JPWO2009131100A1 - プローブカード - Google Patents
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- G01R1/07371—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch using an intermediate card or back card with apertures through which the probes pass
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Abstract
Description
2 プローブ
3 プローバ
4 コネクタ座
5 ウェハチャック
6 駆動部
11 配線基板
12 補強部材
13 インターポーザ
14 スペーストランスフォーマ
15 プローブヘッド
15p プローブ収容領域
16 保持部材
17 リーフスプリング
18、40 コネクタ
21 第1プランジャ
21a、22a 先端部
21b、22c ボス部
21c 軸部
22 第2プランジャ
22b フランジ部
23 コイルバネ
23a 粗巻き部
23b 密着巻き部
31 プローブカードホルダ
32 押さえ治具
100 ウェハ
100e エッジ
101、141 電極パッド
102 ダイ
102c 被コンタクトダイ
150 貫通孔
150a 大径部
150b 小径部
151 第1部分領域
152 第2部分領域
153 第3部分領域
w 配線
Claims (3)
- 互いに同じ形状をなす複数のダイが規則的に並んだウェハと該ウェハに出力する信号を生成する回路構造とを電気的に接続する導電性のプローブを保持するプローブカードであって、
前記ダイの電極の配置パターンに対応する一群の前記プローブを収容するプローブ収容領域が複数設けられたプローブヘッドを備え、
前記プローブヘッドは、
最も外周側に位置する前記ダイの配置パターンのうち略半周分の配置パターンに対応して並んでいる前記プローブ収容領域を含む第1部分領域と、
最も外周側に位置する前記ダイの配置パターンのうち前記第1部分領域と対応しない残りの略半周分の配置パターンに対応して並んでいる前記プローブ収容領域を含む第2部分領域と、
前記第1部分領域と前記第2部分領域との間に配置された前記プローブ収容領域を含む第3部分領域と、
を有し、
前記複数のプローブ収容領域は、前記プローブヘッドの表面と直交する一つの平面に対して略対称に配置され、
前記第1部分領域と前記第2部分領域との領域間距離のうち前記平面と直交する方向に沿った領域間距離の最大値は、前記ウェハが有する二つの前記ダイ同士のダイ間距離の最大値よりも小さいことを特徴とするプローブカード。 - 前記平面と直交する方向に沿って隣り合う二つの前記プローブ収容領域は、前記ダイ間距離と前記領域間距離との差以下の間隔で離間していることを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
- 前記複数のダイは長方形の表面をそれぞれ有し、互いの長辺同士が平行な状態でマトリックス状に集積しており、
前記平面は前記ダイの長辺方向と平行であることを特徴とする請求項1または2記載のプローブカード。
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- 2009-04-20 JP JP2010509175A patent/JP5406180B2/ja not_active Expired - Fee Related
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