 - 前記連結部が、前記第一振動部位から前記接触子に向かって延在する第一接続部と、前記第二振動部位から前記接触子に向かって延在する第二接続部と、を有し、前記第一接続部と前記第二接続部の延在方向が互いに交叉していることを特徴とする請求項1に記載の超音波モータ。
- 前記第一接続部と前記第二接続部とが互いに交叉して連結されて、前記連結部が鉤型に屈曲して形成されている請求項2に記載の超音波モータ。
- 前記第一振動部位は、前記第一振動子領域の周縁部であって前記面拡がり方向に共振したときの変位量が極大となる位置であり、
前記第二振動部位は、前記第二振動子領域の周縁部であって前記面拡がり方向に共振したときの変位量が極大となる位置である請求項1から3のいずれか一項に記載の超音波モータ。 - 前記第一振動子領域と前記第二振動子領域との間に凹部が設けられている請求項1から4のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記第一振動子領域および前記第二振動子領域が、互いに隣接する矩形状をなし、
前記凹部が、前記第一振動子領域および前記第二振動子領域の互いに近接する辺同士の間に形成された、前記辺に沿って延在するスリット状の貫通孔である請求項5に記載の超音波モータ。 - 第一および第二の前記圧電素子と、前記圧電素子の表裏面に設けられた電極と、前記連結部を含む金属製のフレーム部と、を備え、
前記フレーム部は、前記第一および第二の圧電素子を嵌め込んで装着するための貫通孔を有する請求項1から6のいずれか一項に記載の超音波モータ。 - 前記印加手段が、前記第一振動子領域の前記圧電素子に前記交番電圧を印加し、かつ同時に前記第二振動子領域の前記圧電素子に前記交番電圧と位相が異なる他の交番電圧を印加して、前記接触子を円運動または楕円運動させることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の超音波モータ。
- 前記印加手段が、前記交番電圧と前記他の交番電圧との位相差を正負反転または増減させることで、前記接触子の前記円運動もしくは前記楕円運動の回転方向が反転し、または前記円運動もしくは前記楕円運動の軌跡が変化することを特徴とする請求項8に記載の超音波モータ。
- 前記第一振動子領域の前記固定部と前記第二振動子領域の前記固定部とを結ぶラインの両側に第一の前記連結部と第二の前記連結部とが設けられ、前記第一の連結部と前記第二の連結部には前記接触子がそれぞれ設けられており、
前記第一の連結部の前記接触子の前記円運動もしくは前記楕円運動の回転方向と、前記第二の連結部の前記接触子の前記円運動もしくは前記楕円運動の回転方向と、が互いに反対である請求項8または9に記載の超音波モータ。
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