JPWO2009034915A1

JPWO2009034915A1 - 蒸着装置

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Publication number: JPWO2009034915A1
Application number: JP2009532157A
Authority: JP
Inventors: 根岸　敏夫; 敏夫根岸
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2007-09-10
Filing date: 2008-09-04
Publication date: 2010-12-24
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Abstract

有機ＥＬ装置の汚染を防止する。１色目の着色層８５ａを形成した後、位置合わせ装置６０が同じ真空槽１１内部で、基板８１とマスク１６とを相対的に移動させ、マスク１６の開口１７を、次の色の着色層８５ｂを形成すべき領域上に移動させる。従って、マスク１６を交換しなくても、２色以上の着色層８５ａ〜８５ｃを形成可能であり、成膜中の基板８１の移動距離が短くなるから、ダストが発生せず、有機ＥＬ装置の汚染が防止される。

Description

本発明は蒸着装置に関する。

有機ＥＬ素子は近年最も注目される表示素子の一つであり、高輝度で応答速度が速いという優れた特性を有している。有機ＥＬ素子は、ガラス基板上に赤、緑、青の三色の異なる色で発色する発光領域が配置されている。発光領域は、アノード電極膜、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層及びカソード電極膜がこの順序で積層されており、発光層中に添加された発色剤で、赤、緑、又は青に発色するようになっている。
ホール輸送層、発光層、電子輸送層等は一般に有機材料で構成されており、このような有機材料の膜の成膜には蒸着装置が広く用いられる。

図５の符号２０３は、従来技術の蒸着装置であり、真空槽２１１の内部に蒸着容器２１２が配置されている。蒸着容器２１２は、容器本体２２１を有しており、該容器本体２２１の上部は、一乃至複数個の放出口２２４が形成された蓋部２２２で塞がれている。

蒸着容器２１２の内部には、粉体の有機蒸着材料２００が配置されている。
蒸着容器２１２の側面と底面にはヒータ２２３が配置されており、真空槽２１１内を真空排気し、ヒータ２２３が発熱すると蒸着容器２１２が昇温し、蒸着容器２１２内の有機蒸着材料２００が加熱される。

有機蒸着材料２００が蒸発温度以上の温度に加熱されると、蒸着容器２１２内に、有機材料蒸気が充満し、放出口２２４から真空槽２１１内に放出される。
放出口２２４の上方にはホルダ２１０が配置されており、ホルダ２１０に基板２０５を保持させておけば、放出口２２４から放出された有機材料蒸気が基板２０５表面に到達し、ホール注入層やホール輸送層や発光層等の有機薄膜が形成される。

カラー表示の有機ＥＬ装置を製造する場合には、通常、２色以上の着色層を異なる領域に形成して発光層とする。この場合、着色層を予め決めた領域に形成する必要があるため、該領域と形状と間隔が略等しい開口が形成されたマスク２１４を、蒸着容器２１２と基板２０５との間に配置してから、成膜を行う。

従来では、１色目の着色層の成膜が終了したら、基板２０５からマスク２１４を取り外し、異なる蒸着装置に搬入して新たなマスクを取り付け、２色目以降の着色層を成膜していた。

しかし、この方法では、１つの発光層を成膜する間に、基板２０５を蒸着装置に複数回搬出入する必要があり、基板２０５の搬送距離が長くなるため、ダストが発生しやすい。ダストが発生すると、発光層や、発光層の後工程で成膜される薄膜に混入し、有機ＥＬ装置の汚染の原因となる。
特開平１０−２０４６２４号公報特開２００６−３０７２３９号公報特開２００３−２９３１２１号公報特開２００５−１６３１５６号公報

本発明は上記課題を解決するためのものであり、その目的は、汚染を起こさずに、発光層を成膜可能な蒸着装置を提供するものである。

上記課題を解決するために、本発明は、真空槽と、前記真空槽の内部に配置され、基板を保持する基板保持装置と、内部に有機材料が収容され、前記有機材料の蒸気を発生させる供給装置と、前記基板と対面する位置に配置され、前記供給装置が発生する前記有機材料の蒸気を前記真空槽内部に放出する放出装置と、複数の開口が形成され、前記真空槽内部に配置されたマスクと、前記基板と前記放出装置の間の位置で前記マスクを保持するマスク保持装置とを有し、前記放出装置から放出された前記蒸気は、前記マスクの前記開口を通過して前記基板に到達する蒸着装置であって、前記蒸着装置は、前記放出装置にそれぞれ接続された複数の前記供給装置と、前記基板保持装置に保持された前記基板と、前記マスク保持装置に保持された前記マスクとを位置合わせする位置合わせ装置と、複数の前記供給装置のうち、所望の前記供給装置を、前記放出装置に接続する切替装置とを有する蒸着装置である。
本発明は、真空槽と、前記真空槽の内部に配置され、基板を保持する基板保持装置と、内部に有機材料が収容され、前記有機材料の蒸気を発生させる供給装置と、前記基板と対面する位置に配置され、前記供給装置が発生する前記有機材料の蒸気を前記真空槽内部に放出する放出装置とを有し、前記放出装置から放出された前記蒸気は、前記基板に到達するようにされた蒸着装置であって、前記蒸着装置は、前記放出装置にそれぞれ接続された複数の前記供給装置と、複数の前記供給装置のうち、所望の前記供給装置を、前記放出装置に接続する切替装置とを有する蒸着装置である。
本発明は蒸着装置であって、前記各供給装置には、異なる色の前記有機材料が配置された蒸着装置である。
本発明は蒸着装置であって、前記各供給装置は、前記有機材料が収容される収容部と、前記収容部の底部に形成された貫通孔と、前記貫通孔を介して前記収容部に接続された蒸発室と、前記貫通孔に挿通された回転軸と、前記回転軸を中心軸線を中心として回転させる回転手段とを有し、前記回転軸の周囲には螺旋状の凸条が形成され、前記回転軸を回転させると、前記有機材料は、前記凸条間の溝を通って前記収容部から前記蒸発室に向かって移動する蒸着装置である。

基板を真空槽から搬出入せずに、同じ真空槽内部で異なる場所に異なる有機薄膜を形成することができる。従来に比べて成膜中の基板の移動量が少ないから、真空槽内部にダストが発生せず、有機ＥＬ装置の汚染が起こらない。

成膜装置の一例を説明するための模式的な平面図（ａ）〜（ｄ）：着色層を成膜する工程を説明する断面図本発明の蒸着装置の模式的な斜視図本発明の蒸着装置の断面図従来技術の蒸着装置を説明するための断面図

符号の説明

１０ａ〜１０ｃ……蒸着装置１１……真空槽１５……基板保持装置１６……マスク２０ａ〜２０ｃ……供給装置３９……有機材料５０……放出装置６０……位置合わせ装置

図１の符号１は成膜装置の一例を示している。
成膜装置１は、搬送室２を有しており、搬送室２には、搬入室３ａと、搬出室３ｂと、前処理室４と、１又は複数の蒸着装置１０ａ〜１０ｃと、スパッタリング装置８と、マスク貯蔵室７とがそれぞれ接続されている。

搬送室２の内部には搬送ロボット５が配置されている。真空排気系９により、搬送室２と、搬入室３ａと、搬出室３ｂと、前処理室４と、蒸着装置１０ａ〜１０ｃと、スパッタリング装置８内部に真空雰囲気を形成し、搬入室３ａに搬入された基板は搬送ロボット５によって真空雰囲気中を搬入室３ａから前処理室４へ搬送され、クリーニング処理又は加熱処理等の前処理をされ、各蒸着装置１０ａ〜１０ｃに順番に運ばれ、電荷移動層、発光層、電子移動層等の有機薄膜が積層された後、スパッタリング装置８で有機薄膜上に上部電極膜が形成されてから、搬出室３ｂから外部に搬出されるようになっている。

有機薄膜のうち、発光層は２色以上の異なる色の着色層が、基板表面上の対応する領域にそれぞれ形成されて構成される。
図１の符号１０ｂは、その発光層の成膜に用いられる本発明の蒸着装置を示している。

図３はその蒸着装置１０ｂの斜視図、図４は蒸着装置１０ｂの断面図を示しており、この蒸着装置１０ｂは、真空槽１１と、基板保持装置（基板ホルダ）１５と、マスク保持装置１９と、位置合わせ装置６０と、放出装置５０と、切替装置６５と、複数の供給装置２０ａ〜２０ｃ（ここでは３台）とを有している。

ここでは、蒸着材料は有機材料であって、主成分となる有機化合物（ホスト）と、添加剤である着色剤（ドーパント）の混合物であり、各供給装置２０ａ〜２０ｃには着色層と同じ色（ここでは赤、緑、青）の有機材料がそれぞれ収容されている。各供給装置２０ａ〜２０ｃは有機材料３９の色が異なる以外は同じ構成を有しており、同じ部材には同じ符号を付して説明する。

供給装置２０ａ〜２０ｃは、容器状の収容部３２を有しており、容器の開口には蓋３４が取り付けられ、有機材料３９は収容部３２内にそれぞれ収容される。
収容部３２の底部はすり鉢状になっており、すり鉢状の底部の略中央位置には貫通孔３７が形成され、収容部３２は貫通孔３７を介して蒸発室２１に接続されている。

貫通孔３７には周囲に凸条３６が螺旋状に形成された回転軸３５が挿通されており、回転手段４１で回転軸３５を中心軸線を中心として回転させると、収容部３２に収容された有機材料３９は、凸条３６と凸条３６との間の溝を通って貫通孔３７内部を上端から下端に向かって移動し、貫通孔３７の下端に達すると、溝からこぼれおちて、蒸発室２１内部に真下に落下する。
有機材料３９の落下量は、回転軸３５の回転量に比例するから、予め落下量と回転量の関係を求めておけば、その関係から必要量の有機材料３９を落下させるのに必要な回転量が分かる。

蒸発室２１内部の貫通孔３７真下位置には高温体２２が配置されている。
高温体２２は、貫通孔３７の下端開口よりも開口が大きい高温容器２２ｂと、高温容器２２ｂの底面略中央位置に設けられた凸部２２ａとを有している。

凸部２２ａの横断面面積は回転軸３５の横断面面積と略等しく、凸部２２ａは回転軸３５の真下に位置している。
従って、貫通孔３７の下端から真下に落下する蒸着材料３９は、回転軸３５の回転によって、凸部２２ａと高温容器２２ｂの側壁との間に、凸部２２ａを取り囲むように配置される。

蒸発室２１の周囲には加熱手段（例えばコイル）２５が巻きまわされており、予め電源２６から加熱手段２５に通電し、蒸発室２１内部の高温体２２を誘導加熱しておけば、有機材料は高温体２２で加熱され、有機材料の蒸気が発生する。

上述したように蒸着材料３９は凸部２２ａと高温容器２２ｂの側壁の間に、凸部２２ａを取り囲むように配置されるから、蒸着材料３９は均一に加熱され、蒸発室２１内部に蒸着材料３９の蒸気が発生する。

各供給装置２０ａ〜２０ｃは切替装置６５に接続されており、蒸発室２１内に発生した蒸気は切替装置６５に供給される。
切替装置６５は配管５９とバルブ５７を複数ずつ有しており、各配管５９は一端が異なる供給装置２０ａ〜２０ｃの蒸発室２１に接続され、他端が同じ放出装置５０に接続され、バルブ５７は各配管５９ａ〜５９ｃの一端と他端の間に取り付けられている。

切替装置６５に供給された蒸気は、蒸気が発生した蒸発室２１に接続された配管５９ａ〜５９ｃに供給され、当該配管５９ａ〜５９ｃに取り付けられたバルブ５７ａ〜５７ｃを開状態にすると、その蒸気が放出装置５０に供給され、当該バルブ５７ａ〜５７ｃを閉状態にすると、その蒸気が放出装置５０に供給されなくなる。

放出装置５０は、箱状の容器５１と、容器５１内に配置された供給管５２とを有しており、放出装置５０に供給された蒸気は供給管５２に供給され、供給管５２設けられた噴出口５３から容器５１の底面に向かって噴出され、容器５１の天井に設けられた放出口５５から真空槽１１内部に放出される。

次に、この蒸着装置１０ｂを用いて発光層を成膜する工程について説明する。
真空槽１１と蒸発室２１と収容部３２は真空排気系９に接続されており、真空槽１１内部と、蒸発室２１の内部と、有機材料３９が収容された状態で密閉された収容部３２の内部空間を真空排気し、蒸発室２１、真空槽１１、容器５１、供給管５２、配管５９、及び収容部３２の内部空間に所定圧力（例えば１０^-5Ｐａ）の真空雰囲気を形成しておき、該真空雰囲気を維持したまま、基板８１を真空槽１１内部に搬入する。

図２（ａ）は真空槽１１に搬入された基板８１の断面図であり、基板８１は成膜装置１に搬入される前に表面に透明電極８２が形成され、他の蒸着装置１０ａで予め電荷輸送層、電荷注入層等の有機薄膜８３が形成されている。

基板保持装置１５とマスク保持装置１９は真空槽１１内部に配置されており、真空槽１１に搬入した基板８１を、透明電極８２と有機薄膜８３とが形成された成膜面を下に向けて基板保持装置１５に保持させる。

マスク１６は板状の遮蔽部１８と、遮蔽部１８に設けられた複数の開口１７とを有しており、マスク１６は予め真空槽１１の内部に搬入され、マスク保持装置１９で開口１７が露出するように保持されている。
本発明に用いるマスク１６は、１枚で２色以上の着色層の形成に用いられるものである。

基板８１の各色の着色層がされるべき領域の形状及び間隔はそれぞれ同じであり、マスク１６の開口１７の形状及び間隔は、各色の着色層が形成されるべき領域の形状と間隔と略等しくなっている。

位置合わせ装置６０は、移動手段６１と、観察手段（例えばＣＣＤカメラ）６２とを有している。成膜する着色層の色の順番は予め決められており、観察手段６２でマスク１６のアライメントマークと基板８１のアライメントマークとを観察しながら、移動手段６１で基板保持装置１５とマスク保持装置１９のいずれか一方又は両方を移動させ、基板８１表面の１色目の着色層が形成されるべき各領域上に開口１７がそれぞれ位置するように位置合わせする。

位置合わせされた基板８１とマスク１６とを相対的に静止させた状態で、基板保持装置１５に保持された基板８１を放出装置５０上に位置させ、マスク保持装置１９に保持されたマスク１６を放出装置５０と基板８１との間に位置させる。

各バルブ５７ａ〜５７ｃを閉状態にし、各供給装置２０ａ〜２０ｃの高温体２２を所定温度（例えば３００〜３５０℃）に加熱し、その温度を維持しておく。
各着色層の膜厚は予め決められており、決められた膜厚の着色層の成膜に必要な有機材料３９の必要量は予め分かっている。

各バルブ５７ａ〜５７ｃを閉状態にし、真空槽１１の真空排気を続けたまま、１色目の供給装置２０ａの蒸発室２１に接続された真空排気系のバルブを閉じ、回転軸３５を必要回転量回転させて、１色目の有機材料３９を必要量高温体２２に落下させ、蒸発室２１内に蒸気を発生させる。

その蒸発室２１の内部圧力が所定圧力に達したら、該蒸発室２１に接続された真空排気系のバルブを閉じたまま、真空槽１１の真空排気を続け、他の蒸発室２１を放出装置５０から遮断したまま、１色目の蒸気が発生した蒸発室２１だけを放出装置５０に接続し、圧力差によって、蒸気を、切替装置６５と、放出装置５０とを通過させて、放出口５５から真空槽１１内部に放出させる。

このとき、他の色の蒸気を発生させる蒸発室２１は放出装置５０から遮断されているから、蒸気が混ざらず、１色目の色の蒸気だけが、マスク１６の開口１７を通過し、図２（ｂ）に示すように、予め決められた領域に１色目の着色層８５ａが形成される。

１色目の有機材料３９を高温体２２に落下させてから所定時間が経過するか、１色目の有機材料３９の蒸気を発生させた蒸発室２１の内部圧力が所定圧力以下になったら、１色目の着色層８５ａの成膜が終了したと判断する。

１色目の着色層８５ａの成膜が終了したら、バルブ５７ａを閉状態にし、真空槽１１の真空排気を続けながら、１色目の蒸気が発生した蒸発室２１を真空排気すると、真空槽１１の真空排気によって、放出装置５０と、切替装置６５のバルブ５７ａ〜５７ｃよりも放出装置５０側の部分から１色目の蒸気が排出され、蒸発室２１の真空排気によって、該蒸発室２１と、切替装置６５のバルブ５７ａ〜５７ｃよりも蒸発室２１側の部分から１色目の蒸気が排出される。

真空槽１１と、放出装置５０と、切替装置６５と、蒸発室２１にそれぞれ所定圧力の真空雰囲気が形成されたら、各バルブ５７ａ〜５７ｃを閉状態にしたまま、２色目の有機材料３９が収容された供給装置２０ｂの蒸発室２１内で、その色の有機材料３９の蒸気を発生させる。

マスク１６の開口１７を、基板８１表面の１色目の着色層を形成すべき領域から、２色目の着色層を形成すべき領域にそれぞれ移動させてから、２色目の有機材料３９の蒸気が発生した蒸発室２１を放出装置５０に接続すると、図２（ｃ）に示すように、２色目の着色層８５ｂが、その着色層８５ｂを形成すべき領域に成膜される。

２色目の着色層８５ｂの成膜が終了したら、蒸気の排出と、位置合わせと、着色層の成膜とを繰り返せば、３色以上の着色層８５ｃを、基板８１表面の予め決められた領域にそれぞれ形成することができる（図２（ｄ））。

本発明では１枚のマスク１６の位置を変えて２色以上の着色層８５ａ〜８５ｃを形成するため、開口１７の数は１色の着色層の数よりも多く形成されており、マスク１６の縁部分にある開口１７が、基板８１の着色層が形成不要な領域にはみ出すことがある。

ここでは、基板保持装置１５に保持された基板８１の外周部分には枠体１３が嵌められ、着色層が形成不要な領域は枠体１３で覆われている。従って、蒸気は着色層を形成不要な領域には到達せず、着色層８５ａ〜８５ｃは決められた領域だけに形成される。

以上は、ホストとドーパントとが同じ供給装置２０ａ〜２０ｃの収容部３２に配置された場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、ホストとドーパントとを異なる供給装置２０ａ〜２０ｃの収容部３２にそれぞれ収容しておき、ホストが収容された供給装置２０ａと、ドーパントが収容された供給装置２０ｂとから、ホストの蒸気とドーパントの蒸気をそれぞれ同じ供給管５２に供給し、放出口５５からホストの蒸気とドーパントの蒸気の混合蒸気を放出して、ホストドーパントの両方を含有する有機薄膜を成膜してもよい。

着色層８５ａ〜８５ｃは３色に限定されず、１色であってもよいし、４色以上であってもよい。
放出装置５０と、基板保持装置１５のいずれか一方又は両方を揺動手段５８に接続しておき、着色層８５ａを成長させる間、基板８１とマスク１６を相対的に静止させた状態で、放出装置５０と基板保持装置１５のいずれか一方又は両方を水平面内で往復移動又は円運動させれば、着色層８５ａの膜厚が均一になる。

基板８１と放出装置５０との相対的な往復移動の方向は特に限定されないが、例えば、供給管５２が、所定間隔を空けて離間して配置された複数本の分岐管を有する場合は、基板８１と放出装置５０を、該分岐管と交差する方向に水平面内で相対的に移動させる。

容器５１の周囲に冷却板６７を離間して配置しておけば、マスク１６が加熱されないので、マスク１６の熱膨張が起こらず、着色層８５ａ〜８５ｃの成膜精度が上がる。

冷却板６７の放出口５５上の位置に、放出口５５が露出する開口を設けておき、該開口の大きさを、放出口５５から放出される蒸気が接触しない程度に大きくすれば、蒸気が冷却板６７に析出しない。

高温体２２の加熱は誘導加熱に限定されず、加熱手段からの熱伝導で加熱してもよい。更に、有機材料３９にレーザービーム等を照射して、有機材料３９を直接加熱してもよい。

蒸発室２１を直接真空排気系に接続せずに、蒸発室２１を放出装置５０に接続した状態で、真空槽１１を真空排気することで、蒸発室２１内部を真空排気してもよい。この場合、切替装置６５で蒸発室２１を放出装置５０から遮断することで、蒸発室２１の真空排気を停止することができる。

高温体２２の形状や設置場所も特に限定されず、有機材料を高温体２２に配置可能であれば、貫通孔３７下端の斜め下方に配置してもよい。
また、本発明はマスク１６を用いる場合に限定されない。例えば、基板８１と放出装置５０の間にマスクを配置せずに、基板８１表面上に３色以上の着色層８５ａ〜８５ｃを積層させ、白色光用の有機膜を形成してもよい。

有機ＥＬ素子は近年最も注目される表示素子の一つであり、高輝度で応答速度が速いという優れた特性を有している。有機ＥＬ素子は、ガラス基板上に赤、緑、青の三色の異なる色で発色する発光領域が配置されている。発光領域は、アノード電極膜、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層及びカソード電極膜がこの順序で積層されており、発光層中に添加された発色剤で、赤、緑、又は青に発色するようになっている。
ホール輸送層、発光層、電子輸送層等は一般に有機材料で構成されており、このような有機材料からなる膜の成膜には蒸着装置が広く用いられる。

凸部２２ａの横断面面積は回転軸３５の横断面面積と略等しく、凸部２２ａは回転軸３５の真下に位置している。
従って、貫通孔３７の下端から真下に落下する有機材料３９は、回転軸３５の回転によって、凸部２２ａと高温容器２２ｂの側壁との間に、凸部２２ａを取り囲むように配置される。

上述したように有機材料３９は凸部２２ａと高温容器２２ｂの側壁の間に、凸部２２ａを取り囲むように配置されるから、有機材料３９は均一に加熱され、蒸発室２１内部に有機材料３９の蒸気が発生する。

放出装置５０は、箱状の容器５１と、容器５１内に配置された供給管５２とを有しており、放出装置５０に供給された蒸気は供給管５２に供給され、供給管５２に設けられた噴出口５３から容器５１の底面に向かって噴出され、容器５１の天井に設けられた放出口５５から真空槽１１内部に放出される。

基板８１の各色の着色層が形成されるべき領域の形状及び間隔はそれぞれ同じであり、マスク１６の開口１７の形状及び間隔は、各色の着色層が形成されるべき領域の形状と間隔と略等しくなっている。

Claims

真空槽と、
前記真空槽の内部に配置され、基板を保持する基板保持装置と、
内部に有機材料が収容され、前記有機材料の蒸気を発生させる供給装置と、
前記基板と対面する位置に配置され、前記供給装置が発生する前記有機材料の蒸気を前記真空槽内部に放出する放出装置と、
複数の開口が形成され、前記真空槽内部に配置されたマスクと、
前記基板と前記放出装置の間の位置で前記マスクを保持するマスク保持装置とを有し、
前記放出装置から放出された前記蒸気は、前記マスクの前記開口を通過して前記基板に到達する蒸着装置であって、
前記蒸着装置は、前記放出装置にそれぞれ接続された複数の前記供給装置と、
前記基板保持装置に保持された前記基板と、前記マスク保持装置に保持された前記マスクとを位置合わせする位置合わせ装置と、
複数の前記供給装置のうち、所望の前記供給装置を、前記放出装置に接続する切替装置とを有する蒸着装置。
前記各供給装置には、異なる色の前記有機材料が配置された請求項１記載の蒸着装置。
前記各供給装置は、前記有機材料が収容される収容部と、
前記収容部の底部に形成された貫通孔と、
前記貫通孔を介して前記収容部に接続された蒸発室と、
前記貫通孔に挿通された回転軸と、
前記回転軸を中心軸線を中心として回転させる回転手段とを有し、
前記回転軸の周囲には螺旋状の凸条が形成され、
前記回転軸を回転させると、前記有機材料は、前記凸条間の溝を通って前記収容部から前記蒸発室に向かって移動する請求項１記載の蒸着装置。
真空槽と、
前記真空槽の内部に配置され、基板を保持する基板保持装置と、
内部に有機材料が収容され、前記有機材料の蒸気を発生させる供給装置と、
前記基板と対面する位置に配置され、前記供給装置が発生する前記有機材料の蒸気を前記真空槽内部に放出する放出装置とを有し、
前記放出装置から放出された前記蒸気は、前記基板に到達するようにされた蒸着装置であって、
前記蒸着装置は、前記放出装置にそれぞれ接続された複数の前記供給装置と、
複数の前記供給装置のうち、所望の前記供給装置を、前記放出装置に接続する切替装置とを有する蒸着装置。
前記各供給装置には、異なる色の前記有機材料が配置された請求項４記載の蒸着装置。
前記各供給装置は、前記有機材料が収容される収容部と、
前記収容部の底部に形成された貫通孔と、
前記貫通孔を介して前記収容部に接続された蒸発室と、
前記貫通孔に挿通された回転軸と、
前記回転軸を中心軸線を中心として回転させる回転手段とを有し、
前記回転軸の周囲には螺旋状の凸条が形成され、
前記回転軸を回転させると、前記有機材料は、前記凸条間の溝を通って前記収容部から前記蒸発室に向かって移動する請求項４記載の蒸着装置。