JPWO2011155594A1 - モジュールのトリミング処理方法及びトリミング処理装置 - Google Patents

Abstract

刃先を刃厚方向において径方向の外方に向かうに従い尖鋭状に傾斜させた回転刃を、前記基板側へ前記基板の厚み方向に沿った軸心回りに傾斜させる切断角度を持たせ、かつ、一方向に回転させた状態で、該回転刃と前記モジュールとのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に沿って相対的に移動させつつ前記余剰部を切除する。【選択図】図５

Description

本発明は、封止部材によって基板を封止した太陽電池モジュール等のモジュールにおける前記封止部材の余剰部を除去するトリミング処理方法及びトリミング処理装置に関する。

近年、環境保全に対する取り組みが重要視されるようになっており、省資源化や省エネルギー化が求められている。省エネルギー化に対する取り組みとしては、例えば、太陽電池モジュール等を用いた環境に負荷を与えない発電方法が各地で実施されている。こうした状況を受けて、太陽電池モジュール等のモジュールを安定して生産することが必要とされている。

太陽電池モジュール等のモジュールは、一般的に、太陽電池セル等の半導体セルを搭載した透明ガラス等の基板をエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）やバックシート等の封止部材で覆う構造となっている。

図３７は、薄膜太陽電池モジュール１０における構造の一例の構成を概略的に示す断面図である。

図３７に示す薄膜太陽電池モジュール（以下、単にモジュールという）１０は、受光側（表面１０ｂ）からガラス基板１１、ガラス基板１１に形成された表側電極１２、表側電極１２に積層された半導体層である太陽電池セル１３、太陽電池セル１３に積層された裏側電極１４、第１封止部材として作用するＥＶＡ１５、第２封止部材として作用するバックシート１６がこの順に積層されたモジュールとなっており、太陽電池セル１３の両端部をリード線１７ａで連結して端子ボックス１７にある端子１７ｂから電力を取り出すようになっている。そして、これらの構成要素を端面１０ａでシールするために、モジュール１０の端面１０ａに端面シール材１８を設け、端面シール材１８を介して封止保護枠として作用するアルミ枠１９で囲む構造になっている。なお、図３７に示すモジュール１０において、ＥＶＡ１５を用いずに、表側電極１２、裏側電極１４、及び太陽電池セル１３が搭載されたガラス基板（以下、単に基板という）１１にバックシート１６のみを被着する場合もある。

図３８は、モジュール１０の製造工程において、基板１１にＥＶＡ１５及びバックシート１６を被着した状態のモジュール１０を概略的に示す断面図である。

モジュール１０の製造工程においては、図３８に示すように、基板１１にＥＶＡ１５及びバックシート１６を被着した（基板１１をＥＶＡ１５及びバックシート１６で封止した）モジュール１０では、ＥＶＡ１５及びバックシート１６の一部が基板１１の周縁部からはみ出す。なお、図３８において、符号１５ａは、基板１１の周縁部からはみ出したＥＶＡ１５の余剰部を示し、符号１６ａは、基板１１の周縁部からはみ出したバックシート１６の余剰部を示している。

このようなモジュール１０を製造する場合においては、ＥＶＡ１５及びバックシート１６による基板１１の封止後に、基板１１の周縁部からはみ出した余剰部１５ａ，１６ａを除去するトリミング処理工程を行う必要がある。

余剰部１５ａ，１６ａを切除するトリミング処理方法として、例えば、特許文献１は、切断手段として一方向に長いナイフ状のカッター板を用い、該ナイフ状のカッター板を超音波によって上下方向に振動させるトリミング処理（段落［００６０］）を開示している。また、特許文献１は、このトリミング処理において、あおり角を設けた姿勢で余剰部を切断することで、切断した余剰部を封止済モジュールの基板の各辺から遠ざけるスクレーパとして利用できる上、この切断に伴って発生する熱で熱可塑性の余剰部の切断箇所が溶けることがあっても、それによる該余剰部の再付着を防止できる点（段落［００６１］）、さらには、切断手段として、丸鋸、ダイシングカッターを用いる点（段落［００２５］）を開示している。

特開２００１−３２００６９号公報

そして、トリミング処理工程の後には、端面シール材１８でモジュール１０の端面１０ａを封止する端面封止工程を行う。

図３９は、端面シール材１８でモジュール１０の端面１０ａを封止する工程の一例を説明するための概略側面図である。図３９（ａ）は、モジュール１０の厚み方向（Ｚ方向）において端面シール材１８の中央部をモジュール１０の端面１０ａに貼り付ける状態を示しており、図３９（ｂ）は、モジュール１０の厚み方向（Ｚ方向）において端面シール材１８の両端部（図３９に示す吸着ヘッド２０の両端部２０ａ，２０ｂ付近の部位を参照）をモジュール１０の表面１０ｂ及び裏面１０ｃに貼り付ける状態を示している。

図３９に示すように、端面封止工程では、モジュール１０の厚み方向（Ｚ方向）の両端部２０ａ，２０ｂが折れ曲がり可能とされた吸着ヘッド２０に端面シール材１８を吸着させ、端面シール材１８を吸着した吸着ヘッド２０をモジュール１０の端面１０ａに平行に近づけて、吸着ヘッド２０の中央部２０ｃの端面シール材１８をモジュール１０の端面１０ａに沿って貼り付ける（図３９（ａ）参照）。そして、吸着ヘッド２０の両端部２０ａ，２０ｂを中央部２０ｃに対して９０°に折り曲げて、吸着ヘッド２０の両端部２０ａ，２０ｂに吸着した端面シール材１８の両端部をモジュール１０の表面１０ｂ及び裏面１０ｃに沿って貼り付ける（図３９（ｂ）参照）。

図３９に示すような端面封止工程においては、端面シール材１８をモジュール１０に貼り付ける場合、切り残し部１５ｂ，１６ｂ（図４０参照）の切り残し量によって、端面シール材１８が垂れて貼付不良を招く。

図４０は、トリミング処理工程での切り残し部１５ｂ，１６ｂの切り残し量によって端面封止工程で発生し得る不都合を説明するための概略断面図である。また、図４１は、図４０に示すモジュール１０の端面１０ａ部分を拡大した拡大断面図である。図４１（ａ）は、図４０に示すモジュール１０の端面１０ａ部分を示しており、図４１（ｂ）は、図４１（ａ）に示すα１部分を拡大して示している。

図４１に示すように、バックシート１６は、この例では２層に分かれており、端面シール材１８は、この例ではブチル層１８ａと、厚さ約１７μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）層１８ｂと、発泡層１８ｃとの３層に分かれている。

そして、トリミング処理工程での切り残し部１５ｂ，１６ｂの切り残し量が多かったり、不安定（切り残し量が不均一）であったりすると、端面シール材１８が切り残し部１５ｂ，１６ｂに対して線接触となり、モジュール１０の端面１０ａに対する端面シール材１８の貼付面積が確保できない。そうすると、端面シール材１８が垂れ、貼付不良が発生しやすくなる（図４１（ａ）のβ１部分参照）。また、端面シール材１８は、モジュール１０との絶縁を確保する役割もあるが、切り残し量が多いと、切り残し部１５ｂ，１６ｂが端面シール材１８を貫通するリスクが高くなる（図４１（ｂ）のγ部分参照）。例えば、切り残し部１５ｂ，１６ｂが端面シール材１８に貫通して端面シール材１８が破れてしまうと、耐圧不良を招く。

この点に関し、特許文献１に記載のトリミング処理は、超音波によって基板の上下方向に振動するカッター板を、モジュールの周囲に沿って移動させて余剰部を切除するものであり、余剰部を切断するにあたって、カッター板が超音波によって上下方向に振動する。そのため、カッター板の運動方向が、上から下への移動と、下から上への移動とを交互に繰り返し、移動方向が切り替わる時に瞬間的にカッターが停止する。ここで、カッター板が上下に移動するのに合わせて余剰部が切除されるため、せん断応力が一様でなく、例えば、アルミ金属箔を積層したバックシートでは切断面の波打ち形状（凹凸形状）が発生して切断面にムラが生じ、これにより切り残し量が安定せず、端面シール材の貼付不良や耐圧不良を招きやすいという課題がある。

そこで、本発明は、封止部材によって基板を封止したモジュールにおける前記封止部材の余剰部を除去するトリミング処理方法及びトリミング処理装置であって、切り残し量を安定させることができ、これにより端面シール材の貼付不良や耐圧不良等の切り残し量のバラツキに伴う不具合の発生を効果的に防止することができるモジュールのトリミング処理方法及びトリミング処理装置を提供することを目的とする。

本発明者は、前記課題を解決するために、鋭意研究を重ねたところ、次のことを見出した。

すなわち、封止部材によって基板を封止したモジュールにおける前記封止部材の余剰部を除去する場合、外周端の刃先を刃厚方向において径方向の外方に向かうに従い尖鋭状に傾斜させた回転刃を用い、この回転刃を一方向に回転させた状態で前記余剰部を切断すれば、従来のナイフ状のカッター板の如く、瞬間的にカッターが停止することがないため、せん断応力を一様にでき、切断面のムラを抑制でき、これにより切り残し量を安定させることができる。また、一方向に回転する前記回転刃を前記基板の端面に沿った切断方向に平行にした状態で前記余剰部を切断すると、前記基板から離れる方向に働く力により、一方向に回転する前記回転刃が回転軸方向にブレやすくなるため、切り残し量のバラツキが大きくなり、場合によっては、切断面が凹凸状になる。このため、一方向に回転する前記回転刃を前記基板側へ前記基板の厚み方向に沿った軸心回りに傾斜させる切断角度を持たせ状態で前記余剰部を切断すれば、前記回転刃の回転軸方向のブレを低減させることができ、それだけ切り残し量を安定させることができる。

本発明は、かかる知見に基づくものであり、前記課題を解決するために、次のモジュールのトリミング処理方法及びトリミング処理装置を提供する。

（１）モジュールのトリミング処理方法
本発明にかかるモジュールのトリミング処理方法は、封止部材によって基板を封止したモジュールにおける前記封止部材の余剰部を除去するトリミング処理方法であって、刃先を刃厚方向において径方向の外方に向かうに従い尖鋭状に傾斜させた回転刃を、前記基板側へ前記基板の厚み方向に沿った軸心回りに傾斜させる切断角度を持たせ、かつ、一方向に回転させた状態で、該回転刃と前記モジュールとのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に沿って相対的に移動させつつ前記余剰部を切除することを特徴とする。

（２）モジュールのトリミング処理装置
本発明にかかるモジュールのトリミング処理装置は、封止部材によって基板を封止したモジュールにおける前記封止部材の余剰部を除去するトリミング処理装置であって、刃先を刃厚方向において径方向の外方に向かうに従い尖鋭状に傾斜させた回転刃と、前記回転刃を前記基板側へ前記基板の厚み方向に沿った軸心回りに傾斜させる切断角度を持たせた状態で該回転刃を支持する回転刃支持部と、前記回転刃を一方向に回転させるための回転駆動部と、前記回転刃と前記モジュールとのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に沿って相対的に移動させる切断用移動部とを備えていることを特徴とする。

本発明によれば、前記回転刃を前記基板側へ前記基板の厚み方向に沿った軸心回りに傾斜させる前記切断角度を持たせ、かつ、一方向に回転させた状態で、該回転刃と前記モジュールとのうち少なくとも一方を前記切断方向に沿って相対的に移動させつつ前記余剰部を切除するので、切り残し量を安定させることができ、これにより端面シール材の貼付不良や耐圧不良等の切り残し量のバラツキに伴う不具合の発生を効果的に防止することができる。しかも、前記回転刃の刃先は、刃厚方向において径方向の外方に向かうに従い尖鋭状に傾斜したものであるので、丸鋸を用いた場合の如く、目詰まりを起こしたり、凹凸形状の切断面になったりすることがない。丸鋸を用いた場合、すぐに目詰まりを起こすだけでなく、凹凸形状の切断面になりやすく、これにより、切り残し量が安定しないため、量産には不向きである。また、従来のナイフ状のカッター板では、カッターとしての使用可能長さが小さく、寿命が短くなるところ、本発明では、切断手段として前記回転刃を使用しているため、使用可能な長さが直径の円周率（約３．１４）倍の長さとなり、これにより、切断手段が長寿命になり、従来のナイフ状のカッター板では実現困難な切断手段の寿命にすることが可能となる。また、ダイジングカッターを用いる場合には、ダイヤモンドを使用するので高コストであり、しかも、基板が損傷する危険性が非常に高く、未強化基板や薄膜状の基板には不向きである。また、上記の特許文献１に示すように、超音波によってカッターを振動させる場合、「出力１５０Ｗ以上で稼働」という記述があるが（段落［００６０］）、これは高出力であり、コスト面から量産にあたっては好ましくない。また、消耗品の交換作業等のメンテナンス作業時での安全面の点でも、カッターを低出力で駆動させることが好ましい。これに対して、本発明によれば、前記回転刃を一方向に回転させるので、例えば、低消費電力の駆動モーターを用いるができ、これにより、切断手段を低出力で駆動することができる。従って、低消費電力化を実現できかつメンテナンス作業時の安全性を確保することができる。さらに、丸鋸やダイシングカッターは再研磨が困難であるが、本発明では、容易に再研磨した前記回転刃を使用することができ、それだけ、切断手段のランニングコストを抑えることができる。つまり、本発明によれば、切断手段の寿命を延ばすことができる上、切断手段を低出力で駆動することができ、従って、低消費電力化かつメンテナンス作業時の安全性の確保を実現でき、しかも、切断手段のランニングコストを抑えることができる。

本発明において、前記回転刃の前記切断角度が大きくなると、前記回転刃に対して回転軸方向（曲げる方向）に力を受けやすい。従って、この力が大きくなると、前記回転刃が回転軸方向に曲がりやすく、刃先の磨耗や寿命の低下につながりやすい。一方、前記回転刃の前記切断角度が０°に近づくと、前記回転刃が前記基板の端面から離れる方向に力が働き、これにより切り残し量が増加しやすくなる。かかる観点から、本発明において、前記回転刃の前記切断角度は、０．６°〜１０°の範囲のうち何れかの値であってもよい。

本発明において、前記余剰部を切断するときの前記回転刃の周速度の好ましい範囲として、２．０ｍ／ｓ〜５．５ｍ／ｓの範囲のうち何れかの値であってもよい。周速度が２．０ｍ／ｓより小さくなると、前記封止部材の切断面が凹凸になりやすく、切り残し量が増加してバラツキが多くなる傾向を示す。一方、周速度が５．５ｍ／ｓよりも大きくなると、切削時に前記封止部材（例えばエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ））との摩擦抵抗が大きくなりやすく、融解する前記封止部材が多くなるため、前記回転刃の刃先に融解した前記封止部材が付着し、切断能力が著しく低下する傾向を示す。

本発明において、前記余剰部を切断するときの前記回転刃と前記モジュールとの相対移動速度の好ましい範囲として、２３３．３ｍｍ／ｓ以下の範囲のうち何れかの値であってもよい。相対移動速度が２３３．３ｍｍ／ｓを超えると、前記封止部材の切断面が凹凸になりやすく、切り残し量が増加してバラツキが多くなる。

本発明において、前記回転刃によって切除される前記余剰部の浮き上がりを浮き上がり規制部材を備えて、浮き上がり規制部材によって前記余剰部の浮き上がりを規制してもよい。すなわち、本発明に係るトリミング処理装置において、前記回転刃によって切除される前記余剰部の浮き上がりを規制する浮き上がり規制部材を備えていることが好ましい。

この特定事項では、前記浮き上がり規制部材によって、前記回転刃のせん断応力による前記余剰部の浮き上がりを抑制することができ、前記回転刃による前記余剰部の切断をスムーズに行うことができる。なお、前記回転刃により前記余剰部を切断するときの前記モジュールの前記基板に対応する部分の上面と前記浮き上がり規制部材の前記余剰部との接触面との距離（押さえ高さ）は、−１．０ｍｍ〜０ｍｍの範囲のうち何れかの値が好ましく、−０．５ｍｍ程度にすることがより好ましい。ここで、前記押さえ高さのマイナスの値は、前記浮き上がり規制部材の前記余剰部との接触面が前記モジュールの前記上面よりも前記回転刃の回転軸側にある場合の値を表している。

本発明において、前記刃先の先端角度は、小さすぎると、剛性を維持し難く、大きすぎると、切断能力が低下しやすい。そこで、本発明において、前記刃先の先端角度は、１０°〜３０°の範囲のうち何れかの値であってもよい。

本発明において、保持ローラーによって前記回転刃に対して非接触の状態で前記モジュールを一方の面で保持してもよい。すなわち、本発明に係るトリミング処理装置において、前記回転刃に対して非接触の状態で前記モジュールを保持する保持ローラーを備えていることが好ましい。

この特定事項では、前記保持ローラーが前記モジュールを保持するときには前記回転刃に対して非接触であるので、前記保持ローラーの接触による前記回転刃への負荷をなくすことができる。これにより、前記回転刃の変形を抑制でき、それだけ切り残し量を安定させることができる。しかも、前記保持ローラーにより前記基板を保持しながら前記回転刃により前記余剰部を切断することができる。これにより、前記基板のソリや前記封止部材の厚みのバラツキなどで、前記モジュールの厚みに凹凸があったり、前記モジュールの厚み方向における切断位置が微小に異なっていたりしても、前記回転刃と前記基板との前記基板の厚み方向における位置関係を一定に維持させたまま前記回転刃による前記余剰部の切断を行うことができる。

本発明において、前記保持ローラーは、ローラー部と、周方向に沿って前記ローラー部から径方向の外方に突出した段差部とを有してもよい。

この特定事項では、前記保持ローラーは前記ローラー部と前記段差部とを有するので、前記保持ローラーの外周面と前記モジュールとの接触面積を減らすことができ、これにより、前記回転刃の高さ位置の位置精度を高めることができる。

本発明において、前記回転刃は、前記切断方向に対して順方向に回転してもよいし、前記切断方向とは逆方向に回転してもよい。すなわち、本発明に係るトリミング処理装置において、前記回転駆動部は、前記回転刃を、前記切断方向に対して順方向に回転させるか又は前記切断方向とは逆方向に回転させることが好ましい。

この特定事項では、前記回転刃の回転方向を前記順方向にする場合には、前記回転刃の刃先の摩耗を少なくすることができ、切断効率を向上させることができる。また、前記回転刃の回転方向を前記逆方向にする場合よりも切り残し量を安定させることができる。一方、前記回転刃の回転方向を前記逆方向にする場合には、前記余剰部の切粉が前記切断方向とは逆方向に掻き出されるため、該切粉が前記回転刃による前記余剰部の邪魔になり難くすることができる。

本発明において、前記回転刃と前記モジュールとのうち少なくとも一方を前記基板の厚み方向に沿って相対的に移動させてもよい。すなわち、本発明に係るトリミング処理装置において、前記回転刃と前記モジュールとのうち少なくとも一方を前記基板の厚み方向に沿って相対的に移動させる厚み方向移動部を備えてもよい。

この特定事項では、前記回転刃の回転中心を前記モジュールよりも下方にするか、或いは上方にするかによって、前記回転刃の回転方向を容易に前記順方向又は前記逆方向にすることができる。なお、前記回転刃により切断するときの前記余剰部の長さは、前記回転刃が逆方向の回転の場合は３ｍｍ以上が好ましく、前記回転刃が順方向の回転の場合は１ｍｍ以上が好ましい。

本発明において、前記回転刃を前記基板側へ前記切断方向に沿った軸心回りに傾斜させる傾斜角度を持たせた状態で前記余剰部を切除してもよい。すなわち、本発明に係るトリミング処理装置において、前記切断用移動部は、前記回転刃を前記基板側へ前記切断方向に沿った軸心回りに傾斜させる傾斜角度を持たせた状態で前記回転刃と前記モジュールとのうち少なくとも一方を前記切断方向に沿って相対的に移動させてもよい。

この特定事項では、前記回転刃を前記基板側へ前記切断方向に沿った軸心回りに傾斜させる前記傾斜角度を持たせた状態で前記余剰部を切除することで、前記回転刃の前方から受ける抵抗力を分散でき、これにより、前記回転刃が前記基板から離れることを防止することができる。

本発明において、前記基板の対向する２辺の余剰部を同時に切除するように、一対の前記回転刃を備えてもよい。

この特定事項では、前記基板の対向する２辺の余剰部を同時に切除するように、一対の前記回転刃を備えるので、前記基板の対向する２辺の余剰部を同時に切除できることによって、処理速度を向上させることができる。

本発明において、前記回転刃の前記傾斜角度が０°（前記回転刃が前記基板に対して垂直）の状態では、前記回転刃が外側に逃げる方向に変形しやすくなる。一方、前記回転刃の前記傾斜角度が大きくなるにつれて、前記回転刃の前記余剰部に対する切断長さが増加するため、前記回転刃の寿命低下につながりやすくなる。かかる観点から、本発明において、前記回転刃の前記傾斜角度は、０°より大きくかつ１５°以下の範囲のうち何れかの値であってもよい。

本発明において、前記回転駆動部の回転軸を回転軸カバーによって覆ってもよい。すなわち、本発明に係るトリミング処理装置において、前記回転駆動部の回転軸を覆う回転軸カバーを備えてもよい。

この特定事項では、前記回転軸カバーによって、前記回転駆動部の回転軸の露出を無くすことができ、これにより、前記余剰部の前記回転駆動部の回転軸への巻き込みを防止することができる。

本発明において、切除された前記余剰部の切粉をエアブロー装置によって吹き飛ばしてもよい。すなわち、本発明に係るトリミング処理装置において、切除された前記余剰部の切粉を吹き飛ばすエアブロー装置を備えてもよい。

この特定事項では、前記エアブローによって、前記回転刃の切断点（例えば、前記回転刃の前記余剰部との接触部の前記切断方向における下流側の端）を標的にすることで切断直後に発生し得る切粉を容易に吹飛ばすことができる。

本発明において、切除された前記余剰部の切粉を吸塵装置によって吸引してもよい。すなわち、本発明に係るトリミング処理装置において、切除された前記余剰部の切粉を吸引する吸塵装置を備えてもよい。

この特定事項では、前記吸塵装置によって、前記回転刃の切断点（例えば、前記回転刃の前記余剰部との接触部の前記切断方向における下流側の端）を標的にすることで切断直後に発生し得る切粉を容易に吸引することができる。

前記回転刃に用いることができる材料としては、ＳＫ材、ハイス鋼等を挙げることができる。但し、それに限定されるものではない。

前記封止部材としては、代表的には、エチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）やバックシートを例示できる。ＥＶＡの材料は、例えば、特開２００６−１３４９６９号公報で知られているような組成のものに対して有効である。

具体的には、ＥＶＡの材料として、エチレンを主成分とし、これと共重合可能な単量体との共重合体であって、エチレンと酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等のビニルエステルの共重合体、エチレンとアクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸ｎ ブチル、メタクリル酸メチル等の不飽和カルボン酸エステルの共重合体、エチレンとアクリル酸、メタクリル酸などの不飽和カルボン酸の共重合体または、そのアイオノマー、 エチレンとプロピレン、１ − ブテン、１ − ヘキセン、１ − オクテン、４ − メチル− １ − ペンテン、などのα − オレフィンの共重合体、或いはこれらの２種以上の混合物などを例示できる。

前記バックシートとしては、１層のもの（ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系）、３層のもの（ＰＥＴ系／金属箔・金属酸化物層／ＰＥＴ系）のものが知られており、特開２００９−１８８２９９号公報で知られているような材料を挙げることができる。

具体的には、前記バックシートの材料として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリシクロヘキサンジメタノール−テレフタレート（ＰＣＴ）から選ばれるポリエステル基材、ポリカーボネート系基材、或いはアクリル系基材から選択することができる。その他のポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアリレート系樹脂などについても、耐熱性、強度物性、電気絶縁性等を考慮して適宜選択することが可能である。

フッ素系樹脂フィルムの材料としては、例えば、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリエチレンテトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、或いはこれらフッ素系樹脂のアクリル変性物のフィルム又はシートから適宜選択することができる。

金属酸化物蒸着層・金属箔層としては、例えば、酸化珪素または酸化アルミニウム、銅、アルミ箔などから選択することができる。

以上説明したように、本発明によると、切り残し量を安定させることができ、これにより端面シール材の貼付不良や耐圧不良等の切り残し量のバラツキに伴う不具合の発生を効果的に防止することができる。

図１は、モジュールの余剰部をトリミング処理するトリミング処理方法を実施する本発明の実施の形態１に係るトリミング処理装置の概略構成を示す平面図である。 図２は、モジュールにおける封止部材の長辺側の余剰部をトリミング処理する工程の一例を説明するための概略平面図である。 図３は、モジュールにおける封止部材の短辺側の余剰部をトリミング処理する工程の一例を説明するための概略平面図である。 図４は、余剰部切断機構を中心に示す図であって、図１に示すトリミング処理装置のＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図５は、回転刃によって余剰部を切断している状態を示す図であって、図５（ａ）は、その概略断面図であり、図５（ｂ）は、その概略平面図であり、図５（ｃ）は、図１に示すトリミング処理装置の回転刃部分を回転軸の方向の内側から視た概略側面図である。 図６は、回転刃の切断角度の好ましい値を説明するための説明図であって、図６（ａ）は、回転刃の切断角度が大きすぎる場合での回転刃に受ける力の状態を示す図であり、図６（ｂ）は、回転刃の切断角度が小さすぎる場合での回転刃に受ける力の状態を示す図である。 図７は、端面封止工程において端面シール材でモジュールの端面が封止される状態を示す概略断面図である。 図８は、端面封止工程において端面シール材で封止したモジュールの端面部分を拡大した拡大断面図である。 図９は、回転刃において２段階に傾斜させた刃先の一例を概略的に示す側面図である。 図１０は、トリミング処理装置の回転刃による余剰部の切断部分を概略的に示す側面図である。 図１１は、切断方向に対する回転刃の回転方向を説明するための概略側面図であって、図１１（ａ）は、回転刃が切断方向に対して順方向に回転している状態を示す図であり、図１１（ｂ）は、回転刃が切断方向とは逆方向に回転している状態を示す図である。 図１２は、回転刃を刃先が基板側に向くように切断方向に沿った軸心回りに傾斜させて余剰部を切断している状態を示す説明図であって、図１２（ａ）は、トリミング処理装置における回転刃部分の概略側面図であり、図１２（ｂ）は、余剰部の切断状態を拡大した拡大側面図である。 図１３は、回転刃支持部に対して回転軸を覆う回転軸カバーの一例が設けられる場合の回転軸部分を概略的に示す側面図である。 図１４は、トリミング処理装置に備えられたエアブロー装置を概略的に示す側面図であって、図１４（ａ）は、エアブロー装置の一例を示しており、図１４（ｂ）は、エアブロー装置の他の例を示している。 図１５は、トリミング処理装置に備えられた第１吸塵装置の一例を概略的に示す図であって、図１５（ａ）は、その側面図であり、図１５（ｂ）は、その断面図である。 図１６は、トリミング処理装置に備えられた第２吸塵装置の一例を概略的に示す側面図である。 図１７は、第２吸塵装置が設けられたトリミング処理装置において、回転刃の回転方向を逆方向にする場合での切断後の切粉と余剰部との状態を示す概略側面図である。 図１８は、第２吸塵装置が設けられたトリミング処理装置において、回転刃の回転方向を順方向にする場合での切断後の切粉と余剰部との状態を示す概略側面図である。 図１９は、余剰部を切断するにあたって回転刃の切断角度の最適条件を明確にするための実験機を示す図であって、図１９（ａ）は、実験機の概略平面図であり、図１９（ｂ）は、実験機の回転刃部分の概略平面図である。 図２０は、図１９に示す実験機でのモジュールにおける余剰部の回転刃による切断状態を示す平面図であって、図２０（ａ）は、回転刃の切断角度を示すと共に回転刃の刃先と基板との間の隙間を示す図であり、図２０（ｂ）は、回転刃にて切断後の切り残し部の切り残し量に示す図である。 図２１は、切断角度の調整を容易化したことを説明するための説明図であって、図２１（ａ）は、回転軸の方向から視て基板とオーバーラップする回転刃の部分のＹ（Ｘ）方向における第１距離を示す側面図であり、図２１（ｂ）は、基板とオーバーラップする回転刃の部分における切断方向の下流側端部と上流側端部とのＸ（Ｙ）方向における第２距離を示す平面図であり、図２１（ｃ）は、切断角度を得るための第２距離の値を示す表である。 図２２は、封止部材をバックシートのみとし、回転刃の刃先と基板との隙間を０．２ｍｍとした時の切り残し量と切削抵抗とを示すグラフであって、図２２（ａ）及び図２２（ｂ）は、それぞれ、回転刃の回転方向を逆方向及び順方向とした切断角度に対する切り残し量を示すグラフであり、図２２（ｃ）及び図２２（ｄ）は、それぞれ、回転刃の回転方向を逆方向及び順方向とした切断角度に対する引っ張り力を示すグラフである。 図２３は、封止部材をバックシートのみとし、回転刃の刃先と基板との隙間を０．４ｍｍとした時の切り残し量と切削抵抗とを示すグラフであって、図２３（ａ）及び図２３（ｂ）は、それぞれ、回転刃の回転方向を逆方向及び順方向とした切断角度に対する切り残し量を示すグラフであり、図２３（ｃ）及び図２３（ｄ）は、それぞれ、回転刃の回転方向を逆方向及び順方向とした切断角度に対する引っ張り力を示すグラフである。 図２４は、封止部材をＥＶＡ及びバックシートとし、回転刃の刃先と基板との隙間を０．２ｍｍとした時の切り残し量と切削抵抗とを示すグラフであって、図２４（ａ）及び図２４（ｂ）は、それぞれ、回転刃の回転方向を逆方向及び順方向とした切断角度に対する切り残し量を示すグラフであり、図２４（ｃ）及び図２４（ｄ）は、それぞれ、回転刃の回転方向を逆方向及び順方向とした切断角度に対する引っ張り力を示すグラフである。 図２５は、封止部材をＥＶＡ及びバックシートとし、回転刃の刃先と基板との隙間を０．４ｍｍとした時の切り残し量と切削抵抗とを示すグラフであって、図２５（ａ）及び図２５（ｂ）は、それぞれ、回転刃の回転方向を逆方向及び順方向とした切断角度に対する切り残し量を示すグラフであり、図２５（ｃ）及び図２５（ｄ）は、それぞれ、回転刃の回転方向を逆方向及び順方向とした切断角度に対する引っ張り力を示すグラフである。 図２６は、比較例の切り残し量と実施例１の切り残し量とを示すグラフである。 図２７は、モジュールの余剰部の切断後のモジュールの切断開始部分を拡大して示す概略平面図であって、図２７（ａ）は、浮き上がり規制部材を設けていない実施例２の場合を示す図であり、図２７（ｂ）は、浮き上がり規制部材を設けた実施例３の場合を示す図である。 図２８は、バックシートのはみ出し量及び浮き上がり規制部材の押さえ高さを変化させた場合での回転刃の切断状態を調べた実施例４を説明するための説明図であって、図２８（ａ）は、実施例４の実験条件を示す図であり、図２８（ｂ）は、実施例４の実験結果を示す表である。 図２９は、本発明の実施の形態２に係るトリミング処理装置の概略構成を示す平面図である。 図３０は、余剰部をトリミング処理する工程を説明するための概略平面図であって、図３０（ａ）は、長辺側の余剰部を切断する状態を示す説明図であって、図３０（ｂ）は、短辺側の余剰部を切断する状態を示す説明図である。 図３１は、切断用移動部支持機構を中心に示す図であって、図２９の矢符Ａ−Ａに沿った断面図である。 図３２は、余剰部切断機構を中心に示す図であって、図２９の矢符Ｂ−Ｂに沿った断面図である。 図３３は、図２９に示すトリミング処理装置の回転刃部分を回転軸の方向の内側から視た概略側面図である。 図３４は、回転刃において２段階に傾斜させた刃先の一例を概略的に示す側面図である。 図３５は、トリミング処理装置の回転刃による余剰部の切断部分を概略的に示す側面図である。 図３６は、加熱した電熱線を用いたモジュールの余剰部を切除する方法を示す説明図である。 図３７は、薄膜太陽電池モジュールにおける構造の一例の構成を概略的に示す断面図である。 図３８は、モジュールの製造工程において、基板にＥＶＡ及びバックシートを被着した状態のモジュールを概略的に示す断面図である。 図３９は、端面シール材でモジュールの端面を封止する工程の一例を説明するための概略側面図であって、図３９（ａ）は、モジュールの厚み方向において端面シール材の中央部をモジュールの端面に貼り付ける状態を示す図であり、図３９（ｂ）は、モジュールの厚み方向において端面シール材の両端部をモジュールの表面及び裏面に貼り付ける状態を示す図である。 図４０は、トリミング処理工程での切り残し部の切り残し量によって端面封止工程で発生し得る不都合を説明するための概略断面図である。 図４１は、図４０に示すモジュールの端面部分を拡大した拡大断面図であって、図４１（ａ）は、図４０に示すモジュールの端面部分を示す図であり、図４１（ｂ）は、図４１（ａ）に示すα１部分を拡大して示す図である。

以下、本発明に係る実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下に示す実施の形態は、本発明を具体化した例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。

−実施の形態１−
（トリミング処理装置の全体構成について）
図１は、モジュール１０の余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理するトリミング処理方法を実施する本発明の実施の形態１に係るトリミング処理装置１００の概略構成を示す平面図である。図２は、モジュール１０における封止部材１５，１６（ここではＥＶＡ１５及びバックシート１６、以下、ＥＶＡ１５及びバックシート１６という）の長辺側の余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理する工程の一例を説明するための概略平面図である。図３は、モジュール１０における封止部材１５，１６の短辺側の余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理する工程の一例を説明するための概略平面図である。

ここで、モジュール１０は、図３７に示すものと同様のものである。よって、図３７に示すものと同一符号を付し、ここではモジュール１０についての詳しい説明を省略する。

トリミング処理装置１００は、図２に示すように、モジュール１０を第１ステージＳＴ１に向けて搬送方向（図２のＹ２方向）に搬送し、リフトアップする。

第１ステージＳＴ１においてモジュール１０における基板１１の一方側（Ｙ方向に沿う側、ここでは長辺側）の２辺を基板１１の端面１１ａ，１１ａに沿った切断方向（Ｙ１方向）に沿って同時に切断し、その後、図３に示すように、モジュール１０を第２ステージＳＴ２に向けて搬送方向Ｙ２に搬送し、リフトアップした後、第２ステージＳＴ２において他方側（Ｘ方向に沿う側、ここでは短辺側）の２辺を切断方向（Ｘ１方向）に沿って同時に切断するようになっている。

なお、長辺側で余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理する第１ステージＳＴ１と、短辺側で余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理する第２ステージＳＴ２とでは切断方向が９０°異なる以外は実質的に同じ構成及び動作である。よって、図１では、長辺側で余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理する第１ステージＳＴ１でのトリミング処理装置１００を示し、短辺側で余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理する第２ステージＳＴ２でのトリミング処理装置１００については図示及びその説明を省略する。

図１から図３に示すように、トリミング処理装置１００は、セル（ここでは、太陽電池セル等の半導体セル）が搭載された四角形状の基板１１（ここでは、透明ガラス等の透明絶縁基板）をＥＶＡ１５及びバックシート１６によって封止するモジュール１０（ここでは、太陽電池モジュール等の半導体モジュール）を製造する製造過程において、基板１１に被着されたＥＶＡ１５及びバックシート１６の基板１１の周縁部から外側にはみ出た余剰部１５ａ，１６ａ（後述する図５参照）を回転刃１２１によって除去するものである。

トリミング処理装置１００は、モジュール１０を水平に載置する昇降式の載置台１１３（後述する図４参照）と、Ｘ方向に沿って延びている第１支持部１１０ａと、Ｙ方向に沿って延びている第２支持部１１１ｂとを備えている。第１支持部１１０ａは、Ｙ方向に間隔をおいて配設された一対のものとされており、垂直方向に立設された支柱（図示せず）を介して床面Ｇ（図４参照）にそれぞれ固定されている。第２支持部１１１ｂは、Ｘ方向に間隔をおいて配設された一対のものとされており、Ｙ方向における両端部が一対の第１支持部１１０ａ，１１０ａに支持されている。

トリミング処理装置１００は、基板位置決め機構（図示省略）と、余剰部切断機構１２０とを備えている。

（基板位置決め機構について）
基板位置決め機構は、ＣＣＤカメラ等の撮像手段を用いて、基板１１の輪郭を位置情報として検出し、得られた位置情報に基づき移動手段によりモジュール１０をＸ方向に移動させるようになっている。なお、モジュール１０及び回転刃１２１の少なくとも一つをＸ方向に移動させるようになっていてもよい。

（余剰部切断機構について）
図４は、余剰部切断機構１２０を中心に示す図であって、図１に示すトリミング処理装置１００のＡ−Ａ線に沿った断面図である。また、図５は、回転刃１２１によって余剰部１５ａ，１６ａを切断している状態を示す図である。図５（ａ）は、その概略断面図であり、図５（ｂ）は、その概略平面図であり、図５（ｃ）は、図１に示すトリミング処理装置１００の回転刃１２１，１２１部分を回転軸１２２ａの方向の内側から視た概略側面図である。図５（ｂ）において、ＥＶＡ１５及びバックシート１６は図示を省略している。なお、余剰部１５ａ，１６ａの切断状態において、基板１１の一辺側と他辺側とでは実質的に同じ構成となっている。よって、図４及び図５では、基板１１の一辺側に代表させて示し、基板１１の他辺側については図示を省略してある。このことは後述する各図についても同様である。

図１、図４及び図５に示すように、余剰部切断機構１２０は、Ｘ方向の両側に設けられた回転刃１２１，１２１と、回転刃１２１，１２１をそれぞれ回転駆動する回転駆動部１２２，１２２と、回転刃１２１，１２１の回転軸１２２ａをそれぞれ回転自在に支持する回転刃支持部１２３，１２３と、載置台１１３に載置されたモジュール１０を保持する保持部１２４，１２４と、回転刃支持部１２３，１２３をそれぞれ切断方向Ｙ１に移動させるための切断用移動部１２５，１２５とを備えている。

回転刃１２１，１２１は、回転駆動部１２２，１２２の回転軸１２２ａ，１２２ａの方向から視て円形状のものであり、刃厚方向（図５（ａ）のＷ方向）において径方向（図５（ａ）のＶ方向）の外方に向かうに従い尖鋭状に傾斜させた刃先１２１ａ（図５参照）を有している。

回転駆動部１２２，１２２は、回転刃１２１，１２１を回転させる回転モーターとさており、回転軸１２２ａ，１２２ａと回転刃１２１，１２１とが同軸上に連結されている。回転駆動部１２２，１２２は、回転刃１２１，１２１を一方側（切断方向Ｙ１に対して順方向）に回転させる順回転動作と、回転刃１２１，１２１を他方側（切断方向Ｙ１とは逆方向）に回転させる逆回転動作とを切り替え可能に駆動されるようになっている。

回転刃支持部１２３，１２３は、余剰部１５ａ，１６ａを切断する刃先１２１ａが基板１１側に向くように基板１１の厚み方向（Ｚ方向）に沿った軸心回りに傾斜させる切断角度θ（図５（ｂ）参照）を持たせた状態で基板１１の端面１１ａに対して閉じた方向で回転刃１２１，１２１の回転軸１２２ａを回転自在に支持している。ここで、切断角度θは、基板１１の表面１１ｂ及び裏面１１ｃに垂直な方向から視て、基板１１の端面１１ａに沿った仮想面Ｅ１（図５（ｂ）参照）と、回転刃１２１の回転軸１２２ａに直交する側面１２１ｂに沿った仮想面Ｅ２（図５（ｂ）参照）とのなす角度とされている。

図１及び図４に示すように、保持部１２４，１２４は、それぞれ、Ｙ方向に沿って複数設けられており（ここではモジュール１０をＹ方向の両側で保持する一対のものとされており）、載置台１１３に向けてモジュール１０を押圧するクランプ部（基板押さえ部）１２４ａ，１２４ａと、クランプ部１２４ａ，１２４ａをＺ方向に往復移動させる押圧部移動機構１２４ｂ，１２４ｂとを有している。

クランプ部１２４ａ，１２４ａは、モジュール１０のＥＶＡ１５及びバックシート１６に接触する接触面１２４ｃ，１２４ｃを有し、接触面１２４ｃ，１２４ｃでモジュール１０を確実に保持できるようになっている。押圧部移動機構１２４ｂ，１２４ｂは、クランプ部１２４ａ，１２４ａをＺ方向に往復移動させるアクチュエーター１２４ｄ，１２４ｄを有している。アクチュエーター１２４ｄ，１２４ｄは、支持部材１２４ｅ，１２４ｅによって第２支持部１１１ｂ，１１１ｂに支持されたシリンダー１２４ｆ，１２４ｆと、シリンダー１２４ｆ，１２４ｆに対してＺ方向に可動するピストン１２４ｇ，１２４ｇとを含んでいる。クランプ部１２４ａ，１２４ａは、ピストン１２４ｇ，１２４ｇの先端部に設けられている。本実施の形態では、一方側（図１中の右側）のクランプ部１２４ａは、一方側の複数の（ここでは一対の）保持部１２４間で（図１中の上下方向に）一体的に連結されており、他方側（図１中の左側）のクランプ部１２４ａは、他方側の複数の（ここでは一対の）保持部１２４間で（図１中の上下方向に）一体的に連結されている。

切断用移動部１２５，１２５は、回転刃１２１，１２１とモジュール１０とのうち少なくとも一方（ここでは回転刃１２１，１２１）を切断方向（ここでは回転刃１２１，１２１の進行方向）Ｙ１に沿って相対的に移動させるものであり、回転刃支持部１２３，１２３をＹ方向に沿って案内するガイド部１２５ａ，１２５ａと、回転刃支持部１２３，１２３をＹ方向に往復移動させる回転刃切断方向移動機構１２５ｂ，１２５ｂをそれぞれ備えている。ここでは、切断用移動部１２５，１２５は、回転刃１２１，１２１が切断開始時には低速の第１移動速度（具体的には７０ｍｍ／ｓ）で移動し、所定時間（例えば１秒）経過後に第１移動速度よりも速い高速の第２移動速度（具体的には２２１．７ｍｍ／ｓ）に切り替わる構成とされている。なお、回転刃１２１，１２１の周速度は、ここでは、３．２ｍ／ｓとされている。

具体的には、ガイド部１２５ａ，１２５ａは、第２支持部１１１ｂ，１１１ｂに設けられており、第２支持部１１１ｂ，１１１ｂに対して回転刃支持部１２３，１２３をＹ方向に移動自在に案内する従動式ＬＭガイド（Linear Motion Guide）を有している。回転刃切断方向移動機構１２５ｂ，１２５ｂは、回転刃支持部１２３，１２３をＹ方向に往復移動させる走行駆動部１２５ｃ，１２５ｃを有している。走行駆動部１２５ａ，１２５ａは、図示しない回転軸に連結された車輪を含む走行部１２５ｄ，１２５ｄをガイド部１２５ａ，１２５ａ上に走行させることで回転刃支持部１２３，１２３をＹ方向に往復移動させるようになっている。

（トリミング処理工程について）
以上説明したトリミング処理装置１００では、モジュール１０の余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理するにあたり、図２に示すように、モジュール１０における基板１１の長辺側の余剰部１５ａ，１６ａを切断する第１ステージＳＴ１へと搬送し、載置台１１３に載置する。

［モジュール位置決め工程］
次に、図示しない基板位置決め機構によって、モジュール１０を位置決めし、押圧部移動機構１２４ｂによって、クランプ部１２４ａ，１２４ａを下降させ、クランプ部１２４ａ，１２４ａによりモジュール１０を押さえ、クランプ部１２４ａ，１２４ａと載置台１１３との間でモジュール１０を保持する（図４の破線参照）。

［余剰部切断工程］
そして、回転刃支持部１２３，１２３により回転刃１２１，１２１を基板１１側へＺ方向に沿った軸心回りに傾斜させる切断角度θを持たせ（図５（ｂ）参照）、かつ、回転駆動部１２２，１２２により一方向に回転させた状態で、回転刃１２１，１２１とモジュール１０とのうち少なくとも一方（ここでは回転刃１２１，１２１）を切断用移動部１２５，１２５により切断方向Ｙ１に沿って相対的に移動させつつ基板１１の長辺側の余剰部１５ａ，１６ａを切断する。

余剰部１５ａ，１６ａの切断後、押圧部移動機構１２４ｂ，１２４ｂによって、クランプ部１２４ａ，１２４ａを上昇させてモジュール１０を解放し、モジュール１０をリフトダウンさせて、図３に示すように、モジュール１０を基板１１の短辺側の余剰部１５ａ，１６ａを切断する第２ステージＳＴ２へと搬送する。

そして、第２ステージＳＴ２に搬送されたモジュール１０を第１ステージＳＴ１と同様にしてクランプ部１２４ａ，１２４ａと載置台１１３との間で保持した後、モジュール１０に対して、回転刃支持部１２３，１２３により回転刃１２１，１２１を基板１１側へＺ方向に沿った軸心回りに傾斜させる切断角度θを持たせ、かつ、回転駆動部１２２，１２２により一方向に回転させた状態で、回転刃１２１，１２１とモジュール１０とのうち少なくとも一方（ここでは回転刃１２１）を切断用移動部１２５，１２５により切断方向Ｘ１に沿って相対的に移動させつつ基板１１の短辺側の余剰部１５ａ，１６ａを切断する。

上記した特許文献１に記載の従来のトリミング処理では、余剰部を切断するにあたって、カッター板が超音波によって上下方向に振動するので、せん断応力が一様でない。このため、切断面にムラが生じ、これにより切り残し量が安定しない。これに対し、本実施の形態に係るトリミング処理装置１００によれば、余剰部１５ａ，１６ａを切除するにあたって、回転刃１２１，１２１を一方向に回転させるので、せん断応力を一様にすることができ、切断面のムラを抑制でき、これにより切り残し量を安定させることができる。

しかも、一方向に回転する回転刃１２１，１２１を基板１１側へＺ方向に沿った軸心回りに傾斜させる切断角度θを持たせるので、回転刃１２１，１２１の回転軸方向のブレを低減させることができ、それだけ切り残し部１５ｂ，１６ｂの切り残し量を安定させることができる。

すなわち、ＥＶＡ１５及びバックシート１６は、図５（ａ）に示すように、基板１１上では（図５（ａ）のＨ領域参照）基板１１に固定された状態に、基板１１より外側では（図５（ａ）のＳ領域参照）フリーな状態になっている。従って、回転刃１２１が刃厚方向Ｗの両側から受ける反作用力が均等でないため、回転刃１２１が基板１１から離れる方向に力ｆが働く。特に、コスト面との兼ね合いから、回転刃１２１の剛性が低い程、回転刃１２１を基板１１の端面１１ａに対して水平にすると、基板１１から離れる方向の力ｆにより回転刃１２１がブレやすくなるため、それだけ、切り残し部１５ｂ，１６ｂの切り残し量のバラツキが大きくなり、さらには、切断面が凹凸状になる場合がある。そのため、本実施の形態では、回転刃１２１，１２１において予め切断角度θをつけることによって、この力ｆによる回転刃１２１，１２１のブレを低減することを狙いとしている（後述する図２２から図２５の実験例において、切断角度θと切り残し量の相関関係参照）。

図６は、回転刃１２１，１２１の切断角度θの好ましい値を説明するための説明図である。図６（ａ）は、回転刃１２１，１２１の切断角度θが大きすぎる場合での回転刃１２１，１２１に受ける力の状態を示しており、図６（ｂ）は、回転刃１２１，１２１の切断角度θが小さすぎる場合での回転刃１２１，１２１に受ける力の状態を示している。

図６（ａ）に示すように、回転刃１２１，１２１の切断角度θが大きすぎる場合（具体的には切断角度θが１０°より大きい場合）では、回転刃１２１，１２１が切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に対して抵抗力Ｆを受けるため、回転刃１２１，１２１の切断角度θが大きくなると、それだけ、回転刃１２１，１２１を曲げる方向に力（Ｆｓｉｎθ）を受けることになる。この力（Ｆｓｉｎθ）が大きくなり過ぎると、回転刃１２１，１２１が基板１１側に曲がり、刃先１２１ａ，１２１ａが磨耗しやすくなり、これにより回転刃１２１，１２１の寿命の低下につながる。

一方、図６（ｂ）に示すように、回転刃１２１，１２１の切断角度θが小さすぎる場合（具体的には切断角度θが０．６°より小さい場合）では、回転のブレなどの回転刃１２１，１２１の回転に起因する影響により、回転刃１２１，１２１において刃先１２１ａ，１２１ａが基板１１の端面１１ａに対して開く方向に傾斜してしまう（図６（ｂ）では回転刃１２１，１２１の状態を強調して示している）。そうすると、回転刃１２１，１２１が基板１１の端面１１ａから離れる方向に力Ｆが働くため、切り残し部１５ｂ，１６ｂの切り残し量が増加し、切り残し量の安定性の低下を招く。

このため、切断角度θの下限値は０．６°程度であることが好ましく、また、ｓｉｎ１０°（＝０．１７）で力Ｆの約２０％の分力を受けるという観点から、上限値は１０°程度であることが好ましい。

［端面封止工程］
次に、端面シール材１８（図３９参照）でモジュール１０の端面１０ａを封止する端面封止工程を行うが、これについては図３９に示す工程と同様の工程であるため、ここでは端面封止工程についての詳しい説明を省略する。

図３９に示す端面封止工程では、前記した余剰部切断工程による余剰部１５ａ，１６ａの切断において余剰部１５ａ，１６ａの切り残し量が安定しているために、端面シール材１８の貼付不良や耐圧不良等の切り残し量のバラツキに伴う不具合の発生を効果的に防止することができる。これについて図７及び図８を参照しながら詳しく説明する。

図７は、端面封止工程において端面シール材１８でモジュール１０の端面１０ａが封止される状態を示す概略断面図である。図８は、端面封止工程において端面シール材１８で封止したモジュール１０の端面１０ａ部分を拡大した拡大断面図である。

モジュール１０は、基板（具体的にはガラス基板）１１上に第１封止部材として作用するＥＶＡ１５、第２封止部材として作用するバックシート１６がこの順に積層されている。バックシート１６は、この例では２層に分かれており、端面シール材１８は、この例ではブチル層１８ａと、厚さ約１７μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）層１８ｂと、発泡層１８ｃとの３層に分かれている。ブチル層１８ａの表面は粘着状になっていて、この機能により端面シール材１８をモジュール１０に貼り付ける。ブチル層１８ａは、水蒸気バリア性と絶縁性とを持ち、基板１１を保護するための層である。発砲層１８ｃは、クッションの役目をもち、後工程ではめ込むアルミ枠１９との接触性をよくするための層である。

トリミング処理工程での切り残し部１５ｂ，１６ｂの切り残し量が少なくなり（図８のα２参照）、安定（切り残し量が各所で均一化）していることで、端面封止工程において吸着ヘッド２０（図７参照）により吸着された端面シール材１８がモジュール１０に対して面接触となり（図８のβ２部分参照）、モジュール１０の端面１０ａに対する端面シール材１８の貼付状態が安定し、これにより、端面シール材１８の貼付不良を効果的に防止することができる。

また、端面シール材１８は、モジュール１０との絶縁性を確保する役割もあるが、切り残し量が少ないことで、切り残し部１５ｂ，１６ｂの端面シール材１８に対する貫通を十分抑制でき、これにより、切り残し部１５ｂ，１６ｂによる端面シール材１８の耐圧不良を効果的に防止することができる。

さらに、トリミング処理装置１００によれば、回転刃１２１の刃先１２１ａは、刃厚方向Ｗにおいて径方向Ｖの外方に向かうに従い尖鋭状に傾斜したものであるので、丸鋸を用いた場合の如く、目詰まりを起こしたり、凹凸形状の切断面になったりすることがない。

本実施の形態において、回転刃１２１は、図９に示すように、先端側傾斜部１２１ｃと、先端側傾斜部１２１ｃの刃先角度τ１よりも小さい先端角度τ２の回転中心側傾斜部１２１ｄとの２段階に刃先１２１ａを傾斜させたものであってもよい。

図９は、回転刃１２１において２段階に傾斜させた刃先１２１ａの一例を概略的に示す側面図である。

図９に示す例では、回転刃１２１は、厚みｄ１が１．２ｍｍ、刃先１２１ａの径方向Ｖにおける長さｅが１５ｍｍ（先端側傾斜部１２１ｃの長さｅ１＝１ｍｍ、回転中心側傾斜部１２１ｄの長さｅ２＝１４ｍｍ）、先端側傾斜部１２１ｃの刃先角度τ１が１６．７°、回転中心側傾斜部１２１ｄの先端角度τ２が３．６７８°のものとされている。

従来のナイフ状のカッター板では、使用可能長さが小さく、寿命が短くなるところ、本実施の形態では、切断手段として回転刃１２１を使用しているため、使用可能な長さが直径の円周率（約３．１４）倍の長さとなり、それだけ長期にわたり切断手段を使用することができ、従来のナイフ状のカッター板では実現困難な切断手段の寿命にすることが可能となる。

具体的には、直径１５０ｍｍの回転刃１２１を使用する場合、約４７１ｍｍ（≒１５０ｍｍ×３．１４）がカッターとして使用可能となる。この長さは、従来のナイフ状のカッター板（上下振動式カッター）では実現不可能な長さと言える。勿論、直径１５０ｍｍよりも大きな直径或いは小さな直径の回転刃を使用してもよい。

また、回転刃１２１を一方向Ａ（図１１参照）に回転させるので、例えば、低消費電力の駆動モーターを用いるができ、これにより、切断手段を低出力で駆動することができる。従って、低消費電力化を実現できかつメンテナンス作業時の安全性を確保することができる。さらに、丸鋸やダイシングカッターは再研磨が困難であるが、本実施の形態では、容易に再研磨した回転刃１２１を使用することができ、それだけ、切断手段のランニングコストを低減する（例えば新品の１／５程度の値段に抑える）ことができる。

トリミング処理装置１００の量産にあたっては、部材公差、余剰部形状のバラツキ、余剰部１５ａ，１６ａの幅のバラツキ、基板（具体的にはガラス基板）１１のソリ、基板１１の温度のバラツキなどの様々な誤差因子が生じるため、これらの誤差因子を吸収し、かつ、安価に処理できる方法が必要となるが、本実施の形態では、「安価」「量産性」「作業性（安全性）」の３点で上記した特許文献１よりも優れている。

（浮き上がり規制部材）
本実施の形態において、トリミング処理装置１００は、回転刃１２１によって切除される余剰部１５ａ，１６ａの浮き上がりを規制する浮き上がり規制部材１３０（ここでは両側に設けられた一対の規制部材１３０，１３０）を備えている。

図１０は、トリミング処理装置１００の回転刃１２１による余剰部１５ａ，１６ａの切断部分を概略的に示す側面図である。

図１０に示すように、浮き上がり規制部材１３０は、回転刃支持部１２３に支持された板状の規制部材本体１３１と、規制部材本体１３１の下端部から基板１１側に余剰部１５ａ，１６ａを臨むように屈曲（具体的には略直角に屈曲）して延設された規制部１３２とを有している。

このように、回転刃１２１によって切除される余剰部１５ａ，１６ａの浮き上がりを規制する浮き上がり規制部材１３０を設けることによって、回転刃１２１のせん断応力による余剰部１５ａ，１６ａの浮き上がり（特に回転刃１２１との接触部の回転方向（Ａ方向）における上流側の浮き上がり）を抑制することができ（図１０のα３参照）、回転刃１２１による余剰部１５ａ，１６ａの切断をスムーズに行うことができる。

（保持ローラー）
本実施の形態において、トリミング処理装置１００は、モジュール１０を一方の面（ここでは回転軸１２２ａとは反対側）で保持する保持ローラー１４０を備えている。

図１０に示すように、保持ローラー１４０は、回転刃支持部１２３に支持された回転軸１４３に回転自在に支持されており、モジュール１０の余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理するにあたり、切断用移動部１２５によって切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））へ進んでいくと、外周面１４０ａがモジュール１０におけるバックシート１６の上面に接触しながら従動回転するようになっている。このように保持ローラー１４０の外周面１４０ａがモジュール１０と接触することによって、保持ローラー１４０と共に回転刃支持部１２３に支持された回転刃１２１の高さ位置を特定することができる。すなわち、基板１１のソリやＥＶＡ１５の厚みバラツキなどで、モジュール１０の厚みが不均一であったり、モジュール１０の高さが微小に異なっていたりしても、回転刃１２１と基板１１とのＺ方向の位置関係を一定に維持したまま余剰部１５ａ，１６ａを安定して切断することができる。例えば、モジュール１０の厚みが不均一な場合に、保持ローラー１４０がないと不均一なせん断応力で余剰部１５ａ，１６ａを切断しなければならないところ、保持ローラー１４０を設置することにより、部材公差を吸収でき、均一なせん断応力で余剰部１５ａ，１６ａを切断することができる。

詳しくは、保持ローラー１４０は、ローラー部１４１と、周方向に沿ってローラー部１４１から径方向Ｖの外方に突出した（例えば０．５ｍｍ程度突出した）段差部１４２を有している。このように、保持ローラー１４０が段差部１４２を有していることで、外周面１４０ａとモジュール１０との接触面積を減らすことができ（図１０のβ３参照）、これにより、回転刃１２１の高さ位置の位置精度を高めることができる。また、外周面１４０ａとモジュール１０との接触面積を減らすことで、余剰部１５ａ，１６ａの切断により発生した切粉の保持ローラー１４０への付着を抑えることができる。なお、モジュール１０の上面（保持ローラー１４０の外周面１４０ａ）と浮き上がり規制部材１３０の余剰部１５ａ，１６ａとの接触面との距離（押さえ高さ）ｄ２は、ここでは、−０．５ｍｍ程度とされている。ここで、浮き上がり規制部材１３０の押さえ高さｄ２の値は、浮き上がり規制部材１３０の余剰部１５ａ，１６ａとの接触面がモジュール１０の上面よりも低い位置にある場合をマイナスとしている。後述する実施例４の値も同様である。

（保持ローラーを回転刃に非接触とした構成）
本実施の形態では、保持ローラー１４０は、モジュール１０の余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理するにあたり、回転刃１２１の回転軸１２２ａに直交する回転刃１２１側の側面１４０ｂが回転刃１２１に対して非接触の状態となっている。

ところで、回転刃１２１の側面１２１ｂと、保持ローラー１４０の側面１４０ａとが接触すると、回転刃１２１の回転による側面１２１ｂの面振れによって回転刃１２１に負荷がかかり、回転刃１２１が変形することがある。この点、本実施の形態では、保持ローラー１４０の側面１４０ｂが回転刃１２１に対して非接触の状態となっていることで、回転刃１２１が保持ローラー１４０から受ける負荷がなくなるため、回転刃１２１の変形を抑制でき、これにより、切り残し部１５ｂ，１６ｂの切り残し量を安定させることができる。

また、保持ローラー１４０の側面１４０ｂが回転刃１２１に対して非接触の状態となっていることで、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）（図１１参照）が自由になる。すなわち、回転刃１２１は、余剰部１５ａ，１６ａを切除するにあたって、切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に対して順方向に回転してもよいし、切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））とは逆方向に回転してもよい。よって、本実施の形態では、回転駆動部１２２は、余剰部１５ａ，１６ａを切除するにあたり、回転刃１２１を、切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に対して順方向に回転させるか又は切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））とは逆方向に回転させる構成とされている。

図１１は、切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に対する回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を説明するための概略側面図である。図１１（ａ）は、回転刃１２１が切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に対して順方向に回転している状態を示しており、図１１（ｂ）は、回転刃１２１が切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））とは逆方向に回転している状態を示している。

図１１（ａ）のように回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を順方向にする場合には、回転刃１２１の切削抵抗を小さくすることができ、これにより、回転刃１２１の刃先１２１ａの磨耗を少なくすることができ、切断効率を向上させることができる。また、回転方向（Ａ方向）を逆方向にする場合よりも切り残し量を安定させることができる。一方、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向にする場合には、余剰部１５ａ，１６ａの切粉Ｔが切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））とは逆方向に掻き出されるため、切粉Ｔが回転刃１２１による余剰部１５ａ，１６ａの邪魔になり難くすることができる。

（厚み方向移動部）
本実施の形態においては、トリミング処理装置１００は、回転刃１２１とモジュール１０とのうち少なくとも一方（ここでは回転刃１２１）をＺ方向に沿って相対的に移動させる厚み方向移動部１２６（図４及び図５（ｃ）参照）を備えている。

図４及び図５（ｃ）に示すように、厚み方向移動部１２６は、回転刃１２１をＺ方向に往復移動させるものであり、回転刃１２１の回転軸１２２ａを回転自在に支持した回転刃支持部１２３をＺ方向に調整可能に支持する回転刃高さ方向調整機構１２６ａを有している。

回転刃高さ方向調整機構１２６ａは、Ｚ方向に沿って走行部１２５ｄに設けられた支持棒１２６ｂと、支持棒１２６ｂに対してＺ方向に移動自在に支持され、かつ、回転刃支持部１２３に一体的に連結された可動部１２６ｃと、可動部１２６ｃと摺動自在に係合する螺旋状の螺旋部材（例えばスプリングやバネ）１２６ｄと、螺旋部材１２６ｄをＺ方向に沿った軸心回りに回転自在に保持する保持部材１２６ｅ，１２６ｆを有している。

詳しくは、支持棒１２６ｂは、Ｙ方向に列設され、かつ、Ｚ方向に沿って走行部１２５ｄの下面に立設された一対のものとされている。保持部材１２６ｅ，１２６ｆは、螺旋部材１２６ｄをＺ方向の両端部で保持している。保持部材１２６ｅは、一対の支持棒１２６ｂ，１２６ｂの先端側で支持されており、螺旋部材１２６ｄの一端部を保持している。他方の保持部材１２６ｆは、可動部１２６ｃの上面にＺ方向に沿って立設された一対の支持棒１２６ｇ，１２６ｇに対してＺ方向に移動可能に支持されており、螺旋部材１２６ｄの他端部を保持している。また、可動部１２６ｃには、支持棒１２６ｂを摺動自在に挿通する貫通孔１２６ｈと、螺旋部材１２６ｄをＺ方向に沿った軸心回りに摺動自在に挿通して螺旋部材１２６ｄを係入する貫通孔１２６ｉとが設けられている。

回転刃高さ方向調整機構１２６ａでは、螺旋部材１２６ｄをＺ方向に沿った軸心回りに回転させることで、Ｚ方向に沿った軸心回りの回転運動を回転刃支持部１２３に連結された可動部１２６ｃに対するＺ方向の直線運動に変換することができる。これにより、螺旋部材１２６ｄにより回転刃支持部１２３に支持された回転刃１２１の高さ調節を行うことができる。本実施の形態では、回転刃１２１のバランス維持のために、可動部１２６ｃは、金属プレートされている。

回転刃１２１が高さ調整されると、回転刃支持部１２３に支持された保持ローラー１４０がモジュール１０の上面に接触するように設けられる。すなわち、回転刃１２１の高さ調整は、保持ローラー１４０の径を変更することで実施することができ、回転刃１２１を変更する必要がないので、高さ調整の簡便性の向上に保持ローラー１４０が寄与する。このように回転刃１２１の高さに応じて保持ローラー１４０を設けることによって、切断したいモジュール１０に適した高さに簡単に回転刃１２１を調整することができる。

そして、回転刃１２１の回転中心をモジュール１０よりも下方にするか、或いは、上方にするかによって、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を容易に順方向又は逆方向にすることができる。

（回転刃の傾斜角度）
また、保持ローラー１４０の側面１４０ｂが回転刃１２１に対して非接触の状態となっていることで、回転刃１２１を、余剰部１５ａ，１６ａを切断する刃先１２１ａが基板１１側に向くように切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に沿った軸心回りに傾斜させてもよい（図１２参照）。

図１２は、回転刃１２１を刃先１２１ａが基板１１側に向くように切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に沿った軸心回りに傾斜させて余剰部１５ａ，１６ａを切断している状態を示す説明図である。図１２（ａ）は、トリミング処理装置１００における回転刃１２１部分の概略側面図であり、図１２（ｂ）は、余剰部１５ａ，１６ａの切断状態を拡大した拡大側面図である。

図１２（ａ）に示すように、切断用移動部１２５は、回転刃１２１を基板１１側へ切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に沿った軸心回りに傾斜させる傾斜角度φを持たせた状態で回転刃１２１を切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に沿って移動させるようになっている。ここで、傾斜角度φは、基板１１の表面１１ｂ及び裏面１１ｃに平行な方向から視て、基板１１の端面１１ａに沿った仮想面Ｅ１と、回転刃１２１の回転軸１２２ａに直交する側面１２１ｂに沿った仮想面Ｅ２とのなす角度とされている。

このように、回転刃１２１を基板１１側へ切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に沿った軸心回りに傾斜させることで、精度よく余剰部１５ａ，１６ａを切断することが可能となる。

傾斜角度φ＝０°の状態では、切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に抵抗がある場合、回転刃１２１が外側に逃げる方向に変形しやすい。回転刃１２１を基板１１側へ切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））に沿った軸心回りに傾斜させる傾斜角度φをつけることによって、前方から受ける抵抗力を分散し、回転刃１２１が基板１１から離れることを防ぐことができる。従って、傾斜角度φがマイナスになると、切断が非常に困難となり、場合によっては切断不可能となってしまう。逆に、図１２（ｂ）に示すように、余剰部１５ａ，１６ａの厚みをｈとすると、傾斜角度φが大きくなるにつれて、切断長さΔｌがｈ／ｃｏｓφ−ｈ＝ｈ×(１−ｃｏｓφ)/ｃｏｓφだけ増加するため、それだけ寿命の低下につながる。

以上のバランスを考慮して、傾斜角度φは０°より大きく１５°以下（寿命低下率１％未満）であることが好ましい。

（回転軸カバー）
本実施の形態において、トリミング処理装置１００は、回転駆動部１２２の回転軸１２２ａを覆う回転軸カバー１５０（図１３参照）を備えていてもよい。

図１３は、回転刃支持部１２３に対して回転軸１２２ａを覆う回転軸カバー１５０の一例が設けられる場合の回転軸１２２ａ部分を概略的に示す側面図である。

図１３に示すように、回転軸カバー１５０は、ドーナツ状のものとされている。回転軸カバー１５０の中心部には、回転軸１２２ａの外周面を隠蔽するように回転自在に挿通する貫通孔１５１が設けられている。これにより、回転駆動部１２２の回転軸１２２ａにおける外周面の露出をなくすことができる。なお、本実施の形態に係るトリミング処理装置１００では、切断後の余剰部１５ａ，１６ａが自然落下し、一定面積の回収箱（図示省略）で回収するようになっている。

この構成では、回転軸カバー１５０によって、回転駆動部１２２の回転軸１２２ａにおける外周面の露出をなくすことができ、これにより、余剰部１５ａ，１６ａの回転駆動部１２２の回転軸１２２ａへの巻き込みを防止することができ、回収箱に確実に落下させることができる。

（回転刃と基板との隙間調整）
本実施の形態において、トリミング処理装置１００は、回転刃１２１と基板１１との間の隙間を調整可能とされていてもよい。

具体的には、図１及び図４に示すように、回転刃１２１と基板１１との間の隙間は、図示しない基板位置決め機構によって調整することができる。

このように回転刃１２１と基板１１との間の隙間を調整可能とされていることで、ＥＶＡ１５及びバックシート１６の材料や回転刃１２１の角度θ，φ等の切断に関する各種条件に応じて回転刃１２１と基板１１との間の隙間を調整することができる。

（切粉の散乱の防止対策）
本実施の形態において、回転刃１２１による余剰部１５ａ，１６ａの切断時に発生する切粉の散乱を防ぐ対策として、次のエアブロー装置１６０（図１４参照）、第１吸塵装置１７０（図１５参照）及び第２吸塵装置１８０（図１６から図１８参照）のうち少なくとも一つを備えている構成とすることができる。

（エアブロー装置）
図１４は、トリミング処理装置１００に備えられたエアブロー装置１６０を概略的に示す側面図である。図１４（ａ）は、エアブロー装置１６０の一例を示しており、図１４（ｂ）は、エアブロー装置１６０の他の例を示している。

図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示すように、エアブロー装置１６０は、切除された余剰部１５ａ，１６ａの切粉Ｔを吹き飛ばすものであり、エアを吐出するエアブローノズル１６１と、エアブローノズル１６１に連通されたエアホース１６２と、エアホース１６２に空気を送り込むエアコンプレッサー（図示省略）とを有している。詳しくは、エアブローノズル１６１は、回転刃１２１の余剰部１５ａ，１６ａとの接触部のうちの何れかの切断点Ｑ１（ここでは、切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））における下流側の端）を標的にして切断直後に発生する切粉Ｔを吹き飛ばすようにエア吐出方向が切断点Ｑ１に向けられている。

この構成では、回転刃１２１による余剰部１５ａ，１６ａの切断時に発生する切粉Ｔを効果的に引き飛ばすことができる。

しかも、図１４（ｂ）に示すエアブロー装置１６０では、エアブローノズル１６１に加えて、余剰部１５ａ，１６ａの吹き飛ばし用のエアブローノズル１６３を設置している。詳しくは、エアブローノズル１６３は、エアホース１６２に連通されており、余剰部１５ａ，１６ａの切れ端の散乱を防ぐために、エア吐出方向が余剰部１５ａ，１６ａの切断後の通過経路を間にした回収箱（図示省略）の方向に向けられている。こうすることで、エアブローノズル１６１による切粉Ｔの吹き飛ばし機能だけでなく、余剰部１５ａ，１６ａの切れ端を確実に回収箱に落下させることができる。

なお、本実施の形態では、エアブローノズル１６１，１６３は、切断点Ｑ１よりも切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の上流側に設けられている。

（第１吸塵装置）
図１５は、トリミング処理装置１００に備えられた第１吸塵装置１７０の一例を概略的に示す図である。図１５（ａ）は、その側面図であり、図１５（ｂ）は、その断面図である。

図１５に示すように、第１吸塵装置１７０は、切除された余剰部１５ａ，１６ａの切粉Ｔを吸引するものであり、回転刃１２１に対して回転刃１２１にて切断されるモジュール１０よりも下方を覆って回転刃１２１による余剰部１５ａ，１６ａの切断時に発生する切粉Ｔを収容する空間Ｐ２（図１５（ｂ）参照）を有する吸塵ポケット１７１と、吸塵ポケット１７１に連通される吸塵ホース１７２と、吸塵ホース１７２を介して吸塵ポケット１７１に収容される切粉Ｔを吸引する吸塵機１７３とを有している。切粉Ｔは回転刃１２１の周辺にも付着するため、吸塵ポケット１７１は、回転刃１２１の周辺をできるだけ覆うことができるポケットの形状とされている。詳しくは、吸塵ポケット１７１は、回転刃１２１の外周方向に沿って回転刃１２１の外周部を覆う第１ポケット部１７１ａと、回転刃１２１の側面１２１ｂに沿って側面１２１ｂを覆う第２ポケット部１７１ｂとを有している。第１ポケット部１７１ａには、吸塵ホース１７２に連通される連通孔１７１ｃが設けられている。吸塵ホース１７２は、一端が連通孔１７１ｃに連結され、かつ、他端が吸塵機１７３に連結されている。

この構成では、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を順方向とする場合、切粉Ｔは前方（切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の下流側）に生じる（図１５（ａ）参照）。吸塵ポケット１７１は、ポケット全体が吸引口となっているため、発生した切粉Ｔは、確実に吸塵ポケット１７１に吸引され、吸塵ポケット１７１の下部に接続された吸塵ホース１７２から切粉Ｔを吸塵機１７３で吸引することができる。

（第２吸塵装置）
図１６は、トリミング処理装置１００に備えられた第２吸塵装置１８０の一例を概略的に示す側面図である。

図１６に示すように、第２吸塵装置１８０は、切除された余剰部１５ａ，１６ａの切粉Ｔを吸引するものであり、エアを吸い込む吸塵ノズル１８１と、吸塵ノズル１８１に連通された吸塵ホース１８２と、吸塵ホース１８２を介して吸塵ノズル１８１からのエアを吸引する吸塵機（図示省略）とを有している。詳しくは、吸塵ノズル１８１は、回転刃１２１の余剰部１５ａ，１６ａとの接触部のうちの何れかの切断点Ｑ２（ここでは、切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））における下流側の端）を標的にして切断直後に発生する切粉Ｔを吸引するように吸引方向が切断点Ｑ２に向けられている。

トリミング処理装置１００の量産にあたっては、切断後の余剰部１５ａ，１６ａの挙動も制御する必要がある。切断後の余剰部１５ａ，１６ａは回転刃１２１付近に存在するため、回転刃１２１の回転の影響を受けて、余剰部１５ａ，１６ａは激しく動くことになる。そのため、自然落下のままでは一定面積の回収箱で回収することは困難であり、何らかの制御が必要となる。吸塵と余剰部制御機構とを同方向の位置に設置することは困難であり、別々の方向に分離できる方が好ましいため、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）として、順方向を採用する方が有利になる。

これについて、以下に図１７及び図１８を参照しながら回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）が逆方向である場合と順方向である場合とで分けて説明する。

（逆方向の場合）
図１７は、第２吸塵装置１８０が設けられたトリミング処理装置１００において、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）が逆方向である場合での切断後の切粉Ｔと余剰部１５ａ，１６ａとの状態を示す概略側面図である。

図１７に示すように、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）が逆方向である場合には、切粉Ｔと切断後の余剰部１５ａ，１６ａとが何れも切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の上流側（回転刃１２１の後方）に生じる。そのため、吸塵ノズル１８１を切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の切断点Ｑ２よりも上流側に設置すると、切断後の余剰部１５ａ，１６ａも切粉Ｔと共に吸引され、余剰部１５ａ，１６ａが吸塵ノズル１８１の吸引口に絡んだり、余剰部１５ａ，１６ａの真下への落下が妨げられたりするため、余剰部１５ａ，１６ａの挙動には影響を与えないような吸塵機構が必要となり、量産にあたっては複雑な設計が必要となる。

（順方向の場合）
図１８は、第２吸塵装置１８０が設けられたトリミング処理装置１００において、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）が順方向である場合での切断後の切粉Ｔと余剰部１５ａ，１６ａとの状態を示す概略側面図である。

図１８に示すように、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）が順方向である場合には、切粉Ｔと切断後の余剰部１５ａ，１６ａとが切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の下流側と上流側とで別々の方向に生じるため、吸塵ノズル１８１を切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の切断点Ｑ２よりも下流側に設置することで、余剰部１５ａ，１６ａが吸塵ノズル１８１の吸引口に絡むことがなく、余剰部１５ａ，１６ａを真下へ確実に落下させることができる。これにより、吸塵機構を設置するにあたって余剰部１５ａ，１６ａの挙動を考慮する手間を省くことができる。

なお、本実施の形態において、切断後の余剰部１５ａ，１６ａを強制的に真下に落下させるエアブローを設置してもよいし、切断後の余剰部１５ａ，１６ａをチャックして引っ張りながら切断動作を行うチャック機構を導入してもよい。

（実験例について）
［１］基礎実験結果
回転刃１２１の切断角度θの最適条件を明確にするために，図１９に示すような実験機を作製した。

図１９は、余剰部１５ａ，１６ａを切断するにあたって回転刃１２１の切断角度θの最適条件を明確にするための実験機２００を示す図である。図１９（ａ）は、実験機２００の概略平面図であり、図１９（ｂ）は、実験機２００の回転刃１２１部分の概略平面図である。

実験機２００は、Ｙ方向に往復移動自在とされた（摺動抵抗のほとんどない）ＬＭガイド２２０の可動部２２１に対して、回転刃１２１を回転駆動する回転駆動部１２２を固定し、かつ、切削抵抗（回転刃１２１の切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））への引っ張り力）を測定可能な引っ張り試験機２１０（ＤＦＧ−５０Ｔ（ＳＨＩＭＰＯ社製））を連結したものである。

図２０は、図１９に示す実験機２００でのモジュール１０における余剰部１５ａ，１６ａの回転刃１２１による切断状態を示す平面図である。図２０（ａ）は、回転刃１２１の切断角度θを示すと共に回転刃１２１の刃先１２１ａと基板１１との間の隙間ｄ３を示しており、図２０（ｂ）は、回転刃１２１にて切断後の切り残し部１５ｂ，１６ｂの切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に示している。図２０（ｂ）において、切り残し量Ｃ１は、切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の上流側端部における切断開始位置での切り残し量を表しており、切り残し量Ｃ２は、切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の中央部における切断中央位置での切り残し量を表しており、切り残し量Ｃ３は、切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の下流側端部における切断終了位置での切り残し量を表している。

本実験では，封止部材をバックシート１６のみとした場合と、封止部材をＥＶＡ１５及びバックシート１６とした場合と、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向とした場合と、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を順方向とした場合とで、回転刃１２１の切断角度θと、回転刃１２１の刃先１２１ａと基板１１との間の隙間ｄ３（図２０（ａ）参照）とを変化させた時の切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３（図２０（ｂ）参照）と切削抵抗（回転刃１２１の切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））への引っ張り力）との測定をそれぞれ１回ずつ行った。

実験は、図９に示す刃先１２１ａを有する直径１５０ｍｍの回転刃１２１を使用し、回転刃１２１の周速度を３．１ｍ／ｓ（回転速度４００ｒｐｍ）として回転刃１２１を手動で移動させ、厚み４．５ｍｍの基板１１にＥＶＡ１５及びバックシート１６で封止したモジュール１０の余剰部１５ａ，１６ａを切断することで行った。

図２１は、切断角度θの調整を容易化したことを説明するための説明図である。図２１（ａ）は、回転軸１２２ａの方向から視て基板１１とオーバーラップする回転刃１２１の部分のＹ（Ｘ）方向における第１距離ａを示す側面図である。図２１（ｂ）は、基板１１とオーバーラップする回転刃１２１の部分における切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の下流側端部と上流側端部とのＸ（Ｙ）方向における第２距離ｂを示す平面図である。また、図２１（ｃ）は、切断角度θを得るための第２距離ｂの値を示す表である。［第２距離ｂ］は、［第１距離ａ］・ｔａｎ（［切断角度θ］）で求めることができる。本実験では、第１距離ａを７８ｍｍとしている。

図２１（ｃ）に示すように、切断角度θを測定しなくても、第２距離ｂを設定することで切断角度θを決定することができる。

実験結果を図２２から図２５に示す。図２２は、封止部材をバックシート１６のみとし、回転刃１２１の刃先１２１ａと基板１１との隙間ｄ３を０．２ｍｍとした時の切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３と切削抵抗（回転刃１２１の切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））への引っ張り力）とを示すグラフである。図２２（ａ）及び図２２（ｂ）は、それぞれ、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向及び順方向とした切断角度θに対する切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を示している。図２２（ｃ）及び図２２（ｄ）は、それぞれ、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向及び順方向とした切断角度θに対する引っ張り力を示している。

図２３は、封止部材をバックシート１６のみとし、回転刃１２１の刃先１２１ａと基板１１との隙間ｄ３を０．４ｍｍとした時の切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３と切削抵抗（回転刃１２１の切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））への引っ張り力）とを示すグラフである。図２３（ａ）及び図２３（ｂ）は、それぞれ、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向及び順方向とした切断角度θに対する切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を示している。図２３（ｃ）及び図２３（ｄ）は、それぞれ、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向及び順方向とした切断角度θに対する引っ張り力を示している。

図２４は、封止部材をＥＶＡ１５及びバックシート１６とし、回転刃１２１の刃先１２１ａと基板１１との隙間ｄ３を０．２ｍｍとした時の切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３と切削抵抗（回転刃１２１の切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））への引っ張り力）とを示すグラフである。図２４（ａ）及び図２４（ｂ）は、それぞれ、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向及び順方向とした切断角度θに対する切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を示している。図２４（ｃ）及び図２４（ｄ）は、それぞれ、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向及び順方向とした切断角度θに対する引っ張り力を示している。

また、図２５は、封止部材をＥＶＡ１５及びバックシート１６とし、回転刃１２１の刃先１２１ａと基板１１との隙間ｄ３を０．４ｍｍとした時の切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３と切削抵抗（回転刃１２１の切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））への引っ張り力）とを示すグラフである。図２５（ａ）及び図２５（ｂ）は、それぞれ、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向及び順方向とした切断角度θに対する切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を示している。図２５（ｃ）及び図２５（ｄ）は、それぞれ、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向及び順方向とした切断角度θに対する引っ張り力を示している。

図２２（ａ）から図２５（ａ）及び図２２（ｂ）から図２５（ｂ）に示すように、回転刃１２１の切断角度θが大きくなると、切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３は減少する傾向を示していることが分かる。

また、図２２（ｃ）から図２５（ｃ）及び図２２（ｄ）から図２５（ｄ）に示すように、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向にすると、順方向に比べ全体的に切削抵抗が増加する（引っ張り力が大きくなる）傾向を示していることが分かる。

また、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向にすると、切断角度θが増加するにつれて切削抵抗（引っ張り力）は減少する傾向を示す。一方、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を順方向にすると、増加する箇所（図２２（ｄ）から図２３（ｄ）のＰの値参照）が存在する。

また、図２２（ａ）から図２５（ａ）及び図２２（ｂ）から図２５（ｂ）に示すように、合計切り残し量が１．５ｍｍ以下となる切断角度θの最小角度が０．６°となっている。

ところで、端面シール材１８は、絶縁対策としてブチル層１８ａと、ＰＥＴ層１８ｂと、発泡層１８ｃとの３層に分かれており、切り残し部１５ｂ，１６ｂによって端面シール材１８が破れると耐圧不良になるため、その基準として切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を各箇所で０．５ｍｍ以下としており、この実験例では、切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の各箇所の合計切り残し量を１．５ｍｍ以下としている。

このような、切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の３箇所合計１．５ｍｍ以下という評価では、各箇所０．５以下でない場合も生じるものの、回転刃１２１は基板１１から離れる方向に力を受けるため、必ずＣ１≦Ｃ２≦Ｃ３となり、切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３のいずれかが０．５ｍｍを超える場合は、ほとんどの場合において合計１．５ｍｍを必然的に超える。

よって、本実験のように微小変化量を評価しない場合は、合計切り残し量１．５ｍｍ以下を基準にしても支障がないと判断した。

また、図２２から図２５に示すように、回転刃１２１の刃先１２１ａと基板１１との隙間ｄ３を０．２ｍｍとした方が、０．４ｍｍとした場合に比べて切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３が全体的に少なかった。

以上のことから、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向にし、回転刃１２１の切断角度θを０．６°にし、回転刃１２１の刃先１２１ａと基板１１との隙間ｄ３を０．２ｍｍにすることが最適であることが分かった。

［２］実験後のモジュールの端面と回転刃の側面の確認
次に、実験例の構成で実験した後のモジュール１０の端面１０ａと回転刃１２１の断面１２１ａを拡大した撮影画像（不図示）で観察を行ったところ、異常は見られず、切断角度θの制御によって、切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の安定化を実現できることが確認された。

［３］切り残し量の変化
図２６は、比較例の切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３と実施例１の切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３とを示すグラフである。

比較例では、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を順方向とし、切断角度θを０°とし、回転刃１２１の刃先１２１ａと基板１１との隙間ｄ３を０．２ｍｍとした。また、実施例１では、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向とし、切断角度θを０．６°とし、回転刃１２１の刃先１２１ａと基板１１との隙間ｄ３を０．２ｍｍとした。

そして、基板１１の１辺の余剰部１５ａ，１６ａを切断した場合を回転刃１２１の１回の使用回数とし、比較例では８９２８回使用した時点での切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を測定し、実施例１では６３５２回使用した時点での切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を測定した。ここで、回転刃１２１は、使用初期（１回〜３０００回程度）で切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３が増加することがあるため、切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３が安定する使用回数（比較例では８９２８回、実施例１では６３５２回）で比較した。

図２６に示すように、比較例では、切り残し量Ｃ２（切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の中央部における切断中央位置）及び切り残し量Ｃ３（切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））の下流側端部における切断終了位置）で多くなっており、切り出し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３が安定していないのに対して、実施例１では、切り出し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３が共に少なくなっており、安定していることが分かる。すなわち、実施例１において、切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の低減と精度の向上とを達成できることを確認した。

［４］浮き上がり規制部材の導入
次に、図１０に示す浮き上がり規制部材１３０により、モジュール１０の余剰部１５ａ，１６ａの切断開始がスムーズに開始されることを確認した。

図２７は、モジュール１０の余剰部１５ａ，１６ａの切断後のモジュール１０の切断開始部分を拡大して示す概略平面図である。図２７（ａ）は、浮き上がり規制部材１３０を設けていない実施例２の場合を示しており、図２７（ｂ）は、浮き上がり規制部材１３０を設けた実施例３の場合を示している。

実施例２及び実施例３では、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）を逆方向とし、切断角度θを０．６°とし、回転刃１２１の刃先１２１ａと基板１１との隙間ｄ３を０．２ｍｍとした。

そして、浮き上がり規制部材１３０がない実施例２では、図２７（ａ）に示すように、バックシート１６の端部に若干のバリＢが生じたのに対して（δ部分参照）、実施例３では、図２７（ｂ）に示すように、浮き上がり規制部材１３０により、バックシート１６の端部でバリを十分抑制した状態で切断することができた。

また、浮き上がり規制部材１３０がない実施例２では、回転刃１２１の使用回数が２６００回であったのに対して、実施例３では、浮き上がり規制部材１３０によって、回転刃１２１のせん断応力による余剰部１５ａ，１６ａの浮き上がりが抑制されたことにより、回転刃１２１への加わる力を安定させることができ、回転刃１２１の使用回数として１００００回を達成させることができた。

また、回転刃１２１の回転方向（Ａ方向）は、順方向、逆方向どちらの方向であっても良好に切断可能であることを確認した。すなわち、余剰部１５ａ，１６ｂ（具体的にはＥＶＡ１５やバックシート１６のはみ出し量）は、回転刃１２１が逆方向の回転の場合、３ｍｍ以上であれば安定して切断することができ、順方向の回転の場合は１ｍｍ以上であれば安定して切断することができることがわかった。

ところで、モジュール１０の上面（保持ローラー１４０の外周面１４０ａ）と浮き上がり規制部材１３０の余剰部１５ａ，１６ａとの接触面との距離（押さえ高さ）ｄ２（図１０参照）が大きくなり過ぎると、余剰部１５ａ，１６ａの切れ端に接触しないため切断面が凹凸になりやすい。

この点に関し、バックシート１６のはみ出し量ｄ５（余剰部１６ａ）及び浮き上がり規制部材１３０の押さえ高さｄ２を変化させた場合での回転刃１２１の切断状態を調べた。

図２８は、バックシート１６のはみ出し量ｄ５及び浮き上がり規制部材１３０の押さえ高さｄ２を変化させた場合での回転刃１２１の切断状態を調べた実施例４を説明するための説明図である。図２８（ａ）は、実施例４の実験条件を示す図であり、図２８（ｂ）は、実施例４の実験結果を示す表である。

実施例４は、回転刃１２１を切断方向Ｙ１とは逆方向の回転とし、図２８（ａ）に示すように、回転刃１２１のモジュール１０側の端面と浮き上がり規制部材１３０の回転刃１２１側の端面との距離ｄ４を１．５ｍｍで固定し、回転刃１２１のモジュール１０側の端面とモジュール１０の回転刃１２１側の端面との距離ｄ３を０．２ｍｍで固定し、バックシート１６のはみ出し量ｄ５を８ｍｍ、６ｍｍ、３ｍｍ、２ｍｍに変化させると共に、浮き上がり規制部材１３０の押さえ高さｄ２を１ｍｍ、０．５ｍｍ、０ｍｍ、−０．５ｍｍ、−１ｍｍに変化させることで行った。

また、図２８（ｂ）の表において、はみ出し量ｄ５毎に示されている３つの数値は、左から切り残し部１６ｂの切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を表している。そして、余剰部１６ａを切断したモジュール１０に対して、切り残し量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３及び外観上から、良好なものを「○」とし、やや不良なものを「△」とし、不良なものを「×」とし、切断できなかったものを「切断不可」として評価した。なお、「△」及び「×」の評価において、切り残し部１６ｂの全体がギザギザ状（凹凸状）であった場合を「Ａ」とし、切り残し部１６ｂの一部がギザギザ状（凹凸状）であった場合を「Ｂ」とし、切り残し部１６ｂのギザギザ状（凹凸状）の占める割合が切断状態「Ｂ」よりも小さかった場合を「Ｃ」としている。

図２８（ｂ）に示す実験結果から、押さえ高さｄ２の上限値としては、０ｍｍ程度とすることが好ましいことが分かった。

一方、押さえ高さｄ２が小さく（浮き上がり規制部材１３０の余剰部１５ａ，１６ａとの接触面がモジュール１０の上面よりも低く）なり過ぎると、余剰部１５ａ，１６ａの切れ端が折れ曲がりすぎて、切断時の振動によって余剰部１５ａ，１６ａの切れ端が飛び上がりやすいことから、押さえ高さｄ２の下限値としては、−１．０ｍｍ程度とすることが好ましい。よって、押さえ高さｄ２は、上限値（０ｍｍ程度）と下限値（−１．０ｍｍ程度）との中央値である−０．５ｍｍ程度にすることが好ましい。

−実施の形態２−
次に、実施の形態２にかかるトリミング処理方法およびトリミング処理装置１００を説明する。この実施の形態２にかかるトリミング処理方法およびトリミング処理装置１００によれば、実施の形態１にかかるトリミング処理方法およびトリミング処理装置１００と同様に、封止部材（ＥＶＡ１５、バックシート１６）によって基板１１を封止したモジュール１０におけるＥＶＡ１５およびバックシート１６の余剰部１５ａ，１６ａの切り残し量を安定させることができ、これにより端面シール材１８の貼付不良や耐圧不良等の切り残し量のバラツキに伴う不具合の発生を効果的に防止することができる。なお、実施の形態２にかかるトリミング処理方法およびトリミング処理装置に関して、実施の形態１に関連する構成などについては同一の符号を付す。

以下、本実施の形態に係るモジュールのトリミング処理装置１００について、図面に基づいて説明する。

図２９は、本発明の実施の形態に係るトリミング処理装置１００の概略構成を示す平面図である。図３０は、余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理する工程を説明するための概略平面図であって、（ａ）は、長辺側の余剰部１５ａ，１６ａを切断する状態を示す説明図であって、（ｂ）は、短辺側の余剰部１５ａ，１６ａを切断する状態を示す説明図である。図３１は、切断用移動部支持機構１１０を中心に示す図であって、図２９の矢符Ａ−Ａに沿った断面図である。なお、モジュール１０は、図３７に示すものと同様のものであるので、図３７に示すものと同一の符号を付し、ここではモジュール１０についての詳しい説明を省略する。また、図２９は、第１ステージＳＴ１（図３０参照）でのトリミング処理装置１００を示す。

本実施の形態に係るトリミング処理装置１００は、封止部材１５，１６（ＥＶＡ１５とバックシート１６）によって基板１１を封止したモジュール１０における封止部材１５，１６の余剰部１５ａ，１６ａを切除するものである。トリミング処理装置１００は、封止部材１５，１６の側からモジュール１０を押圧する円板状のせん断ローラー１９０と、せん断ローラー１９０の回転軸１４３（保持ローラー１４０の回転軸１４３）と平行な回転軸１２２ａとされ、先鋭状に形成された刃先１２１ａ（図３４参照）が外周に設けられた円板状の回転刃１２１と、回転刃１２１を一方向に回転させる回転駆動部１２２（図３２参照）と、基板１１の端面１１ａに沿った切断方向において、回転刃１２１およびモジュール１０の少なくともいずれか一方を相対的に移動させる切断用移動部１２５と、を備える。回転刃１２１とせん断ローラー１９０とは、接触するように配置されている。

この構成によると、余剰部１５ａ，１６ａを切除する際の抵抗を低減することができ、このことにより、封止部材１５，１６の厚さが異なる場合においても、精度よく切除することができる。また、回転刃１２１の円周全体に刃先１２１ａを設けることで、刃先１２１ａの長さを長くして回転刃１２１を長寿命化することができる。

基板１１は、四角形状とされており、以下では、基板１１の短辺に平行な方向をＸ方向と呼び、基板１１の長辺に平行な方向をＹ方向と呼ぶ。

本実施の形態において、モジュール１０は、第１ステージＳＴ１でのトリミング処理装置１００で長辺側の余剰部１５ａ，１６ａを切除された後、第２ステージＳＴ２に搬送され、第２ステージＳＴ２でのトリミング処理装置１００で短辺側の余剰部１５ａ，１６ａを切除される。なお、第１ステージＳＴ１と第２ステージＳＴ２とでは、切断方向が９０度異なる以外は実質的に同じ構成および動作であるので、第２ステージＳＴ２でのトリミング処理装置１００については図示およびその説明を省略する。

トリミング処理装置１００は、基板位置決め機構（図示しない）と、切断用移動部支持機構１１０と、余剰部切断機構１２０と、保持部１２４とを備える。余剰部切断機構１２０および保持部１２４についての詳細は後述する（図３２参照）。

基板位置決め機構は、ＣＣＤカメラ等の撮像手段を用いて、基板１１の輪郭を位置情報として検出し、得られた位置情報に基づき移動手段によりモジュール１０をＸ方向に移動させるようになっている。なお、モジュール１０および回転刃１２１の少なくとも一方をＸ方向に移動させるようになっていてもよい。

トリミング処理装置１００は、モジュール１０を第１ステージＳＴ１に向けて搬送方向（Ｙ２方向）に搬送し、リフトアップする。第１ステージＳＴ１においてモジュール１０における基板１１の一方側（図２９のＹ方向に沿う側、ここでは長辺側）の２辺を基板１１の端面１１ａ，１１ａに沿った切断方向（図２９のＹ１方向）に沿って同時に切断し、その後、モジュール１０を第２ステージＳＴ２に向けて搬送方向Ｙ２に搬送し、リフトアップする。第２ステージＳＴ２において他方側（Ｘ方向に沿う側、ここでは短辺側）の２辺を切断方向（Ｘ１方向）に沿って同時に切断するようになっている。

図２９および図３１に示すように、切断用移動部支持機構１１０は、モジュール１０を水平に載置する昇降式の載置台１１３と、Ｘ方向に沿って延びている第１支持部１１０ａと、Ｙ方向に沿って延びている第２支持部１１１ｂと、Ｙ方向に沿って延びている第３支持部１１２ｂと、第３支持部１１２ｂをＸ方向に往復移動させる支持部移動機構１１２ｍとを備えている。

第１支持部１１０ａは、Ｙ方向に間隔をおいて配設された一対のものとされており、支柱Ｇ１，Ｇ１を介して床面Ｇにそれぞれ固定されている。

第２支持部１１１ｂおよび第３支持部１１２ｂは、Ｘ方向に間隔をおいて配置され、第１支持部に支持されている。

第２支持部１１１ｂは、基準側（図中右側）の支持部とされ、Ｙ方向における両端部が一対の第１支持部１１０ａ，１１０ａに固定されている。

第３支持部１１２ｂは、押し側（図中左側）の支持部とされ、Ｙ方向における両端部が一対の第１支持部１１０ａ，１１０ａによって、Ｘ方向に移動自在に支持されている。

支持部移動機構１１２ｍは、一対のものとされており、第３支持部１１２ｂのＹ方向における両端部にそれぞれ設けられている。支持部移動機構１１２ｍは、第３支持部１１２ｂをＸ方向に往復移動させるアクチュエーター１１２ｎと、第３支持部１１２ｂのＸ方向におけるモジュール１０側への移動を規制するストッパー１１２ｌとを有している。

アクチュエーター１１２ｎは、第１支持部１１０ａに固定されたシリンダー１１２ｊと、シリンダー１１２ｊからＸ方向に可動するピストン１１２ｋとで構成されている。

ストッパー１１２ｌは、第１支持部１１０ａに固定され、第３支持部１１２ｂに対してアクチュエーター１１２ｎの反対側に配置されている。

本実施の形態において、２つのピストン１１２ｋは、それぞれ独立して動作する。つまり、第３支持部１１２ｂは、Ｙ方向に対して間隔を置いて配置された２つのピストン１１２ｋ，１１２ｋによって、Ｘ方向における位置を決定される。このことから、Ｙ方向に向かって延びる第３支持部１１２ｂを、Ｘ方向に傾斜させることができる。

図３２は、余剰部切断機構１２０を中心に示す図であって、図２９の矢符Ｂ−Ｂに沿った断面図である。図３３は、図２９に示すトリミング処理装置１００の回転刃１２１，１２１部分を回転軸１２２ａの方向の内側から視た概略側面図である。なお、余剰部１５ａ，１６ａの切断状態において、基準側と押し側とでは実質的に同じ構成となっている。よって、図３２および図３３では、押し側に代表させて示し、基準側については図示を省略してある。

図３２および図３３に示すように、余剰部切断機構１２０は、回転刃１２１、せん断ローラー１９０、回転駆動部１２２、回転軸支持部１２３、および切断用移動部１２５を、基準側および押し側にそれぞれ備え、さらに、載置台１１３に載置されたモジュール１０を保持する保持部１２４を備える。

保持部１２４，１２４は、基準側および押し側にそれぞれ設けられ、載置台１１３に向けてモジュール１０を押圧するクランプ部（基板押さえ部）１２４ａと、クランプ部１２４ａをＺ方向に往復移動させる押圧部移動機構１２４ｂとを有している。なお、モジュール１０を保持する際には、基準側および押し側に設けられた一対のクランプ部１２４ａ，１２４ａによって、モジュール１０が押圧される。

クランプ部１２４ａは、モジュール１０のＥＶＡ１５およびバックシート１６に接触する接触面１２４ｃを有し、接触面１２４ｃでモジュール１０を確実に保持できるようになっている。また、クランプ部１２４ａは、Ｙ方向に沿って延びている。

押圧部移動機構１２４ｂは、クランプ部１２４ａをＺ方向に往復移動させＹ方向に間隔を置いて配置された一対のアクチュエーター１２４ｄ，１２４ｄを有している。

アクチュエーター１２４ｄは、支持部材１２４ｅによって第２支持部１１１ｂまたは第３支持部１１２ｂに支持されたシリンダー１２４ｆと、シリンダー１２４ｆからＺ方向に可動するピストン１２４ｇとを含んでいる。クランプ部１２４ａは、ピストン１２４ｇの先端部に設けられている。

切断用移動部１２５は、回転軸支持部１２３をＹ方向に沿って案内するガイド部１２５ａと、回転軸支持部１２３をＹ方向に往復移動させる回転刃切断方向移動機構１２５ｂとを備えている。つまり、本実施の形態においては、切断用移動部１２５は、回転刃１２１を切断方向Ｙ１に向かって移動させている。

ガイド部１２５ａは、第２支持部１１１ｂおよび第３支持部１１２ｂに設けられており、第２支持部１１１ｂおよび第３支持部１１２ｂに対して回転軸支持部１２３をＹ方向に移動自在に案内する従動式ＬＭガイド（Linear Motion Guide）を有している。

回転刃切断方向移動機構１２５ｂは、回転軸支持部１２３をＹ方向に往復移動させる走行駆動部１２５ｃを有している。

走行駆動部１２５ｃは、図示しない回転軸に連結された車輪を含む走行部１２５ｄをガイド部１２５ａ上に走行させることで回転軸支持部１２３をＹ方向に往復移動させるようになっている。

切断用移動部１２５は、回転刃１２１とモジュール１０との相対移動速度を制御する。この構成によると、切断用移動部１２５の相対移動速度を余剰部１５ａ，１６ａの切除に最適な速度にすることができ、例えば、切除を開始する際に相対移動速度を低速にして、スムーズに余剰部１５ａ，１６ａを引き込むことで、バリ等の不具合を低減することができる。

ここでは、切断を開始する際の回転刃１２１の移動速度は、７０ｍｍ／ｓとされており、切断中の回転刃１２１の移動速度は、１５１．６ｍｍ／ｓとされている。また、切断用移動部１２５は、基準側と押し側とが同期するように制御している。

回転刃１２１は、回転駆動部１２２の回転軸１２２ａの方向から視て円形状のものであり、先鋭状に形成された刃先１２１である刃部（図３４参照）が外周に設けられている。

回転駆動部１２２は、回転刃１２１を一方向に回転させる回転モーターとされており、回転軸１２２ａと回転刃１２１とが同軸上に連結されている。

回転軸支持部１２３は、回転刃１２１の回転軸１２２ａとせん断ローラー１９０の回転軸１４３とを支持する。回転軸支持部１２３によって、回転刃１２１の回転軸１２２ａとせん断ローラー１９０の回転軸１４３との距離が一定とされている。この構成によると、回転刃１２１とせん断ローラー１９０との接触角が一定となることによって、一様なせん断応力を得ることができる。

ここで、図３３に示すように、回転軸１２２ａの方向から回転刃１２１を視たとき、回転刃１２１およびせん断ローラー１９０は、一部が重なるように配置され、それぞれに他方と重ならない部分がある。

せん断ローラー１９０は、回転軸支持部１２３に回転自在に支持されている。この構成によると、せん断ローラー１９０の回転数を回転刃１２１の回転数に追従できるようになることによって、回転刃１２１との摩擦抵抗を抑制し、回転刃１２１の磨耗を抑えることができる。

上述したように、トリミング処理装置１００は、基板１１の対向する２辺の余剰部１５ａ，１６ａを同時に切除するように、一対の回転刃１２１，１２１を備える。この構成によると、基板１１の対向する２辺の余剰部１５ａ，１６ａを同時に切除できることによって、処理速度を向上させることができる。

トリミング処理装置１００は、切断用移動部１２５に連結され、回転軸支持部１２３を吊り下げる吊下げ連結部である厚み方向移動部１２６を備える。回転軸支持部１２３は、基板の厚み方向（Ｚ方向）と平行な軸回りに回転可能な構成とされている。この構成によると、基板１１の端面に沿った切断方向の歪みに対して、回転刃１２１を追従させることが容易になる。つまり、第３支持部１１２ｂをＸ方向に傾斜させることによって、回転軸支持部１２３を回転させることができる。

厚み方向移動部１２６は、回転軸支持部１２３をＺ方向に調整可能に支持する支持部吊下げ機構である回転刃高さ方向調整機構１２６ａを有している。

回転刃高さ方向調整機構１２６ａは、Ｚ方向に沿って走行部１２５ｄに設けられた支持棒１２６ｂと、支持棒１２６ｂに対してＺ方向に移動自在に支持され、かつ、回転軸支持部１２３に一体的に連結された可動部１２６ｃと、可動部１２６ｃと摺動自在に係合する螺旋状の螺旋部材（例えばスプリングやバネ）１２６ｄと、螺旋部材１２６ｄをＺ方向に沿った軸心回りに回転自在に保持する保持部材１２６ｅ，１２６ｆを有している。

支持棒１２６ｂは、Ｙ方向に列設され、Ｚ方向に沿って走行部１２５ｄの下面に立設された一対のものとされている。

保持部材１２６ｅ，１２６ｆは、螺旋部材１２６ｄをＺ方向の両端部で保持している。

保持部材１２６ｅは、支持棒１２６ｂの先端側で支持されており、螺旋部材１２６ｄの一端部を保持している。

保持部材１２６ｆは、可動部１２６ｃの上面にＺ方向に沿って立設された支持棒１２６ｇに対してＺ方向に移動可能に支持されており、螺旋部材１２６ｄの他端部を保持している。

可動部１２６ｃには、支持棒１２６ｂを摺動自在に挿通する貫通孔１２６ｈと、螺旋部材１２６ｄをＺ方向に沿った軸心回りに摺動自在に挿通して螺旋部材１２６ｄを係入する貫通孔１２６ｉとが設けられている。

回転刃高さ方向調整機構１２６ａでは、螺旋部材１２６ｄをＺ方向に沿った軸心回りに回転させることで、Ｚ方向に沿った軸心回りの回転運動を回転軸支持部１２３に連結された可動部１２６ｃに対するＺ方向の直線運動に変換することができる。これにより、螺旋部材１２６ｄにより回転軸支持部１２３に支持された回転刃１２１の高さ調節を行うことができる。本実施の形態では、回転刃１２１のバランス維持のために、可動部１２６ｃは、金属プレートで形成されている。

図３４は、回転刃１２１において２段階に傾斜させた刃先１２１ａの一例を概略的に示す側面図である。

回転刃１２１は、先端側傾斜部１２１ｃと、先端側傾斜部１２１ｃの刃先角度τ１よりも小さい先端角度τ２の回転中心側傾斜部１２１ｄとの２段階に傾斜させた刃先１２１ａが外周に設けられていてもよい。

図３４に示す例では、回転刃１２１は、厚みｄ１が１．２ｍｍ、刃先１２１ａの径方向Ｖにおける長さｅが１５ｍｍ（先端側傾斜部１２１ｃの長さｅ１＝１ｍｍ、回転中心側傾斜部１２１ｄの長さｅ２＝１４ｍｍ）、先端側傾斜部１２１ｃの刃先角度τ１が１６．７°、回転中心側傾斜部１２１ｄの先端角度τ２が３．６７８°のものとされている。

具体的には、直径１５０ｍｍの回転刃１２１を使用する場合、約４７１ｍｍ（≒１５０ｍｍ×３．１４）がカッターとして使用可能となる。この長さは、従来のナイフ状のカッター板（上下振動式カッター）では実現不可能な長さと言える。勿論、直径１５０ｍｍよりも大きな直径或いは小さな直径の回転刃を使用してもよい。

図３５は、トリミング処理装置１００の回転刃１２１による余剰部１５ａ，１６ａの切断部分を概略的に示す側面図である。

本実施の形態において、トリミング処理装置１００は、余剰部１５ａ，１６ａの浮き上がりを規制する浮き上がり規制部１３０を備える。

この構成によると、回転刃１２１，１２１のせん断応力による余剰部１５ａ，１６ａの浮き上がりを抑制することができ、回転刃１２１，１２１による余剰部１５ａ，１６ａの切除をスムーズに行うことができる。

浮き上がり規制部材１３０は、円板状であって、せん断ローラー１９０の回転軸１４３に固定されている。

トリミング処理装置１００は、モジュール１０に追従する追従ローラーである保持ローラー１４０を備える。回転軸支持部１２３は、保持ローラー１４０の回転軸１４３を支持する。この構成によると、保持ローラー１４０によって、基板１１のたわみといった基板１１の厚み方向（Ｚ方向）の変動を回転軸支持部１２３に伝えることができる。回転軸支持部１２３の変動に回転刃１２１が追従することにより、余剰部１５ａ，１６ａの切除を安定させることができる。

なお、本実施の形態において、保持ローラー１４０は、せん断ローラー１９０と同じ回転軸１４３によって、回転軸支持部１２３に回転自在に支持されている。

保持ローラー１４０は、モジュール１０の余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理するにあたり、切断用移動部１２５によって切断方向（Ｙ１方向（Ｘ１方向））へ進んでいくと、外周面１４０ａがモジュール１０におけるバックシート１６の上面に接触しながら従動回転するようになっている。すなわち、基板１１のソリやＥＶＡ１５の厚みバラツキなどで、モジュール１０の厚みが不均一であったり、モジュール１０の高さが微小に異なっていたりしても、回転刃１２１と基板１１とのＺ方向の位置関係を一定に維持したまま余剰部１５ａ，１６ａを安定して切断することができる。例えば、モジュール１０の厚みが不均一な場合に、保持ローラー１４０がないと不均一なせん断応力で余剰部１５ａ，１６ａを切断しなければならないところ、保持ローラー１４０を設置することにより、部材公差を吸収でき、均一なせん断応力で余剰部１５ａ，１６ａを切断することができる。

詳しくは、保持ローラー１４０は、ローラー部１４１と、周方向に沿ってローラー部１４１からＺ方向に突出した（例えば０．５ｍｍ程度突出した）段差部１４２を有している。このように、保持ローラー１４０が段差部１４２を有していることで、外周面１４０ａとモジュール１０との接触面積を減らすことができ、これにより、回転刃１２１の高さ位置の位置精度を高めることができる。

せん断ローラー１９０は、回転軸方向に直交する回転刃１２１側の側面１９０ａが回転刃１２１の側面１２１ｂと接触するように配置されている。また、基板の厚み方向（Ｚ方向）において、回転刃１２１とせん断ローラー１９０とで余剰部１５ａ，１６ａを挟む構成とされている。

以上説明したトリミング処理装置１００では、モジュール１０の余剰部１５ａ，１６ａをトリミング処理するにあたり、図３０（ａ）に示すように、モジュール１０における基板１１の長辺側の余剰部１５ａ，１６ａを切断する第１ステージＳＴ１へと搬送しリフトアップした後、載置台１１３に載置する。

次に、図示しない基板位置決め機構によって、モジュール１０の位置決めをし、押圧部移動機構１２４ｂによって、クランプ部１２４ａを下降させ、クランプ部１２４ａによりモジュール１０を押さえ、クランプ部１２４ａと載置台１１３との間でモジュール１０を保持する（図３２の破線参照）。

そして、回転刃１２１を回転駆動部１２２により一方向に回転させた状態で、回転刃１２１とモジュール１０とのうち少なくとも一方（ここでは回転刃１２１）を切断用移動部１２５により切断方向Ｙ１に沿って相対的に移動させて、回転刃１２１とせん断ローラー１９０とで基板１１の長辺側の余剰部１５ａ，１６ａを挟んで切除する。

余剰部１５ａ，１６ａの切断後、押圧部移動機構１２４ｂによって、クランプ部１２４ａを上昇させてモジュール１０を解放し、図３０（ｂ）に示すように、モジュール１０を基板１１の短辺側の余剰部１５ａ，１６ａを切断する第２ステージＳＴ２へと搬送する。

そして、第２ステージＳＴ２に搬送されたモジュール１０を第１ステージＳＴ１と同様にしてクランプ部１２４ａと載置台１１３との間で保持した後、回転刃１２１を回転駆動部１２２により一方向に回転させた状態で、回転刃１２１とモジュール１０とのうち少なくとも一方（ここでは回転刃１２１）を切断用移動部１２５により切断方向Ｘ１に沿って相対的に移動させて、回転刃１２１とせん断ローラー１９０とで基板１１の短辺側の余剰部１５ａ，１６ａを挟んで切除する。

ところで、この実施の形態２にかかるトリミング処理方法の従来技術に関して、上記の特許文献１のトリミング処理方法以外の他のトリミング処理方法として、加熱した電熱線を、一定の速度で基板の上下方向に送りながら溶断する方法がある（特開２００６−２４５２６５号公報（以下、特許文献２とする））。

図３６は、加熱した電熱線を用いたモジュールの余剰部を切除する方法を示す説明図である。

特許文献２に記載のトリミング処理装置は、加熱した電熱線２０を、一定の速度でモジュール１０の上下方向Ｅに送りながら余剰部１５ａ，１６ａを溶断するものである。電熱線２０は、モジュール１０の上側に配置された上側ガイドローラ２１ａと、モジュールの下側に配置された下側ガイドローラ２１ｂとに直線状に巻き掛けられている。電熱線２０は、図示しない駆動装置によって、上側ガイドローラ２１ａと下側ガイドローラ２１ｂとの間を一定の速度で無端走行している。電熱線２０をモジュール１０の周囲に沿って移動させることにより、余剰部１５ａ，１６ａを溶断する。余剰部１５ａ，１６ａを溶断する際に、電熱線２０は、基板１１の端面１１ａに押し当てられることにより、直線状とされた状態と比較して変位Ｄｐだけ変形する。

この特許文献２に記載のトリミング処理装置では、余剰部を溶断するために、電熱線を高温に加熱する必要があることから、急峻な温度変化によって、加熱した電熱線が切れてしまう可能性がある。また、電熱線の温度によって、溶断可能な材料が限定されるため、金属層を有するバックシートを溶断することが困難であるという課題がある。さらに、溶断する際に加わる力によって、電熱線２０の変位Ｄｐが変化するため、モジュールの端面にバリなどができることがある。

これに対して、実施の形態２にかかるトリミング処理方法によれば、バックシート１６を溶断することはなく、さらに、モジュール１０の端面１０ａにバリなどが発生しない。

なお、本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。

また、この出願は、２０１０年６月１１日に日本で出願された特願２０１０−１３３９１２号と、２０１０年６月１７日に日本で出願された特願２０１０−１３８６２５号と、に基づく優先権を請求する。これに言及することにより、その全ての内容は本出願に組み込まれるものである。

１０ モジュール
１１ 基板
１１ａ 端面
１５ ＥＶＡ（封止部材の一例）
１５ａ 余剰部
１６ バックシート（封止部材の一例）
１６ａ 余剰部
１００ トリミング処理装置
１２１ 回転刃
１２１ａ 刃先
１２２ 回転駆動部
１２３ 回転刃支持部
１２５ 切断用移動部
１２６ 厚み方向移動部
１３０ 浮き上がり規制部材
１４０ 保持ローラー
１５０ 回転軸カバー
１６０ エアブロー装置
１７０ 第１吸塵装置
１８０ 第２吸塵装置
ｄ３ 隙間
Ａ 回転方向
Ｖ 径方向
Ｗ 刃厚方向
Ｘ１ 切断方向
Ｙ１ 切断方向
Ｚ 厚み方向
θ 切断角度
τ２ 先端角度
φ 傾斜角度

Claims (17)

1. 封止部材によって基板を封止したモジュールにおける前記封止部材の余剰部を除去するトリミング処理方法であって、
   刃先を刃厚方向において径方向の外方に向かうに従い尖鋭状に傾斜させた回転刃を、前記基板側へ前記基板の厚み方向に沿った軸心回りに傾斜させる切断角度を持たせ、かつ、一方向に回転させた状態で、該回転刃と前記モジュールとのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に沿って相対的に移動させつつ前記余剰部を切除することを特徴とするモジュールのトリミング処理方法。
2. 封止部材によって基板を封止したモジュールにおける前記封止部材の余剰部を除去するトリミング処理装置であって、
   刃先を刃厚方向において径方向の外方に向かうに従い尖鋭状に傾斜させた回転刃と、
   前記回転刃を前記基板側へ前記基板の厚み方向に沿った軸心回りに傾斜させる切断角度を持たせた状態で該回転刃を支持する回転刃支持部と、
   前記回転刃を一方向に回転させるための回転駆動部と、
   前記回転刃と前記モジュールとのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に沿って相対的に移動させる切断用移動部と、
   を備えていることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
3. 請求項２に記載のトリミング処理装置であって、
   前記回転刃の切断角度は、０．６°〜１０°の範囲のうち何れかの値であることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
4. 請求項２又は請求項３に記載のトリミング処理装置であって、
   前記回転刃の周速度は、２．０ｍ／ｓ〜５．５ｍ／ｓの範囲のうち何れかの値であることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
5. 請求項２から請求項４までの何れか一つに記載のトリミング処理装置であって、
   前記回転刃と前記モジュールとの相対移動速度は、２３３．３ｍｍ／ｓ以下の範囲のうち何れかの値であることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
6. 請求項２から請求項５までの何れか一つに記載のトリミング処理装置であって、
   前記回転刃によって切除される前記余剰部の浮き上がりを規制する浮き上がり規制部材を備えていることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
7. 請求項２から請求項６までの何れか一つに記載のトリミング処理装置であって、
   前記刃先の先端角度は、１０°〜３０°の範囲のうち何れかの値であることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
8. 請求項２から請求項７までの何れか一つに記載のトリミング処理装置であって、
   前記回転刃に対して非接触の状態で前記モジュールを一方の面で保持する保持ローラーを備えていることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
9. 請求項８に記載のトリミング処理装置であって、
   前記保持ローラーは、ローラー部と、周方向に沿って前記ローラー部から径方向の外方に突出した段差部とを有していることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
10. 請求項２から請求項９までの何れか一つに記載のトリミング処理装置であって、
    前記回転駆動部は、前記回転刃を、前記切断方向に対して順方向に回転させる、又は前記切断方向とは逆方向に回転させることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
11. 請求項２から請求項１０までの何れか一つに記載のトリミング処理装置であって、
    前記回転刃と前記モジュールとのうち少なくとも一方を前記基板の厚み方向に沿って相対的に移動させる厚み方向移動部を備えていることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
12. 請求項２から請求項１１までの何れか一つに記載のトリミング処理装置であって、
    前記切断用移動部は、前記回転刃を前記基板側へ前記切断方向に沿った軸心回りに傾斜させる傾斜角度を持たせた状態で前記回転刃と前記モジュールとのうち少なくとも一方を前記切断方向に沿って相対的に移動させることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
13. 請求項２から請求項１２までのいずれか１つに記載のモジュールのトリミング処理装置であって、
    前記基板の対向する２辺の余剰部を同時に切除するように、一対の前記回転刃を備えることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
14. 請求項１２に記載のトリミング処理装置であって、
    前記回転刃の前記傾斜角度は、０°より大きくかつ１５°以下の範囲のうち何れかの値であることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
15. 請求項２から請求項１４までの何れか一つに記載のトリミング処理装置であって、
    前記回転駆動部の回転軸を覆う回転軸カバーを備えていることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
16. 請求項２から請求項１５までの何れか一つに記載のトリミング処理装置であって、
    切除された前記余剰部の切粉を吹き飛ばすエアブロー装置を備えていることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。
17. 請求項２から請求項１６までの何れか一つに記載のトリミング処理装置であって、
    切除された前記余剰部の切粉を吸引する吸塵装置を備えていることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。

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