JPWO2010125682A1 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
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- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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- H01L2224/48465—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
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- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
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- H01L2224/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L2224/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
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- H01L2924/01029—Copper [Cu]
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Abstract
Description
半導体装置は、MISFETなどの半導体素子と多層配線を形成した半導体チップと、この半導体チップを覆うように形成されたパッケージから形成されている。パッケージには、(1)半導体チップに形成されている半導体素子と外部回路とを電気的に接続するという機能や、(2)湿度や温度などの外部環境から半導体チップを保護し、振動や衝撃による破損や半導体チップの特性劣化を防止する機能がある。さらに、パッケージには、(3)半導体チップのハンドリングを容易にするといった機能や、(4)半導体チップの動作時における発熱を放散し、半導体素子の機能を最大限に発揮させる機能なども合わせもっている。このような機能を有するパッケージには様々な種類が存在する。以下に、パッケージの構成例について説明する。
前記実施の形態1では、半導体チップの全体を樹脂で封止するパッケージについて説明したが、本実施の形態2では、半導体チップの一部を樹脂で封止するパッケージについて説明する。
前記実施の形態1および前記実施の形態2では、BGA(Ball Grid Array)タイプのパッケージについて説明したが、本実施の形態3では、リードフレームを使用したQFP(Quad Flat Package)タイプのパッケージについて説明する。
前記実施の形態1では、セミグローバル層を構成する層間絶縁膜IL6、IL7にSiOC膜を使用する例について説明したが、本実施の形態4では、セミグローバル層を構成する層間絶縁膜にTEOS膜、あるいは、酸化シリコン膜を使用する例について説明する。つまり、前記実施の形態1では、セミグローバル層を構成する層間絶縁膜IL6、IL7に中ヤング率膜を使用したが、本実施の形態4では、セミグローバル層を構成する層間絶縁膜に高ヤング率膜を使用している。本実施の形態4のそれ以外の構成は、前記実施の形態1と同様である。
前記実施の形態1では、第1ファイン層を構成する層間絶縁膜IL1を中ヤング率膜から構成する例について説明したが、本実施の形態5では、第1ファイン層を構成する層間絶縁膜を中ヤング率膜と低ヤング率膜と中ヤング率膜の積層膜で形成する例について説明する。
BI1 バリア絶縁膜
BI1a SiCN膜
BI1b SiCO膜
BI2 バリア絶縁膜
BI3 バリア絶縁膜
BI4 バリア絶縁膜
BI5 バリア絶縁膜
BI6 バリア絶縁膜
BI6a SiCN膜
BI6b SiCO膜
BI7a バリア絶縁膜
BI7a1 SiCN膜
BI7a2 SiCO膜
BI7b エッチングストップ絶縁膜
BI8 バリア絶縁膜
BM1 バリア導体膜
BM2 バリア導体膜
BM7 バリア導体膜
BM8 バリア導体膜
BMP バンプ電極
CHP 半導体チップ
CIL コンタクト層間絶縁膜
CMP1 CMP保護膜
CNT1 コンタクトホール
COV カバー
CP 配線
Cu1 銅膜
Cu2 銅膜
Cu3 銅膜
Cu4 銅膜
DP ダイパッド
DP1 ダメージ保護膜
DP2 ダメージ保護膜
DP3 ダメージ保護膜
DP4 ダメージ保護膜
FP 枠部
FR1 フォトレジスト膜
FR2 フォトレジスト膜
FR3 フォトレジスト膜
IL インナーリード
IL1 層間絶縁膜
IL1a 層間絶縁膜
IL1b 層間絶縁膜
IL1c 層間絶縁膜
IL2 層間絶縁膜
IL3 層間絶縁膜
IL4 層間絶縁膜
IL5 層間絶縁膜
IL6 層間絶縁膜
IL7 層間絶縁膜
IL8a 層間絶縁膜
IL8b 層間絶縁膜
IL9 層間絶縁膜
IL10 層間絶縁膜
IL11 層間絶縁膜
LF リードフレーム
L1 第1層配線
L2 第2層配線
L3 第3層配線
L4 第4層配線
L5 第5層配線
L6 第6層配線
L7 第7層配線
L8 第8層配線
L9 最上層配線
ML モールドライン
MR 樹脂
OL アウターリード
OP 開口部
PAS パッシベーション膜
PD パッド
PF 金膜
PI ポリイミド膜
PLG1 プラグ
PLG2 プラグ
PLG3 プラグ
PLG4 プラグ
PLG5 プラグ
PLG6 プラグ
PLG7 プラグ
PLG8 プラグ
PLG9 プラグ
Q MISFET
SB 半田ボール
TE 端子
UBM アンダーバンプメタル膜
UF アンダーフィル
V1 ビアホール
V2 ビアホール
V3 ビアホール
W ワイヤ
WB 配線基板
WD1 配線溝
WD2 配線溝
WD3 配線溝
WD4 配線溝
Claims (75)
- (a)半導体基板上にMISFETを形成する工程と、
(b)前記MISFETを覆う前記半導体基板上にコンタクト層間絶縁膜を形成する工程と、
(c)前記コンタクト層間絶縁膜内に第1プラグを形成し、前記第1プラグと前記MISFETとを電気的に接続する工程と、
(d)前記第1プラグを形成した前記コンタクト層間絶縁膜上に第1層間絶縁膜を形成する工程と、
(e)前記第1層間絶縁膜内に埋め込まれた第1層配線を形成し、前記第1層配線と前記第1プラグとを電気的に接続する工程と、
(f)前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜上に第2層間絶縁膜を形成する工程と、
(g)前記第2層間絶縁膜内に埋め込まれた第2プラグおよび第2層配線を形成し、前記第2層配線と前記第1層配線とを前記第2プラグを介して電気的に接続する工程と、
(h)前記第2層間絶縁膜上に、さらに、多層配線を形成する工程と、
(i)前記多層配線の最上層配線上にパッシベーション膜を形成する工程と、
(j)前記パッシベーション膜に開口部を形成し、前記開口部から前記最上層配線の一部を露出することによりパッドを形成する工程と、
(k)前記半導体基板を半導体チップに個片化する工程と、
(l)前記半導体チップをパッケージングする工程とを備え、
前記(l)工程は、少なくとも前記半導体チップの前記MISFETが形成される側である主面側の一部を樹脂で封止する工程を有する半導体装置の製造方法であって、
前記コンタクト層間絶縁膜と前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の中で、前記コンタクト層間絶縁膜は、最もヤング率の高い高ヤング率膜から形成され、前記第2層間絶縁膜は、最もヤング率の低い低ヤング率膜から形成され、前記第1層間絶縁膜は、前記コンタクト層間絶縁膜のヤング率よりも低く、かつ、前記第2層間絶縁膜のヤング率よりも高い中ヤング率膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(l)工程は、
(l1)表面に端子を有する配線基板を用意する工程と、
(l2)前記配線基板上に前記半導体チップを搭載する工程と、
(l3)前記半導体チップに形成されている前記パッドと、前記配線基板に形成されている前記端子とをワイヤで電気的に接続する工程と、
(l4)前記半導体チップを覆うように前記樹脂で封止する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(j)工程後で前記(k)工程前に、前記パッドと電気的に接続するバンプ電極を形成する工程を有し、
前記(l)工程は、
(l1)表面に端子を有する配線基板を用意する工程と、
(l2)前記配線基板に形成されている前記端子と、前記半導体チップに形成されている前記バンプ電極とを電気的に接続するように、前記半導体チップを前記配線基板上に搭載する工程と、
(l3)前記半導体チップと前記配線基板との接続部を前記樹脂で封止する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(l)工程は、
(l1)ダイパッドとリードとを有するリードフレームを用意する工程と、
(l2)前記ダイパッド上に前記半導体チップを搭載する工程と、
(l3)前記半導体チップに形成された前記パッドと、前記リードフレームに形成されている前記リードとをワイヤで電気的に接続する工程と、
(l4)前記半導体チップを前記樹脂で封止する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、酸化シリコン膜、SiOF膜、あるいは、窒化シリコン膜のいずれかの膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項5記載の半導体装置の製造方法であって、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜、HSQ膜、あるいは、MSQ膜のいずれかの膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6記載の半導体装置の製造方法であって、
前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜、空孔を有するHSQ膜、あるいは、空孔を有するMSQ膜のいずれかの膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7記載の半導体装置の製造方法であって、
前記パッシベーション膜は、窒化シリコン膜を含み、
前記第1層間絶縁膜と前記半導体基板の間に存在する絶縁膜は、すべて前記高ヤング率膜のヤング率以上のヤング率を持つことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、オゾンとTEOSとを原料に使用した熱CVD法により形成されるオゾンTEOS膜と、TEOSを原料に使用したプラズマCVD法により形成されるプラズマTEOS膜との積層膜から形成され、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜から形成され、前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記第1層配線、前記第2層配線および前記多層配線は、銅膜を主成分とする銅配線から構成されており、
さらに、前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の間に、前記銅配線を構成する銅原子の拡散を防止する銅拡散防止膜を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項10記載の半導体装置の製造方法であって、
前記銅拡散防止膜は、炭化シリコン膜、炭窒化シリコン膜、あるいは、SiCO膜のいずれかを含む膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(h)工程は、
(h1)前記第2層間絶縁膜よりもヤング率の高い中ヤング率膜からなる第3層間絶縁膜を形成し、前記第3層間絶縁膜に埋め込むように配線を形成する工程と、
(h2)前記第3層間絶縁膜よりも上層に形成され、かつ、前記第3層間絶縁膜よりもヤング率の高い高ヤング率膜からなる第4層間絶縁膜を形成し、前記第4層間絶縁膜に埋め込むように配線を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(h)工程で形成される前記多層配線は、すべて、前記第1層間絶縁膜および前記第2層間絶縁膜よりもヤング率の高い高ヤング率膜からなる層間絶縁膜に形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - (a)半導体基板上にMISFETを形成する工程と、
(b)前記MISFETを覆う前記半導体基板上にコンタクト層間絶縁膜を形成する工程と、
(c)前記コンタクト層間絶縁膜内に第1プラグを形成し、前記第1プラグと前記MISFETとを電気的に接続する工程と、
(d)前記第1プラグを形成した前記コンタクト層間絶縁膜上に第1層間絶縁膜を形成する工程と、
(e)前記第1層間絶縁膜内に埋め込まれた第1層配線を形成し、前記第1層配線と前記第1プラグとを電気的に接続する工程と、
(f)前記第1層間絶縁膜上に、さらに、多層配線を形成する工程と、
(g)前記多層配線の最上層配線上にパッシベーション膜を形成する工程と、
(h)前記パッシベーション膜に開口部を形成し、前記開口部から前記最上層配線の一部を露出することによりパッドを形成する工程と、
(i)前記半導体基板を半導体チップに個片化する工程と、
(j)前記半導体チップをパッケージングする工程とを備え、
前記(j)工程は、少なくとも前記半導体チップの前記MISFETが形成される側である主面側の一部を樹脂で封止する工程を有する半導体装置の製造方法であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、前記第1層間絶縁膜よりもヤング率の高い高ヤング率膜から形成されており、
前記(d)工程は、
(d1)前記コンタクト層間絶縁膜上に、前記コンタクト層間絶縁膜よりもヤング率の低い中ヤング率膜を形成する工程と、
(d2)前記中ヤング率膜上に、前記中ヤング率膜よりもヤング率の低い低ヤング率膜を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項14記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(j)工程は、
(j1)表面に端子を有する配線基板を用意する工程と、
(j2)前記配線基板上に前記半導体チップを搭載する工程と、
(j3)前記半導体チップに形成されている前記パッドと、前記配線基板に形成されている前記端子とをワイヤで電気的に接続する工程と、
(j4)前記半導体チップを覆うように前記樹脂で封止する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項14記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(h)工程後で前記(i)工程前に、前記パッドと電気的に接続するバンプ電極を形成する工程を有し、
前記(j)工程は、
(j1)表面に端子を有する配線基板を用意する工程と、
(j2)前記配線基板に形成されている前記端子と、前記半導体チップに形成されている前記バンプ電極とを電気的に接続するように、前記半導体チップを前記配線基板上に搭載する工程と、
(j3)前記半導体チップと前記配線基板との接続部を前記樹脂で封止する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項14記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(j)工程は、
(j1)ダイパッドとリードとを有するリードフレームを用意する工程と、
(j2)前記ダイパッド上に前記半導体チップを搭載する工程と、
(j3)前記半導体チップに形成された前記パッドと、前記リードフレームに形成されている前記リードとをワイヤで電気的に接続する工程と、
(j4)前記半導体チップを前記樹脂で封止する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項14記載の半導体装置の製造方法であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、酸化シリコン膜、SiOF膜、あるいは、窒化シリコン膜のいずれかの膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項18記載の半導体装置の製造方法であって、
前記第1層間絶縁膜を構成する前記中ヤング率膜は、SiOC膜、HSQ膜、あるいは、MSQ膜のいずれかの膜から形成され、前記第1層間絶縁膜を構成する前記低ヤング率膜は、空孔を有するSiOC膜、空孔を有するHSQ膜、あるいは、空孔を有するMSQ膜のいずれかの膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項14記載の半導体装置の製造方法であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、オゾンとTEOSとを原料に使用した熱CVD法により形成されるオゾンTEOS膜と、TEOSを原料に使用したプラズマCVD法により形成されるプラズマTEOS膜との積層膜から形成され、
前記第1層間絶縁膜を構成する前記中ヤング率膜は、SiOC膜から形成され、前記第1層間絶縁膜を構成する前記低ヤング率膜は、空孔を有するSiOC膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項14記載の半導体装置の製造方法であって、
前記第1層配線は、銅膜を主成分とする銅配線から構成されており、
さらに、前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜上に、前記銅配線を構成する銅原子の拡散を防止する銅拡散防止膜を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項21記載の半導体装置の製造方法であって、
前記銅拡散防止膜は、炭化シリコン膜、炭窒化シリコン膜、あるいは、SiCO膜のいずれかを含む膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - (a)パッドを有する半導体チップと、
(b)前記半導体チップをパッケージングするパッケージ体とを備え、
前記パッケージ体は、少なくとも前記半導体チップのMISFETが形成される側である主面側の一部を封止する樹脂体を有し、
前記半導体チップは、
(a1)半導体基板と、
(a2)前記半導体基板に形成された前記MISFETと、
(a3)前記MISFETを覆う前記半導体基板上に形成されたコンタクト層間絶縁膜と、
(a4)前記コンタクト層間絶縁膜を貫通して前記MISFETと電気的に接続された第1プラグと、
(a5)前記第1プラグを形成した前記コンタクト層間絶縁膜上に形成された第1層間絶縁膜と、
(a6)前記第1層間絶縁膜内に形成され、前記第1プラグと電気的に接続された第1層配線と、
(a7)前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜上に形成された第2層間絶縁膜と、
(a8)前記第2層間絶縁膜内に形成され、前記第1層配線と電気的に接続された第2プラグと、
(a9)前記第2層間絶縁膜内に形成され、前記第2プラグと電気的に接続された第2層配線とを有する半導体装置であって、
前記コンタクト層間絶縁膜と前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の中で、前記コンタクト層間絶縁膜は、最もヤング率の高い高ヤング率膜から形成され、前記第2層間絶縁膜は、最もヤング率の低い低ヤング率膜から形成され、前記第1層間絶縁膜は、前記コンタクト層間絶縁膜のヤング率よりも低く、かつ、前記第2層間絶縁膜のヤング率よりも高い中ヤング率膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項23記載の半導体装置であって、
前記パッケージ体は、表面に端子を有する配線基板を有し、前記配線基板上に前記半導体チップが搭載され、かつ、前記配線基板に形成されている前記端子と、前記半導体チップに形成されている前記パッドとは、ワイヤで接続されており、
前記樹脂体は、前記半導体チップを覆うように形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項23記載の半導体装置であって、
前記パッケージ体は、表面に端子を有する配線基板を有し、
前記半導体チップには、前記パッドと電気的に接続されるバンプ電極が形成されており、前記配線基板の前記端子と、前記半導体チップに形成されている前記バンプ電極が接触するように、前記配線基板上に前記半導体チップが搭載され、
前記配線基板と前記半導体チップを接続する前記バンプ電極を封止するように前記樹脂体が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項23記載の半導体装置であって、
前記パッケージ体は、ダイパッドと、前記ダイパッドの周囲に配置されたリードとを有し、前記ダイパッド上に前記半導体チップが搭載され、かつ、前記リードと、前記半導体チップに形成されている前記パッドとは、ワイヤで接続されており、
前記樹脂体は、前記半導体チップを覆うように形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項23記載の半導体装置であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、酸化シリコン膜、SiOF膜、あるいは、窒化シリコン膜のいずれかの膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項27記載の半導体装置であって、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜、HSQ膜、あるいは、MSQ膜のいずれかの膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項28記載の半導体装置であって、
前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜、空孔を有するHSQ膜、あるいは、空孔を有するMSQ膜のいずれかの膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項23記載の半導体装置であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、オゾンとTEOSとを原料に使用した熱CVD法により形成されるオゾンTEOS膜と、TEOSを原料に使用したプラズマCVD法により形成されるプラズマTEOS膜との積層膜から形成され、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜から形成され、前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項23記載の半導体装置であって、
前記第1層配線および前記第2層配線は、銅膜を主成分とする銅配線から構成されており、
さらに、前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の間に、前記銅配線を構成する銅原子の拡散を防止する銅拡散防止膜を有し、
前記第1層間絶縁膜と前記半導体基板の間に存在する絶縁膜は、すべて前記高ヤング率膜のヤング率以上のヤング率を持つことを特徴とする半導体装置。 - 請求項31記載の半導体装置であって、
前記銅拡散防止膜は、炭化シリコン膜、炭窒化シリコン膜、あるいは、SiCO膜のいずれかを含む膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - (a)パッドを有する半導体チップと、
(b)前記半導体チップをパッケージングするパッケージ体とを備え、
前記パッケージ体は、少なくとも前記半導体チップのMISFETが形成される側である主面側の一部を封止する樹脂体を有し、
前記半導体チップは、
(a1)半導体基板と、
(a2)前記半導体基板に形成された前記MISFETと、
(a3)前記MISFETを覆う前記半導体基板上に形成されたコンタクト層間絶縁膜と、
(a4)前記コンタクト層間絶縁膜を貫通して前記MISFETと電気的に接続された第1プラグと、
(a5)前記第1プラグを形成した前記コンタクト層間絶縁膜上に形成された第1層間絶縁膜と、
(a6)前記第1層間絶縁膜内に形成され、前記第1プラグと電気的に接続された第1層配線と、
(a7)前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜上に形成された第2層間絶縁膜と、
(a8)前記第2層間絶縁膜内に形成され、前記第1層配線と電気的に接続された第2プラグと、
(a9)前記第2層間絶縁膜内に形成され、前記第2プラグと電気的に接続された第2層配線とを有する半導体装置であって、
前記コンタクト層間絶縁膜と前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の中で、前記コンタクト層間絶縁膜は、最も誘電率の高い膜から形成され、前記第2層間絶縁膜は、最も誘電率の低い膜から形成され、前記第1層間絶縁膜は、前記コンタクト層間絶縁膜の誘電率よりも低く、かつ、前記第2層間絶縁膜の誘電率よりも高い膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - (a)パッドを有する半導体チップと、
(b)前記半導体チップをパッケージングするパッケージ体とを備え、
前記パッケージ体は、少なくとも前記半導体チップのMISFETが形成される側である主面側の一部を封止する樹脂体を有し、
前記半導体チップは、
(a1)半導体基板と、
(a2)前記半導体基板に形成された前記MISFETと、
(a3)前記MISFETを覆う前記半導体基板上に形成されたコンタクト層間絶縁膜と、
(a4)前記コンタクト層間絶縁膜を貫通して前記MISFETと電気的に接続された第1プラグと、
(a5)前記第1プラグを形成した前記コンタクト層間絶縁膜上に形成された第1層間絶縁膜と、
(a6)前記第1層間絶縁膜内に形成され、前記第1プラグと電気的に接続された第1層配線と、
(a7)前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜上に形成された第2層間絶縁膜と、
(a8)前記第2層間絶縁膜内に形成され、前記第1層配線と電気的に接続された第2プラグと、
(a9)前記第2層間絶縁膜内に形成され、前記第2プラグと電気的に接続された第2層配線とを有する半導体装置であって、
前記コンタクト層間絶縁膜と前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の中で、前記コンタクト層間絶縁膜は、最も密度の高い膜から形成され、前記第2層間絶縁膜は、最も密度の低い膜から形成され、前記第1層間絶縁膜は、前記コンタクト層間絶縁膜の密度よりも低く、かつ、前記第2層間絶縁膜の密度よりも高い膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - (a)パッドを有する半導体チップと、
(b)前記半導体チップをパッケージングするパッケージ体とを備え、
前記パッケージ体は、少なくとも前記半導体チップのMISFETが形成される側である主面側の一部を封止する樹脂体を有し、
前記半導体チップは、
(a1)半導体基板と、
(a2)前記半導体基板に形成された前記MISFETと、
(a3)前記MISFETを覆う前記半導体基板上に形成されたコンタクト層間絶縁膜と、
(a4)前記コンタクト層間絶縁膜を貫通して前記MISFETと電気的に接続された第1プラグと、
(a5)前記第1プラグを形成した前記コンタクト層間絶縁膜上に形成された第1層間絶縁膜と、
(a6)前記第1層間絶縁膜内に形成され、前記第1プラグと電気的に接続された第1層配線とを有する半導体装置であって、
前記第1層間絶縁膜のヤング率は、前記コンタクト層間絶縁膜のヤング率よりも低く、かつ、前記第1層間絶縁膜は、
(a5−1)前記コンタクト層間絶縁膜上に形成され、前記コンタクト層間絶縁膜よりもヤング率の低い中ヤング率膜と、
(a5−2)前記中ヤング率膜上に形成され、前記中ヤング率膜よりもヤング率の低い低ヤング率膜とから構成されていることを特徴とする半導体装置。 - (a)半導体基板上にMISFETを形成する工程と、
(b)前記MISFETを覆う前記半導体基板上にコンタクト層間絶縁膜を形成する工程と、
(c)前記コンタクト層間絶縁膜内に第1プラグを形成し、前記第1プラグと前記MISFETとを電気的に接続する工程と、
(d)前記第1プラグを形成した前記コンタクト層間絶縁膜上に第1層間絶縁膜を形成する工程と、
(e)前記第1層間絶縁膜内に埋め込まれた第1層配線を形成し、前記第1層配線と前記第1プラグとを電気的に接続する工程と、
(f)前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜上に第2層間絶縁膜を形成する工程と、
(g)前記第2層間絶縁膜内に埋め込まれた第2プラグおよび第2層配線を形成し、前記第2層配線と前記第1層配線とを前記第2プラグを介して電気的に接続する工程と、
(h)前記第2層間絶縁膜上に、さらに、多層配線を形成する工程と、
(i)前記多層配線の最上層配線上にパッシベーション膜を形成する工程と、
(j)前記パッシベーション膜に開口部を形成し、前記開口部から前記最上層配線の一部を露出することによりパッドを形成する工程と、
(k)前記半導体基板を半導体チップに個片化する工程と、
(l)前記半導体チップをパッケージングする工程とを備え、
前記(l)工程は、少なくとも前記半導体チップの前記MISFETが形成される側である主面側の一部を樹脂で封止する工程を有する半導体装置の製造方法であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、酸化シリコン膜、SiOF膜、あるいは、TEOS膜のいずれかの膜から形成されており、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜、HSQ膜、あるいは、MSQ膜のいずれかの膜から形成されており、
前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜、空孔を有するHSQ膜、あるいは、空孔を有するMSQ膜のいずれかの膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項36記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(l)工程は、
(l1)表面に端子を有する配線基板を用意する工程と、
(l2)前記配線基板上に前記半導体チップを搭載する工程と、
(l3)前記半導体チップに形成されている前記パッドと、前記配線基板に形成されている前記端子とをワイヤで電気的に接続する工程と、
(l4)前記半導体チップを覆うように前記樹脂で封止する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項36記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(j)工程後で前記(k)工程前に、前記パッドと電気的に接続するバンプ電極を形成する工程を有し、
前記(l)工程は、
(l1)表面に端子を有する配線基板を用意する工程と、
(l2)前記配線基板に形成されている前記端子と、前記半導体チップに形成されている前記バンプ電極とを電気的に接続するように、前記半導体チップを前記配線基板上に搭載する工程と、
(l3)前記半導体チップと前記配線基板との接続部を前記樹脂で封止する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項36記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(l)工程は、
(l1)ダイパッドとリードとを有するリードフレームを用意する工程と、
(l2)前記ダイパッド上に前記半導体チップを搭載する工程と、
(l3)前記半導体チップに形成された前記パッドと、前記リードフレームに形成されている前記リードとをワイヤで電気的に接続する工程と、
(l4)前記半導体チップを前記樹脂で封止する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項36記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(f)工程と(g)工程との間には、
(m)前記第2層間絶縁膜上にSiOC膜で構成されたダメージ保護膜を形成する工程と、
(n)前記ダメージ保護膜上にTEOS膜または酸化シリコン膜で構成されたCMP保護膜を形成する工程とを有し、
前記(g)工程において、CMP法により前記CMP保護膜上の金属、前記CMP保護膜および前記ダメージ保護膜の一部を除去することにより前記第2層配線を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項40記載の半導体装置の製造方法であって、
(o)前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の間に、SiCN膜またはSiN膜から選択された第1膜と、第1膜上に設けられ、SiCO膜、酸化シリコン膜、または、TEOS膜から選択された第2膜とにより構成される第1積層膜を設ける工程をさらに有し、
前記(g)工程において、
前記第2プラグ用の第2プラグ孔を前記第1積層膜が露出するように形成した後、前記第2層配線用の溝を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項41記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(g)工程は、
(g1)前記CMP保護膜、前記ダメージ保護膜および前記第2層間絶縁膜をエッチングすることにより、前記第1積層膜を露出して前記第2プラグ孔を形成する工程と、
(g2)前記第2層配線に対応した溝用パターンを、前記ダメージ保護膜を露出するエッチングにより前記CMP保護膜に形成する工程と、
(g3)前記溝用パターンを形成するためのレジストパターンをアッシングにより除去する工程と、
(g4)エッチングにより前記溝用パターンを用いて前記第2配線用の溝を前記第2層間絶縁膜に形成しつつ、前記第2プラグ孔の底の前記第1積層膜を除去することにより、前記第1層配線を露出する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項42記載の半導体装置の製造方法であって、
前記パッシベーション膜は、窒化シリコン膜を含み、
前記第1層間絶縁膜と前記半導体基板の間に存在する絶縁膜は、すべて前記コンタクト層間絶縁膜のヤング率以上のヤング率を持つことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項36記載の半導体装置の製造方法であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、オゾンとTEOSとを原料に使用した熱CVD法により形成されるオゾンTEOS膜と、TEOSを原料に使用したプラズマCVD法により形成されるプラズマTEOS膜との積層膜から形成され、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜から形成され、前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項36記載の半導体装置の製造方法であって、
前記第1層配線、前記第2層配線および前記多層配線は、銅膜を主成分とする銅配線から構成されており、
さらに、前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の間に、前記銅配線を構成する銅原子の拡散を防止する銅拡散防止膜を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項45記載の半導体装置の製造方法であって、
前記銅拡散防止膜は、炭化シリコン膜、あるいは、炭窒化シリコン膜、あるいは、SiCO膜のいずれかを含む膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項36記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(h)工程は、
(h1)SiOC膜、HSQ膜、あるいは、MSQ膜のいずれかの膜で構成される第3層間絶縁膜を形成し、前記第3層間絶縁膜に埋め込むように配線を形成する工程と、
(h2)前記第3層間絶縁膜よりも上層に形成され、かつ、酸化シリコン膜、SiOF膜、あるいは、TEOS膜のいずれかの膜で構成される第4層間絶縁膜を形成し、前記第4層間絶縁膜に埋め込むように配線を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項36記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(h)工程で形成される前記多層配線が設けられる層間絶縁膜は、すべて、前記第1層間絶縁膜および前記第2層間絶縁膜よりもヤング率の高い高ヤング率膜であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - (a)パッドを有する半導体チップと、
(b)前記半導体チップをパッケージングするパッケージ体とを備え、
前記パッケージ体は、少なくとも前記半導体チップのMISFETが形成される側である主面側の一部を封止する樹脂体を有し、
前記半導体チップは、
(a1)半導体基板と、
(a2)前記半導体基板に設けられた前記MISFETと、
(a3)前記MISFETを覆う前記半導体基板上に設けられたコンタクト層間絶縁膜と、
(a4)前記コンタクト層間絶縁膜を貫通して前記MISFETと電気的に接続された第1プラグと、
(a5)前記第1プラグが設けられた前記コンタクト層間絶縁膜上に設けられた第1層間絶縁膜と、
(a6)前記第1層間絶縁膜内に設けられ、前記第1プラグと電気的に接続された第1層配線と、
(a7)前記第1層配線が設けられた前記第1層間絶縁膜上に設けられた第2層間絶縁膜と、
(a8)前記第2層間絶縁膜内に設けられ、前記第1層配線と電気的に接続された第2プラグと、
(a9)前記第2層間絶縁膜内に設けられ、前記第2プラグと電気的に接続された第2層配線とを有する半導体装置であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、酸化シリコン膜、SiOF膜、あるいは、TEOS膜のいずれかの膜から構成されており、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜、HSQ膜、あるいは、MSQ膜のいずれかの膜から構成されており、
前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜、空孔を有するHSQ膜、あるいは、空孔を有するMSQ膜のいずれかの膜から構成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項49記載の半導体装置であって、
前記パッケージ体は、表面に端子を有する配線基板を有し、前記配線基板上に前記半導体チップが搭載され、かつ、前記配線基板に設けられている前記端子と、前記半導体チップに設けられている前記パッドとは、ワイヤで接続されており、
前記樹脂体は、前記半導体チップを覆うように設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項49記載の半導体装置であって、
前記パッケージ体は、表面に端子を有する配線基板を有し、
前記半導体チップには、前記パッドと電気的に接続されるバンプ電極が設けられており、前記配線基板の前記端子と、前記半導体チップに形成されている前記バンプ電極が接触するように、前記配線基板上に前記半導体チップが搭載され、
前記配線基板と前記半導体チップを接続する前記バンプ電極を封止するように前記樹脂体が設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項49記載の半導体装置であって、
前記パッケージ体は、ダイパッドと、前記ダイパッドの周囲に配置されたリードとを有し、前記ダイパッド上に前記半導体チップが搭載され、かつ、前記リードと、前記半導体チップに設けられている前記パッドとは、ワイヤで接続されており、
前記樹脂体は、前記半導体チップを覆うように設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項49記載の半導体装置であって、
前記第2層間絶縁膜上にSiOC膜で構成されたダメージ保護膜と、
前記ダメージ保護膜上に設けられたSiN膜、SiCN膜およびSiC膜から選択された銅拡散防止膜をさらに有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項53記載の半導体装置であって、
前記銅拡散防止膜はSiCN膜またはSiN膜から選択された第1膜と、前記第1膜上に設けられ、SiCO膜、酸化シリコン膜またはTEOS膜から選択された第2膜とにより構成される第1積層膜であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項54記載の半導体装置であって、
前記第2層間絶縁膜上に設けられ、SiOC膜、HSQ膜、あるいは、MSQ膜のいずれかの膜で構成される第3層間絶縁膜と、
前記第3層間絶縁膜に埋め込まれる配線と、
前記第3層間絶縁膜よりも上層に設けられ、酸化シリコン膜、SiOF膜、あるいは、TEOS膜のいずれかの膜で構成される第4層間絶縁膜と、
前記第4層間絶縁膜に埋め込まれる配線とをさらに有すること特徴とする半導体装置。 - 請求項49記載の半導体装置であって、
前記コンタクト層間絶縁膜はオゾンTEOS膜と、前記オゾンTEOS膜上に設けられたプラズマCVD法により形成されるプラズマTEOS膜との積層膜から形成され、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜から形成され、前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項49記載の半導体装置であって、
前記第1層配線および前記第2層配線は、銅膜を主成分とする銅配線から構成されており、
さらに、前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の間に、前記銅配線を構成する銅原子の拡散を防止する銅拡散防止膜を有し、
前記第1層間絶縁膜と前記半導体基板の間に存在する絶縁膜は、すべて、前記コンタクト層間絶縁膜のヤング率以上のヤング率を持つことをすることを特徴とする半導体装置。 - 請求項57記載の半導体装置であって、
前記銅拡散防止膜は、炭化シリコン膜、炭窒化シリコン膜、あるいは、SiCO膜のいずれかを含む膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - (a)半導体基板上にMISFETを形成する工程と、
(b)前記MISFETを覆う前記半導体基板上にコンタクト層間絶縁膜を形成する工程と、
(c)前記コンタクト層間絶縁膜内に第1プラグを形成し、前記第1プラグと前記MISFETとを電気的に接続する工程と、
(d)前記第1プラグを形成した前記コンタクト層間絶縁膜上に第1層間絶縁膜を形成する工程と、
(e)前記第1層間絶縁膜内に埋め込まれた第1層配線を形成し、前記第1層配線と前記第1プラグとを電気的に接続する工程と、
(f)前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜上に第2層間絶縁膜を形成する工程と、
(g)前記第2層間絶縁膜内に埋め込まれた第2プラグおよび第2層配線を形成し、前記第2層配線と前記第1層配線とを前記第2プラグを介して電気的に接続する工程と、
(h)前記第2層間絶縁膜上に、さらに、多層配線を形成する工程と、
(i)前記多層配線の最上層配線上にパッシベーション膜を形成する工程とを有する半導体装置の製造方法であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、酸化シリコン膜、SiOF膜、あるいは、TEOS膜のいずれかの膜から形成されており、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜、HSQ膜、あるいは、MSQ膜のいずれかの膜から形成されており、
前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜、空孔を有するHSQ膜、あるいは、空孔を有するMSQ膜のいずれかの膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項59記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(f)工程と(g)工程との間には、
(m)前記第2層間絶縁膜上にSiOC膜で構成されたダメージ保護膜を形成する工程と、
(n)前記ダメージ保護膜上にTEOS膜または酸化シリコン膜で構成されたCMP保護膜を形成する工程とを有し、
前記(g)工程において、CMP法により前記CMP保護膜上の金属、前記CMP保護膜および前記ダメージ保護膜の一部を除去することにより、前記第2層配線を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項59記載の半導体装置の製造方法であって、
(o)前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の間に、SiCN膜またはSiN膜から選択された第1膜と、前記第1膜上に設けられ、SiCO膜、酸化シリコン膜またはTEOS膜から選択された第2膜とにより構成される第1積層膜を設ける工程をさらに有し、
前記(g)工程において、
前記第2プラグ用の第2プラグ孔を前記第1積層膜が露出するように形成した後、前記第2層配線用の溝を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項60記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(g)工程は、
(g1)前記CMP保護膜、前記ダメージ保護膜および前記第2層間絶縁膜をエッチングすることにより、前記第1積層膜を露出して前記第2プラグ孔を形成する工程と、
(g2)前記第2層配線に対応した溝用パターンを、前記ダメージ保護膜を露出するエッチングにより前記CMP保護膜に形成する工程と、
(g3)前記溝用パターンを形成するためのレジストパターンをアッシングにより除去する工程と、
(g4)エッチングにより前記溝用パターンを用いて前記第2層配線に対応した溝を前記第2層間絶縁膜に形成しつつ、前記第2プラグ孔の底の前記第1積層膜を除去することにより、前記第1層配線を露出する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項62記載の半導体装置の製造方法であって、
前記パッシベーション膜は、窒化シリコン膜を含み、
前記第1層間絶縁膜と前記半導体基板の間に存在する絶縁膜は、すべて、前記コンタクト層間絶縁膜のヤング率以上のヤング率を持つことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項59記載の半導体装置の製造方法であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、オゾンとTEOSとを原料に使用した熱CVD法により形成されるオゾンTEOS膜と、TEOSを原料に使用したプラズマCVD法により形成されるプラズマTEOS膜との積層膜から形成され、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜から形成され、前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項59記載の半導体装置の製造方法であって、
前記第1層配線、前記第2層配線および前記多層配線は、銅膜を主成分とする銅配線から構成されており、
さらに、前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の間に、前記銅配線を構成する銅原子の拡散を防止する銅拡散防止膜を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項65記載の半導体装置の製造方法であって、
前記銅拡散防止膜は、炭化シリコン膜、あるいは、炭窒化シリコン膜、あるいは、SiCO膜のいずれかを含む膜から形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項59記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(h)工程は、
(h1)SiOC膜、HSQ膜、あるいは、MSQ膜のいずれかの膜で構成される第3層間絶縁膜を形成し、前記第3層間絶縁膜に埋め込むように配線を形成する工程と、
(h2)前記第3層間絶縁膜よりも上層に形成され、かつ、酸化シリコン膜、SiOF膜、あるいは、TEOS膜のいずれかの膜で構成される第4層間絶縁膜を形成し、前記第4層間絶縁膜に埋め込むように配線を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項59記載の半導体装置の製造方法であって、
前記(h)工程で形成される前記多層配線が設けられる層間絶縁膜は、すべて、前記第1層間絶縁膜および前記第2層間絶縁膜よりもヤング率の高い高ヤング率膜であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- (a1)半導体基板と、
(a2)前記半導体基板に設けられた前記MISFETと、
(a3)前記MISFETを覆う前記半導体基板上に設けられたコンタクト層間絶縁膜と、
(a4)前記コンタクト層間絶縁膜を貫通して前記MISFETと電気的に接続された第1プラグと、
(a5)前記第1プラグが設けられた前記コンタクト層間絶縁膜上に設けられた第1層間絶縁膜と、
(a6)前記第1層間絶縁膜内に設けられ、前記第1プラグと電気的に接続された第1層配線と、
(a7)前記第1層配線が設けられた前記第1層間絶縁膜上に設けられた第2層間絶縁膜と、
(a8)前記第2層間絶縁膜内に設けられ、前記第1層配線と電気的に接続された第2プラグと、
(a9)前記第2層間絶縁膜内に設けられ、前記第2プラグと電気的に接続された第2層配線とを有する半導体装置であって、
前記コンタクト層間絶縁膜は、酸化シリコン膜、SiOF膜、あるいは、TEOS膜のいずれかの膜から構成されており、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜、HSQ膜、あるいは、MSQ膜のいずれかの膜から構成されており、
前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜、空孔を有するHSQ膜、あるいは、空孔を有するMSQ膜のいずれかの膜から構成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項69記載の半導体装置であって、
前記第2層間絶縁膜上にSiOC膜で構成されたダメージ保護膜と、
前記ダメージ保護膜上に設けられ、SiN膜、SiCN膜およびSiC膜から選択された銅拡散防止膜をさらに有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項70記載の半導体装置であって、
前記銅拡散防止膜はSiCN膜またはSiN膜から選択された第1膜と、前記第1膜上に設けられ、SiCO膜、酸化シリコン膜またはTEOS膜から選択された第2膜とにより構成される第1積層膜であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項69記載の半導体装置であって、
前記第2層間絶縁膜上に設けられ、SiOC膜、HSQ膜、あるいは、MSQ膜のいずれかの膜で構成される第3層間絶縁膜と、
前記第3層間絶縁膜に埋め込まれる配線と、
前記第3層間絶縁膜よりも上層に設けられ、酸化シリコン膜、SiOF膜、あるいは、TEOS膜のいずれかの膜で構成される第4層間絶縁膜と、
前記第4層間絶縁膜に埋め込まれる配線とをさらに有すること特徴とする半導体装置。 - 請求項69記載の半導体装置であって、
前記コンタクト層間絶縁膜はオゾンTEOS膜と、前記オゾンTEOS膜上に設けられたプラズマCVD法により形成されるプラズマTEOS膜との積層膜から形成され、
前記第1層間絶縁膜は、SiOC膜から形成され、前記第2層間絶縁膜は、空孔を有するSiOC膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項69記載の半導体装置であって、
前記第1層配線および前記第2層配線は、銅膜を主成分とする銅配線から構成されており、
さらに、前記第1層配線を形成した前記第1層間絶縁膜と前記第2層間絶縁膜の間に、前記銅配線を構成する銅原子の拡散を防止する銅拡散防止膜を有し、
前記第1層間絶縁膜と前記半導体基板の間に存在する絶縁膜は、すべて、前記コンタクト層間絶縁膜のヤング率以上のヤング率を持つことをすることを特徴とする半導体装置。 - 請求項74記載の半導体装置であって、
前記銅拡散防止膜は、炭化シリコン膜、炭窒化シリコン膜、あるいは、SiCO膜のいずれかを含む膜から形成されていることを特徴とする半導体装置。
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