JPWO2008149801A1 - プレス装置及びプレス装置システム - Google Patents

Abstract

上下方向に配置される第１のプレス盤及び第２のプレス盤と、第１のプレス盤と第２のプレス盤との間に配置される少なくとも一つの中間プレス盤と、前記第２のプレス盤を上下動させるプレス盤駆動手段と、前記少なくとも一つの中間プレス盤、第１のプレス盤、および第２のプレス盤のうち上下方向に隣接するプレス盤の対を選択し、該選択されたプレス盤の対の間隔を広げて該プレス盤の対の間に被加工物を搬入／搬出可能とする搬送モードと、前記第２のプレス盤を駆動してプレス盤間に配置された被加工物に圧縮荷重を加える圧縮モードとを切り換える制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記圧縮モードを前記搬送モードに切り換えるたびに、前記搬送モードにおいて選択するプレス盤の対を所定の順に切り換える。

Description

本発明は、樹脂を含有する被加工物をプレスするプレス装置及び、このプレス装置を含むプレス装置システムに関する。

例えば、プリプレグと銅箔とを積層した被加工物を熱圧締することによって多層基板を製造する場合、短時間のヒートプレスによって被加工物を成形しただけではプリプレグは完全には硬化されておらず、長期的には被加工物の形状や特性が経時変化する恐れがある。このため、特開２００６−１９０７３４に記されるように、ヒートプレスによって成形された多層基板を更に長時間加熱して、プリプレグに含まれる熱硬化樹脂等を完全に硬化して安定化させるキュア処理を行うことが望ましい。キュア処理は、例えば、オーブン内に成形後の多層基板を入れて加熱するか、熱盤間に多層基板を挟んでプレス（キュアプレス）して行われる。

キュアプレスは、加熱された熱盤に多層基板を接触させて加熱するものであり、オーブンでキュア処理を行う場合と比べて、（１）多層基板への熱伝達が早いため短時間でキュア処理を行うことができる、（２）キュア時の多層基板の変形を防止できる、といった特長を有する。

ところで、熱硬化を十分に行うために必要なキュアプレスの工程時間は、成形プレスの工程時間の数倍以上長い時間を要する。このため、成形プレス後に同一のプレス装置によりキュアプレスを連続して行うと、比較的高価な成形プレス用のプレス装置を長時間占有することになるため、コストが嵩む。また、成形プレスとキュアプレスとで最適な温度条件が異なる場合には、プレス装置の熱盤の温度昇降に時間がかかるため、１台のプレス装置を両プレス工程で兼用するのは難しい。また、キュアプレスは高いプレス圧を必要としないため、比較的小型で安価なプレス装置を利用することができる。このため、成形プレス用プレス装置とは別のキュアプレス用プレス装置を用意することが有利であることから、従来は１段の成形プレス用プレス装置と１段のキュアプレス用プレス装置とを各１台ずつタンデムに接続してプレス装置システムを構築していた。

しかしながら、上述の通りキュアプレス工程は成形プレス工程より数倍長い工程時間を要するため、従来の構成では単位時間あたりに製造可能な多層基板の数はキュアプレスの工程時間によって支配されていた。従って、成形プレス用プレス装置の稼働率は低く抑えられ、キュアプレス用プレス装置を導入した効果が十分に発揮されなかった。

この問題を解決する方法の一つに、１台の成形プレス用プレス装置に対して複数の１段のキュアプレス用プレス装置を使用することによって、成形プレス用プレス装置の稼働率を高める方法が考えられる。しかしながら、この方法は、複数のキュアプレス装置を設置するために広いスペースを必要とするため、キュアプレス装置を導入するコストメリットが低減される、といったデメリットがある。

そこで、多段のキュアプレス用プレス装置を用いて、１回のキュアプレス中に成形プレスされる被加工物の数量と同じか、それ以上の数量の被加工物を、まとめて一度にキュアプレスする方法が考えられる。

しかしながら、この場合には、成形プレス数回分の被加工物を一時ストックするためのストッカーが更に必要となる。また、ストック中に被加工物の温度が低下してしまうため、キュアプレス時間を更に長くとる必要がある。更に、成形プレスの余熱によって、ストック中にプレスされない状態（すなわち形状が管理されない状態）で樹脂の硬化が進むため、多層基板の厚さや形状に狂いが生じる可能性がある。

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、キュアプレス工程に掛かる時間がその前工程である成形プレス工程に比べて充分に長い場合であっても、被加工物の単位時間あたりの製造量を高く保つことが可能なプレス装置及びプレス装置システムを提供することを目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明のプレス装置は、上下方向に配置される第１のプレス盤及び第２のプレス盤と、第１のプレス盤と第２のプレス盤との間に配置される少なくとも一つの中間プレス盤と、前記第２のプレス盤を上下動させるプレス盤駆動手段と、前記少なくとも一つの中間プレス盤、第１のプレス盤、および第２のプレス盤のうち上下方向に隣接するプレス盤の対を選択し、該選択されたプレス盤の対の間隔を広げて該プレス盤の対の間に被加工物を搬入／搬出可能とする搬送モードと、前記第２のプレス盤を駆動してプレス盤間に配置された被加工物に圧縮荷重を加える圧縮モードを切り換える制御手段を有し、前記制御手段は、前記圧縮モードを前記搬送モードに切り換えるたびに、前記搬送モードにおいて選択するプレス盤の対を所定の順に切り換えるようになっている。

本発明の構成によれば、被加工物が搬入されるプレス盤間スペースを切り換えながら被加工物のプレスを行うことができる。すなわち、あるプレス盤間に既に被加工物が配置されている状態で、他のプレス盤間に別の被加工物を搬入することができる。このため、プレス装置からプレス後の被加工物が搬出される時間間隔を、プレス時間よりも短くすることができる。従って、被加工物のプレス（例えば被加工物のキュア処理を行うキュアプレス）に必要な時間よりも、前工程（例えば被加工物の成形ホットプレス工程）から被加工物が送られる時間間隔が短い場合であっても、充分な数の中間プレス盤を用意すれば、被加工物を遅滞なくプレス盤間に送ってプレスを開始することができ、被加工物の単位時間あたりの製造量は高く保たれる。

また、複数の中間プレス盤及び第１のプレス盤の一つを所定高さに固定するプレス盤固定手段を更に有し、高さを広げるべきスペースの上に位置するプレス盤が保持されるように前記プレス盤固定手段を制御し、且つ第２のプレス盤を降下させることによって、スペースを広げる構成としてもよい。

ここで、例えば、複数の中間プレス盤及び第１のプレス盤の側面には略水平方向に伸びる穴が形成されており、プレス盤固定手段は、所定高さに保持されている固定部と、前記固定部に対して進退可能に構成されたロッドと、ロッドを駆動する駆動部と、を有し、ロッドを固定部から突出させてプレス盤の穴に挿入することによって、広げるべきスペースの上に位置するプレス盤は固定される。

以上のように、本発明によれば、プレス工程に掛かる時間がその前工程に比べて充分に長い場合であっても、被加工物の単位時間あたりの製造量を高く保つことが可能なプレス装置及びプレス装置システムが実現される。

本発明の実施の形態のプレス装置システムのブロック図である。 本発明の実施の形態の成形ホットプレス装置の側面図である。 図２のＡ−Ａ矢視図である。 本発明の実施の形態のキュアプレス装置及びコールドプレス装置の側面図である。 図４のＢ−Ｂ矢視図である。 図４のＢ−Ｂ矢視図に加え還流手段を示したものである。 本発明の実施の形態のキュアプレス装置の正面図である。 本発明の実施の形態の一次搬送装置の側面図である。 本発明の実施の形態のキュアプレス装置の動作のフローを示したものである。

符号の説明

１ プレス装置システム
１００ 成形ホットプレス装置
１１０ 固定熱盤
１２０ 可動熱盤
１５０ 真空容器
１６０ 搬送部
１６２ キャリアフィルム
１６４ リーリング
１６６ アンリーリング
２００ キュアプレス装置
２１１ 上部熱盤
２１２ 下部熱盤
２２１ 第１中間熱盤
２２２ 第２中間熱盤
２２３ 第３中間熱盤
２２４ 第４中間熱盤
２５２ プッシャ
２６２ テーブル
２７０ 熱盤保持部材
２７２ シリンダ
２７４ ロッド
２８０ 還流手段
３００ コールドプレス装置
３２２ 上部冷却盤
３２４ 下部冷却盤
４００ 一次搬送装置
４１０ レール
４２０ 可動フレーム
４３０ 真空パッド
５００ 二次搬送装置
６００ 制御装置
Ｓ 積層体
Ｐ 搬送用プレート

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。図１は、本実施形態のプレス装置システム１のブロック図である。本実施形態のプレス装置システムは、ＣＣＬ（Ｃｏｐｐｅｒ Ｃｌａｄ Ｌａｍｉｎａｔｅ、樹脂シートの片面又は両面に銅箔を形成したもの）、銅箔、プリプレグを積層した積層体を熱圧締して多層基板を成形するものである。本実施形態のプレス装置システムは、積層体を加熱・加圧して成形を行う成形ホットプレス装置１００と、成型後の積層体にキュア処理を行うキュアプレス装置２００と、キュア処理によって得られる多層基板を冷却するコールドプレス装置３００と、を有する。また、本実施形態のプレス装置システム１は、成形ホットプレス装置１００にて成形された積層体をキュアプレス装置２００に搬送するための一次搬送装置４００と、キュアプレス装置２００によってキュア処理を行った積層体をコールドプレス装置に搬送するための二次搬送装置５００とを有する。また、本実施形態のプレス装置システム１は、システム全体の動作を制御するための制御装置６００を備えている。

本実施形態の成形ホットプレス装置１００の特徴につき以下説明する。図２は、成形ホットプレス装置１００の側面図であり、図３は図２におけるＡ−Ａ矢視図である。成形ホットプレス装置１００は、下側に配置された固定熱盤１１０と上側に配置された可動熱盤１２０との間で積層体Ｓを挟んで加圧する装置である。固定熱盤１１０及び可動熱盤１２０は、後述するように、積層体Ｓのプリプレグに含まれる熱硬化性樹脂の硬化温度以上の温度に加熱されるよう構成されている。

可動熱盤１２０の上面には、クラウン定盤１３０が取り付けられている。クラウン定盤の上部にはボールナット１３２が設けられており、このボールナット１３２にはボールねじ１４２の下端が係合している。ボールねじ１４２の上端にはこのボールねじを回転させるモータ１４４が設けられており、このモータ１４４によってボールねじ１４２を回動させることによってクラウン定盤１３０及び可動熱盤１２０を上下動させることができる。従って、モータ１４４を駆動させることによって、積層体Ｓを熱盤１１０、１２０間でプレスすることができる。前述のように、熱盤１１０、１２０はプリプレグに含まれる熱硬化樹脂の硬化温度以上の温度、すなわち未硬化プリプレグ樹脂のガラス転移点よりも高い温度に加熱されているので、熱盤１１０、１２０間で積層体Ｓをプレスすることによって、プリプレグの樹脂は一旦軟化してプリプレグと隣接する銅箔またはＣＣＬと密着する。そして、プリプレグの硬化が一定程度まで進行し、可動熱盤１２０を上昇させた後でも積層体Ｓの形状は維持される。

本実施形態においては、成形ホットプレス装置１００による積層体Ｓのプレスは、真空容器１５０の内部で行われるようになっている。真空容器１５０には、真空ポンプ１５６及び弁１５８が設けられている。弁１５８を閉じ、次いで真空ポンプ１５６を駆動することによって真空容器１５０の内部を真空にすることができる。また、この状態から弁１５８を開放することによって、真空容器１５０の内部を大気圧に戻すことができる。

本実施形態においては、積層体Ｓは搬送部１６０によって真空容器１５０の内部に搬入されると共に、そこから搬出されるようになっている。搬送部１６０は、キャリアフィルム１６２と、真空容器１５０の搬送方向（図中右から左方向）の下流側（図中左）に配置されたリーリング１６４と、搬送方向上流側（図中右）に配置されたアンリーリング１６６とを有する。キャリアフィルム１６２は、搬送方向上流側をアンリーリング１６６に、搬送方向下流側をリーリング１６４に巻き取られており、リーリング１６４を巻き上げ、且つアンリーリング１６６を巻き解くように駆動することによって、キャリアフィルム１６２を搬送方向に移動させることができる。成形ホットプレス装置１００によってプレスされる前の積層体Ｓは、プレス装置１００より上流側でキャリアフィルム１６２の上に載置され、次いでリーリング１６４、アンリーリング１６６を作動させてキャリアフィルム１６２を移動させることによって、真空容器内に搬送される。また、成形ホットプレス装置１００によるプレスを行った後の積層体Ｓは、キャリアフィルム１６２を移動させることによって真空容器１５０の中から搬送方向下流側に搬出される。なお、積層体によってキャリアフィルム１６２が撓まないように、リーリング１６４及びアンリーリング１６６によってキャリアフィルム１６２にはテンションが付与されている。

真空容器１５０は、上側部分１５２と下側部分１５４とを有し、上側部分１５２は図示しない駆動機構によって上下動可能に構成されている。また、図示されるように、キャリアフィルム１６２は、真空容器１５０の上側部分１５２と下側部分１５４との間、及び固定熱盤１１０と可動熱盤１２０の間を通過するよう構成されている。上側部分１５２を降下させると、キャリアフィルム１６２の上面及び下面が上側部分１５２と下側部分１５４にそれぞれ密着し、熱盤１１０、１２０及びその間に配置された積層体Ｓは真空容器１５０内に密閉されるようになっている。成形ホットプレス装置１００によって積層体Ｓをプレスする際は、積層体を固定熱盤１１０の上に載置し、真空容器１５０を閉じ、真空ポンプ１５６によって真空容器内を真空にし、次いで可動熱盤１２０を駆動して真空下で積層体Ｓをプレスする。なお、クラウン定盤１３０の外周側面と真空容器１５０の上側部分１５２の内周側面との間にはガスケット１５５が設けられており、両者の隙間からのエア漏れを防止している。

熱盤１１０及び１２０には図示しないヒータが設けられており、このヒータによってプリプレグの硬化温度以上の一定温度に加熱される。また、可動熱盤１１０の表面には日本国特許第３８４７６３３号に記載されている熱盤ジャケットと同様の機構が設けられている。すなわち、比較的に薄くしなやかな金属板からなる熱盤表面の裏側全面に内部空間が設けられており、その内部空間に充填した流体を加圧することによって、均一な流体の静水圧と熱盤表面のしなやかさのために、積層体Ｓの全面をむら無く均一な温度及び圧力でプレスできるようになっている。なお、本実施形態のキュアプレス装置においては、プレス圧が比較的小さいため、油圧ではなくガス圧を利用して上述の機能を実現している。圧力媒体ガスとしては、加熱したドライエア又はスチームを使用する。また、プレス中に熱盤表面の温度を一定に保つため、熱盤の内部空間を圧力媒体ガスが常に一定の流量で流れるようにしてもよい。この熱盤ジャケットによって、銅箔をエッチングして形成された微細かつ複雑な回路パターンの周囲を隅々まで樹脂で充填することが可能になり、製造された積層基板は極めて安定した特性を得る。

次いで、キュアプレス装置２００の構成に付き説明する。図４は、キュアプレス装置２００及びコールドプレス装置３００の側面図であり、図５Ａは図４のＢ−Ｂ矢視図である。図示されているように、キュアプレス装置は、上部熱盤２１１、第１中間熱盤２２１、第２中間熱盤２２２、第３中間熱盤２２３、第４中間熱盤２２４、下部熱盤２１２が上下方向に配列されており、熱盤間に積層体Ｓを最大５枚配置することができる。上部熱盤２１１の上にはクラウン定盤２３１が、下部熱盤２１２の下にはテーブル定盤２３２が夫々配置されている。また、テーブル定盤２３２の下面にはモータ２４２が取り付けられている。モータ２４２の回転軸には下方に伸びるボールねじ２４４が同軸に固定されており、モータ２４２によってボールねじ２４４を回転させることができる。ボールねじ２４４の下端にはナット２４６が取り付けられている。ナット２４６はキュアプレス装置の装置フレーム２０２に固定されている。従ってモータ２４２を駆動することによって、テーブル定盤２３２を上下動させることができる。キュアプレス装置２００によって積層体Ｓをプレスする際はテーブル定盤２３２を上昇させる。テーブル定盤２３２及びその上の下部熱盤２１２が上昇すると、下部熱盤２１２によって第４中間熱盤２２４、第３中間熱盤２２３、第２中間熱盤２２２、第１中間熱盤２２１、上部熱盤２１１が順次持ち上げられ、最終的には上部熱盤２１１の上面がクラウン定盤２３１の下面に当接する。この状態から更にテーブル定盤２３２を上昇させる方向にモータを作動させると、クラウン定盤２３１とテーブル定盤２３２との間で、熱盤２１１、２１２、２２１〜２２４を介して積層体Ｓがプレスされる。

なお、キュアプレスは大きなプレス圧を必要としないため、上部熱盤２１１が一定の重量を有していれば、上部熱盤２１１の重さだけで十分なプレス圧が得られる。この場合、上述のように上部熱盤２１１の上面をクラウウン定盤２３１の下面に当接させて、モータの駆動力によってテーブル定盤とクラウン定盤との間でプレスを行う必要はない。従って、下部熱盤２１２、中間熱盤２２１〜２２４、及び上部熱盤２１１が全て積み重なった時点でテーブル定盤の上昇を停止して、その状態でキュアプレスを行う構成にしてもよい。このような構成にすれば、テーブル定盤の移動時間が短縮され、更にキュアプレスに必要なモータの消費電力が軽減される。

また、熱盤２１１、２１２、２２１〜２２４は、各熱盤内に設けられた図示されないヒータによって加熱されるようになっている。従って、キュアプレス装置２００の熱盤間に配置された積層体Ｓは、熱盤間でプレスされることによって加熱される。

次いで、キュアプレス装置２００の熱盤間に積層体Ｓを配置し、更に熱盤間から積層体Ｓを取り出すための構成に付き説明する。本実施形態においては、キュア処理を行う前の積層体Ｓがキュアプレス装置２００の熱盤に対して搬送方向（図４中右から左方向）上流側（図中右側）に配置されたテーブル２６２の上に載せられるようになっている。より具体的には、テーブル２６２の上には搬送用プレートＰが置かれており、積層体Ｓは一次搬送装置４００（図１）によって、キャリアフィルム１６２の上からテーブル２６２上の搬送用プレートＰの上に移送されるようになっている。

テーブル２６２にはプッシャ２５２が設けられている。プッシャ２５２は、図示しないモータによってテーブル２６２の天板の幅方向中央部に埋め込まれたレール２５２に沿って搬送方向（図５Ａ中右から左方向）に駆動されるようになっている。このプッシャ２５２によって搬送用プレートＰ及びその上の積層体Ｓは熱盤間に向かって押し出される。すなわち、プッシャ２５２は、テーブル２６２の上流側手前に定められた待機位置（図中実線部）と熱盤の上流側手前に定められた作用位置（図中破線部）との間に移動可能であり、待機位置から作用位置に向って移動することによって、搬送用プレートＰをテーブル２６２から押し出すことができる。

本実施形態においては、搬送用プレートＰ及びその上の積層体Ｓを、中間熱盤２２１〜２２４と下部熱盤２１２のうちの所望のものの上に移動させることが出来るようになっている。このため、中間熱盤２２１〜２２４と下部熱盤２１２のうちの任意のものの上面をテーブル２６２の上面と同じ高さに移動させることが出来るようになっている。また、上部熱盤２１１及び中間熱盤２２１〜２２４のいずれかの下面の高さを、テーブル上面の高さより充分に高い所定高さに保持することが出来るようになっている。このため、所望の熱盤（下部熱盤２１２又は中間熱盤２２１〜２２４）の上面の高さをテーブル２６２の上面の高さとし、更にこの熱盤の上に位置する熱盤（上部熱盤２１１又は中間熱盤２２１〜２２４）の下面を所定高さに保持することによって、搬送用プレートＰ及び積層体Ｓを挿入できるだけのスペースが、所望の熱盤の上面とその上の熱盤の下面との間にできる。この状態で、プッシャ２５２を駆動させることによって搬送用プレートＰ及びその上の積層体Ｓを、所望の熱盤の上に移動させることができる。また、この時、所望の熱盤間に他の（キュア処理が完了した）積層体Ｓ及び搬送用プレートＰ’がある場合は、この搬送用プレートＰ’は、プッシャ２５２によって上流側から移動する搬送用プレートＰによって、下流側（図中左側）に押し出される。すなわち、プッシャ２５２を駆動することによって、キュア処理前の積層体Ｓを熱盤間に搬入すると共に、キュア処理後の積層体Ｓを熱盤間から取り出すことができる。なお、搬送用プレートＰの搬送方向下流側端部は、上方に折り曲げられており、プッシャ２５２で熱盤間に押し込まれる搬送用プレートＰと熱盤間の搬送用プレートＰ’とが接触しやすい（すなわち、確実に搬送用プレートＰ’が押し出される）ようになっている。

熱盤間から押し出された搬送用プレートＰ’と その上の積層体Ｓは、キュアプレス装置２００の搬送方向下流側に設けられたベルトコンベア機構の二次搬送装置５００によって、コールドプレス装置３００の上部冷却盤３２２と下部冷却盤３２４との間に搬送される。次いで、上部冷却盤３２２が降下して、両冷却盤の間で積層体Ｓが搬送用プレートごとプレスされる。なお、冷却盤３２２、３２４の中には、冷媒（冷却水など）が循環する管路が設けられており、冷却盤３２２、３２４の温度は略常温に保たれている。このため、冷却盤３２２、３２４間で積層体Ｓをプレスすると、積層体Ｓが冷却される。コールドプレス装置３００によるプレスが完了した後、搬送用プレートＰは二次搬送装置５００によって下流側に搬送される。次いで、搬送用プレートＰから積層体Ｓが取り外され、積層体Ｓは次の工程（表面の銅箔に配線を形成する工程など）に移動する。また、積層体Ｓが取り外された後の搬送用プレートＰは、例えば、図５Ｂに示すような搬送方向下流側から上流側に搬送用プレートＰを搬送するベルトコンベア等の還流手段２８０によって、テーブル２６２（図４、図５Ａ）の上に戻される。

上部熱盤２１１及び中間熱盤２２１〜２２４を所定高さに保持するための熱盤保持機構につき、以下説明する。図６は、キュアプレス装置２００の正面図（図４中、右側から見たもの）である。なお、図６においては、熱盤保持機構を明確にするため、テーブル２６２及びプッシャ２５２は図示していない。

図６に示されるように、熱盤の幅方向（図中水平方向）両側には、シリンダ２７２と、このシリンダ２７２から幅方向内側に突出するロッド２７４とを備えた熱盤保持部材２７０が設けられている。図４〜６に示されるように、上部熱盤２１１及び中間熱盤２２１〜２２４夫々の幅方向両側面には搬送方向（図中紙面垂直方向）に並ぶ２対の穴Ｈが形成されている（すなわち、一つの熱盤に穴Ｈが４つ形成されている）ので、熱盤保持部材２７０は４つ設けられている。

熱盤保持部材２７０のシリンダ２７２は、固定支柱２７６によって、フレーム２０２に固定されている。また、ロッド２７４は、シリンダ２７２から幅方向内側に突出するよう構成されている。ロッド２７４は、熱盤の穴Ｈに差し込まれる程度にシリンダ２７２から突出する固定位置（図６の状態）と、熱盤の穴Ｈに差し込まれないよう幅方向外側に退避する退避位置との間で進退可能となっている。ロッド２７４は熱盤保持部材２７０の図示しない駆動手段によって、固定位置と退避位置との間を移動するよう駆動される。なお、駆動手段は、油圧、空圧、或いはソレノイドを用いてロッド２７４を駆動するようになっている。

前述のように、熱盤保持部材のシリンダ２７２は移動しないよう固定されているので、テーブル定盤２３２を駆動してロッド２７４と熱盤の高さを揃え、次いでロッド２７４を退避位置から固定位置に駆動すると、ロッド２７４が熱盤の穴Ｈに差し込まれる。この結果、ロッド２７４が差し込まれた熱盤、及びこの熱盤の上にある他の熱盤や積層体Ｓは、熱盤保持部材２７０に支持される。この状態からテーブル定盤２３２を降下させると、ロッド２７４が差し込まれている熱盤から、その下の熱盤が離れ、両熱盤の間にスペースができる。

次いで、一次搬送装置４００につき説明する。図７は、一次搬送装置４００、及びその搬送方向の前後にあるキャリアフィルム１６２とテーブル２６２の側面図である。一次搬送装置４００は、搬送方向に渡されたレール４１０と、このレール４１０から吊り下げられ、キャリアフィルム１６２の上とテーブル２６２の上との間で移動可能な可動フレーム４２０と、可動フレーム４２０から吊り下げられている複数の真空パッド４３０を有する。

真空パッド４３０は、図示しない真空ポンプと接続されており、この真空ポンプを駆動させることにより、真空パッド４３０の吸引口の周囲にある物を吸引することができる。従って、可動フレーム４２０をキャリアフィルム１６２上の積層体Ｓの上に移動させ、次いで真空ポンプを駆動させると、積層体Ｓは真空パッド４３０に吸引されて持ち上げられる。次いで、この状態で可動フレーム４２０を下流側のテーブル１６２の上まで移動してこの位置で真空ポンプを停止すると、真空パッド４３０から積層体Ｓが離れて、テーブル１６２上の搬送用プレートＰの上に移る。かくして、積層体Ｓは、成形ホットプレス装置１００上からキュアプレス装置２００上に移動する。

以上説明したプレス装置システム１による積層体Ｓの成形手順につき、以下説明する。図８は、キュアプレス装置２００（図４）にて行われるキュア処理の手順を示すフローチャートである。なお、このフローによる処理は、プレス装置システム１の制御装置６００（図１）が、モータ２４２（図４）及び熱盤保持手段２７０（図５Ａ、６）を制御することによって実行される。また、本実施形態においては、成形ホットプレス装置１００（図２）による積層体Ｓのプレス時間は５分であり、５分おきに一次搬送装置４００によって成形済の積層体Ｓがキュアプレス装置２００のテーブル２６２（図４）に送られるようになっている。

本フローが開始すると最初にステップＳ１が実行される。ステップＳ１では、キュアプレス装置２００のテーブル定盤２３２が降下して第４中間熱盤２２４と熱盤保持部材２７０（図６）の高さを揃える。次いで、熱盤保持部材２７０のロッド２７４を固定位置に移動させて第４中間熱盤２２４の穴Ｈにはめ込む。次いで、テーブル定盤２３２を更に降下させて下部熱盤２１１の上面とテーブル２６２の上面の高さを揃える。この時、下部熱盤２１１の上面と第４中間熱盤２２４の下面との間にスペースができる。そして、プッシャ２５２を駆動してテーブル２６２上の積層体Ｓをこのスペースに移動させる。次いで、ステップＳ２に進む。

ステップＳ２では、テーブル定盤２３２を上昇させて、下部熱盤２１１上の積層体Ｓを第４中間熱盤２２４に当接させ、次いで、熱盤保持部材２７０のロッド２７４を退避位置に移動させて第４中間熱盤２２４の穴Ｈから取り出す。次いで、テーブル定盤２３２を更に上昇させ、クラウン定盤２３１とテーブル定盤２３２によって、熱盤を介して積層体Ｓを約５分プレスする。次いで、ステップＳ３に進む。

ステップＳ３では、キュアプレス装置２００のテーブル定盤２３２が降下して第３中間熱盤２２３と熱盤保持部材２７０（図６）の高さを揃える。次いで、熱盤保持部材２７０のロッド２７４を固定位置に移動させて第３中間熱盤２２３の穴Ｈにはめ込む。次いで、テーブル定盤２３２を更に降下させて第４中間熱盤２２４の上面とテーブル２６２の上面の高さを揃える。この時、第４中間熱盤２２４の上面と第３中間熱盤２２３の下面との間にスペースができる。そして、プッシャ２５２を駆動してテーブル２６２上の積層体Ｓをこのスペースに移動させる。次いで、ステップＳ４に進む。

ステップＳ４では、テーブル定盤２３２を上昇させて、第４中間熱盤２２４上の積層体Ｓを第３中間熱盤２２３に当接させ、次いで、熱盤保持部材２７０のロッド２７４を退避位置に移動させて第３中間熱盤２２３の穴Ｈから取り出す。次いで、テーブル定盤２３２を更に上昇させ、クラウン定盤２３１とテーブル定盤２３２によって、熱盤を介して積層体Ｓを約５分プレスする。次いで、ステップＳ５に進む。

ステップＳ５では、キュアプレス装置２００のテーブル定盤２３２が降下して第２中間熱盤２２２と熱盤保持部材２７０（図６）の高さを揃える。次いで、熱盤保持部材２７０のロッド２７４を固定位置に移動させて第２中間熱盤２２２の穴Ｈにはめ込む。次いで、テーブル定盤２３２を更に降下させて第３中間熱盤２２３の上面とテーブル２６２の上面の高さを揃える。この時、第３中間熱盤２２３の上面と第２中間熱盤２２２の下面との間にスペースができる。そして、プッシャ２５２を駆動してテーブル２６２上の積層体Ｓをこのスペースに移動させる。次いで、ステップＳ６に進む。

ステップＳ６では、テーブル定盤２３２を上昇させて、第３中間熱盤２２４上の積層体Ｓを第２中間熱盤２２２に当接させ、次いで、熱盤保持部材２７０のロッド２７４を退避位置に移動させて第２中間熱盤２２２の穴Ｈから取り出す。次いで、テーブル定盤２３２を更に上昇させ、クラウン定盤２３１とテーブル定盤２３２によって、熱盤を介して積層体Ｓを約５分プレスする。次いで、ステップＳ７に進む。

ステップＳ７では、キュアプレス装置２００のテーブル定盤２３２が降下して第１中間熱盤２２１と熱盤保持部材２７０（図６）の高さを揃える。次いで、熱盤保持部材２７０のロッド２７４を固定位置に移動させて第１中間熱盤２２１の穴Ｈにはめ込む。次いで、テーブル定盤２３２を更に降下させて第２中間熱盤２２２の上面とテーブル２６２の上面の高さを揃える。この時、第２中間熱盤２２２の上面と第１中間熱盤２２１の下面との間にスペースができる。そして、プッシャ２５２を駆動してテーブル２６２上の積層体Ｓをこのスペースに移動させる。次いで、ステップＳ８に進む。

ステップＳ８では、テーブル定盤２３２を上昇させて、第２中間熱盤２２２上の積層体Ｓを第１中間熱盤２２１に当接させ、次いで、熱盤保持部材２７０のロッド２７４を退避位置に移動させて第１中間熱盤２２１の穴Ｈから取り出す。次いで、テーブル定盤２３２を更に上昇させ、クラウン定盤２３１とテーブル定盤２３２によって、熱盤を介して積層体Ｓを約５分プレスする。次いで、ステップＳ９に進む。

ステップＳ９では、キュアプレス装置２００のテーブル定盤２３２が降下して上部熱盤２１１と熱盤保持部材２７０（図６）の高さを揃える。次いで、熱盤保持部材２７０のロッド２７４を固定位置に移動させて上部熱盤２１１の穴Ｈにはめ込む。次いで、テーブル定盤２３２を更に降下させて第１中間熱盤２２１の上面とテーブル２６２の上面の高さを揃える。この時、第１中間熱盤２２１の上面と上部熱盤２２１１の下面との間にスペースができる。そして、プッシャ２５２を駆動してテーブル２６２上の積層体Ｓをこのスペースに移動させる。次いで、ステップＳ１０に進む。

ステップＳ１０では、テーブル定盤２３２を上昇させて、第１中間熱盤２２１上の積層体Ｓを上部熱盤２１１に当接させ、次いで、熱盤保持部材２７０のロッド２７４を退避位置に移動させて上部熱盤２１１の穴Ｈから取り出す。次いで、テーブル定盤２３２を更に上昇させ、クラウン定盤２３１とテーブル定盤２３２によって、熱盤を介して積層体Ｓを約５分プレスする。次いで、ステップＳ１１に進む。

ステップＳ１１では、上述のステップＳ１〜Ｓ１０の動作を繰り返して実行するかどうかを判断する。繰り返して動作を実行するかどうかの判断は、図示しない入力手段による作業者の指示に基づいて行ってもよいし、カウンタで記録した繰り返し回数が予め設定された回数に到達したかどうかを判断することによって行ってもよい。動作を繰り返す場合（ステップＳ１１：ＹＥＳ）はステップＳ１へ戻り、動作を繰り返さない場合（ステップＳ１１：ＮＯ）はフローを終了する。

動作を繰り返す場合、再び実行されるステップＳ１にて、下部熱盤２１２と第４中間熱盤２２４の間のスペースに新しい積層体Ｓを導入すると、それまでこのスペースにあった積層体Ｓはスペースから押し出されて、二次搬送装置５００によってコールドプレス装置３００に移送される。

以上のルーチンによって、一枚の積層体Ｓは５回、すなわち約２５分キュアプレス装置２００によってプレスされる。一方、キュアプレス装置２００は、新しい積層体Ｓを導入するとともにキュア処理が終了した積層体Ｓを取り出すという処理を、約５分おきに実施することができる。そのため、本実施形態においては、一枚の積層体Ｓに対して充分な時間キュア処理を行うことができ、且つ、約５分おきに積層体をコールドプレス装置３００に送り出すことができる。

なお、本実施形態においてはキュアプレス装置２００の中間熱盤の数を４とし、５枚の積層体に対して同時にキュア処理を行うことが出来るようになっている。しかしながら、本発明はこの構成に限定されるものではない。例えば、キュア処理に掛かる時間がより長くなるような場合は、より多くの中間熱盤を備えたキュアプレス装置を使用する。

また、本実施形態においては、キュアプレス装置２００の熱盤２１１、２１２、２２１〜２２４、及び成形プレス装置１００の熱盤１１０、１２９は、各熱盤内に設けられた電熱ヒータによって加熱されるようになっているが、熱盤内に加熱された熱媒（オイル等）を循環させる構成としてもよい。なお、本実施形態の電熱ヒータ方式は、オイルミストを発生する恐れが無いため、クリーンルーム内で使用することができる。

Claims (19)

1. 上下方向に配置される第１のプレス盤及び第２のプレス盤と、
   前記第１のプレス盤と第２のプレス盤との間に配置される少なくとも一つの中間プレス盤と、
   前記第２のプレス盤を上下動させるプレス盤駆動手段と、
   前記少なくとも一つの中間プレス盤、第１のプレス盤、および第２のプレス盤のうち上下方向に隣接するプレス盤の対を選択し、該選択されたプレス盤の対の間隔を広げて該プレス盤の対の間に被加工物を搬入／搬出可能とする搬送モードと、前記第２のプレス盤を駆動してプレス盤間に配置された被加工物に圧縮荷重を加える圧縮モードとを切り換える制御手段と、を有し、
   前記制御手段は、前記圧縮モードを前記搬送モードに切り換えるたびに、前記搬送モードにおいて選択するプレス盤の対を所定の順に切り換える、
   ことを特徴とするプレス装置。
2. 前記少なくとも一つの中間プレス盤及び第１のプレス盤のうちの一つを所定の高さに固定するプレス盤固定手段を更に有し、
   前記搬送モードにおいて、前記制御手段は、前記プレス盤駆動手段を制御して前記選択されたプレス盤の対の上側のプレス盤を前記所定の高さに移動し、次いで前記プレス盤固定手段を制御して前記上側のプレス盤を固定し、次いで前記プレス盤駆動手段を制御して前記第２のプレス盤を降下させることによって、該選択されたプレス盤の対の間隔を広げる、
   ことを特徴とする請求項１に記載のプレス装置。
3. 前記少なくとも一つの中間プレス盤及び第１のプレス盤の側面には略水平方向に伸びる穴が形成されており、
   前記プレス盤固定手段は、所定高さに保持されている固定部と、前記固定部に対して進退可能に構成されたロッドと、前記ロッドを駆動する駆動部と、を有し、
   前記ロッドを前記固定部から突出させて前記プレス盤の穴に挿入することによって前記プレス盤は固定される、
   ことを特徴とする請求項２に記載のプレス装置。
4. 前記被加工物をプレス盤間に配置すると共にプレス盤間に配置された前記被加工物を取り出す被加工物搬送手段を更に有する、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のプレス装置。
5. 前記被加工物は、搬送用プレートに載置された状態で搬送され、該搬送用プレートごとプレス盤間でプレスされるようになっている、
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のプレス装置。
6. 前記被加工物搬送手段は、
   該プレス装置によってプレスされる前の前記被加工物が前記搬送用プレートの上に載置された状態で配置されるテーブルと、
   前記搬送モードにおいて選択されたプレス盤の対の間に、前記テーブルの上に配置された前記搬送用プレート及び前記被加工物を押し出すプッシャと、
   を有することを特徴とする請求項５に記載のプレス装置。
7. 前記搬送モードにおいて選択されたプレス盤の対の間に前記搬送用プレートが配置された状態で、前記プッシャによって他の搬送用プレートを前記選択されたプレス盤の対の間に押し出すことによって、前記搬送用プレートは前記他の搬送用プレートに押し出されて前記選択されたプレス盤の対の間から搬出されるようになっている、
   ことを特徴とする請求項６に記載のプレス装置。
8. 前記被加工物がプレスされた後にプレス盤間から取り出され、次いで該被加工物が取り除かれた前記搬送プレートを、前記テーブルの上に戻すプレート還流手段を更に有する、
   ことを特徴とする請求項６又は７に記載のプレス装置。
9. 前記第１のプレス盤、第２のプレス盤及び中間プレス盤は加熱可能に構成され、
   前記プレス装置は、前記プレス装置の前段に配置された熱圧締用プレス装置によって熱圧締された被加工物を所定時間加熱して被加工物の熱反応を完了させるキュア処理を行う、
   ことを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のプレス装置。
10. 被加工物を加熱・加圧して成形する熱圧締用プレス装置と、
    前記熱圧締用プレス装置によって成形された被加工物を所定時間一定の温度で加熱して被加工物の熱反応を完了させるキュア処理を行うキュア用プレス装置と、を有し、
    前記キュア用プレス装置は、
    上下方向に配置されると共に、加熱可能に構成される第１のプレス盤及び第２のプレス盤と、
    前記第１のプレス盤と第２のプレス盤との間に配置され、加熱可能に構成される少なくとも一つの中間プレス盤と、
    前記第２のプレス盤を上下動させるプレス盤駆動手段と、
    前記少なくとも一つの中間プレス盤、第１のプレス盤、および第２のプレス盤のうち上下方向に隣接するプレス盤の対を選択し、該選択されたプレス盤の対の間隔を広げてこのプレス盤の対の間に対して被加工物を搬入／搬出可能とする搬送モードと、前記第２のプレス盤を駆動してプレス盤間に配置された被加工物に圧縮荷重を加える圧縮モードとを切り換える制御手段と、を有し、
    前記制御手段は、該圧縮モードを該搬送モードに切り換えるたびに、該搬送モードにおいて選択するプレス盤の対を所定の順に切り換える、
    ことを特徴とするプレス装置システム。
11. 前記キュア用プレス装置は、前記少なくとも一つの中間プレス盤及び第１のプレス盤のうちの一つを所定の高さに固定するプレス盤固定手段を更に有し、
    前記搬送モードにおいて、前記制御手段は、前記プレス盤駆動手段を制御して前記選択されたプレス盤の対の上側のプレス盤を前記所定の高さに移動し、次いで前記プレス盤固定手段を制御して前記上側のプレス盤を固定し、次いで前記プレス盤駆動手段を制御して前記第２のプレス盤を降下させることによって、該選択されたプレス盤の対の間隔を広げる、
    ことを特徴とする請求項１０に記載のプレス装置システム。
12. 前記少なくとも一つの中間プレス盤及び第１のプレス盤の側面には略水平方向に伸びる穴が形成されており、
    前記プレス盤固定手段は、所定高さに保持されている固定部と、前記固定部に対して進退可能に構成されたロッドと、前記ロッドを駆動する駆動部と、を有し、
    前記ロッドを前記固定部から突出させて前記プレス盤の穴に挿入することによって前記プレス盤は固定される、
    ことを特徴とする請求項１１に記載のプレス装置システム。
13. 前記キュア用プレス装置は、前記被加工物をプレス盤間に配置すると共にプレス盤間に配置された前記被加工物を取り出す被加工物搬送手段を更に有する、
    ことを特徴とする請求項１０から１２のいずれかに記載のプレス装置システム。
14. 前記被加工物は、搬送用プレートに載置された状態で搬送され、該搬送用プレートごとプレス盤間でプレスされるようになっている、
    ことを特徴とする請求項１０から１３のいずれかに記載のプレス装置システム。
15. 前記被加工物搬送手段は、
    該プレス装置によってプレスされる前の前記被加工物が前記搬送用プレートの上に載置された状態で配置されるテーブルと、
    前記搬送モードにおいて選択されたプレス盤の対の間に、前記テーブルの上に配置された前記搬送用プレート及び前記被加工物を押し出すプッシャと、
    を有することを特徴とする請求項１４に記載のプレス装置システム。
16. 前記搬送モードにおいて選択されたプレス盤の対の間に前記搬送用プレートが配置された状態で、前記プッシャによって他の搬送用プレートを前記選択されたプレス盤の対の間に押し出すことによって、前記搬送用プレートは前記他の搬送用プレートに押し出されて前記選択されたプレス盤の対の間から搬出されるようになっている、
    ことを特徴とする請求項１５に記載のプレス装置システム。
17. 前記キュア用プレス装置は、前記被加工物がプレスされた後にプレス盤間から取り出され、次いで該被加工物が取り除かれた前記搬送プレートを、前記テーブルの上に戻すプレート還流手段を更に有する、
    ことを特徴とする請求項１５又は１６に記載のプレス装置。
18. 前記キュア用プレス装置によってキュア処理された被加工物を冷却するためのコールドプレス装置を更に有する、
    ことを特徴とする請求項１０から１７のいずれかに記載のプレス装置システム。
19. 前記熱圧締用プレス装置から前記キュア用プレス装置に被加工物を搬送する第１の搬送装置と、
    前記キュア用プレス装置から前記コールドプレス装置に被加工物を搬送する第２の搬送装置と、
    を更に有することを特徴とする請求項１８に記載のプレス装置システム。

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