JPWO2008108331A1 - 低温プラズマ発生体 - Google Patents
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Abstract
Description
11 電極要素
12 ガラスパイプ
13 パイプ状放電極
14 電極端子
15 棒状放電極
2 低温プラズマ発生体
3 ノイズ低減用コイル
Claims (9)
- 対となる電極要素を対向させてなる低温プラズマ発生体において、電極要素は、絶縁体の内部に設けた空間の少なくとも内面に密着させて導電ペーストを前記空間に封入し、前記導電ペーストの連続する部分を放電極としたことを特徴とする低温プラズマ発生体。
- 絶縁体は、両端が封止されるパイプ状絶縁体であり、放電極は、パイプ状絶縁体の内部に導電ペーストを塗布又は充填して形成され、対となる電極要素は、それぞれの放電極を並行にし、互いのパイプ状絶縁体を線接触又は近接して接合される請求項1記載の低温プラズマ発生体。
- パイプ状絶縁体は、セラミックスパイプである請求項2記載の低温プラズマ発生体。
- パイプ状絶縁体は、ガラスパイプである請求項2記載の低温プラズマ発生体。
- パイプ状絶縁体は、樹脂パイプである請求項2記載の低温プラズマ発生体。
- 放電極は、パイプ状絶縁体の内面に導電ペーストを塗布して形成される導電薄膜からなるパイプ状放電極である請求項2〜5いずれか記載の低温プラズマ発生体。
- パイプ状放電極は、パイプ状絶縁体の内面に形成された導電薄膜に密着するペースト状の絶縁物質を充填してなる請求項6記載の低温プラズマ発生体。
- 放電極は、パイプ状絶縁体に導電ペーストを充填して形成される導電中実体からなる棒状放電極である請求項2〜5いずれか記載の低温プラズマ発生体。
- 電極端子は、パイプ状絶縁体の内面から端面及び表面にわたって連続的に塗布される導電ペーストにより形成される導電薄膜からなる請求項2〜8いずれか記載の低温プラズマ発生体。
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