JP4602479B2 - 多層プリント配線板、多層プリント配線板の検査方法、および多層プリント配線板の検査システム、多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents
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Description
少なくとも2層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられる非導通のスルーホールと、を有し、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターン層の検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成され、
それぞれの前記検査用配線パターンにおいて、前記非導通のスルーホールによって形成された前記接続部分の通電状態と、前記非接続部分の非通電状態とを検出することで、それぞれの配線パターンのズレ状態を検査可能に構成してある。
TH(j)=(X0+所定距離×j,Y0+H×J)
ここで、Hは、2つのスルーホール間の基本距離である(図7参照)。jは、・・、−3、−2、−1、1、2、3、・・等のスルーホールの識別番号であり、番号の絶対値が大きくなるほど、原点スルーホール位置から離れていることを意味している。「所定距離」は、X軸方向のズレ設定値であり、このズレ設定値を変更することでズレ量の精度を決定できる。X0は、原点スルーホールのX座標である。Y0は、原点スルーホールのY座標である。TH(j)は、原点スルーホールからJ番目のスルーホールを意味する。
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有する。
TH(k)=(X0,(Y0+(D+ズレ設定値)×k))
ここで、Dは、一対の電導線間の一定距離である。kは、・・−3、−2、−1、1、2、3、・・等のスルーホールの識別番号であり、番号の絶対値が大きくなるほど、原点スルーホールTH(0)位置から離れている。「ズレ設定値」を変更することでズレ量の精度を決定できる。X0は、原点スルーホールのX座標である。Y0は、原点スルーホールのY座標である。TH(k)は、原点スルーホールからk番目のスルーホールを意味する。
少なくとも2層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターン形成の際に設けられ、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられる非導通のスルーホールと、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成された構成を有する多層プリント配線板の検査方法であって、
それぞれの前記検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する工程と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出工程と、
前記ズレ量算出工程で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出工程と、を有し、
前記相対的ズレ量算出工程で算出されたそれぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量に基づいて、良品判定が可能に構成されている。
前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記非導通のスルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第1ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第2ズレ量を算出し、当該第1ズレ量と当該第2ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成である。
前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第1電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第2電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記第1電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第3ズレ量を算出し、前記第2電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第4ズレ量を算出し、当該第3ズレ量と当該第4ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成である。
少なくとも2層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターン形成の際に設けられ、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられる非導通のスルーホールと、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターン層の検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成された構成を有する多層プリント配線板の検査システムであって、
それぞれの検査用配線パターンの通電状態を検出する通電検査部と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出部と、
前記ズレ量算出部で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出部と、を有する構成である。
前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記非導通のスルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出部は、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第1ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第2ズレ量を算出し、当該第1ズレ量と当該第2ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。
前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第1電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第2電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出部は、前記第1電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第3ズレ量を算出し、前記第2電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第4ズレ量を算出し、当該第3ズレ量と当該第4ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。
少なくとも2層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層を有する多層プリント配線板の製造方法であって、
配線パターンの領域の近傍に、当該配線パターンを形成する際に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンを形成する検査用配線パターン形成工程と、
前記検査用配線パターンが形成された、複数のプリント配線板を積層し、多層プリント配線板を形成する積層工程と、
前記多層プリント配線板の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部を形成する層間接続部形成工程と、
前記層間接続部形成工程の際に、あるいは別に、それぞれの前記検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき、非導通のスルーホールを形成するスルーホール形成工程と、
それぞれの前記検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する工程と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出工程と、
前記ズレ量算出工程で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出工程と、
前記相対的ズレ量算出工程で算出されたそれぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量に基づいて、良品判定をする良品判定工程と、を有する構成である。
前記多層プリント配線板から検査用配線パターンの領域を除去する工程をさらに有する構成がある。
前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記非導通のスルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第1ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第2ズレ量を算出し、当該第1ズレ量と当該第2ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。この構成の作用効果は、上述の多層プリント配線板の検査方法と同様であるので詳細な説明は省略する。
前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第1電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第2電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記第1電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第3ズレ量を算出し、前記第2電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第4ズレ量を算出し、当該第3ズレ量と当該第4ズレ量の平均を算出してズレ量とする構成がある。この構成の作用効果は、上述の多層プリント配線板の検査方法と同様であるので詳細な説明は省略する。
11a、11b、11c、11d 検査用配線パターン領域
100 通電検査部
111 メモリ
112 ズレ量算出部
113 相対的ズレ量算出部
114 判定部
多層プリント配線板および検査用配線パターンの製造方法について、図19の製造工程フローを用いて説明する。多層プリント配線板を構成する材料は、特に制限されず公知の材料を用いることができる。配線板のコア材の板厚は、0.5mm未満、好ましくは、0.35mm未満、特に好ましくは、0.25mm未満で構成される。また、このコア材の材質としては、誘電率が8.0未満、より好ましくは6.0未満、特に好ましくは4.0未満のもので構成される。
多層プリント配線板は、それぞれの配線パターン層間で、電気的接続がなされるように、スルーホールメッキによって層間接続部を形成することができる。そのために、先ず、それぞれの配線パターン部の所定位置にスルーホールを形成する。スルーホール形成は、公知のスルーホール形成手段、例えばNC孔あけ装置等を用いることができる。それぞれの配線パターン間の層間接続部用のスルーホールにメッキ処理を施す。また、検査用配線パターン間の層間接続部用のスルーホールを形成し、これにメッキ処理を施す。これによって、表面層の検査用配線パターンと層内部の検査用配線パターンとを電気的に接続する層間接続部としてスルーホールメッキTHMを形成する。図6、12、13、14、16、11、14、15、17にスルーホールメッキTHMを、斜線の丸形状部分として示す。なお、層間接続部として、スルーホールメッキ以外の公知の他の構成を用いることもできる。
ステップS3のスルーホール形成の際に、あるいは別途、検査用配線パターンの所定位置にスルーホールTH(9)〜(−9)を形成する。スルーホール形成は、公知のスルーホール形成手段、例えばNC孔あけ装置等を用いることができる。スルーホールは、配線パターンおよび検査用配線パターンが、予め設定された設計位置どおりに形成されていることを前提にして形成される。そのため、スルーホールに対し、検査用配線パターンがずれていることを検出することで、配線パターンおよび検査用配線パターンに伸縮やズレ等が生じていると判別できる。本発明は、このスルーホール形成位置に対する検査用配線パターンのズレを利用して、配線パターン層間のズレ量およびズレ方向を高精度に検出することができるものである。
(5)検査工程(ステップS5)。
それぞれの検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する(ステップS5−1)。図21は、多層プリント配線板の検査システムの機能構成の主要部分を示している。通電検査部として、図21の通電チェッカー100を用いる。通電チェッカー100によって検出された通電状態は、検査位置情報と共に、情報処理装置のメモリ111に送信され、記憶される。配線パターンの2層目と3層目は、内層に位置しているが、1層目あるいは4層目側から、それぞれ独立して、2層目、3層目の通電状態を検査することができる。
相対的ズレ量=√[(Lm上下ズレ量−Lnズレ量)2+(Lm左右ズレ量−Ln左右ズレ量)2]
ここで、Lm、Lnは、相対的ズレ量を算出したい、配線パターン層の識別番号を意味する。また、相対的ズレのズレ方向は、ベクトル演算することで得られる。
NTHズレ量m=√[(LmX2+LmY2]
ここで、mは、NTHズレ量を算出したい、配線パターン層の識別番号を意味する。また、相対的ズレのズレ方向は、ベクトル演算することで得られる。例えば、1層目の配線パターン層と非スルーホールとのズレ量のNTHズレ量1の場合、図34のL1X=35とL1Y=0から、「35」と算出される。NTHズレ量2の場合、図34のL2X=25とL2Y=15から、「29.2」と算出される。
上記実施形態の検査システムの構成要素は、ソフトウェアとハードウエア(CPU、メモリ等)とを協働作用することによって実現でき、専用回路またはファームウエア等で、またはそれらの組み合わせで実現することもできる。
多層配線パターンのそれぞれの検査用配線パターンの通電状態を検出した通電結果データを記憶媒体に記憶するステップと、
前記通電結果データ基づいて、それぞれの配線パターンのズレ量を算出するズレ量算出ステップと、
前記ズレ量算出ステップで算出された、それぞれの配線パターンのズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出ステップと、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
また、上記のソフトウエアプログラムのズレ量算出ステップは、第1電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第3ズレ量を算出し、第2電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第4ズレ量を算出し、当該第3ズレ量と当該第4ズレ量の平均を算出してズレ量とする、構成である。
また、上記のソフトウエアプログラムは、
前記相対的ズレ量算出ステップで算出されたそれぞれの配線パターン間の相対的ズレ量に基づいて、良品判定する判定ステップを、さらにコンピュータに実行させるためのプログラムである。
Claims (14)
- 少なくとも2層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられる非導通のスルーホールと、を有し、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターン層の検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成され、
それぞれの前記検査用配線パターンにおいて、前記非導通のスルーホールによって形成された前記接続部分の通電状態と、前記非接続部分の非通電状態とを検出することで、それぞれの配線パターンのズレ状態を検査可能に構成した多層プリント配線板。 - 前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記非導通のスルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有する、請求項1の多層プリント配線板。 - 前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有する、請求項1または2の多層プリント配線板。 - 少なくとも2層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられる非導通のスルーホールと、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成された構成を有する多層プリント配線板の検査方法であって、
それぞれの前記検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する工程と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出工程と、
前記ズレ量算出工程で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出工程と、を有し、
前記相対的ズレ量算出工程で算出されたそれぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量に基づいて、良品判定が可能に構成される多層プリント配線板の検査方法。 - 前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記非導通のスルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第1ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第2ズレ量を算出し、当該第1ズレ量と当該第2ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項4の多層プリント配線板の検査方法。 - 前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第1電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第2電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記第1電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第3ズレ量を算出し、前記第2電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第4ズレ量を算出し、当該第3ズレ量と当該第4ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項4または5の多層プリント配線板の検査方法。 - 少なくとも2層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層のそれぞれの配線パターン層に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンと、
前記それぞれの検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき設けられる非導通のスルーホールと、
前記多層配線パターン層の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターン層の検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部が形成された構成を有する多層プリント配線板の検査システムであって、
それぞれの検査用配線パターンの通電状態を検出する通電検査部と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出部と、
前記ズレ量算出部で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出部と、を有する多層プリント配線板の検査システム。 - 前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記非導通のスルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出部は、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第1ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第2ズレ量を算出し、当該第1ズレ量と当該第2ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項7の多層プリント配線板の検査システム。 - 前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第1電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第2電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出部は、前記第1電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第3ズレ量を算出し、前記第2電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第4ズレ量を算出し、当該第3ズレ量と当該第4ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項7または8の多層プリント配線板の検査システム。 - 前記相対的ズレ量算出部で算出されたそれぞれの配線パターン間の相対的ズレ量に基づいて、良品判定する判定部を、さらに有する請求項7から9のいずれかの多層プリント配線板の検査システム。
- 少なくとも2層以上の配線パターン層が積層された多層配線パターン層を有する多層プリント配線板の製造方法であって、
配線パターンの領域の近傍に、当該配線パターンを形成する際に、当該配線パターンを検査するために用いられる検査用配線パターンを形成する検査用配線パターン形成工程と、
前記検査用配線パターンが形成された、複数のプリント配線板を積層し、多層プリント配線板を形成する積層工程と、
前記多層プリント配線板の表面の検査用配線パターンに、層内部の配線パターンの検査用配線パターンと電気的に接続する層間接続部を形成する層間接続部形成工程と、
前記層間接続部形成工程の際に、あるいは別に、それぞれの前記検査用配線パターンに、電気的に接続している接続部分と電気的に接続していない非接続部分とを形成するように、所定の規則的配置に基づき、非導通のスルーホールを形成するスルーホール形成工程と、
それぞれの前記検査用配線パターンの通電状態を、通電検査部を用いて検出する工程と、
前記通電検査部で検出された結果に基づいて、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量を算出するズレ量算出工程と、
前記ズレ量算出工程で算出された、それぞれの配線パターンの所定方向のズレ量に基づいて、それぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量を算出する相対的ズレ量算出工程と、
前記相対的ズレ量算出工程で算出されたそれぞれの配線パターン間の所定方向の相対的ズレ量に基づいて、良品判定をする良品判定工程と、を有する多層プリント配線板の製造方法。 - 前記多層プリント配線板から検査用配線パターンの領域を除去する工程をさらに有する請求項11の多層プリント配線板の製造方法。
- 前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を有して構成され、
前記非導通のスルーホールが、前記一対の電導線に沿って、スルーホール間隔が一定であって、所定の傾きで配置される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記一対の電導線のそれぞれの電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記一対の電導線の一方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第1ズレ量を算出し、その他方の電導線における通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第2ズレ量を算出し、当該第1ズレ量と当該第2ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項11の多層プリント配線板の製造方法。 - 前記検査用配線パターンが、所定間隔の2本の電導線からなる一対の電導線を複数有し、当該複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された構成を有し、
前記一対の電導線が導通であって、かつ当該複数の一対の電導線同士を導通に構成し、
前記非導通のスルーホールが、前記複数の一対の電導線がそれぞれ一定距離で平行に形成された方向の軸方向に、所定の原点のスルーホール位置を基準に、前記一定距離とズレ設定値を加えた値に比例して、当該原点のスルーホールから離れるように形成される構成を有し、
前記通電検査部は、検査用配線パターンの通電状態を検出する場合に、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第1電導線に対する通電状態を検出し、前記複数の一対の電導線のそれぞれの第2電導線に対する通電状態を検出し、
前記ズレ量算出工程において、前記第1電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第3ズレ量を算出し、前記第2電導線に対する通電状態と非通電状態との境界位置に基づいて、第4ズレ量を算出し、当該第3ズレ量と当該第4ズレ量の平均を算出してズレ量とする、請求項11または13の多層プリント配線板の製造方法。
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