JPWO2008155958A1 - 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
異なる色の光を充分に発光可能な半導体発光素子を提供する。半導体発光素子(1)は、基板(2)と、基板(2)上に形成された半導体層(3)とを備えている。半導体層(3)は、基板(2)側から順に、バッファ層(11)、n型半導体層(12)、発光層(13)、及び、p型半導体層(14)が積層されている。発光層(13)は、複数の井戸層(21n)と、複数のバリア層(22m)とが交互に積層されたMQW構造を有する。p型半導体層(14)に最も近い井戸層(211)は、約420nm〜約470nmの波長を有する青色光を発光する。井戸層(211)は、ノンドープのInX1Ga1−X1N(0.05≦X1<0.2)からなる。p型半導体層(14)に2番目に近い井戸層(212)は、約520nm〜約650nmの波長を有する緑色光を発光する。井戸層(212)は、ノンドープのInX2Ga1−X2N(0.2≦X2≦0.3)からなる。
Description
本発明は、少なくとも異なる2つの色、即ち、2つの異なる波長の光を発光可能な半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法に関する。
従来、複数(例えば、2つ)の異なる色の光を発光可能な半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法が知られている。
例えば、特許文献1には、基板から順にn型半導体層、発光層、p型半導体層が積層された半導体発光素子が開示されている。更に、半導体発光素子の発光層は、赤色光を発光可能な赤色発光層及び青色光を発光可能な青色発光層を備えている。この発光層では、基板側から順に赤色発光層及び青色発光層が積層されている。赤色発光層及び青色発光層は、InGaNからなる複数の井戸層を含むMQW(多重量子井戸)構造を有する。更に、青色発光層の井戸層を構成するInGaN内のInの比率は、赤色発光層の井戸層を構成するInGaN内のInの比率よりも小さくなるように構成されている。これにより、各発光層の井戸層のバンドギャップの大きさを変えて、異なる色の光を発光している。
特許文献1に記載の半導体発光素子では、電流が供給されると、n型半導体層を介して各発光層に電子が注入され、p型半導体層を介して正孔が各発光層に注入される。そして、赤色発光層の井戸層では、電子と正孔が再結合して赤色光が発光されるとともに、青色発光層の井戸層では、電子と正孔が再結合して青色光が発光すると考えられている。
特開2005−217386号公報
ここで、特許文献1に記載の半導体発光素子では、各発光層が複数の井戸層を備えているので、移動度の高い電子は、n型半導体層を通過した後、各発光層の井戸層へと達することができる。しかしながら、移動度の低い正孔は、p型半導体層を通過した後、p型半導体層側の青色発光層の井戸層にはある程度達することができるが、p型半導体層から遠い赤色発光層の井戸層のほとんど達することができない。従って、p型半導体層に近い青色発光層では電子と正孔が再結合して青色光を発光できるが、p型半導体層から遠い赤色発光層では電子と正孔の再結合がほとんど起こらず、赤色光がほとんど発光できないといった課題がある。
また、特許文献1に記載の半導体発光素子では、各井戸層を構成するInGaN内のInの比率のみを変えることによって、異なる井戸層から異なる色の光を発光しているが、Inの比率を変えるには、製造段階において、成長温度を変えるか、または、Inの原料ガスの流量を変えなければならない。しかしながら、成長温度やInの原料ガスの流量の制御は非常に難しいので、これらの制御によって所望のInの比率を有するInGaNを形成することは非常に難しい。このため、Inの比率によってのみ所望の波長の光を発光可能な半導体発光素子を製造することが困難であるといった課題がある。
本発明は、上述した課題を解決するために創案されたものであり、異なる色の光を充分に発光可能な半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法を提供することを目的としている。
本発明は、上述した課題を解決するために創案されたものであり、発光させる光の波長の制御が容易にできる半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、p型半導体層と、InGaN系半導体からなる複数の井戸層及び各井戸層の間に形成されたGaN系半導体からなるバリア層を有する発光層とを備え、前記p型半導体層に最も近い第1井戸層を構成するInX1Ga1−X1N系半導体内でのInの比率X1と前記p型半導体層に2番目に近い第2井戸層を構成するInX2Ga1−X2N系半導体内でのInの比率X2とが異なることを特徴とする半導体発光素子である。
また、請求項2に記載の発明は、前記Inの比率X1は、前記Inの比率X2よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子である。
また、請求項3に記載の発明は、前記Inの比率X1はX1<0.2であって、前記Inの比率X2はX2≧0.2であることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子である。
また、請求項4に記載の発明は、前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層は、前記第2井戸層からの光を透過可能な厚みであることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子である。
また、請求項5に記載の発明は、前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層の厚みは、20nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子である。
また、請求項6に記載の発明は、前記第1井戸層は、青色光を発光するとともに、前記第2井戸層は、緑色光から黄色光の間にピークを有する光を発光することを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子である。
また、請求項7に記載の発明は、前記第1井戸層の厚みは、前記第2井戸層の厚みよりも小さく且つ量子サイズ効果を生じさせるよりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
また、請求項8に記載の発明は、p型半導体層と、InGaN系半導体からなる複数の井戸層及び各井戸層の間に形成されたGaN系半導体からなるバリア層を含む発光層とを備え、前記p型半導体層に最も近い第1井戸層を構成するInX1Ga1−X1N系半導体内でのInの比率X1は0.05≦X1<0.2であって、前記p型半導体層に2番目に近い第2井戸層を構成するInX2Ga1−X2N系半導体内でのInの比率X2は0.2≦X2≦0.3であり、前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層の厚みが、12nm〜16nmであることを特徴とする半導体発光素子である。
また、請求項9に記載の発明は、p型GaN系半導体からなるp型半導体層と、InGaN系半導体からなる複数の井戸層を含む発光層とを備え、前記p型半導体層に最も近い第1井戸層を構成するInX1Ga1−X1N系半導体内でのInの比率X1と前記p型半導体層に2番目に近い第2井戸層を構成するInX2Ga1−X2N系半導体内でのInの比率X2とが異なる半導体発光素子の製造方法において、前記第1井戸層及び前記第2井戸層を含む発光層を形成する発光層形成工程と、前記発光層形成工程の後、成長温度850℃以下で前記p型半導体層を成長させるp型半導体層形成工程とを備えたことを特徴とする半導体発光素子の製造方法である。
また、請求項10に記載の発明は、p型半導体層と、InGaN系半導体からなる複数の井戸層及び各井戸層の間に形成されたバリア層を有するMQW(多重量子井戸)構造からなる発光層とを備え、前記発光層は、第1井戸層及び前記第1井戸層よりも厚く且つ前記第1井戸層とは異なる波長の光を発光する第2井戸層を含み、前記第1井戸層は前記第2井戸層よりも前記p型半導体層に近い位置に配置され、前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層が前記第2井戸層からの光を透過可能な厚みに構成されていることを特徴とする半導体発光素子である。
また、請求項11に記載の発明は、前記第1井戸層は、量子サイズ効果を生じさせる厚みに構成されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子である。
ここで「量子サイズ効果を生じさせる厚み」とは、電子の波長以下の厚みのことであって、具体的には、約10nm以下のことである。
また、請求項12に記載の発明は、前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層の厚みが12nm〜16nmであることを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子である。
また、請求項13に記載の発明は、前記第1井戸層は、井戸層の中で前記p型半導体層に最も近い位置に形成され、前記第2井戸層は、井戸層の中で前記p型半導体層に2番目に近い位置に形成されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子である。
また、請求項14に記載の発明は、前記第1井戸層は、前記第2井戸層よりも波長の短い光を発光することを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子である。
また、請求項15に記載の発明は、前記第2井戸層は、前記第1井戸層よりもInGaN系半導体内のInの比率が大きいことを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子である。
また、請求項16に記載の発明は、前記第1井戸層は、青色光を発光するとともに、前記第2井戸層は、緑色光から黄色光の間にピーク有する光を発光することを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子である。
また、請求項17に記載の発明は、p型半導体層と、InGaN系半導体からなる複数の井戸層及び各井戸層の間に形成されたGaN系半導体からなるバリア層を含む発光層とを備え、前記p型半導体層に最も近い第1井戸層の厚みd1は、2nm≦d1<3nmであって、前記p型半導体層に2番目に近い第2井戸層の厚みd2は、3nm≦d2≦10nmであって、前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層の厚みが、12nm〜16nmであることを特徴とする半導体発光素子である。
また、請求項18に記載の発明は、p型GaN系半導体からなるp型半導体層と、InGaN系半導体からなる第1井戸層と前記第1井戸層よりも厚い第2井戸層とを含む複数の井戸層と第2井戸層の光を透過可能なバリア層を含む発光層とを備えた半導体発光素子の製造方法において、前記第1井戸層及び前記第2井戸層を含む前記発光層を形成する発光層形成工程と、前記発光層形成工程の後、成長温度850℃以下で前記p型半導体層を成長させるp型半導体層形成工程とを備えたことを特徴とする半導体発光素子の製造方法である。
本発明によれば、InGaN系半導体からなる第1井戸層のInの比率X1とInGaN系半導体からなる第2井戸層のInの比率X2とを異ならせている。このように、正孔が容易に到達可能な第1井戸層と第2井戸層とを構成することによって、異なる2つの色の光を充分に発光させることができる。
本発明によれば、第2井戸層を第1井戸層よりも厚く形成しているので、第1井戸層で発光する光の波長を第2井戸層で発光する光の波長よりも短くすることができる。このように、InGaN内のInの比率のみならず、製造段階で容易に制御可能な井戸層の厚みによっても発光する光の波長を制御しているので、容易に異なる2つ以上の光の波長を制御できる。また、井戸層とバリア層の厚みを変えることにより、比較的容易に色合いを制御することができる。
1 半導体発光素子
2 基板
3 半導体層
4 n側電極
5 p側電極
11 バッファ層
12 n型半導体層
13 発光層
14 p型半導体層
21n 井戸層
22m バリア層
211 第1井戸層
212 第2井戸層
Lb 青色光
Lg 緑色光
X1 Inの比率
X2 Inの比率
2 基板
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5 p側電極
11 バッファ層
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21n 井戸層
22m バリア層
211 第1井戸層
212 第2井戸層
Lb 青色光
Lg 緑色光
X1 Inの比率
X2 Inの比率
(第1実施形態)
以下、図面を参照して本発明の第1実施形態による半導体発光素子を説明する。図1は、本発明の実施形態による半導体発光素子の断面図である。図2は、半導体発光素子の発光層の断面図である。
以下、図面を参照して本発明の第1実施形態による半導体発光素子を説明する。図1は、本発明の実施形態による半導体発光素子の断面図である。図2は、半導体発光素子の発光層の断面図である。
図1に示すように、第1実施形態による半導体発光素子1は、基板2と、基板2上に形成された半導体層3と、n側電極4と、p側電極5とを備えている。
基板2は、サファイア(Al2O3)基板からなる。
半導体層3は、基板2側から順に、バッファ層11、n型半導体層12、発光層13、及び、p型半導体層14が積層されている。
バッファ層11は、約10Å〜約50Åの厚みを有するAlNからなる。
n型半導体層12は、約4μmの厚みを有し、約3×1018cm−3の濃度のSiがドープされたn型GaNからなる。n型半導体層12の上面の一部が露出するように、発光層13及びp型半導体層14の一部がエッチングされている。
図2に示すように、発光層13は、複数の井戸層21n(n=1、2・・q−1)と、複数のバリア層22m(m=1、2・・・q)とが交互に6ペア〜11ペア、好ましくは8ペア積層されたMQW(Multi Quantum Well:多重量子井戸)構造を有する。
各井戸層21nは、約2nm〜約3nm、好ましくは約2.8nmの同じ厚みを有するノンドープのInGaNからなる。
ここで、p型半導体層14に最も近い井戸層(請求項1の第1井戸層に相当)211は、約420nm〜約470nmの波長を有する青色光を発光するためのものである。井戸層211は、ノンドープのInX1Ga1−X1Nからなる。尚、井戸層211を構成するInGaN内でのInの比率X1は、0.05≦X1<0.2となるように構成されている。
p型半導体層14に2番目に近い井戸層(請求項1の第2井戸層に相当)212は、約520nm〜約650nmの波長を有する緑色光(または黄色光)を発光するためのものである。井戸層212は、ノンドープのInX2Ga1−X2Nからなる。井戸層212を構成するInGaN内でのInの比率X2は、0.2≦X2≦0.3となるように構成されている。その他の井戸層21n(3≦n≦q−1)は、井戸層212と同じ比率及び同じ厚みのInGaNからなる。
各バリア層22mは、各井戸層21nの間に形成されている。各バリア層22mは、約20nm以下、好ましくは約16nm以下の厚みを有するノンドープのGaNからなる。
p型半導体層14は、約200nmの厚みを有し、約3×1019cm−3の濃度のMgがドープされたp型GaNからなる。
n側電極4は、約2500nmの厚みを有するAl/Ti/Pt/Auの積層構造からなる。n側電極4は、露出されたn型半導体層12の上面とオーミック接続されている。
p側電極5は、約3000nmの厚みを有するTi/Auの積層構造からなる。p側電極5は、p型半導体層14の上面とオーミック接続されている。
次に、上述した半導体発光素子1の動作説明を行う。図3は、発光層近傍のエネルギーバンド図である。
まず、n側電極4とp側電極5との間に順方向の電圧が印加されると、n側電極4から半導体層3に電子が注入されるとともに、p側電極5から半導体層3に正孔が注入される。ここで、図3に示すように、n側電極4からn型半導体層12に注入された電子は、移動度が大きいため、n型半導体層12から最も遠い各井戸層211まで達することができる。一方、p側電極5からp型半導体層14に注入された正孔は、移動度が小さい。このため、ほとんどの正孔は、p型半導体層14に近い井戸層211及び井戸層212にトラップされる。
これにより、電子及び正孔が充分にトラップされている井戸層211では電子と正孔の再結合が充分に行われ、青色光Lbが発光する。井戸層211で発光した青色光Lbは、バリア層221及びp型半導体層14を透過した後、外部へ照射される。
また、電子及び正孔が充分にトラップされている井戸層212では電子と正孔の再結合が充分に行われ、緑色光Lgが発光する。井戸層212で発光した緑色光Lgは、厚みが約20nm以下の薄いバリア層221、222を透過する。バリア層221、222を透過した緑色光Lgは、p型半導体層14を透過した後、外部へ照射される。
一方、p型半導体層14から遠い井戸層21n(3≦n)には正孔がほとんどトラップされないので、あまり緑色光Lgが発光されない。
この結果、半導体発光素子1から青色光Lbと緑色光Lgとが充分に外部へ照射される。
次に、上述した半導体発光素子1の製造方法を説明する。
まず、サファイア基板からなる基板2をMOCVD装置(図示略)に導入する。そして、成長温度を約900℃〜約1100℃に設定した状態で、キャリアガスによってトリメチルアルミニウム(以下、TMA)ガス及びアンモニアガスを供給してAlNからなるバッファ層11を基板2上に形成する。
次に、成長温度を約1050℃に設定した状態で、キャリアガスによりシランガス、トリメチルガリウム(以下、TMG)ガス及びアンモニアガスを供給して、Siがドープされたn型GaNからなるn型半導体層12をバッファ層11上に形成する。
次に、成長温度を約690℃に設定した状態で、キャリアガスによってTMGガス及びアンモニアガスを供給して、ノンドープのGaNからなるバリア層22qをn型半導体層12上に形成する。その後、成長温度を約690℃に保った状態で、キャリアガスによってトリメチルインジウム(以下、TMI)ガス、TMGガス及びアンモニアガスを供給して、ノンドープのInX2Ga1−X2N(0.2≦X2≦0.3)からなる井戸層21q−1をバリア層22q上に形成する。その後、同じ条件でバリア層222及び井戸層212までバリア層22m及び井戸層21nを交互に形成する。
次に、InGaN内のInの比率を高めるために、成長温度を約760℃に昇温した状態で、キャリアガスによってTMIガス、TMGガス及びアンモニアガスを供給して、ノンドープのInX1Ga1−X1N(0.05≦X1<0.2)からなる井戸層211を形成する。最後に、成長温度を約760℃に設定した状態で、キャリアガスによってTMGガス及びアンモニアガスを供給して、ノンドープのGaNからなるバリア層221を形成することによって、発光層13が完成する。
次に、成長温度を約850℃以下に設定した状態で、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)ガス、TMGガス及びアンモニアガスを供給して、発光層13上にMgがドープされたp型GaNからなるp型半導体層14を形成する。ここで、p型GaNからなるp型半導体層14を約850℃の低温で成長させるために、アンモニアガスの流量は、一般的な流量(例えば、約4.0SLM)よりも多い約10SLM以上に設定されている。
次に、n型半導体層12の上面の一部が露出するように、p型半導体層14及び発光層13の一部をエッチングする。その後、n側電極4及びp側電極5を形成する。最後に素子単位に分割することにより半導体発光素子1が完成する。
上述したように、第1実施形態による半導体発光素子1は、p型半導体層14に最も近い井戸層211のInの比率X1と、p型半導体層14に2番目に近い井戸層212のInの比率X2とを異ならせている。このように、移動度の小さい正孔でも到達可能な2つの井戸層211のInの比率X1及び井戸層212のInの比率X2を変えることによって、異なる波長の光(青色光と緑色光)を充分に発光することができる。
また、第1実施形態による半導体発光素子1では、Inの比率X1が小さくバンドギャップが大きい井戸層211を井戸層212よりもp型半導体層14側、即ち、正孔が供給される側に形成している。このように正孔がトラップされ難い井戸層211をp型半導体層14側に形成することによって、井戸層212まで到達する正孔をより増大させることができるので、井戸層212での発光強度をより向上させることができる。
また、第1実施形態による半導体発光素子1では、井戸層211と井戸層212との間のバリア層222を井戸層212で発光された緑色光が透過可能な約20nm以下、好ましくは約16nm以下の厚みに構成することによって、緑色光を外部へと照射することができる。
また、第1実施形態による半導体発光素子1では、p型半導体層14の成長温度を約850℃以下にすることによって、p型半導体層14を形成する際に、井戸層21n、特に、緑色光を発光する井戸層21n(n≧2)を構成するInGaNの結晶性の劣化を抑制できるので、より多くの緑色光を外部へと照射することができる。
また、第1実施形態による半導体発光素子1では、添加量の制御が難しく且つ劣化しやすい蛍光体を用いることなく2つの異なる色の光を発光することができるので、異なる色の光量を容易に制御して色合いのばらつきを抑制することができるとともに、劣化を抑制して高信頼性を得ることができる。また、蛍光体では表現できない中間色(パステルカラー)も実現可能となる。
(第2実施形態)
次に、上述した第1実施形態を部分的に変更した第2実施形態による半導体発光素子について説明する。尚、第2実施形態の半導体発光素子では、第1実施形態と異なる発光層のみについて説明する。図4は、第2実施形態による発光層の断面図である。
次に、上述した第1実施形態を部分的に変更した第2実施形態による半導体発光素子について説明する。尚、第2実施形態の半導体発光素子では、第1実施形態と異なる発光層のみについて説明する。図4は、第2実施形態による発光層の断面図である。
図4に示すように、第2実施形態による半導体発光素子1の発光層13では、p型半導体層14に最も近い井戸層(請求項10の第1井戸層に相当)211は、約420nm〜約470nmの波長を有する青色光を発光するためのものである。井戸層211は、ノンドープのInX1Ga1−X1Nからなる。尚、井戸層211を構成するInGaN内でのInの比率X1は、0.05≦X1<0.2となるように構成されている。井戸層211の厚みd1は、量子サイズ効果を生じさせることが可能な約2nm〜約3nmに設定されている。
p型半導体層14に2番目に近い井戸層(請求項10の第2井戸層に相当)212は、約520nm〜約650nmの波長を有する緑色光(または黄色光)を発光するためのものである。井戸層212を構成するInGaN内でのInの比率X2は、0.2≦X2≦0.3となるように構成されている。井戸層212の厚みd2は、井戸層211の厚みd1よりも大きい約3nm〜約10nmに設定されている。
このように、第2実施形態による半導体発光素子1では、井戸層212の厚みd2よりも井戸層211の厚みd1を小さくして、井戸層212に生じる量子サイズ効果よりも井戸層211に生じる量子サイズ効果を大きくしている。これにより、井戸層211から発光される光の波長を井戸層212から発光される光の波長よりも短波長側にシフトさせることができる。
その他の井戸層21n(3≦n≦q−1)は、井戸層212と同じ厚みd2のInGaNからなる。
各バリア層22mは、各井戸層21nの間に形成されている。バリア層22mは、第2井戸層212からの緑色光を透過可能な約20nm以下、好ましくは約12nm〜約16nmの厚みを有するノンドープのGaNからなる。
次に、上述した第2実施形態による半導体発光素子1の動作説明を、図3を参照して行う。
まず、n側電極4とp側電極5との間に順方向の電圧が印加されると、n側電極4から半導体層3に電子が注入されるとともに、p側電極5から半導体層3に正孔が注入される。ここで、図3に示すように、n側電極4からn型半導体層12に注入された電子は、移動度が大きいため、n型半導体層12から最も遠い各井戸層211まで達することができる。一方、p側電極5からp型半導体層14に注入された正孔は、移動度が小さい。このため、ほとんどの正孔は、p型半導体層14に近い井戸層211及び井戸層212にトラップされる。
これにより、電子及び正孔が充分にトラップされている井戸層211では電子と正孔の再結合が充分に行われる。ここで、井戸層211は、井戸層212よりもInの比率が大きく且つ大きい量子サイズ効果を得ることができるように厚みが小さく形成されているので、青色光Lbを発光する。井戸層211で発光した青色光Lbは、バリア層221及びp型半導体層14を透過した後、外部へ照射される。
また、電子及び正孔が充分にトラップされている井戸層212では電子と正孔の再結合が充分に行われる。ここで、井戸層212は、井戸層211よりも厚み及びInの比率が大きいので、井戸層211よりも量子サイズ効果が小さく、青色光Lbよりも波長の長い緑色光Lgを発光する。井戸層212で発光した緑色光Lgは、厚みが約20nm以下の薄いバリア層221、222を透過する。バリア層221、222を透過した緑色光Lgは、p型半導体層14を透過した後、外部へ照射される。
一方、p型半導体層14から遠い井戸層21n(3≦n)には正孔がほとんどトラップされないので、あまり緑色光Lgが発光されない。
この結果、井戸層211及び井戸層212により半導体発光素子1から青色光Lbと緑色光Lgとが充分に外部へ照射される。
次に、上述した第2実施形態による半導体発光素子1の製造方法を説明する。尚、第2実施形態の半導体発光素子1の製造方法は、第1実施形態の製造方法と異なる発光層13の製造方法のみについて説明する。
まず、成長温度を約690℃に設定した状態で、キャリアガスによってTMGガス及びアンモニアガスを供給して、ノンドープのGaNからなるバリア層22qをn型半導体層12上に形成する。その後、成長温度を約690℃に保った状態で、キャリアガスによってトリメチルインジウム(以下、TMI)ガス、TMGガス及びアンモニアガスを供給して、パイロメータ(赤外線)により観察しつつ、約3nm〜約10nmの厚みを有するノンドープのInX2Ga1−X2N(0.2≦X2≦0.3)からなる井戸層21q−1をバリア層22q上に形成する。その後、同じ条件でバリア層222及び井戸層212までバリア層22m及び井戸層21nを交互に形成する。その後、成長温度を約760℃に設定した状態で、成長時間を他の井戸層21n(n≧2)よりも短くすることにより、他の井戸層21nよりも薄い、約2nm〜約3nmの厚みを有するノンドープのInX1Ga1−X1N(0.05≦X1<0.2)からなる井戸層211を形成する。最後に、バリア層221を形成することによって発光層13が完成する。
上述したように、第2実施形態による半導体発光素子1では、井戸層211と井戸層21n(n≧2)との厚みを変えることによって、作用する量子サイズ効果の大きさを変えている。これにより、井戸層211では青色光を発光させるとともに、それ以外の井戸層21n(n≧2)では緑色光を発光させている。このように、InGaN内のInの比率のみならず、製造工程において、パイロメータ等で観察しつつ成長時間等により容易に制御可能な井戸層21n(n≧1)の厚みによって発光させる光の波長を変えているので、容易に且つ正確に発光させる光の波長を所望の波長に設定することができる。
また、第2実施形態による半導体発光素子1では、p型半導体層14に近い井戸層211の厚みd1と井戸層212の厚みd2とを変えている。このように、移動度の低い正孔でも容易に到達することができる井戸層211及び井戸層212の厚みを変えることにより、異なる色の光(青色光と緑色光)を充分に発光することができる。
また、第2実施形態による半導体発光素子1では、バンドギャップが大きい井戸層211を井戸層212よりもp型半導体層14側、即ち、正孔が供給される側に形成している。このように正孔がトラップされ難い井戸層211をp型半導体層14側に形成することによって、井戸層212まで到達する正孔をより増大させることができるので、井戸層212での発光強度をより向上させることができる。
また、第2実施形態による半導体発光素子1では、井戸層211と井戸層212との間のバリア層222を井戸層212で発光された緑色光が透過可能な約20nm以下、好ましくは約12nm〜約16nmの厚みに構成することによって、緑色光を外部へと照射することができる。
また、第2実施形態による半導体発光素子1では、p型半導体層14の成長温度を約850℃以下にすることによって、p型半導体層14を形成する際に、井戸層21n、特に、緑色光を発光する井戸層21n(n≧2)を構成するInGaNの結晶性の劣化を抑制できるので、より多くの緑色光を外部へと照射することができる。
また、第2実施形態による半導体発光素子1では、添加量の制御が難しく且つ劣化しやすい蛍光体を用いることなく2つの異なる色の光を発光することができるので、異なる色の光量を容易に制御して色合いのばらつきを抑制することができるとともに、劣化を抑制して高信頼性を得ることができる。
(実験)
次に、上述した半導体発光素子1の効果を証明するために行った実施例について考察する。
次に、上述した半導体発光素子1の効果を証明するために行った実施例について考察する。
まず、バリア層の厚みと外部に照射される光のエレクトロルミネッセンス(以下、EL)強度との関係について、図面を参照して説明する。図5は、バリア層の厚みを変えた時の発光スペクトルを比較したグラフである。図5において、横軸は波長を示し、縦軸はEL強度を示す。尚、各スペクトルの横の添え字は、バリア層222の厚みを示す。図6は、バリア層の厚みを変えた時の相対強度比を比較した図である。図6において、横軸はバリア層222の厚みを示し、縦軸は相対強度比を示す。尚、相対強度比とは、青色光のEL強度を100とした場合、緑色光のEL強度の比である。
図5及び図6に示すように、バリア層の厚みを24.0nm、17.5nm、13.5nmと薄くしていくと、p型半導体層14に一番近い井戸層211からの発光である青色光LbのEL強度が一定であるのに対し、p型半導体層14から二番目に近い井戸層212からの発光である緑色光LgのEL強度が増加しているのがわかる。そして、バリア層を薄くしていくにつれて、青色光Lbよりも緑色光LgのEL強度が強くなることがわかる。このことから、バリア層222の厚みを変えることにより、外部へ照射される緑色光Lgの光量を制御できることがわかる。この結果、バリア層222の厚みによって、青色光Lbと緑色光Lgとの中間色(パステルカラー)の色合いを容易に制御できることがわかる。
また、青色光Lbを発光する井戸層211よりも緑色光Lgを発光する井戸層212の方がp型半導体層14よりも離れた位置に形成され、且つ、エネルギー準位が深くなっていることを考慮すると、バリア層22mを約14nmよりも薄くすると、井戸層212へ注入される正孔が多くなり、緑色光Lgが青色光Lbよりも強くなることは容易に推測できる。
更に、人間の視感度が緑色光Lgに強いことを考慮すると、バリア層222の厚みを約16nm以下、好ましくは約14nm程度にすることによって、半導体発光素子1から照射される光の発光スペクトルのうち、緑色光Lgを含む割り合いが増えるので、人間の眼がその光を白色光と感じることがわかる。
従って、上述した半導体発光素子1を白色半導体発光素子に適用する場合には、バリア層22m、少なくともバリア層222の厚みを約16nm以下、好ましくは約14nm程度にすればよい。更に、白色光以外の光を望む場合でも、バリア層222の厚みを変えることにより井戸層212への正孔の注入量を調整することによって、青色と緑色の色合いを調整して、種々の色を照射することができる。
次に、p型半導体層14を形成する際の成長温度と外部へ照射される光のスペクトルとの関係について、図面を参照して説明する。尚、p型半導体層を約1010℃の成長温度で形成した際のEL強度のスペクトルの一例が図7に示すスペクトルであり、p型半導体層を約850℃の成長温度で形成した際のEL強度のスペクトルの一例が図8に示すスペクトルである。
図7に示すように、成長温度を約1010℃にした状態でp型GaNからなるp型半導体層14を成長させた半導体発光素子1のEL強度のスペクトルからわかるように、外部へ照射される光のほとんどは青色光Lbであって、緑色光Lgはほとんど含まれないことがわかる。一方、図8に示すように、成長温度を約850℃にした状態でp型GaNからなるp型半導体層14を成長させた半導体発光素子1のEL強度のスペクトルからわかるように、青色光LbのEL強度に対して、約1/3程度のEL強度を有する緑色光Lgが外部へ照射されていることがわかる。
これは、発光層13を成長させた後に、約1010℃の成長温度でp型半導体層14を形成することによって井戸層21n、特に、Inの比率の多い緑色光Lgを発光する井戸層21n(n≧2)を構成するInGaNの結晶性が劣化したのに対し、約850℃の成長温度でp型半導体層14を形成した場合には井戸層21n(n≧2)の劣化を抑制できたためと考えられる。
以上、実施形態を用いて本発明を詳細に説明したが、本発明は本明細書中に説明した実施形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載及び特許請求の範囲の記載と均等の範囲により決定されるものである。以下、上記実施形態を一部変更した変更形態について説明する。
例えば、上述の実施形態では、青色光と緑色光(または黄色光)とを発光する半導体発光素子に本発明を適用したが、他の赤色光などを含む2つ以上の異なる色の光を発光可能な半導体発光素子に本発明を適用してもよい。
また、上述の実施形態で記載した各層を構成する材料は適宜変更可能である。例えば、井戸層をAlInGaNなどのInGaN以外のInGaN系半導体により構成してもよい。バリア層をAlGaNなどのGaN以外のGaN系半導体により構成してもよい。
また、上述の実施形態では、成長温度を変えることによって井戸層を構成するInGaN内のInの比率を変えたが、Inの原料ガス(TMIガス)の流量を変えることによって、当該Inの比率を変えてもよい。
また、上述の実施形態では、波長の短い光(青色光)を発光する井戸層を波長の長い光(緑色光)を発光する井戸層よりもp型半導体層側に形成したが、p型半導体層側に波長の長い光を発光する井戸層を形成してもよい。
また、上述の実施形態では、p型半導体層に3番目に近い井戸層から最も遠い井戸層までを第2井戸層と同じ構成で形成したが、異なるバンドギャップを有するように構成してもよい。
また、上述の実施形態では、第1井戸層と第2井戸層とを同じ厚みに形成したが、第1井戸層の厚みを量子サイズ効果を生じさせる程度に小さくするとともに、第2井戸層よりも厚みを小さく形成してもよい。これにより、InGaN内のInの比率のみならず、井戸層の厚みによっても波長を制御することができる。
また、上述の実施形態で記載した各層の厚みは適宜変更可能である。例えば、井戸層のうち最も薄い井戸層の厚みは、量子サイズ効果が生じる厚み(約10nm以下)であればよく、特に限定されるものではない。
また、上述の実施形態では、成長時間を変えることによって井戸層の厚みを変えたが、原料ガス(TMIガス、TMGガス及びアンモニアガス)の流量を変えることによって、厚みを変えてもよい。
また、上述の実施形態では、p型半導体層に3番目に近い井戸層から最も遠い井戸層までを第2井戸層と同じ構成で形成したが、異なるバンドギャップを有するように構成してもよい。一例として、短波長の光(例えば、青色光)を発光可能な井戸層と長波長の光(例えば、緑色光)を発光可能な井戸層とを交互に周期的に形成してもよい。また、別の例として、短波長の光(例えば、青色光)を発光可能な井戸層を複数層形成した後、長波長の光(例えば、緑色光)を発光可能な井戸層を複数層形成してもよい。
本発明によれば、InGaN系半導体からなる第1井戸層のInの比率X1とInGaN系半導体からなる第2井戸層のInの比率X2とを異ならせている。このように、正孔が容易に到達可能な第1井戸層と第2井戸層とを構成することによって、異なる2つの色の光を充分に発光させることができる。
本発明によれば、第2井戸層を第1井戸層よりも厚く形成しているので、第1井戸層で発光する光の波長を第2井戸層で発光する光の波長よりも短くすることができる。このように、InGaN内のInの比率のみならず、製造段階で容易に制御可能な井戸層の厚みによっても発光する光の波長を制御しているので、容易に異なる2つ以上の光の波長を制御できる。また、井戸層とバリア層の厚みを変えることにより、比較的容易に色合いを制御することができる。
Claims (18)
- p型半導体層と、InGaN系半導体からなる複数の井戸層及び各井戸層の間に形成されたGaN系半導体からなるバリア層を有する発光層とを備え、
前記p型半導体層に最も近い第1井戸層を構成するInX1Ga1−X1N系半導体内でのInの比率X1と前記p型半導体層に2番目に近い第2井戸層を構成するInX2Ga1−X2N系半導体内でのInの比率X2とが異なることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記Inの比率X1は、前記Inの比率X2よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記Inの比率X1はX1<0.2であって、前記Inの比率X2はX2≧0.2であることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層は、前記第2井戸層からの光を透過可能な厚みであることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層の厚みは、20nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記第1井戸層は、青色光を発光するとともに、前記第2井戸層は、緑色光から黄色光の間にピークを有する光を発光することを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記第1井戸層の厚みは、前記第2井戸層の厚みよりも小さく且つ量子サイズ効果を生じさせるよりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- p型半導体層と、InGaN系半導体からなる複数の井戸層及び各井戸層の間に形成されたGaN系半導体からなるバリア層を含む発光層とを備え、
前記p型半導体層に最も近い第1井戸層を構成するInX1Ga1−X1N系半導体内でのInの比率X1は0.05≦X1<0.2であって、
前記p型半導体層に2番目に近い第2井戸層を構成するInX2Ga1−X2N系半導体内でのInの比率X2は0.2≦X2≦0.3であり、
前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層の厚みが、12nm〜16nmであることを特徴とする半導体発光素子。 - p型GaN系半導体からなるp型半導体層と、InGaN系半導体からなる複数の井戸層を含む発光層とを備え、前記p型半導体層に最も近い第1井戸層を構成するInX1Ga1−X1N系半導体内でのInの比率X1と前記p型半導体層に2番目に近い第2井戸層を構成するInX2Ga1−X2N系半導体内でのInの比率X2とが異なる半導体発光素子の製造方法において、
前記第1井戸層及び前記第2井戸層を含む発光層を形成する発光層形成工程と、
前記発光層形成工程の後、成長温度850℃以下で前記p型半導体層を成長させるp型半導体層形成工程とを備えたことを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - p型半導体層と、InGaN系半導体からなる複数の井戸層及び各井戸層の間に形成されたバリア層を有する発光層とを備え、
前記発光層は、第1井戸層及び前記第1井戸層よりも厚く且つ前記第1井戸層とは異なる波長の光を発光する第2井戸層を含み、
前記第1井戸層は前記第2井戸層よりも前記p型半導体層に近い位置に配置され、
前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層が前記第2井戸層からの光を透過可能な厚みに構成されていることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記第1井戸層は、量子サイズ効果を生じさせる厚みに構成されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子。
- 前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層の厚みが12nm〜16nmであることを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子。
- 前記第1井戸層は、井戸層の中で前記p型半導体層に最も近い位置に形成され、前記第2井戸層は、井戸層の中で前記p型半導体層に2番目に近い位置に形成されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子。
- 前記第1井戸層は、前記第2井戸層よりも波長の短い光を発光することを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子。
- 前記第2井戸層は、前記第1井戸層よりもInGaN系半導体内のInの比率が大きいことを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子。
- 前記第1井戸層は、青色光を発光するとともに、前記第2井戸層は、緑色光から黄色光の間にピークを有する光を発光することを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子。
- p型半導体層と、InGaN系半導体からなる複数の井戸層及び各井戸層の間に形成されたGaN系半導体からなるバリア層を含む発光層とを備え、
前記p型半導体層に最も近い第1井戸層の厚みd1は、2nm≦d1<3nmであって、
前記p型半導体層に2番目に近い第2井戸層の厚みd2は、3nm≦d2≦10nmであって、
前記第1井戸層と前記第2井戸層との間のバリア層の厚みが、12nm〜16nmであることを特徴とする半導体発光素子。 - p型GaN系半導体からなるp型半導体層と、InGaN系半導体からなる第1井戸層と前記第1井戸層よりも厚い第2井戸層とを含む複数の井戸層と第2井戸層の光を透過可能なバリア層を含む発光層とを備えた半導体発光素子の製造方法において、
前記第1井戸層及び前記第2井戸層を含む前記発光層を形成する発光層形成工程と、
前記発光層形成工程の後、成長温度850℃以下で前記p型半導体層を成長させるp型半導体層形成工程とを備えたことを特徴とする半導体発光素子の製造方法。
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