JPWO2011007690A1 - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2011007690A1 JPWO2011007690A1 JP2011522784A JP2011522784A JPWO2011007690A1 JP WO2011007690 A1 JPWO2011007690 A1 JP WO2011007690A1 JP 2011522784 A JP2011522784 A JP 2011522784A JP 2011522784 A JP2011522784 A JP 2011522784A JP WO2011007690 A1 JPWO2011007690 A1 JP WO2011007690A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- acoustic wave
- surface acoustic
- film
- wave device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02669—Edge reflection structures, i.e. resonating structures without metallic reflectors, e.g. Bleustein-Gulyaev-Shimizu [BGS], shear horizontal [SH], shear transverse [ST], Love waves devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
第1の絶縁膜:SiN膜、厚みは波長の10%
第2の絶縁膜:SiO2酸化珪素膜、厚みは波長の60%
結果を図13に示す。
2…圧電基板
3…IDT電極
4,5…反射器
6…酸化珪素膜
7,8…第1,第2の絶縁膜
8a,8b…第2の絶縁膜
Claims (5)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されたIDT電極と、
前記圧電基板上において、前記IDT電極の上面を覆うように形成された第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に形成された少なくとも一層の第2の絶縁膜とを備え、
SH波の高次モードを利用しており、
前記少なくとも一層の第2の絶縁膜のうち最表面に位置する絶縁膜中を伝搬する弾性表面波の音速よりも、該最表面の絶縁膜よりもIDT電極に近い側に位置している少なくとも一層の絶縁膜の弾性表面波の音速が速くされている、弾性表面波装置。 - 前記最表面に位置する絶縁膜が酸化珪素からなり、その膜厚が前記弾性表面波の波長の45%以上、85%以下であり、最表面の絶縁膜以外の絶縁膜が、窒化珪素、酸化アルミニウム及び炭化珪素からなる群から選択された一種の絶縁材料からなり、膜厚が弾性表面波の波長の5%以上、21%以下である、請求項1に記載の弾性表面波装置。
- 前記少なくとも一層の第2の絶縁膜が、一層の第2の絶縁膜からなり、該第2の絶縁膜が酸化珪素からなり、第1の絶縁膜が窒化珪素、酸化アルミニウム及び炭化珪素からなる群から選択された一種の絶縁材料からなる、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
- 前記圧電基板がLiNbO3基板からなり、該LiNbO3基板のオイラー角が、(0°,62°〜165°,0°)である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性表面波装置。
- 前記LiNbO3基板のオイラー角が(0°,99°〜164°,0°)である、請求項4に記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011522784A JP5187444B2 (ja) | 2009-07-17 | 2010-07-05 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009169165 | 2009-07-17 | ||
JP2009169165 | 2009-07-17 | ||
JP2011522784A JP5187444B2 (ja) | 2009-07-17 | 2010-07-05 | 弾性表面波装置 |
PCT/JP2010/061390 WO2011007690A1 (ja) | 2009-07-17 | 2010-07-05 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011007690A1 true JPWO2011007690A1 (ja) | 2012-12-27 |
JP5187444B2 JP5187444B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=43449300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011522784A Active JP5187444B2 (ja) | 2009-07-17 | 2010-07-05 | 弾性表面波装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8427032B2 (ja) |
JP (1) | JP5187444B2 (ja) |
CN (1) | CN102474238B (ja) |
DE (1) | DE112010003229B4 (ja) |
WO (1) | WO2011007690A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103765770B (zh) | 2011-09-01 | 2018-03-30 | 株式会社村田制作所 | 压电体波装置及其制造方法 |
WO2013031724A1 (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-07 | 株式会社村田製作所 | 圧電バルク波装置及びその製造方法 |
WO2014020876A1 (ja) * | 2012-07-30 | 2014-02-06 | パナソニック株式会社 | 弾性波素子とこれを用いたアンテナ共用器 |
US9496846B2 (en) * | 2013-02-15 | 2016-11-15 | Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Acoustic wave device and electronic apparatus including same |
DE112015001240B4 (de) * | 2014-03-14 | 2024-06-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
CN104868873A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-08-26 | 上海交通大学 | 一种多层复合结构声表面波器件基底 |
US10056879B2 (en) * | 2016-04-21 | 2018-08-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave filter device |
DE102018124157B4 (de) * | 2018-10-01 | 2023-11-09 | Rf360 Singapore Pte. Ltd. | Für hohe Frequenzen ausgelegte SAW-Vorrichtung |
GB2596956B (en) * | 2019-04-03 | 2023-08-23 | Univ Tohoku | High-order mode surface acoustic wave devices |
CN112468109A (zh) * | 2020-11-17 | 2021-03-09 | 上海师范大学 | 一种适用于高频、宽带声表面波器件的异质层状压电基底 |
CN112737537A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-30 | 广东广纳芯科技有限公司 | 一种双层poi结构声表面波谐振器及制造方法 |
CN112787620A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-05-11 | 广东广纳芯科技有限公司 | 一种具有多层膜结构的声表面波谐振器及制造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07254835A (ja) * | 1994-03-15 | 1995-10-03 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波共振子フィルタ |
JP3204290B2 (ja) * | 1995-02-09 | 2001-09-04 | 住友電気工業株式会社 | 表面弾性波素子 |
JPH09331229A (ja) * | 1996-03-08 | 1997-12-22 | Yasutaka Shimizu | 弾性表面波素子 |
KR100588450B1 (ko) | 1996-03-08 | 2006-08-30 | 산요덴키가부시키가이샤 | 탄성표면파소자및이를이용한휴대전화기 |
JP3887765B2 (ja) * | 1998-01-30 | 2007-02-28 | 耕司 戸田 | 超音波スイッチング素子 |
WO2005083881A1 (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波装置 |
US7471171B2 (en) * | 2006-02-28 | 2008-12-30 | Fujitsu Media Devices Limited | Elastic boundary wave device, resonator, and filter |
WO2007138844A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波装置 |
JP4715922B2 (ja) * | 2006-05-30 | 2011-07-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
JP2008067289A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
JP4943787B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2012-05-30 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、共振器およびフィルタ |
EP2104228A4 (en) * | 2006-12-25 | 2014-10-08 | Murata Manufacturing Co | ELASTIC LIMIT WAVE DEVICE |
JP2010193429A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波装置 |
-
2010
- 2010-07-05 WO PCT/JP2010/061390 patent/WO2011007690A1/ja active Application Filing
- 2010-07-05 JP JP2011522784A patent/JP5187444B2/ja active Active
- 2010-07-05 DE DE112010003229.7T patent/DE112010003229B4/de active Active
- 2010-07-05 CN CN201080032018.XA patent/CN102474238B/zh active Active
-
2012
- 2012-01-11 US US13/347,730 patent/US8427032B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112010003229B4 (de) | 2015-07-30 |
WO2011007690A1 (ja) | 2011-01-20 |
CN102474238B (zh) | 2015-03-11 |
CN102474238A (zh) | 2012-05-23 |
DE112010003229T5 (de) | 2013-06-27 |
JP5187444B2 (ja) | 2013-04-24 |
US8427032B2 (en) | 2013-04-23 |
US20120104897A1 (en) | 2012-05-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5187444B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
US9035725B2 (en) | Acoustic wave device | |
JP4178328B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP4356613B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP4337816B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP4483785B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP4715922B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP5163748B2 (ja) | 弾性波素子と、これを用いた電子機器 | |
WO2011158445A1 (ja) | 弾性波素子 | |
JP2010193429A (ja) | 弾性波装置 | |
WO2009139108A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP2008235950A (ja) | 弾性境界波装置 | |
JPWO2005086345A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
WO2020204045A1 (ja) | 高次モード弾性表面波デバイス | |
WO2010116783A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP2010088109A (ja) | 弾性波素子と、これを用いた電子機器 | |
JP5110091B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP4883089B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP4001157B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP7493306B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JPWO2009090715A1 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JPWO2005036744A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP7517701B2 (ja) | 高次モードの弾性表面波を利用するデバイス | |
JP2004172991A (ja) | 表面波装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130107 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160201 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5187444 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |