JP2009225655A - 超音波モータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】矩形型の圧電振動子が、第一次縦振動モードと第二次屈曲振動モードとを組み合わせた多重振動モードで振動することにより駆動力を発生する超音波モータであって、前記圧電振動子が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向の長さをLとし、前記圧電振動子が第二次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向の長さをdとし、d/Lを変数として、d/Lと前記圧電振動子の第一次縦振動モードの共振周波数とを対応させると共に、d/Lと第二次縦振動モードの共振周波数とを対応させた場合、前記圧電振動子は、同一のd/Lの値に対する第一次縦振動モードの共振周波数の値から、第二次屈曲振動モードの共振周波数の値を減算した減算値が、負の数から正の数に変わるときのd/Lの値に基づいて形成されている。
【選択図】図1
Description
次に、本発明に係る実施形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る圧電振動子の斜視図である。この圧電振動子1は、圧電セラミックスから形成されており、分極方向は、図1に示す座標軸のz軸方向に一致している。また、圧電振動子1が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向は、x軸と平行であり、圧電振動子1のx軸方向の長さはLである。また、圧電振動子1が第二次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向は、y軸と平行であり、圧電振動子1のy軸方向の長さ(厚さ)はdである。
本実施形態では、圧電振動子は、単板セラミックスを使用した。この単板セラミックスを、20.0mm×12.8mm×3.0mmに加工した後、20.0mm×12.8mmの一面に2行2列の4分割、その裏面には全面に銀電極を印刷塗布し、850℃で焼付けを行なった。その後、120℃のシリコンオイル中で、2kV/mmの電界強度で一様に分極処理して圧電振動子を作製した。摺動チップは、球状アルミナセラミックスを半球化したものを使用した。
1a チップ
1b 圧電基板
2 被駆動体
4a 電極
4b 電極
5a 交流電圧源
5b 交流電圧源
10 超音波モータ
Claims (3)
- 矩形型の圧電振動子が、第一次縦振動モードと第二次屈曲振動モードとを組み合わせた多重振動モードで振動することにより駆動力を発生する超音波モータであって、
前記圧電振動子が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向の長さをLとし、前記圧電振動子が第二次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向の長さをdとし、d/Lを変数として、d/Lと前記圧電振動子の第一次縦振動モードの共振周波数とを対応させると共に、d/Lと第二次縦振動モードの共振周波数とを対応させた場合、
前記圧電振動子は、同一のd/Lの値に対する第一次縦振動モードの共振周波数の値から、第二次屈曲振動モードの共振周波数の値を減算した減算値が、負の数から正の数に変わるときのd/Lの値に基づいて形成されていることを特徴とする超音波モータ。 - 矩形型の圧電振動子が、第一次縦振動モードと第二次屈曲振動モードとを組み合わせた多重振動モードで振動することにより駆動力を発生する超音波モータであって、
前記圧電振動子が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向の長さをLとし、前記圧電振動子が第二次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向の長さをdとした場合、
前記圧電振動子は、d/Lの値が0.55から0.65の範囲に収まるように形成されていることを特徴とする超音波モータ。 - 矩形型の圧電振動子が、第一次縦振動モードと第二次屈曲振動モードとを組み合わせた多重振動モードで振動することにより駆動力を発生する超音波モータであって、
前記圧電振動子が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向の長さをLとし、前記圧電振動子が第二次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向の長さをdとした場合、
前記圧電振動子は、d/Lの値が実質的に0.63となるように形成されていることを特徴とする超音波モータ。
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- 2008-08-29 JP JP2008221605A patent/JP5457651B2/ja not_active Expired - Fee Related
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