JPWO2011040264A1 - レーザ発振器およびレーザ増幅器 - Google Patents
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Abstract
Description
光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、
光共振器内に設けられ、発振光を直線偏光に規定するための偏光選択素子とを備え、
反射ミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
光共振器の光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して発振光の偏光方向が平行となるように偏光選択素子が配置され、
直交型ミラーの谷線に対して発振光の偏光方向が平行となるように直交型ミラーが配置されている。
光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、
光共振器内に設けられ、発振光を直線偏光に規定するための偏光選択素子とを備え、
反射ミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
光共振器の光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して発振光の偏光方向が垂直となるように偏光選択素子が配置され、
直交型ミラーの谷線に対して発振光の偏光方向が垂直となるように直交型ミラーが配置されている。
光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、
光共振器内に設けられ、発振光を直線偏光に規定するための偏光選択素子とを備え、
反射ミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
光共振器の光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して発振光の偏光方向が平行となるように偏光選択素子が配置され、
直交型ミラーの各反射面には、P偏光とS偏光の間で4分の1波長分の位相差を生じさせる反射膜が施されていることを特徴とする。
前記基準軸は、放電方向に対して45度の角度で交差するように設定されることが好ましい。
光軸に沿って進行するレーザ光を増幅するためのレーザ媒質とを備え、
折り返しミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
前記光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して直交型ミラーの谷線が平行となるように、さらに直交型ミラーの谷線に対してレーザ光の偏光方向が45度となるように直交型ミラーが配置されている。
前記基準軸は、放電方向に対して45度の角度で交差するように設定されることが好ましい。
図1は、本発明の実施の形態1を示す斜視図である。レーザ発振器は、直交型ミラー1および部分反射ミラー2を有する光共振器と、放電電極61,62の間に供給され、レーザ媒質として機能するレーザガスと、偏光選択素子として機能する90度折り曲げミラー3とを備える。
本実施形態では、実施の形態1において基準軸14の角度設定が任意であることについて説明する。前述した実施の形態1では、理解容易のため、光軸に直交するxy面内において、基準軸14が放電電極61,62の放電方向、即ち、y方向に対して角度45度の方向に設定した場合を例として説明した。
図8は、本発明の実施の形態3を示す斜視図である。レーザ発振器は、直交型ミラー1および部分反射ミラー2を有する光共振器と、放電電極61,62の間に供給され、レーザ媒質として機能するレーザガスと、偏光選択素子として機能する90度折り曲げミラー3とを備える。
本実施形態では、実施の形態3において基準軸14の角度設定が任意であることについて説明する。前述した実施の形態3では、理解容易のため、光軸に直交するxy面内において、基準軸14が放電電極61,62の放電方向、即ち、y方向に対して角度45度の方向に設定した場合を例として説明した。
図11は、本発明の実施の形態5を示す斜視図である。レーザ発振器は、直交型ミラー1および部分反射ミラー2を有する光共振器と、放電電極61,62の間に供給され、レーザ媒質として機能するレーザガスと、偏光選択素子として機能する90度折り曲げミラー3とを備える。
図13は、本発明の実施の形態6を示す斜視図である。レーザ増幅器は、垂直偏光のレーザ光を反射し、水平偏光のレーザ光を通過させる偏光ビームスプリッタ15と、偏光ビームスプリッタ15で反射したレーザ光を同じ光軸に沿って反射するための直交型ミラー1と、放電電極61,62の間に供給され、レーザ媒質として機能するレーザガスとを備える。
光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、
光共振器内に設けられ、発振光を直線偏光に規定するための偏光選択素子とを備え、
反射ミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
光共振器の光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して発振光の偏光方向が平行となるように偏光選択素子が配置され、
直交型ミラーの谷線に対して発振光の偏光方向が平行となるように直交型ミラーが配置され、
光共振器の光軸に対して垂直な第1方向にレーザガス流の方向が設定され、光軸および第1方向に対して垂直な第2方向に放電方向が設定され、
前記基準軸は、放電方向に対して45度の角度で交差するように設定される。
光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、
光共振器内に設けられ、発振光を直線偏光に規定するための偏光選択素子とを備え、
反射ミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
光共振器の光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して発振光の偏光方向が垂直となるように偏光選択素子が配置され、
直交型ミラーの谷線に対して発振光の偏光方向が垂直となるように直交型ミラーが配置され、
光共振器の光軸に対して垂直な第1方向にレーザガス流の方向が設定され、光軸および第1方向に対して垂直な第2方向に放電方向が設定され、
前記基準軸は、放電方向に対して45度の角度で交差するように設定される。
光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、
光共振器内に設けられ、発振光を直線偏光に規定するための偏光選択素子とを備え、
反射ミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
光共振器の光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して発振光の偏光方向が平行となるように偏光選択素子が配置され、
直交型ミラーの各反射面には、P偏光とS偏光の間で4分の1波長分の位相差を生じさせる反射膜が施されており、
光共振器の光軸に対して垂直な第1方向にレーザガス流の方向が設定され、光軸および第1方向に対して垂直な第2方向に放電方向が設定され、
前記基準軸は、放電方向に対して45度の角度で交差するように設定される。
光軸に沿って進行するレーザ光を増幅するためのレーザ媒質とを備え、
折り返しミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
前記光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して直交型ミラーの谷線が平行となるように、さらに直交型ミラーの谷線に対してレーザ光の偏光方向が45度となるように直交型ミラーが配置され、
レーザ光の光軸に対して垂直な第1方向にレーザガス流の方向が設定され、光軸および第1方向に対して垂直な第2方向に放電方向が設定され、
前記基準軸は、放電方向に対して45度の角度で交差するように設定される。
Claims (6)
- 反射ミラーおよび出力ミラーを有する往復型の光共振器と、
光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、
光共振器内に設けられ、発振光を直線偏光に規定するための偏光選択素子とを備え、
反射ミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
光共振器の光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して発振光の偏光方向が平行となるように偏光選択素子が配置され、
直交型ミラーの谷線に対して発振光の偏光方向が平行となるように直交型ミラーが配置されていることを特徴とするレーザ発振器。 - 反射ミラーおよび出力ミラーを有する往復型の光共振器と、
光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、
光共振器内に設けられ、発振光を直線偏光に規定するための偏光選択素子とを備え、
反射ミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
光共振器の光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して発振光の偏光方向が垂直となるように偏光選択素子が配置され、
直交型ミラーの谷線に対して発振光の偏光方向が垂直となるように直交型ミラーが配置されていることを特徴とするレーザ発振器。 - 反射ミラーおよび出力ミラーを有する往復型の光共振器と、
光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、
光共振器内に設けられ、発振光を直線偏光に規定するための偏光選択素子とを備え、
反射ミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
光共振器の光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して発振光の偏光方向が平行となるように偏光選択素子が配置され、
直交型ミラーの各反射面には、P偏光とS偏光の間で4分の1波長分の位相差を生じさせる反射膜が施されていることを特徴とするレーザ発振器。 - レーザ発振器は、光共振器の光軸に対して垂直な第1方向にレーザガス流の方向が設定され、光軸および第1方向に対して垂直な第2方向に放電方向が設定された直交型ガスレーザ発振器であって、
前記基準軸は、放電方向に対して45度の角度で交差するように設定されることを特徴とする請求項1〜3のいずかれに記載のレーザ発振器。 - 所定の光軸に沿って進行する直線偏光のレーザ光を同じ光軸に沿って反射するための折り返しミラーと、
光軸に沿って進行するレーザ光を増幅するためのレーザ媒質とを備え、
折り返しミラーは、2つの反射面が直交した直交型ミラーであり、
前記光軸に直交する面内に設定された基準軸に対して直交型ミラーの谷線が平行となるように、さらに直交型ミラーの谷線に対してレーザ光の偏光方向が45度となるように直交型ミラーが配置されていることを特徴とするレーザ増幅器。 - レーザ増幅器は、レーザ光の光軸に対して垂直な第1方向にレーザガス流の方向が設定され、光軸および第1方向に対して垂直な第2方向に放電方向が設定された直交型ガスレーザ増幅器であって、
前記基準軸は、放電方向に対して45度の角度で交差するように設定されることを特徴とする請求項5記載のレーザ増幅器。
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