JPWO2011093456A1 - 圧電振動デバイス、およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ベース4は、セラミックからなり、図2に示すように、底部41と、ベース4の一主面42の主面外周に沿って底部41から上方に延出した堤部44と、から構成された箱状体に成形されている。このベース4は、セラミックの一枚板上にセラミックの輪状体を積層して凹状に一体焼成されている。ベース4の平面視の寸法は、3.2mm×2.5mm以下に設定される。なお、本実施の形態では、平面視の寸法が2.5mm×2.0mmに設定されたベース4を用いる。
蓋6は、セラミックからなり、平面視矩形状の直方体の一枚板に成形されている。この蓋6の下面61は、ベース4と接合するための接合面であり、図3に示すように、平坦面に成形されている。蓋6の平面視の寸法は、3.2mm×2.5mm以下に設定される。なお、本実施の形態では、平面視の寸法が2.5mm×2.0mmに設定された基板を用いる。
水晶振動片2は、ATカット水晶片の基板21からなり、その外形は、図4に示すように、平面視略矩形状の(両主面22,23が略矩形状に形成された)一枚板の直方体となっている。なお、本実施の形態では、水晶振動片2の対向する平面視長辺のことを、一側辺と他側辺という。
上記した構成からなる水晶振動子1では、図1に示すように、ベース4と水晶振動片2とは、導電性バンプ7を介してFCB法により電気機械的に超音波接合される。この接合により、水晶振動片2の励振電極31,32が、引出電極35,36、端子電極33,34、導電性バンプ7を介してベース4の電極パッド51,52に電気機械的に接合され、ベース4に水晶振動片2が搭載される。なお、導電性バンプ7には、非流動性部材のメッキバンプが用いられている。ここでいうメッキバンプはメッキにより形成された金属膜であり、下地金属層(シード層)上に電解メッキ等により金属膜を生成した構成である。メッキ条件により、その膜厚を調整することができ、厚膜に形成することができる。また下地金属層の形状により金属膜の上面の形状を決定することができ、金属膜上面の形状を平坦にしたり、凸形状にしたりすることができる。
11 内部空間
2 水晶振動片
21 基板
22,23 主面
24 振動部
25 接合部
31,32 励振電極
33,34 端子電極
35,36 引出電極
4 ベース
41 底部
42,43 主面
44 堤部
45 天面
46 ベース接合層
47 キャビティ
48 キャスタレーション
49 ビア
51,52 電極パッド
53,54 外部端子電極
55 配線パターン
56 導通部材
6 蓋
61 下面
62 蓋接合層
7 導電性バンプ
8 接合材
81 Sn−Cu合金
82 Sn
92 水晶振動片
922,923 主面
926 堤部
927 天面
928 第3接合層
94 一封止部材
946 第1接合層
96 他封止部材
962 第2接合層
Claims (13)
- 圧電振動片の励振電極を気密封止する圧電振動デバイスにおいて、
前記圧電振動片の励振電極を気密封止する複数の封止部材が設けられ、
前記複数の封止部材に、それぞれ接合層が形成され、
前記複数の封止部材の少なくとも1つに堤部が設けられ、前記堤部の天面に前記接合層が形成され、
前記複数の封止部材がそれぞれの前記接合層を介して接合されて、金属間化合物を含む接合材が形成された圧電振動デバイス。
- 圧電振動片の励振電極を気密封止する圧電振動デバイスにおいて、
前記圧電振動片の励振電極を気密封止する複数の封止部材が設けられ、
前記圧電振動片と前記複数の封止部材とに、それぞれ接合層が形成され、
前記圧電振動片と前記封止部材との少なくとも1つに堤部が設けられ、前記堤部の天面に前記接合層が形成され、
前記圧電振動片と前記複数の封止部材とが、それぞれの前記接合層を介して接合されて、金属間化合物を含む接合材が形成された圧電振動デバイス。
- 請求項1または2に記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記接合層、前記接合層が形成された前記封止部材の接合部位、または前記接合層が形成された前記圧電振動片の接合部位が凸状に形成された圧電振動デバイス。
- 請求項1または2に記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記接合層が形成された前記封止部材の接合部位、または前記接合層が形成された前記圧電振動片の接合部位が凸状に形成され、
前記凸状に形成された前記封止部材の接合部位または前記圧電振動片の接合部位は、当該封止部材または当該圧電振動片と同じ材料からなる圧電振動デバイス。
- 請求項1乃至4のうちいずれか1つに記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記圧電振動片と前記封止部材との少なくとも1つの、前記接合層が形成された接合面は、平坦面とされ、
前記接合面が平坦面とされた前記接合層は、前記接合面の外周に沿って形成され、
前記堤部の天面と前記接合面の外周とにおいてそれぞれの前記接合層が接合された圧電振動デバイス。
- 請求項1乃至5のうちいずれか1つに記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記金属間化合物は、前記接合材内に偏在して形成された圧電振動デバイス。
- 請求項6に記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記金属間化合物は、前記封止部材同士、または前記封止部材と前記圧電振動片とを接合する前記接合材の両端に亘って形成された圧電振動デバイス。
- 請求項1乃至7のうちいずれか1つに記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記接合材の両端間の最も狭いギャップに、前記金属間化合物が偏在して形成された圧電振動デバイス。
- 請求項8に記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記最も狭いギャップは、3〜20μmである圧電振動デバイス。
- 請求項1乃至9のうちいずれか1つに記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記接合層は、CuとSnとを含む圧電振動デバイス。
- 圧電振動片の励振電極を気密封止する圧電振動デバイスにおいて、
前記圧電振動片の励振電極を気密封止する複数の封止部材が設けられ、
前記複数の封止部材が、金属間化合物を含む接合材により接合された圧電振動デバイス。
- 圧電振動片の励振電極を気密封止する圧電振動デバイスにおいて、
前記圧電振動片の励振電極を気密封止する複数の封止部材が設けられ、
前記圧電振動片と前記複数の封止部材とが、金属間化合物を含む接合材により接合された圧電振動デバイス。
- 請求項1に記載の圧電振動デバイスの製造方法において、
前記複数の封止部材のうち一封止部材に、前記Sn−Cu層を最上層とする前記接合層を形成し、
前記一封止部材と接合する他の前記封止部材に、前記Sn−Cu層よりも面積が小さい前記Cu層を最上層とする前記接合層を形成し、
前記Sn−Cu層と前記Cu層とを加熱接合する圧電振動デバイスの製造方法。
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