JPWO2010052783A1 - 多層プリント配線板、多層プリント配線板の検査方法、および多層プリント配線板の検査システム、多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents

Abstract

多層プリント配線板のそれぞれの配線パターンのズレ量およびそのズレ方向を検出して、配線パターン間の層間のズレ量およびズレ方向を検査する。多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、前記それぞれの検査用配線パターンに、所定の規則的配置に基づき設けられるスルーホールと、前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成された構成を有する多層プリント配線板の検査方法であって、それぞれの前記検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出し、検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出し、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する。

Description

本発明は、複数の配線パターン層が積層された多層プリント配線板の配線パターンの検査方法、検査システム、その多層プリント配線板、その多層プリント配線板の製造方法に関する。

従来から、内層回路パターンが形成された多層プリント配線板の内層回路パターンの位置ずれを、電気的導通を測定することにより計測することができる方法として日本公開特許公報の特開平９−２０５２８１号が知られている。この多層プリント配線板の内層回路パターンずれ検査方法は、多層プリント配線板を構成するそれぞれの内層板の回路パターンが形成される領域外の少なくも１つの隅部に円形の絶縁部が露出した検出パターンを設け、積層工程終了後、最外層に前記と同様の検出パターンを形成するとともに前記円形の絶縁部の中心に第１のスルーホールを形成し、さらに、検出パターンの導体部に第２のスルーホールを形成して、第１のスルーホールと第２のスルーホールの電気的導通を計ることにより内層回路パターンのずれを検出する構成である（特許文献１参照）。
特開平９−２０５２８１号公報

しかしながら、特開平９−２０５２８１号（特許文献１）の構成においては、その検出精度がせいぜい１００μｍ程度であり、近年の高密度化した配線パターンに対して有効な方法ではない。さらに、この方法は、内部層と表面層間のズレを検出できるが、そのズレ方向、例えば配線パターンを正面視してＸ方向（横方向）、Ｙ方向（縦方向）へのズレについて検出できない。また、この方法は、最表面層の配線パターンを基準として内層の配線パターンのズレを検出するものである。すなわち、表面層の配線パターンのズレを検出できない。また、内層に複数の配線パターン層がある場合に、そのうちのどの層の配線パターンがズレているのか判別できない。また、パターン幅のバラツキによって、ズレ上に誤差が生じる。

また、多層プリント配線板における各層の相対的位置精度は、それが実装される機器の高密度化、高周波化に従って益々精度良く計測判定する必要がでてきている。特に、近年では、多層プリント配線板を構成するコア材の厚みが薄くなっており、これにより各配線層が、プリント配線板製造プロセスにおいて寸法変化する量が大きくなってきている。このような背景の下、各配線層の相対的層ズレを正確に検知し判定できる方法が求められている。

そこで、本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであって、多層プリント配線板のそれぞれの配線パターンのズレ量およびそのズレ方向を検出して、配線パターン間の層間のズレ量およびズレ方向を検査できる多層プリント配線板、その多層プリント配線板の検査方法、その多層プリント配線板の検査システム、およびその多層プリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための本発明の多層プリント配線板は、
少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられるスルーホールと、を有し、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターン層の検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成され、
それぞれの前記検査用配線パターンにおいて、前記スルーホールによって形成された前記接続部分の通電状態と、前記非接続部分の非通電状態とを検出することで、それぞれの配線パターンのズレ状態を検査可能に構成してある。

この構成によれば、検査用配線パターンが、多層プリント配線板のそれぞれの配線パターン層に設けられている。検査用配線パターンは、配線パターンを検査するために設けられ、配線パターン部の形成の際に形成される。検査用配線パターンは、配線パターン部から所定距離分離れた位置に形成されてもよい。また、検査用配線パターンは、配線パターン部が矩形あるいは略矩形状であれば、この矩形の少なくとも１辺の位置に形成できる（図１参照）。また、検査用配線パターンは、パターン形状によるが、矩形の配線パターン部であれば、この矩形の少なくとも１辺の位置に、好ましくは対向する２辺の位置に形成できる（図１の破線１１ａと１１ｂ、１１ｃと１１ｄを参照）。また、検査用配線パターンは、パターン形状によるが、矩形の配線パターン部であれば、この矩形の１辺の位置と、その１辺と直行する他の辺の位置に形成することもできる（図１の１１ａと１１ｃまたは１１ｄ、１１ｂと１１ｃまたは１１ｄを参照）。なお、多層プリント配線板および配線パターン部は、それぞれ矩形状に限定されず、円形、不定形でもよい。配線パターン部が矩形状でない場合、任意の位置を基準として、検査用配線パターンは形成される。また、多層プリント配線板は、硬い材料で構成されるものに限定されず、フレキシブル性の高い樹脂材料で構成することもできる。

スルーホール（非スルーホールと称することもある）は、それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するために設けられる。この電気的接続部分および非接続部分が形成された検査用配線パターンの通電状態と非通電状態を検出することで、最表面の配線パターンを検査できる。そして、層間接続部（スルーホールメッキ部分）によって、多層配線パターンの表面の検査用配線パターン部位に、層内部の配線パターンの検査用配線パターンのそれぞれと電気的に接続する部分を形成することで、層内部の配線パターンをそれぞれ別々に検査できる。

電気的接続部分および非接続部分の形成は、以下が例示される。検査用配線パターンが、例えば、２本の電導線で構成されている場合に、この２本の電導線に対し、複数のスルーホールを所定の距離を置いて形成する（図６参照）。スルーホールの直径は、２本の電導線の幅に相当する。スルーホールは、２本の電導線（Ｌ１−ｌｅｆｔ、Ｌ１−ｒｉｇｈｔ）に沿って形成され、所定の原点スルーホール（ＴＨ（０））を中心として、次の第１スルーホール（ＴＨ（１）、ＴＨ（−１））は、その中心線から電導線の直交方向に所定距離づつ、わざとずらして形成される。図６のＴＨ（１）では、ＴＨ（０）のＸ座標を基準にして右側に所定距離、例えば１０μｍずらす。ＴＨ（２）以後もさらに所定距離づつずらす。また、図６のＴＨ（−１）では、ＴＨ（０）のＸ座標を基準にして左側に所定距離、例えば１０μｍずらす。ＴＨ（−２）以後もさらに所定距離づつずらす。このような場合において、２本の電導線（Ｌ１―ｌｅｆｔ、Ｌ１−ｒｉｇｈｔ）の端部（Ｌ１１、Ｒ１１）と、この形成されたそれぞれのスルーホールを跨いだ位置（Ｌ１（９）〜Ｌ１（−９）、Ｒ１（−９）〜Ｒ１（９））との通電状態を検出する。スルーホールによって２本の電導線が全て切断されていれば、スルーホールを跨いだ位置での通電はない。しかし、スルーホールが２本の電導線に沿った中心線から所定距離づつずれて形成されるため、ある位置以降のスルーホールは、このズレ方向とは異なる側の１本の電導線を完全に切断することがなく、この完全に切断されていない電導線は通電する。以上のようにして、電導線端部とスルーホールを介在させた位置の電導線間に、電気的接続部部分と非接続部分が形成される。スルーホールと検査用配線パターンが設定どおり形成されていれば、原点スルーホール（ＴＨ（０））の位置を境にして電気的接続部分と電気的非接続部分が検出され、よって、ズレが生じていないことになる。他のスルーホールの位置を境にして電気的接続部分と電気的非接続部分が検出されれば、検査用配線パターン、すなわち配線パターンが、伸縮してあるいはズレて形成されていると判断できる。なお、スルーホールＴＨ（９）〜ＴＨ（−９）は、単なる孔であり、層間を電気的に接続するメッキ等が形成されてはいない、非スルーホールである。以下においても同様である。メッキが施されたスルーホールは、スルーホールメッキと称し、層間を電気的に接続する構成である。こられの説明は。以下においても同様である。

２本の電導線の端部Ｌ１１、Ｒ１（９）、Ｒ２１、Ｒ３１、Ｌ２（９）〜Ｌ２（−９）、Ｒ２（−９）〜Ｒ２（９）、Ｌ３（９）〜Ｌ３（−９）、Ｒ３（−９）〜Ｒ３（９）は、それぞれスルーホールメッキが形成され、層間はそれぞれ電気的に接続される。これによって、検査用配線パターン層間の電気的接続である層間接続部を構成する（図６のＴＨＭで図示した斜線部分を参照）。これによって、内部の２層目、３層目の検査用配線パターンの通電状態は、表面層から検出することができる。例えば、２層目の検査用配線パターンを検査する場合に、所定の端部（Ｌ２１、Ｒ２１）と、所定の位置（Ｌ２（９）〜Ｌ２（−９）、Ｒ２（−９）〜Ｒ２（９））との通電状態を検出する。また、３層目の検査用配線パターンを検査する場合に、所定の端部（Ｌ３１、Ｒ３１）と、所定の位置（Ｌ３（９）〜Ｌ３（−９）、Ｒ３（−９）〜Ｒ３（９））との通電状態を検出する。

また、実施例として、非スルーホール直径と、その直径よりも小さい例えば、５μｍ〜３０μｍ小さい配線パターン幅の単線を用い、非スルーホール両端の通電状態を検出する構成がある。そして、この非スルーホール両端の通電状態を検出することでズレ量を算出する構成がある。図３２に示すように、単線上に、非スルーホールを一定の間隔で、かつ図面上左右方向（Ｘ軸）に所定距離（ずらし量）ずらしながら形成する。単線の幅は、非スルーホール直径よりも２０μｍ小さい。非スルーホールは、単線である配線パターンの図面上下方向（Ｙ軸）中央部の位置に形成されるように、設計されている。仮に配線パターンが伸縮、ズレ等していれば、非スルーホールは、単線の中央部に形成されないことになる。非スルーホールのＸ軸方向のずらし量は、１０μｍとする。このような条件において、それぞれの非スルーホールを間に挟んだ単線の通電状態をチェッカーで検出することができ、図面上、一対の黒丸部分間の通電状態を測定する。その結果は、図面に記しているが、導通する部分と非導通する部分が検出される。ここで検出された非導通部分の位置と導通部分の位置が、予め設計された位置と比較することで、ズレ量を算出することができる。なお、非スルーホールの形成に際し、後述する数式（１）が成立するように構成できる。

また、上記の本発明において、前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、前記スルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有するものがある。

この構成によれば、検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成される。２本の電導線間の「所定間隔」、２本の電導線の直進性、幅等は予め一定に設定される。

スルーホール（非スルーホール）は、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有する。例えば、上述したように、２本の電導線に沿った中心線の所定の位置を原点と仮定すれば、これを原点スルーホールとし、次の第１スルーホールは、その中心線に沿って一定の間隔であって、その中心線から電導線の直交する方向に所定距離はなれて形成される。また、さらに次の第２のスルーホールでは、その中心線に沿って一定の間隔であって、さらに、その中心線から電導線の直行する方向に所定距離はなれて形成される。スルーホールの直径を一対の電導線の幅と同一に設定していれば、原点スルーホールによって、一対の電導線を切断し、非接続部分が形成される。また、第１スルーホール以降の第２、第３等のスルーホールは、中心線からずれて形成されているため、このズレ方向と反対の電導線を完全に切断しておらず、電気的接続部分が形成される。すなわち、スルーホールによって２本の電導線が切断された状態と、それらが完全に切断されていない状態とが形成されて、電導線端部とスルーホールを介在させた位置の電導線間に、電気的接続部分あるいは非接続部分が形成される。

また、スルーホール（非スルーホール）は、所定の規則性を持って形成される。スルーホールの形成位置をすべて直線でつなぐことができる。その直線の傾きは、原点からＸ方向あるいはＹ方向に所定距離づつ離れる値に依存する。図７に、Ｘ軸方向に傾きａで配置されるスルーホールの例を図示する。図７において、スルーホールの間隔は一定である。

それぞれのスルーホールの形成位置は、原点スルーホールの位置と以下のＸ−Ｙ座標の関係式で表わすことが可能である。スルーホール間の距離測定のための基準点は、スルーホールの中心でもよく、それぞれ対応する外径位置でもよい。以下のＸ−Ｙ座標で示すとおり、スルーホールのＸ座標が、原点を境にして離れるに従い、所定距離づつＸ方向にずれる。ここではＹ軸方向に、一対の電導線が平行に形成され、Ｙ軸方向にスルーホールが形成されるものとして説明する。なお、Ｘ軸方向に沿って、スルーホールが形成される場合にも同様に理解できる。

（数式１）
ＴＨ（ｊ）＝（Ｘ_０＋所定距離×ｊ，Ｙ_０＋Ｈ×Ｊ）
ここで、Ｈは、２つのスルーホール間の基本距離である（図７参照）。ｊは、・・、−３、−２、−１、１、２、３、・・等のスルーホールの識別番号であり、番号の絶対値が大きくなるほど、原点スルーホール位置から離れていることを意味している。「所定距離」は、Ｘ軸方向のズレ設定値であり、このズレ設定値を変更することでズレ量の精度を決定できる。Ｘ_０は、原点スルーホールのＸ座標である。Ｙ_０は、原点スルーホールのＹ座標である。ＴＨ（ｊ）は、原点スルーホールからＪ番目のスルーホールを意味する。

このスルーホールは、多層プリント配線板に対し、予め設定された位置を基準に形成される。よって、検査用配線パターンが、伸縮やズレ等を生じていなければ、検査用配線パターンの予め設定された位置に形成されることになる。しかしながら、配線パターン形成および検査用配線パターン形成の際や他の製造処理の際に、一対の電導線が、配線パターン部と同様に蛇行、伸縮やズレが生じ、当初意図した設定と異なって形成される場合がある。そのため、このように当初意図された設定どおりに、検査用配線パターンが形成されているか否かを、一対の電導線の予め設定された位置にスルーホールを形成し、一対の電導線の通電状態を検査することで、配線パターン部のズレ量やズレ方向を高精度に検出することができる。

例えば、検査用配線パターンが設定どおり形成されている場合、原点スルーホール（ＴＨ（０））は、一対の電導線を切断するように形成される（図８（ａ）の８１，８２参照）。原点から１番目以降のスルーホール（ＴＨ（１））は、Ｘ方向に「所定距離」ずれているため、ズレ方向と反対の電導線については完全に切断されないように形成される（図８（ｂ）の８３参照）。一方、原点から−１番目以降のスルーホール（ＴＨ（−１））も同様に、―Ｘ方向に「所定距離」ずれているため、ズレ方向と反対の電導線については完全に切断されないように形成される（図８（ｃ）の８４参照）。これは、スルーホールが、電導線と直交するいずれかの方向に、「所定距離」づつ、ずれて形成されるからである。以上のように、スルーホールによって２本の電導線が切断された状態と、それらが完全に切断されていない状態とが形成されて、電導線端部とスルーホールを介在させた位置の電導線間に、電気的接続部分あるいは非接続部分が形成される。

検査用配線パターンの一対の電導線を、図１の配線パターン部１ａに平行にその左右１１ａ、１１ｂのいずれかの側にあるいは両側に形成した場合、配線パターン部１ａの左右方向のズレ（あるいはＸ方向のズレ）を検出することができる。検査用配線パターンの一対の電導線を、配線パターン部１ａに平行にその左右１１ａ、１１ｂの両側に形成した場合、配線パターン部１ａの左右両方の側の左右方向のズレを検出でき、より精密に配線パターンのズレを検出することができる。

また、検査用配線パターンの一対の電導線を、図１の配線パターン部１ａに平行にその上下１１ｃ、１１ｄのいずれかの側にあるいは両側に形成した場合、配線パターン部１ａの上下方向のズレ（あるいはＹ方向のズレ）を検出することができる。検査用配線パターンの一対の電導線を、配線パターン部１ａに平行にその上下１１ｃ、１１ｄの両側に形成した場合、配線パターン部１ａの上下両方の側の上下方向のズレを検出でき、より精密に配線パターンのズレを検出することができる。なお、この場合、スルーホールは、図１においてＸ方向に沿って形成され、かつ、Ｙ方向に所定距離づつ、ずれて形成されることになる。

スルーホールのＸ座標を定義する「所定距離」によって、ズレ量の精度が決定される。以下において、この「所定距離」をズレ設定値と称することもある。この「所定距離」は、スルーホール形成手段の移動ピッチに依存するが、例えば、０．１μｍ〜数１０μｍ程度の範囲が挙げられる。また、スルーホールの外径は、スルーホール形成によって一対の電導線を非接続状態にするように、一対の電導線の幅と同一あるいは実質的に同一であることが好ましい。

また、上記の本発明において、前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記スルーホールが、前記平行に形成された複数の一対の電導線に沿った軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有する。

この構成によれば、検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有している（図９参照）。図９において、一対の電導線は、Ｗ１（９）〜Ｗ１（−９）で図示されている。

スルーホール（非スルーホール）は、平行に形成された複数の一対の電導線に沿った軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される。すなわち、スルーホールは、所定の規則性を持って形成される。それぞれのスルーホールの形成位置は、原点スルーホールの位置と以下のＸ−Ｙ座標の関係式で表わすことが可能である。スルーホール間の距離測定のための基準点は、スルーホールの中心でもよく、対応する外径位置でもよい。説明上、スルーホールの形成位置は、ｙ軸方向に沿っているものとし、Ｘ座標の変化はない。

（数式２）
ＴＨ（ｋ）＝（Ｘ_０，（Ｙ_０＋（Ｄ＋ズレ設定値）×ｋ））
ここで、Ｄは、一対の電導線間の一定距離である。ｋは、・・−３、−２、−１、１、２、３、・・等のスルーホールの識別番号であり、番号の絶対値が大きくなるほど、原点スルーホールＴＨ（０）位置から離れている。「ズレ設定値」を変更することでズレ量の精度を決定できる。Ｘ_０は、原点スルーホールのＸ座標である。Ｙ_０は、原点スルーホールのＹ座標である。ＴＨ（ｋ）は、原点スルーホールからｋ番目のスルーホールを意味する。

このスルーホール（非スルーホール）は、多層プリント配線板に対し、予め設定された位置を基準に形成される。よって、検査用配線パターンが、伸縮やズレ等を生じていなければ、検査用配線パターンの予め設定された位置に形成されることになる。しかしながら、配線パターン形成および検査用配線パターン形成の際や他の製造処理の際に、複数の一対の電導線が、配線パターン部と同様に蛇行、伸縮やズレが生じ、当初意図した設定と異なって形成される場合がある。そのため、このように当初意図された設定どおりに、検査用配線パターンが形成されているか否かを、複数の一対の電導線の予め設定された位置にスルーホールを形成し、複数の一対の電導線の通電状態を検査することで、配線パターン部のズレ量やズレ方向を高精度に検出することができる。

例えば、検査用配線パターンが設定どおり形成されている場合、原点スルーホール（ＴＨ（０））は、一対の電導線を切断するように形成される（図８（ｄ）の８０１，８０２参照）。原点から１番目以降のスルーホール（ＴＨ（１））は、Ｙ方向に（Ｄ＋ズレ設定値）の位置であり、ズレ方向と反対の電導線（図８（ｅ）のＷ１−２参照）については完全に切断されないように形成される（図８（ｅ）の８０３参照）。一方、原点から−１番目以降のスルーホール（ＴＨ（−１））も同様に、―Ｙ方向に−（Ｄ＋ズレ設定値）の位置であり、ズレ方向と反対の電導線（図８（ｆ）のＷ１−１参照）については完全に切断されないように形成される（図８（ｆ）の８０４参照）。これ以外のスルーホールの位置についても数式２を用いて同様に説明できる。

この検査用配線パターンの複数の一対の電導線を、図１の配線パターン部１ａに平行にその左右１１ａ、１１ｂのいずれかの側にあるいは両側に形成した場合、配線パターン部１ａの上下方向のズレ（あるいはＹ方向のズレ）を検出することができる。この検査用配線パターンの複数の一対の電導線を、配線パターン部１ａに平行にその左右１１ａ、１１ｂの両側に形成した場合、配線パターン部１ａの左右両方の側の上下方向のズレを検出でき、より精密に配線パターンのズレを検出することができる。

また、この検査用配線パターンの複数の一対の電導線を、図１の配線パターン部１ａに平行にその上下１１ｃ、１１ｄのいずれかの側にあるいは両側に形成した場合、配線パターン部１ａの左右方向のズレ（あるいはＸ方向のズレ）を検出することができる。この検査用配線パターンの複数の一対の電導線を、配線パターン部１ａに平行にその上下１１ｃ、１１ｄの両側に形成した場合、配線パターン部１ａの上下１１ｃ、１１ｄ両方の側の左右方向のズレを検出でき、より精密に配線パターンのズレを検出することができる。なお、複数の一対の電導線を、例えば、配線パターン部１ａの上１１ｃに形成する場合、その左１１ｂに形成した場合から右回りに９０°回転したものとなる。

スルーホールのＹ座標を定義する「ズレ設定値」によって、検出されるズレ量の精度が決定される。この「ズレ設定値」は、スルーホール形成手段の移動ピッチに依存するが、例えば、０．１μｍ〜数１０μｍ程度の範囲が挙げられる。また、スルーホールの外径は、スルーホール形成によって一対の電導線を非接続状態にするように、一対の電導線の幅と同一あるいは実質的に同一であることが好ましい。

また、検査用配線パターンのパターン構成として、前記のそれぞれ平行な複数の一対の電導線である第１パターン（図１０のＷ１（９）からＷ１（−９）参照）と、前記一対の電導線である第２パターン（図５のＬ１−ｌｅｆｔ、Ｌ１−ｒｉｇｈｔを参照）とを、組み合わせることができる。例えば、図１の配線パターン部１ａの左右１１ａ、１１ｂのいずれかの側あるいは両側に、第１パターンと第２パターンとを有して構成することができる。また、配線パターン部１ａの上下１１ｃ、１１ｄのいずれかの側あるいは両側に、第１パターンと第２パターンとを有して構成することができる。また、第１パターンを配線パターン部１ａの左右１１ａ、１１ｂのいずれかの側に形成し、配線パターン部１ａの上下１１ｃ、１１ｄのいずれかの側に第２パターンを形成することもできる。また、第１パターンを配線パターン部１ａの上下１１ｃ、１１ｄのいずれかの側に形成し、配線パターン部１ａの左右１１ａ、１１ｂのいずれかの側に第２パターンを形成することもできる。

また、他の本発明の多層プリント配線板の検査方法は、
少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターン形成の際に設けられ、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられるスルーホールと、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成された構成を有する多層プリント配線板の検査方法であって、
それぞれの前記検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する工程と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出工程と、
前記ズレ量算出工程で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出工程と、を有し、
前記相対的ズレ量算出工程で算出されたそれぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量に基づいて、良品判定が可能に構成されている。

多層プリント配線板の構成については上述したとおりである。この方法では、それぞれの検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する。そして、通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンのズレ量を算出する。ズレ方向は、検査用配線パターンの形成態様によって決定される。そして、この算出された、それぞれの配線パターンのズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の相対的ズレ量を算出する。この算出されたそれぞれの配線パターン間の相対的ズレ量に基づいて、良品判定が可能になる。

上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記スルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第１ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第２ズレ量を算出し、当該第１ズレ量と当該第２ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成である。

この構成による多層プリント配線板の構成も上述したとおりである。そして、通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出する。例えば、いずれか一方の電導線の端部と、それぞれのスルーホールを跨いだ位置の電導線との通電状態を測定し、スルーホールごとに通電の有無を検出する。図６の場合、Ｌ−ｌｅｆｔの端部Ｌ１１と、それぞれのスルーホールＴＨ（９）〜ＴＨ（−９）を跨いだ位置Ｌ１（９）〜Ｌ１（−９）での通電状態が測定される。

そして、通電状態と非通電状態の境となる両サイドのスルーホール（例えば、ＴＨ（ｊ−１）、ＴＨ（ｊ））を検出する。この境の両サイドのスルーホール（ＴＨ（ｊ−１）、ＴＨ（ｊ））のずらし量（ズレ設定値×（ｊ−１）、ズレ設定値×ｊ）の平均を算出し、これを第１ズレ量とする。

また、その他方の電導線についても同様に、その電導線の端部と、それぞれのスルーホールを跨いだ位置の電導線との通電状態を測定し、スルーホールごとに通電の有無を検出する。図６の場合、Ｌ１−ｒｉｇｈｔの端部Ｒ１１と、それぞれのスルーホールＴＨ（９）〜ＴＨ（−９）を跨いだ位置Ｒ１（―９）〜Ｒ１（９）での通電状態が測定される。

そして、通電状態と非通電状態の境となる両サイドのスルーホール（例えば、ＴＨ（ｊ）、ＴＨ（ｊ＋１））を検出し、この両サイドのスルーホール（ＴＨ（ｊ）、ＴＨ（ｊ＋１））のずらし量（ズレ設定値×ｊ、ズレ設定値×（ｊ＋１））の平均を算出し、これを第２ズレ量とする。次いで、第１ズレ量と第２ズレ量の平均値を算出して、ズレ量とする。例えば、第１ズレ量が−５μｍ、第２ズレ量が５μｍで、これら平均値のズレ量が０であれば、検査用配線パターンは、ずれなく設計どおり形成され、すなわち配線パターン部もずれなく設計どおり形成されていると判断できる。

一方、例えば、一対の電導線が右に３０μｍズレて形成されている場合について以下に説明する。ずれ設定値を１０μｍとする。通電状態と非通電境状態の境の両サイドのスルーホールとして、例えば、Ｌ１−ｌｅｆｔの電導線に対するスルーホールＴＨ（３）、ＴＨ（４）が検出される。そして、これらのずらし量（（１０×３）、（１０×４））の平均の３５μｍを第１ズレ量とする。また、Ｌ１−ｒｉｇｈｔの電導線に対するスルーホールＴＨ（２）、ＴＨ（３）が検出され、これらのずらし量（（１０×２）、（１０×３））の平均の２５μｍを第２ズレ量とする。次いで、第１ズレ量と第２ズレ量の平均値を算出して、ズレ量３０μｍが算出される。このズレ量が「正」の値のため、右に３０μｍずれていることが判別できる。なお、このズレ量が「負」であれば、左方向にずれていることにある。以上のようにして、それぞれの層の検査用配線パターンにおける、所定方向のズレ量を求める。また、Ｌ１−ｌｅｆｔの通電状態から算出されるズレ量と、Ｌ１−ｒｉｇｈｔの通電状態から算出されるズレ量を平均化することで、配線パターン幅のばらつきを相殺することができる。そして、それぞれの検査用配線パターンの所定方向のズレ量を、相対的に演算することで、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を求めることができる。

上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記スルーホールが、前記平行に形成された複数の一対の電導線に沿った軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第１電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第２電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記第１電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第３ズレ量を算出し、前記第２電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第４ズレ量を算出し、当該第３ズレ量と当該第４ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成である。

この構成による多層プリント配線板の構成も上述したとおりである。そして、通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第１電導線に対する通電状態を検出し、次いで、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第２電導線に対する通電状態を検出する。例えば、図１１の破線枠Ｗ１（９）〜Ｗ１（−９）で示す一対の電導線において、上の線を第１電導線Ｗ１（ｋ）−１とし、下の線を第２電導線Ｗ１（ｋ）−２として説明する。図１１の場合、端部Ｐ１と、それぞれのスルーホールＴＨ（９）〜ＴＨ（−９）を跨いだ位置Ｗ１（９）−１〜Ｗ１（−９）−１での通電状態が測定される。また、端部Ｐ１と、それぞれのスルーホールＴＨ（９）〜ＴＨ（−９）を跨いだ位置Ｗ１（９）−２〜Ｗ１（−９）−２での通電状態が測定される。

ズレ算出工程では、第１電導線Ｗ１（９）−１〜Ｗ１（−９）−１の通電状態の結果から、通電状態と非通電状態との境界位置にある両サイドのスルーホール（例えば、ＴＨ（ｊ−１）、ＴＨ（ｊ））を検出する。この境の両サイドのスルーホール（ＴＨ（ｊ−１）、ＴＨ（ｊ））のずらし量（ズレ設定値×（ｊ−１）、ズレ設定値×ｊ）の平均を算出し、これを第３ズレ量とする。

また、第２電導線Ｗ１（９）−２〜Ｗ１（−９）−２の通電状態の結果から、通電状態と非通電状態との境界位置にある両サイドのスルーホール（例えば、ＴＨ（ｊ）、ＴＨ（ｊ＋１））を検出する。この境の両サイドのスルーホール（ＴＨ（ｊ）、ＴＨ（ｊ＋１））のずらし量（ズレ設定値×ｊ、ズレ設定値×（ｊ＋１））の平均を算出し、これを第４ズレ量とする。次いで、第３ズレ量と第４ズレ量の平均値を算出して、ズレ量とする。例えば、第３ズレ量が−５μｍ、第４ズレ量が５μｍで、これら平均値のズレ量が０であれば、検査用配線パターンは、ずれなく設計どおりに形成され、すなわち配線パターン部も、ずれなく設計どおりに形成されていると判断できる。

一方、例えば、複数の一対の電導線が下に３０μｍズレて形成されている場合について以下に説明する。ずれ設定値が１０μｍとする。通電状態と非通電境状態の境の両サイドのスルーホールとしては、例えば、第１電導線Ｗ１（ｋ）−１の通電状態の結果から、スルーホールＴＨ（−３）、ＴＨ（−４）が検出される。これらのずらし量（（１０×−３）、（１０×−４））の平均−３５μｍを第３ズレ量とする。また、第２電導線Ｗ１（ｋ）−２の通電状態の結果から、スルーホールＴＨ（−２）、ＴＨ（−３）が検出され、これらのずらし量（（１０×−２）、（１０×−３））の平均−２５μｍを第４ズレ量とする。次いで、第３ズレ量と第４ズレ量の平均値を算出して、ズレ量−３０μｍが算出され、ズレ量が「負」の値のため、下に３０μｍずれていることが判別できる。なお、ズレ量が「正」の場合、下方向にずれていることになる。以上のようにしてそれぞれの層の検査用配線パターンにおける、ズレ量を求める。第１電導線Ｗ１（ｋ）−１の通電状態から算出されるズレ量と、第２電導線Ｗ１（ｋ）−２の通電状態から算出されるズレ量を平均化することで、配線パターン幅のばらつきを相殺することができる。そして、それぞれの検査用配線パターンの所定方向のズレ量を、相対的に演算することで、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を求めることができる。

また、他の本発明の多層プリント配線板の検査システムは、
少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターン形成の際に設けられ、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられるスルーホールと、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターン層の検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成された構成を有する多層プリント配線板の検査システムであって、
それぞれの検査用配線パターンの通電状態を検出する通電検査部と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出部と、
前記ズレ量算出部で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出部と、を有する構成である。

この構成の作用効果は、上述の多層プリント配線板の検査方法と同様であるので詳細な説明は省略する。通電検査部は、電気的接続状態を電気的に検出する装置、機器、その他の公知の手段が例示され、公知のテスター、通電チェッカーを用いることができる。通電検査部は、検査用配線パターンに対し、手動で検査操作できるものでもよいが、検査用配線パターンが細密構造化するに従って、検査用配線パターンに応じた自動移動機構および自動移動制御装置を備えることが好ましい。

また、検査用配線パターンにおける検査対象位置座標と通電検査結果は対応づけられ、メモリに記憶されることが好ましい。通電検査部による通電検査結果と検査対象位置座標は、ズレ量算出部、相対的ズレ量算出部に提供可能に構成される。ズレ量算出部と相対的算出部の機能は、ＭＰＵ（またはＣＰＵ）、メインメモリ等ハードウエア資源を備えた情報処理装置と、各種処理手順が記述されたソフトウェアで構成することができ、また、専用回路やファームウエア等を組み合わせてあるいはそれらを単独に用いて構成することもできる。通電検査部は、ネットワーク手段によって情報処理装置に接続され、通電検査結果と検査対象位置座標は、メモリに格納される。そして、ズレ量算出部の機能によって、配線パターン層のそれぞれのズレ量、ズレ方向が算出される。次いで、相対的ズレ量算出部の機能によって、配線パターン層間の相対的なズレ量、ズレ方向が算出される。

上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記スルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出部は、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第１ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第２ズレ量を算出し、当該第１ズレ量と当該第２ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。

この構成の作用効果は、上述の多層プリント配線板の検査方法と同様であるので詳細な説明は省略する。

上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記スルーホールが、前記平行に形成された複数の一対の電導線に沿った軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第１電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第２電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出部は、前記第１電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第３ズレ量を算出し、前記第２電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第４ズレ量を算出し、当該第３ズレ量と当該第４ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。

この構成の作用効果は、上述の多層プリント配線板の検査方法と同様であるので詳細な説明は省略する。

上記の本発明において、前記相対的ズレ量算出部で算出されたそれぞれの配線パターン間の相対的ズレ量に基づいて、良品判定する判定部を、さらに有する構成がある。

この判定部の機能によって、多層プリント配線板の良品判定が可能になる。この良品判定は、全品でもよく、所定の品質検査手法に則った一部でもよい。良品判定結果または不良判定結果に応じて、多層プリント配線板の各製造処理工程、作業環境、作業者等へのフィードバックを行うことで、歩留まりを向上させることができる。

また、他の本発明の多層プリント配線板の製造方法は、
少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層を有する多層プリント配線板の製造方法であって、
配線パターンの領域の近傍に、当該配線パターンを形成する際に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンを形成する検査用配線パターン形成工程と、
前記検査用配線パターンが形成された、複数のプリント配線板を積層し、多層プリント配線板を形成する積層工程と、
前記多層プリント配線板の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部を形成する層間接続部形成工程と、
前記層間接続部形成工程の際に、あるいは別に、それぞれの前記検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき、スルーホールを形成するスルーホール形成工程と、
それぞれの前記検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する工程と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出工程と、
前記ズレ量算出工程で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出工程と、
前記相対的ズレ量算出工程で算出されたそれぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量に基づいて、良品判定をする良品判定工程と、を有する構成である。

この製造方法によれば、配線パターンの領域の近傍に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンを形成する。次いで、配線パターンが形成された複数のプリント配線板を積層し、多層プリント配線板を形成する。次いで、多層プリント配線板の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部を形成する。この層間接続部形成の際に、あるいは別に、それぞれの前記検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき、スルーホールを形成する。これまでの各工程の前後に他の工程が含まれていてもよい。これ以後の工程は、上述の多層プリント配線板の検査方法と同様であるので詳細な説明は省略する。

また、上記の本発明において、
前記多層プリント配線板から検査用配線パターンの領域を除去する工程をさらに有する構成がある。

また、上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記スルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第１ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第２ズレ量を算出し、当該第１ズレ量と当該第２ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。この構成の作用効果は、上述の多層プリント配線板の検査方法と同様であるので詳細な説明は省略する。

また、上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記スルーホールが、前記平行に形成された複数の一対の電導線に沿った軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第１電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第２電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記第１電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第３ズレ量を算出し、前記第２電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第４ズレ量を算出し、当該第３ズレ量と当該第４ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。この構成の作用効果は、上述の多層プリント配線板の検査方法と同様であるので詳細な説明は省略する。

多層プリント配線板の表面の一例について説明するための図 図１の多層プリント配線板の裏面の一例について説明するための図 ２枚の配線板からなる多層プリント配線板の一例の側面図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 多層プリント配線板の製造工程の一例について説明するための図 多層プリント配線板の検査工程の一例について説明するための図 多層プリント配線板の検査システムの構成の一例について説明するための図 通電結果データの一例について示す図 通電結果データの一例について示す図 通電結果データの一例について示す図 通電結果データの一例について示す図 通電結果データの一例について示す図 通電結果データの一例について示す図 通電結果データの一例について示す図 通電結果データの一例について示す図 通電結果データの一例について示す図 通電結果データの一例について示す図 検査用配線パターンの一例について説明するための図 各層のＯＰＥＮ判定結果とズレ量の一例について示す図 各層のズレ方向と平均化されたズレ量の一例について示す図 各層間の相対的ズレ量と良品判定の一例について示す図 各層間のスルーホールのズレ量と良品判定の一例について示す図

符号の説明

１ａ、１ｂ 配線パターン部
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ 検査用配線パターン領域
１００ 通電検査部
１１１ メモリ
１１２ ズレ量算出部
１１３ 相対的ズレ量算出部
１１４ 判定部

（多層プリント配線板の製造方法）
多層プリント配線板および検査用配線パターンの製造方法について、図１９の製造工程フローを用いて説明する。多層プリント配線板を構成する材料は、特に制限されず公知の材料を用いることができる。配線板のコア材の板厚は、０．５ｍｍ未満、好ましくは、０．３５ｍｍ未満、特に好ましくは、０．２５ｍｍ未満で構成される。また、このコア材の材質としては、誘電率が８．０未満、より好ましくは６．０未満、特に好ましくは４．０未満のもので構成される。

（１）検査用配線パターン形成工程（ステップＳ１）。配線板材を所定の位置を基準にして固定し、公知の配線パターン形成手段、例えば、パターンメッキ、エッチング処理等で、配線パターンを形成する。この配線パターンの形成の際に、検査用配線パターンも形成する。配線パターンと検査用配線パターンの形成材料は、例えば、銅が用いられる。図１、２に示すように、配線板１の一方面に配線パターン部１ａが形成され、他方面に配線パターン部１ｂが形成され、すなわち、配線パターンが、配線板１の両面に形成される。また、検査用配線パターンが、検査用配線パターン領域１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂに形成される。

検査用配線パターン領域１１ｂに形成された検査用配線パターンの一例を、図１８に示す。なお、検査用配線パターン領域１１ａにも同様の検査用配線パターンが形成される。ここでは、４層の配線パターンからなる多層プリント配線板に形成される検査用配線パターンについて説明するが、以下に説明される形態に制限されることはない。また、多層プリント配線板は４層の配線パターンに制限されず、４層未満、４層を超える配線パターン層についても同様に、本発明の技術的思想の範囲に属する。

図１８は、多層プリント配線板の１層目の検査用配線パターンの一例である。この１層目の検査用配線パターンは、図１８の上部に第１パターン、図１８の下部に第２パターンとして区別されている。第１パターンは、配線パターンの上下ズレ方向（Ｙ軸方向）、ズレ量を検出するために機能する。第２パターンは、配線パターンの左右ズレ方向（Ｘ軸方向）、ズレ量を検出するために機能する。

先ず、第１パターンについて説明する。図９に示すように第１パターンが形成される。この検査用配線パターンは、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成である。図９において、一対の電導線は、Ｗ１（９）〜Ｗ１（−９）で図示されている。黒塗りライン部分および黒塗り丸形状部分で、検査用配線パターンを構成している。この検査用配線パターンの黒塗り丸形状部分は、図１０に示すように、エッチングによって電気的に分断される。この黒塗り丸形状部分の一部は、後述するようにスルーホールメッキが形成され、図１１に示す１層目の検査用配線パターンにおいて、層内部の検査用配線パターンの通電状態検出を可能にする。

図１４は、多層プリント配線板の２層目の配線プリント層の検査用配線パターンの一例である。この２層目の検査用配線パターンは、１層目の検査用配線パターンの裏側に形成されている。黒塗りライン部分および黒塗り丸形状部分で、検査用配線パターンを構成している。図１５は、多層プリント配線板の３層目の配線プリント層の検査用配線パターンの一例である。この３層目の検査用配線パターンは、１層目、２層目の検査用配線パターンが形成された配線板とは異なる配線板に形成されている。黒塗りライン部分および黒塗り丸形状部分で、検査用配線パターンを構成している。図１７は、多層プリント配線板の４層目の配線プリント層の検査用配線パターンの一例である。この４層目の検査用配線パターンは、３層目の検査用配線パターンの裏側に形成されている。この４層目の検査用配線パターンは、１層目の検査用配線パターンと同様である。なお、図１４、１５、１７において、後述する工程で、斜線丸形状部分としてスルーホールメッキＴＨＭが形成され、また、白丸形状部分としてスルーホールＴＨ（９）〜（−９）が形成される。なお、図１４、１５、１７は、いずれも、図１１の１層目の表面から層内部を透かして見た場合の図である。

次に、第２パターンについて説明する。図４に示すように第２パターンが形成される。検査用配線パターンは、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線Ｌ１―ｌｅｆｔ、Ｌ１−ｒｉｇｈｔを有して構成される。この２本の電導線間の「所定間隔」は予め一定に設定されている。図４において、黒塗りライン部分および黒塗り丸形状部分で、検査用配線パターンを構成している。この検査用配線パターンの黒塗り丸形状部分は、図５に示すように、エッチングによって電気的に分断される。この黒塗り丸形状部分の一部は、後述するようにスルーホールメッキが形成され、図６に示す１層目の検査用配線パターンにおいて、層内部の検査用配線パターンの通電状態検出を可能にする。

図１２は、多層プリント配線板の２層目の配線パターン層の検査用配線パターンの一例である。この２層目の検査用配線パターンは、１層目の検査用配線パターンの裏側に形成されている。一対の電導線Ｌ２−ｌｅｆｔ、Ｌ２−ｒｉｇｈｔ、黒塗りライン部分および黒塗り丸形状部分で、検査用配線パターンを構成している。図１３は、多層プリント配線板の３層目の配線パターン層の検査用配線パターンの一例である。この３層目の配線パターン層の検査用配線パターンは、１層目、２層目の検査用配線パターンが形成された配線板とは異なる配線板に形成されている。一対の電導線Ｌ３−ｌｅｆｔ、Ｌ３−ｒｉｇｈｔ、黒塗りライン部分および黒塗り丸形状部分で、検査用配線パターンを構成している。図１６は、多層プリント配線板の４層目の配線パターン層の検査用配線パターンの一例である。この４層目の検査用配線パターンは、３層目の検査用配線パターンの裏側に形成されている。この４層目の検査用配線パターンは、１層目の検査用配線パターンと同様である。なお、図１２、１３、１６において、後述する工程で、斜線丸形状部分としてスルーホールメッキＴＨＭが形成され、また、白丸形状部分としてスルーホールＴＨ（９）〜（−９）が形成される。なお、図１２、１３、１６は、いずれも、図６の１層目の表面から層内部を透かして見た場合の図である。

（２）積層工程（ステップＳ２）。図３に示すように、配線パターンおよび検査用配線パターンが形成されたプリント配線板１、２を積層する。積層する場合に、プリント配線板同士の所定位置を基準にして積層する。プリント配線板同士を接続する場合、例えば、プリプレグ等の絶縁材料を介在させてプリント配線板同士を積層一体化することができる。また、別実施形態として、複数の配線板を積層する代わりに、配線板に配線パターン層を形成後、絶縁材料を積層し、その表面に配線パターンを形成するような、公知のビルドアップ手法によって多層配線層を形成することもできる。

（３）層間接続部形成工程（ステップＳ３）。
多層プリント配線板は、それぞれの配線パターン層間で、電気的接続がなされるように、スルーホールメッキによって層間接続部を形成することができる。そのために、先ず、それぞれの配線パターン部の所定位置にスルーホールを形成する。スルーホール形成は、公知のスルーホール形成手段、例えばＮＣ孔あけ装置等を用いることができる。それぞれの配線パターン間の層間接続部用のスルーホールにメッキ処理を施す。また、検査用配線パターン間の層間接続部用のスルーホールを形成し、これにメッキ処理を施す。これによって、表面層の検査用配線パターンと層内部の検査用配線パターンとを電気的に接続する層間接続部としてスルーホールメッキＴＨＭを形成する。図６、１２、１３、１４、１６、１１、１４、１５、１７にスルーホールメッキＴＨＭを、斜線の丸形状部分として示す。なお、層間接続部として、スルーホールメッキ以外の公知の他の構成を用いることもできる。

（４）スルーホール形成工程（ステップＳ４）。
ステップＳ３のスルーホール形成の際に、あるいは別途、検査用配線パターンの所定位置にスルーホールＴＨ（９）〜（−９）を形成する。スルーホール形成は、公知のスルーホール形成手段、例えばＮＣ孔あけ装置等を用いることができる。スルーホールは、配線パターンおよび検査用配線パターンが、予め設定された設計位置どおりに形成されていることを前提にして形成される。そのため、スルーホールに対し、検査用配線パターンがずれていることを検出することで、配線パターンおよび検査用配線パターンに伸縮やズレ等が生じていると判別できる。本発明は、このスルーホール形成位置に対する検査用配線パターンのズレを利用して、配線パターン層間のズレ量およびズレ方向を高精度に検出することができるものである。

検査用配線パターンによって、上述したように所定の規則に従ってスルーホールＴＨ（９）〜（−９）は、形成される。スルーホールの形成個数は、後述するズレ設定値と共にズレ量算出の基礎になっている。ここでは、１９個のスルーホールを形成することを示しているが、ズレ量の検出精度によってスルーホールの形成個数およびズレ設定値を設定することができる。

図１１に示す１層目の検査用配線パターンの第１パターンの場合、検査用配線パターンにズレが生じていないならば、原点スルーホールＴＨ（０）は、一対の電導線Ｗ１（１）を完全に切断するように形成される。この原点スルーホールＴＨ（０）からｋ番目以降のスルーホールＴＨ（ｋ）は、図中上下軸（Ｙ軸）垂直方向に（一対の電導線の一定距離（Ｄ）＋ズレ設定値×ｋ）の位置に形成される。それぞれのスルーホールＴＨの直径は一対の電導線の一定距離（Ｄ）と同じである。従って、スルーホールＴＨ（ｋ）は、ズレ設定値分シフトしながら形成されるため、一対の電導線を構成する第１電導線と第２電導線のそれぞれに、電気的接続部分と非接続部分の境界が形成される。このズレ設定値は、ズレ量の精度を決定している。ズレ設定値としては、２０μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以下、さらに好ましくは、５μｍ以下である。また、２、３、４層目の検査用配線パターンも図１４、１５、１７に示すようにスルーホールＴＨ（９）〜（−９）が形成される。以下では、ズレ設定値を１０μｍとして説明する。

また、図６に示す１層目の検査用配線パターンの第２パターンの場合、検査用配線パターンにズレが生じていないならば、原点スルーホールＴＨ（０）は、一対の電導線Ｌ１−ｌｅｆｔ、Ｌ１−ｒｉｇｈｔを完全に切断するように形成される。この原点スルーホールＴＨ（０）からｊ番目以降のスルーホールＴＨ（ｊ）の位置座標は、（Ｘ_０＋所定距離×ｊ，Ｙ_０＋Ｈ×Ｊ）で示される。従って、スルーホールＴＨ（ｊ）は、ｘ軸（左右軸）方向に所定距離（ズレ設定値）分シフトしながら形成されるため、一対の電導線Ｌ１−ｌｅｆｔ、Ｌ１−ｒｉｇｈｔのそれぞれに、電気的接続部分と非接続部分の境界が形成される。このズレ設定値は、ズレ量の精度を決定している。ズレ設定値としては、２０μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以下、さらに好ましくは、５μｍ以下である。また、２、３、４層目の検査用配線パターンも図１２、１３、１６に示すようにスルーホールＴＨ（９）〜（−９）が形成される。以下では、所定距離（ズレ設定値）を１０μｍとして説明する。

なお、図６、１８等において、Ｌ２（９）〜Ｌ２（−９）、Ｒ２（９）〜Ｒ２（−９）、Ｌ３（９）〜Ｌ３（−９）、Ｒ３（−９）〜Ｒ３（９）のそれぞれは、全て図示されていないが、それぞれの位置関係は、図面上縦方向に位置されていることが理解される。また、図１１、１８等において、Ｗ２（９）−１〜Ｗ２（−９）−１、Ｗ２（９）−２〜Ｗ２（−９）−２、Ｗ３（９）−１〜Ｗ３（−９）−１、Ｗ３（９）−２〜Ｗ３（−９）−２のそれぞれは、全て図示されていないが、それぞれの位置関係は、図面上縦方向に位置されていることが理解される。

（検査方法）
（５）検査工程（ステップＳ５）。
それぞれの検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する（ステップＳ５−１）。図２１は、多層プリント配線板の検査システムの機能構成の主要部分を示している。通電検査部として、図２１の通電チェッカー１００を用いる。通電チェッカー１００によって検出された通電状態は、検査位置情報と共に、情報処理装置のメモリ１１１に送信され、記憶される。配線パターンの２層目と３層目は、内層に位置しているが、１層目あるいは４層目側から、それぞれ独立して、２層目、３層目の通電状態を検査することができる。

図２２から２５は、１層目から４層目までの第１パターンの通電検査結果の一例を示す。図２６から２９は、１層目から４層目までの第２パターンの通電検査結果の一例を示す。それぞれの図に共通して、確認用ＡＤＲＥＳＳは、通電検査を行なった検査位置情報を示す。通電チェッカー１００の一方の端子をＳＴＡＲＴ位置に固定し、他方の端子を、所定のＥＮＤ位置に順に接続して、ＳＴＡＲＴ位置とＥＮＤ位置間の通電状態を検出する。ＴＨずらし量は、原点スルーホールＴＨ（０）を基準として、所定方向にズレ設定値（１０μｍ）分づつシフトしていることを示す。ＯＰＥＮ判定における「ＯＰＥＮ」は、非通電を意味し、「○」は、通電を意味する。

図２２は、１層目の第１パターンの上下（Ｙ軸）ズレの通電結果である。Ｗ１（ｋ）−１は、複数の一対の電導線Ｗ１（ｋ）うちの第１電導線（図１１では上側の電導線）と接続される。Ｗ１（ｋ）−２は、複数の一対の電導線Ｗ１（ｋ）うちの第２電導線（図１１では下側の電導線）と接続される。ｋは、スルーホールの識別番号に対応する。図２３は、２層目の第１パターンの上下（Ｙ軸）ズレの通電結果である。Ｗ２（ｋ）−１は、複数の一対の電導線Ｗ２（ｋ）うちの第１電導線（図１４では上側の電導線）と接続される。Ｗ２（ｋ）−２は、複数の一対の電導線Ｗ２（ｋ）うちの第２電導線（図１４では下側の電導線）と接続される。図２４は、３層目の第１パターンの上下（Ｙ軸）ズレの通電結果である。Ｗ３（ｋ）−１は、複数の一対の電導線Ｗ３（ｋ）うちの第１電導線（図１５では上側の電導線）と接続される。Ｗ３（ｋ）−２は、複数の一対の電導線Ｗ３（ｋ）うちの第２電導線（図１５では下側の電導線）と接続される。図２５は、４層目の第１パターンの上下（Ｙ軸）ズレの通電結果である。Ｗ４（ｋ）−１は、複数の一対の電導線Ｗ４（ｋ）うちの第１電導線（図１７では上側の電導線）と接続される。Ｗ４（ｋ）−２は、複数の一対の電導線Ｗ４（ｋ）うちの第２電導線（図１７では下側の電導線）と接続される。

また、図２６は、１層目の第２パターンの左右（Ｘ軸）ズレの通電結果である。Ｌ１（ｊ）は、電導線Ｌ１−ｌｅｆｔに接続される。Ｒ１（ｊ）は、電導線Ｒ１−ｒｉｇｈｔに接続される。ｊは、スルーホールの識別番号に対応する。図２７は、２層目の第２パターンの左右（Ｘ軸）ズレの通電結果である。Ｌ２（ｊ）は、電導線Ｌ２−ｌｅｆｔに接続される。Ｒ２（ｊ）は、電導線Ｒ２−ｒｉｇｈｔに接続される。図２８は、３層目の第２パターンの左右（Ｘ軸）ズレの通電結果である。Ｌ３（ｊ）は、電導線Ｌ３−ｌｅｆｔに接続される。Ｒ３（ｊ）は、電導線Ｒ３−ｒｉｇｈｔに接続される。図２８は、４層目の第２パターンの左右（Ｘ軸）ズレの通電結果である。Ｌ４（ｊ）は、電導線Ｌ４−ｌｅｆｔに接続される。Ｒ４（ｊ）は、電導線Ｒ４−ｒｉｇｈｔに接続される。図２２から２９の通電結果は、一例にすぎず、検査用配線パターン領域１１ａ部分の通電検査結果も記憶されている。

ズレ量算出部１１２は、メモリ１１１から、検査位置情報と通電結果を読み出し、それぞれの配線パターンのズレ量およびズレ方向を算出する（ステップＳ５−２）。具体的には、以下の方法で算出することができる。先ず、上下方向（Ｙ軸方向）のズレを検出するための第１パターンのズレ量について算出する。メモリ１１１から、図２２から２５で示す検査位置情報と通電結果が読みだされる。１層目から順に算出する。第１電導線Ｗ１（９）−１〜Ｗ１（−９）−１の通電状態の結果から、通電状態（○）と非通電状態（ＯＰＥＮ）との境界位置にある両サイドのスルーホールＴＨ（−１）、ＴＨ（０）を検出する。これらスルーホールＴＨ（−１）、ＴＨ（０）のＴＨずらし量は、図２２からそれぞれ、「−１０」と「０」であり、その平均は、「−５」となる。

次いで、第２電導線Ｗ１（９）−２〜Ｗ１（−９）−２の通電状態の結果から、通電状態（○）と非通電状態（ＯＰＥＮ）との境界位置にある両サイドのスルーホールＴＨ（０）、ＴＨ（１）を検出する。これらスルーホールＴＨ（０）、ＴＨ（１）のＴＨずらし量は、図２２からそれぞれ、「０」と「１０」であり、その平均は、「５」となる。次いで、算出された「−５」と「５」の平均値「０」をズレ量とする。すなわち、１層目の上下方向のずれはない。

１層目と同様にして２層目、３層目、４層目の上下方向のズレ量を算出することができる。図２３から２５の通電結果から算出すると、全ての層で上下方向のズレはない。

次いで、左右方向（Ｘ軸方向）のズレを検出するための第２パターンのズレ量について算出する。メモリ１１１から図２６から２９で示す検査位置情報と通電結果が読みだされる。１層目から順に算出する。電導線Ｌ１−ｌｅｆｔのＬ１（９）〜Ｌ１（−９）の通電状態の結果から、通電状態（○）と非通電状態（ＯＰＥＮ）との境界位置にある両サイドのスルーホールＴＨ（０）、ＴＨ（１）を検出する。これらスルーホールＴＨ（０）、ＴＨ（１）のＴＨずらし量は、図２６からそれぞれ、「１０」と「０」であり、その平均は、「５」となる。

また、電導線Ｌ１−ｒｉｇｈｔのＲ１（９）〜Ｒ１（−９）の通電状態の結果から、通電状態（○）と非通電状態（ＯＰＥＮ）との境界位置にある両サイドのスルーホールＴＨ（−１）、ＴＨ（０）を検出する。これらスルーホールＴＨ（−１）、ＴＨ（０）のＴＨずらし量は、図２６からそれぞれ、「−１０」と「０」であり、その平均は、「−５」となる。次いで、算出された「５」と「−５」の平均値「０」をズレ量とする。すなわち、１層目の左右方向のずれはない。

１層目と同様にして２層目、３層目、４層目の左右方向のズレ量を算出することができる。図２７から２９の通電結果から算出すると、全ての層で左右方向のズレはない。

以下に、任意のズレ量およびズレ方向が算出される一例を示す。検査用配線パターンの複数の一対の電導線がスルーホールＴＨ（ｋ）に対し、上方向に３０μｍずれている場合の通電検査結果を図３０に示す。図３０の場合、第１電導線Ｗ１（９）−１〜Ｗ１（−９）−１の通電状態の結果から、通電状態（○）と非通電状態（ＯＰＥＮ）との境界位置にある両サイドのスルーホールＴＨ（２）、ＴＨ（３）を検出する。これらスルーホールＴＨ（２）、ＴＨ（３）のＴＨずらし量は、図３０からそれぞれ、「２０」と「３０」であり、その平均は、「２５」となる。

次いで、第２電導線Ｗ１（９）−２〜Ｗ１（−９）−２の通電状態の結果から、通電状態（○）と非通電状態（ＯＰＥＮ）との境界位置にある両サイドのスルーホールＴＨ（３）、ＴＨ（４）を検出する。これらスルーホールＴＨ（３）、ＴＨ（４）のＴＨずらし量は、図３０からそれぞれ、「３０」と「４０」であり、その平均は、「３５」となる。次いで、算出された「２５」と「３５」の平均値「３０」をズレ量とする。すなわち、この検査用配線パターンは、スルーホールＴＨに対し、上方向（Ｙ軸方向正）に３０μｍずれていると、算出される。

以上にように、このズレ量の算出方法によれば、検査用配線パターンのスルーホールに対するズレ量を高精度に算出できる。

また、他のズレ量およびズレ方向が算出される別の一例を示す。電導線のパターン幅が設計値より２０μｍ広く、検査用配線パターンの複数の一対の電導線がスルーホールＴＨ（ｋ）に対し、上方向に３０μｍずれている場合の通電検査結果を図３１に示す。図３１の場合、第１電導線Ｗ１（９）−１〜Ｗ１（−９）−１の通電状態の結果から、通電状態（○）と非通電状態（ＯＰＥＮ）との境界位置にある両サイドのスルーホールＴＨ（３）、ＴＨ（４）を検出する。これらスルーホールＴＨ（３）、ＴＨ（４）のＴＨずらし量は、図３１からそれぞれ、「３０」と「４０」であり、その平均は、「３５」となる。

次いで、第２電導線Ｗ１（９）−２〜Ｗ１（−９）−２の通電状態の結果から、通電状態（○）と非通電状態（ＯＰＥＮ）との境界位置にある両サイドのスルーホールＴＨ（２）、ＴＨ（３）を検出する。これらスルーホールＴＨ（２）、ＴＨ（３）のＴＨずらし量は、図３１からそれぞれ、「２０」と「３０」であり、その平均は、「２５」となる。次いで、算出された「３５」と「２５」の平均値「３０」をズレ量とする。すなわち、この検査用配線パターンは、スルーホールＴＨに対し、上方向（Ｙ軸方向正）に３０μｍずれていると、算出される。

以上にように、このズレ量の算出方法によれば、検査用配線パターンのスルーホールに対するズレ量を高精度に算出できるだけでなく、電導線のパターン幅が設計値どおり形成されていない場合でも一対の電導線の上下のライン、または左右のラインのデータを平均化することにより、電導線のパターン幅のばらつきを相殺できる。

相対的ズレ量算出工程１１３は、それぞれの配線パターンのズレ量およびズレ方向に基づいて、それぞれの配線パターン間の相対的ズレ量およびズレ方向を算出する（ステップＳ５−３）。相対的ズレ量算出部１１３は、それぞれの配線パターン層において、スルーホールＴＨに対するズレ量、ズレ方向のデータに基づいて、１層目、２層目または３層目を基準に、それ以外の他の層の相対的ズレ量、相対的ズレ方向を算出する。

図３３に、各層のＯＰＥＮ判定結果とズレ量を示す。上述と同様に、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４は、それぞれ多層プリント配線板の１層目、２層目、３層目、４層目を示す。「ＮＧ」は、ＯＰＥＮ判定で非通電（非導通）状態であることを示し、一方、「ＯＫ」は、ＯＰＥＮ判定で通電（導通）状態であることを示す。Ｗ１（）−１、Ｗ１（）−２、Ｌ１（）Ｒ１（）等の括弧内には、９〜―９の識別番号が入る。図表の下部にズレ量が算出されている。このズレ量は、上述の方法によって、その上段のＯＰＥＮ判定結果から算出されている。図３４に、各層のズレ方向と平均化されたズレ量を示す。平均化されたズレ量は、例えば、Ｌ１上下ズレであれば、図３３のズレ量「２５」と「４５」との平均である。図３５に各層間の相対的ズレ量を示す。相対的ズレ量は、以下の式で算出できる。

（数式３）
相対的ズレ量＝√［（Ｌ_ｍ上下ズレ量−Ｌ_ｎズレ量）^２＋（Ｌ_ｍ左右ズレ量−Ｌ_ｎ左右ズレ量）^２］
ここで、Ｌ_ｍ、Ｌ_ｎは、相対的ズレ量を算出したい、配線パターン層の識別番号を意味する。また、相対的ズレのズレ方向は、ベクトル演算することで得られる。

例えば、数式１を用いて、１層目と２層目（Ｌ１−Ｌ２）との相対的ズレ量を求める。（３５−２５）２乗＋（０−１５）の２乗の平方根は、「１８．０３」となる。なお、図３５では、少数点２位以下は切り捨てている。図３４のＬ１Ｘは、第１層目の左右ズレを示し、Ｌ１Ｙは、第１層目の上下ズレを示している。同様にＬ２Ｘ、Ｌ２Ｙ、Ｌ３Ｘ、Ｌ３Ｙ、Ｌ４Ｘ、Ｌ４Ｙは、それぞれ各層における左右ズレ、上下ズレを示している。

（６）良品判定工程（ステップＳ６）。それぞれの配線パターン間の相対的ズレ量、または相対的ズレ方向および相対的ズレ量に基づいて良品判定をする。判定部１１４は、不図示のメモリに記憶された予め設定されている判定基準値と、それぞれの配線パターン間の相対的ズレ量、または相対的ズレ方向および相対的ズレ量を比較し、判定基準値を満足していれば、良品判定し、そうでなければ不良品判定する。不良品判定された多層プリント配線板は、廃棄される。相対的ズレ量あるいはズレ量が基準値以上の場合に、あるいは不良品判定率が所定値以上の場合に、各製造工程に反映され、作業条件等の再設定等が行われる。例えば、図３５において、相対的ズレ量の判定基準値が例えば２０μｍであれば、全ての層間が、良品として判定される。この判定基準値は、製品の必要性能に応じて設定される。

また、上記の実施形態に、さらに以下の機能構成を追加することができる。非スルーホール算出部は、図２１の検査システムの一構成要素に含まれる。非スルーホールズレ量算出部は、各配線パターン層と非スルーホール（例えばＴＨ（９）から（ＴＨ（−９））とのズレ量（以下では非スルーホールズレ量：ＮＴＨズレ量と呼ぶ）を算出する機能である。ＮＴＨズレ量は、以下の計算式で算出できる。

（数式４）
ＮＴＨズレ量_ｍ＝√［（Ｌ_ｍＸ^２＋Ｌ_ｍＹ^２］
ここで、ｍは、ＮＴＨズレ量を算出したい、配線パターン層の識別番号を意味する。また、相対的ズレのズレ方向は、ベクトル演算することで得られる。例えば、１層目の配線パターン層と非スルーホールとのズレ量のＮＴＨズレ量_１の場合、図３４のＬ_１Ｘ＝３５とＬ_１Ｙ＝０から、「３５」と算出される。ＮＴＨズレ量_２の場合、図３４のＬ_２Ｘ＝２５とＬ_２Ｙ＝１５から、「２９．２」と算出される。

また、上記の判定部１４１は、さらに、ＮＴＨズレ量の良品判定を行うことができる。判定部１４１は、予め設定された判定基準値とＮＴＨズレ量を比較する。

図３６に、各配線パターン層と非スルーホールとのズレ量（ＮＴＨズレ量）と良品判定結果を示す。図３６のＮＴＨ１は、１層目の配線パターン層と非スルーホールとのズレ量、ＮＴＨ２は、２層目の配線パターン層と非スルーホールとのズレ量、ＮＴＨ３は、３層目の配線パターン層と非スルーホールとのズレ量、ＮＴＨ４は、４層目の配線パターン層と非スルーホールとのズレ量を示す。ここでの判定基準値は、５０μｍに設定している。この判定基準値は、製品の必要性能に応じて設定される。

判定部１４１は、ＮＴＨズレ量における良品判定と、上述の相対的ズレ量の良品判定のいずれか一方を・BR>タ行し、良品判定するように構成できる。また、判定部１４１は、ＮＴＨズレ量における良品判定と、上述の相対的ズレ量の良品判定の両方を実行し、両方の判定結果がＯＫの場合に良品であると判定するように構成できる。

（７）検査用配線パターン除去工程（ステップＳ７）。検査用配線パターン領域は、機器に実装される前に除去されてもよい。この工程は必須ではなく、また、ステップＳ６までの工程と同一の製造者で実行されることを要せず、他の製造者、ユーザー等で実行されてもよい。

（別実施形態）
上記実施形態の検査システムの構成要素は、ソフトウェアとハードウエア（ＣＰＵ、メモリ等）とを協働作用することによって実現でき、専用回路またはファームウエア等で、またはそれらの組み合わせで実現することもできる。

ソフトウェアで実現する場合、そのプログラムは以下のようになる。このプログラムは、記録媒体に記録され、記録媒体として提供可能であり、また、通信回線を介して提供（ダウンロード提供）されてもよい。通信回線を介して提供される場合、その一部の機能のみが提供されてもよく、他の一部がサーバ装置に残っていてもよく、全体の機能として本発明の機能が発揮されていれば本発明の技術的範囲に含まれる。

このソフトウエアプログラムは、

多層配線パターンのそれぞれの検査用配線パターンの通電状態を検出した通電結果データを記憶媒体に記憶するステップと、
前記通電結果データ基づいて、それぞれの配線パターンのズレ量を算出するズレ量算出ステップと、
前記ズレ量算出ステップで算出された、それぞれの配線パターンのズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出ステップと、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。

また、上記のソフトウエアプログラムのズレ量算出ステップは、一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第１ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第２ズレ量を算出し、当該第１ズレ量と当該第２ズレ量の平均を算出してズレ量とする、構成である。

また、上記のソフトウエアプログラムのズレ量算出ステップは、第１電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第３ズレ量を算出し、第２電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第４ズレ量を算出し、当該第３ズレ量と当該第４ズレ量の平均を算出してズレ量とする、構成である。

また、上記のソフトウエアプログラムは、
前記相対的ズレ量算出ステップで算出されたそれぞれの配線パターン間の相対的ズレ量に基づいて、良品判定する判定ステップを、さらにコンピュータに実行させるためのプログラムである。

この構成によれば、検査用配線パターンが、多層プリント配線板のそれぞれの配線パターン層に設けられている。検査用配線パターンは、配線パターンを検査するために設けられ、配線パターン部の形成の際に形成される。検査用配線パターンは、配線パターン部から所定距離分離れた位置に形成されてもよい。また、検査用配線パターンは、配線パターン部が矩形あるいは略矩形状であれば、この矩形の少なくとも１辺の位置に形成できる（図１参照）。また、検査用配線パターンは、パターン形状によるが、矩形の配線パターン部であれば、この矩形の少なくとも１辺の位置に、好ましくは対向する２辺の位置に形成できる（図１の破線１１ａと１１ｂ、１１ｃと１１ｄを参照）。また、検査用配線パターンは、パターン形状によるが、矩形の配線パターン部であれば、この矩形の１辺の位置と、その１辺と直交する他の辺の位置に形成することもできる（図１の１１ａと１１ｃまたは１１ｄ、１１ｂと１１ｃまたは１１ｄを参照）。なお、多層プリント配線板および配線パターン部は、それぞれ矩形状に限定されず、円形、不定形でもよい。配線パターン部が矩形状でない場合、任意の位置を基準として、検査用配線パターンは形成される。また、多層プリント配線板は、硬い材料で構成されるものに限定されず、フレキシブル性の高い樹脂材料で構成することもできる。

電気的接続部分および非接続部分の形成は、以下が例示される。検査用配線パターンが、例えば、２本の電導線で構成されている場合に、この２本の電導線に対し、複数のスルーホールを所定の距離を置いて形成する（図６参照）。スルーホールの直径は、２本の電導線の幅に相当する。スルーホールは、２本の電導線（Ｌ１−ｌｅｆｔ、Ｌ１−ｒｉｇｈｔ）に沿って形成され、所定の原点スルーホール（ＴＨ（０））を中心として、次の第１スルーホール（ＴＨ（１）、ＴＨ（−１））は、その中心線から電導線の直交方向に所定距離づつ、わざとずらして形成される。図６のＴＨ（１）では、ＴＨ（０）のＸ座標を基準にして右側に所定距離、例えば１０μｍずらす。ＴＨ（２）以後もさらに所定距離づつずらす。また、図６のＴＨ（−１）では、ＴＨ（０）のＸ座標を基準にして左側に所定距離、例えば１０μｍずらす。ＴＨ（−２）以後もさらに所定距離づつずらす。このような場合において、２本の電導線（Ｌ１―ｌｅｆｔ、Ｌ１−ｒｉｇｈｔ）の端部（Ｌ１１、Ｒ１１）と、この形成されたそれぞれのスルーホールを跨いだ位置（Ｌ１（９）〜Ｌ１（−９）、Ｒ１（−９）〜Ｒ１（９））との通電状態を検出する。スルーホールによって２本の電導線が全て切断されていれば、スルーホールを跨いだ位置での通電はない。しかし、スルーホールが２本の電導線に沿った中心線から所定距離づつずれて形成されるため、ある位置以降のスルーホールは、このズレ方向とは異なる側の１本の電導線を完全に切断することがなく、この完全に切断されていない電導線は通電する。以上のようにして、電導線端部とスルーホールを介在させた位置の電導線間に、電気的接続部部分と非接続部分が形成される。スルーホールと検査用配線パターンが設定どおり形成されていれば、原点スルーホール（ＴＨ（０））の位置を境にして電気的接続部分と電気的非接続部分が検出され、よって、ズレが生じていないことになる。他のスルーホールの位置を境にして電気的接続部分と電気的非接続部分が検出されれば、検査用配線パターン、すなわち配線パターンが、伸縮してあるいはズレて形成されていると判断できる。なお、スルーホールＴＨ（９）〜ＴＨ（−９）は、単なる孔であり、層間を電気的に接続するメッキ等が形成されてはいない、非スルーホールである。以下においても同様である。メッキが施されたスルーホールは、スルーホールメッキと称し、層間を電気的に接続する構成である。これらの説明は、以下においても同様である。

スルーホール（非スルーホール）は、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有する。例えば、上述したように、２本の電導線に沿った中心線の所定の位置を原点と仮定すれば、これを原点スルーホールとし、次の第１スルーホールは、その中心線に沿って一定の間隔であって、その中心線から電導線の直交する方向に所定距離はなれて形成される。また、さらに次の第２のスルーホールでは、その中心線に沿って一定の間隔であって、さらに、その中心線から電導線の直交する方向に所定距離はなれて形成される。スルーホールの直径を一対の電導線の幅と同一に設定していれば、原点スルーホールによって、一対の電導線を切断し、非接続部分が形成される。また、第１スルーホール以降の第２、第３等のスルーホールは、中心線からずれて形成されているため、このズレ方向と反対の電導線を完全に切断しておらず、電気的接続部分が形成される。すなわち、スルーホールによって２本の電導線が切断された状態と、それらが完全に切断されていない状態とが形成されて、電導線端部とスルーホールを介在させた位置の電導線間に、電気的接続部分あるいは非接続部分が形成される。

判定部１４１は、ＮＴＨズレ量における良品判定と、上述の相対的ズレ量の良品判定のいずれか一方を実行し、良品判定するように構成できる。また、判定部１４１は、ＮＴＨズレ量における良品判定と、上述の相対的ズレ量の良品判定の両方を実行し、両方の判定結果がＯＫの場合に良品であると判定するように構成できる。

上記課題を解決するための本発明の多層プリント配線板は、
少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられる非導通のスルーホールと、を有し、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターン層の検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成され、
それぞれの前記検査用配線パターンにおいて、前記非導通のスルーホールによって形成された前記接続部分の通電状態と、前記非接続部分の非通電状態とを検出することで、それぞれの配線パターンのズレ状態を検査可能に構成してある。

非導通のスルーホール（非スルーホールと称することもある）は、それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するために設けられる。この電気的接続部分および非接続部分が形成された検査用配線パターンの通電状態と非通電状態を検出することで、最表面の配線パターンを検査できる。そして、層間接続部（スルーホールメッキ部分）によって、多層配線パターンの表面の検査用配線パターン部位に、層内部の配線パターンの検査用配線パターンのそれぞれと電気的に接続する部分を形成することで、層内部の配線パターンをそれぞれ別々に検査できる。

また、上記の本発明において、前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、前記非導通のスルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有するものがある。

また、上記の本発明において、前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有する。

また、他の本発明の多層プリント配線板の検査方法は、
少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターン形成の際に設けられ、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられる非導通のスルーホールと、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成された構成を有する多層プリント配線板の検査方法であって、
それぞれの前記検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する工程と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出工程と、
前記ズレ量算出工程で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出工程と、を有し、
前記相対的ズレ量算出工程で算出されたそれぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量に基づいて、良品判定が可能に構成されている。

上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記非導通のスルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第１ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第２ズレ量を算出し、当該第１ズレ量と当該第２ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成である。

上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第１電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第２電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記第１電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第３ズレ量を算出し、前記第２電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第４ズレ量を算出し、当該第３ズレ量と当該第４ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成である。

また、他の本発明の多層プリント配線板の検査システムは、
少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターン形成の際に設けられ、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられる非導通のスルーホールと、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターン層の検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成された構成を有する多層プリント配線板の検査システムであって、
それぞれの検査用配線パターンの通電状態を検出する通電検査部と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出部と、
前記ズレ量算出部で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出部と、を有する構成である。

上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記非導通のスルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出部は、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第１ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第２ズレ量を算出し、当該第１ズレ量と当該第２ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。

上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第１電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第２電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出部は、前記第１電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第３ズレ量を算出し、前記第２電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第４ズレ量を算出し、当該第３ズレ量と当該第４ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。

また、他の本発明の多層プリント配線板の製造方法は、
少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層を有する多層プリント配線板の製造方法であって、
配線パターンの領域の近傍に、当該配線パターンを形成する際に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンを形成する検査用配線パターン形成工程と、
前記検査用配線パターンが形成された、複数のプリント配線板を積層し、多層プリント配線板を形成する積層工程と、
前記多層プリント配線板の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部を形成する層間接続部形成工程と、
前記層間接続部形成工程の際に、あるいは別に、それぞれの前記検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき、非導通のスルーホールを形成するスルーホール形成工程と、
それぞれの前記検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する工程と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出工程と、
前記ズレ量算出工程で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出工程と、
前記相対的ズレ量算出工程で算出されたそれぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量に基づいて、良品判定をする良品判定工程と、を有する構成である。

また、上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記非導通のスルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第１ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第２ズレ量を算出し、当該第１ズレ量と当該第２ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。この構成の作用効果は、上述の多層プリント配線板の検査方法と同様であるので詳細な説明は省略する。

また、上記の本発明において、
前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第１電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第２電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記第１電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第３ズレ量を算出し、前記第２電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第４ズレ量を算出し、当該第３ズレ量と当該第４ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。この構成の作用効果は、上述の多層プリント配線板の検査方法と同様であるので詳細な説明は省略する。

Claims (14)

1. 少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
   前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられるスルーホールと、を有し、
   前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターン層の検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成され、
   それぞれの前記検査用配線パターンにおいて、前記スルーホールによって形成された前記接続部分の通電状態と、前記非接続部分の非通電状態とを検出することで、それぞれの配線パターンのズレ状態を検査可能に構成した多層プリント配線板。
2. 前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
   前記スルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有する、請求項１の多層プリント配線板。
3. 前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
   前記スルーホールが、前記平行に形成された複数の一対の電導線に沿った軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有する、請求項１または２の多層プリント配線板。
4. 少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
   前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられるスルーホールと、
   前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成された構成を有する多層プリント配線板の検査方法であって、
   それぞれの前記検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する工程と、
   前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出工程と、
   前記ズレ量算出工程で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出工程と、を有し、
   前記相対的ズレ量算出工程で算出されたそれぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量に基づいて、良品判定が可能に構成される多層プリント配線板の検査方法。
5. 前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
   前記スルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
   前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
   前記ズレ量算出工程において、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第１ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第２ズレ量を算出し、当該第１ズレ量と当該第２ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項４の多層プリント配線板の検査方法。
6. 前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
   前記スルーホールが、前記平行に形成された複数の一対の電導線に沿った軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
   前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第１電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第２電導線に対する通電状態を検出し、
   前記ズレ量算出工程において、前記第１電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第３ズレ量を算出し、前記第２電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第４ズレ量を算出し、当該第３ズレ量と当該第４ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項４または５の多層プリント配線板の検査方法。
7. 少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
   前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられるスルーホールと、
   前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターン層の検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成された構成を有する多層プリント配線板の検査システムであって、
   それぞれの検査用配線パターンの通電状態を検出する通電検査部と、
   前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出部と、
   前記ズレ量算出部で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出部と、を有する多層プリント配線板の検査システム。
8. 前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
   前記スルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
   前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
   前記ズレ量算出部は、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第１ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第２ズレ量を算出し、当該第１ズレ量と当該第２ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項７の多層プリント配線板の検査システム。
9. 前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
   前記スルーホールが、前記平行に形成された複数の一対の電導線に沿った軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
   前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第１電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第２電導線に対する通電状態を検出し、
   前記ズレ量算出部は、前記第１電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第３ズレ量を算出し、前記第２電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第４ズレ量を算出し、当該第３ズレ量と当該第４ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項７または８の多層プリント配線板の検査システム。
10. 前記相対的ズレ量算出部で算出されたそれぞれの配線パターン間の相対的ズレ量に基づいて、良品判定する判定部を、さらに有する請求項７から９のいずれかの多層プリント配線板の検査システム。
11. 少なくとも２層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層を有する多層プリント配線板の製造方法であって、
    配線パターンの領域の近傍に、当該配線パターンを形成する際に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンを形成する検査用配線パターン形成工程と、
    前記検査用配線パターンが形成された、複数のプリント配線板を積層し、多層プリント配線板を形成する積層工程と、
    前記多層プリント配線板の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部を形成する層間接続部形成工程と、
    前記層間接続部形成工程の際に、あるいは別に、それぞれの前記検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき、スルーホールを形成するスルーホール形成工程と、
    それぞれの前記検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する工程と、
    前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出工程と、
    前記ズレ量算出工程で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出工程と、
    前記相対的ズレ量算出工程で算出されたそれぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量に基づいて、良品判定をする良品判定工程と、を有する多層プリント配線板の製造方法。
12. 前記多層プリント配線板から検査用配線パターンの領域を除去する工程をさらに有する請求項１１の多層プリント配線板の製造方法。
13. 前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
    前記スルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
    前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
    前記ズレ量算出工程において、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第１ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第２ズレ量を算出し、当該第１ズレ量と当該第２ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項１１の多層プリント配線板の製造方法。
14. 前記検査用配線パターンが、所定間隔の２本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
    前記スルーホールが、前記平行に形成された複数の一対の電導線に沿った軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
    前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第１電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第２電導線に対する通電状態を検出し、
    前記ズレ量算出工程において、前記第１電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第３ズレ量を算出し、前記第２電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第４ズレ量を算出し、当該第３ズレ量と当該第４ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項１１または１３の多層プリント配線板の製造方法。

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