JP4242190B2

JP4242190B2 - 酸素マイナスイオン発生装置

Info

Publication number: JP4242190B2
Application number: JP2003099539A
Authority: JP
Inventors: 阿川　　義昭; 昌俊大庭; 原　　泰博; 繁天野; 寿浩寺澤; 純平湯山
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2003-04-02
Filing date: 2003-04-02
Publication date: 2009-03-18
Anticipated expiration: 2023-04-02
Also published as: JP2004311071A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、酸素マイナスイオンを発生させる酸素マイナスイオン発生装置に関する。本発明に係る酸素マイナスイオン発生装置は、例えば磁気デバイスの酸化プロセス、あるいは半導体製造の酸化プロセスやレジスト剥離、あるいはディスプレイデバイス用の透明導電膜に対する酸化プロセス、あるいは化学分野での殺菌等に適用することができる。
【０００２】
【従来の技術】
近年、真空中に設置した導電性電極が付着された固体電解質からなる酸素マイナスイオン放出部材を加熱した状態で、酸素ガスを導入して前記電極に接地電位に対してマイナス（負電位）の電圧を印加することによって、酸素マイナスイオン放出部材から酸素のマイナスイオン（Ｏ^-）を発生させる構成の酸素マイナスイオン発生装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
また、上記特許文献１における酸素マイナスイオン放出部材を加熱する加熱手段の他の例として、図２に示すような酸素マイナスイオン発生装置もある。
【０００４】
図２に示す酸素マイナスイオン発生装置１００は、先端側を封止する円板状の酸素マイナスイオン放出部１ａを有する円筒状の固体電解質からなる酸素マイナスイオン発生部材１を備えており、その基端側のツバ部１ｂが、イオン発生容器２の先端側開口部にＯリング３を介して密着保持されている。酸素マイナスイオン発生部材１として、この酸素マイナスイオン発生装置１００では固体電解質としてのアルミナ・カルシウム（（ＣａＯ）₁₂（Ａｌ₂Ｏ₃）₇）を用いている。固体電解質からなる酸素マイナスイオン放出部１ａを有する酸素マイナスイオン発生部材１は多数の微細孔を有しており、酸素マイナスイオンの充填と透過を行うことができる。
【０００５】
酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側（イオン発生容器２内側）には、導電性の金属からなる電極４が、液状ペーストを塗布焼成するかあるいは真空中で蒸着することによって付着されている。電極４は、０．５μｍ〜１μｍの厚みからなる白金、金、ランタン、マーガネットなどの金属で形成されており、多数の微細孔を有している。電極４には、導線５を介して直流電源６が接続されており、直流電源６から負極性（マイナス）の直流電圧が印加される。また、酸素マイナスイオン放出部１ａの電極４と反対側（表面側）の前方には、数ｍｍの隙間を設けて多数の微細孔を有する円板状の引出し電極７が支持部材８で支持されて設置されている。
【０００６】
引出し電極７は接地（グランド電位）されているので、酸素マイナスイオン放出部１ａの電極４の電位（マイナス電位）に対してプラス（正）電位となる。よって、酸素マイナスイオン放出部１ａで発生する負電荷の酸素マイナスイオンは、引出し電極７側に向けて放出される。なお、酸素マイナスイオン発生部材１の外側と引出し電極７を設置した空間は、高真空に保持された真空チャンバー２１内の一部を構成している。
【０００７】
酸素マイナスイオン発生部材１の内側には、その内側と数ｍｍの隙間を設けて円柱状の石英柱９が設置されており、石英柱９の先端側（酸素マイナスイオン放出部１ａ側）は酸素マイナスイオン放出部１ａと数ｍｍの隙間を有している。石英柱９の後端側は、真空容器２の後端側開口部にＯリング１０を介して密着保持されており、石英柱９の後端部はイオン発生容器２の外側に露出している。
【０００８】
石英柱９の後端部近傍には、ヒータ電源１１が接続されたハロゲンランプ１２が設置されており、ハロゲンランプ１２の周囲にはリフレクター１３が設置されている。リフレクター１３は、ヒータ電源１１からの通電によりハロゲンランプ１２が発熱して発せられる赤外光Ａが石英柱９の内周面で全反射を繰り返しながら伝達されて、酸素マイナスイオン放出部１ａの背面に形成した電極７表面に効率よく入射するような曲面形状に形成されている。
【０００９】
イオン発生容器２に設けた酸素ガス導入口２ａには、バルブ１４ａ、ガス流量調節器１５、バルブ１４ｂを有するガス導入配管１６介して酸素ボンベ１７が接続されている。また、イオン発生容器２に設けた排気口２ｂには、バルブ１８を有する排気配管１９を介して排気ポンプ２０が接続されている。
【００１０】
従来例における酸素マイナスイオン発生装置１００は上記のように構成されており、酸素マイナスイオンを発生させる際には、ヒータ電源１１からの通電によりハロゲンランプ１２を発熱させる。そして、発熱によってハロゲンランプ１２から輻射された赤外光Ａはリフレクター１３の内面で反射して、石英柱９の内周面で全反射を繰り返しながら伝達されて酸素マイナスイオン放出部１ａの背面に形成した電極４に効率よく入射し、電極４と共に酸素マイナスイオン放出部１ａを加熱する。この加熱によって酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側は８００℃程度となる。
【００１１】
この際、排気ポンプ２０を駆動してイオン発生容器２内を真空排気した状態から、酸素ボンベ１７からガス流量調節器１５で流量調整しながら酸素ガス導入口１ａを通してイオン発生容器２内に、酸素ガスを約１００〜１０００ｓｃｃｍ程度の流量で導入し、イオン発生容器２内を１．３×１０²Ｐａ程度に設定する。
【００１２】
上記の条件によって、イオン発生容器２内に導入された酸素ガスが電極４を通して、固体電解質としてのアルミナ・カルシウムからなる酸素マイナスイオン放出部１ａ内に充填される。酸素マイナスイオン放出部１ａ内では、酸素の大部分はＯ^2-として存在しているが、酸素マイナスイオン放出部１ａが加熱されることによって、酸素マイナスイオン放出部１ａ内に充填された酸素（Ｏ₂）に電子が１個付与されてＯ^2-からＯ^-に変換される。
【００１３】
この状態で、直流電源６から負極性（マイナス）の直流電圧を導線５を介して電極４に印加することによって酸素マイナスイオン放出部１ａ中に電界が形成され、酸素マイナスイオン（Ｏ^-）が背面側から表面（引出し電極７側）にイオン伝導で移動する。そして、酸素マイナスイオン放出部１ａの表面に移動した酸素マイナスイオン（Ｏ^-）は前方（引出し電極７側）に向けて真空中に放出され、引出し電極７に設けた多数の微細孔を通過して真空チャンバー２１内に放出される。
【００１４】
このようにして取り出された酸素マイナスイオン（Ｏ^-）は、磁気デバイスの酸化プロセス、あるいは半導体製造の酸化プロセスやレジスト剥離、あるいはディスプレイデバイス用の透明導電膜に対する酸化プロセス、あるいは化学分野での殺菌等に用いることができる。
【００１５】
【特許文献１】
特願２００２−１７１６３１号（図１）
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図２に示した従来の酸素マイナスイオン発生装置１００は、ハロゲンランプ１２と石英柱９によって酸素マイナスイオン発生部材１の内周側から酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側（引出し電極７と反対側）を加熱する構成であるが、このような構成では酸素マイナスイオン放出部１ａの厚み（数ｍｍ）を通してその表面側に熱が伝わることによって熱損失が生じ、酸素マイナスイオン放出部１ａの表面側（引出し電極７側）の温度はその背面側よりも大幅に低くなる（例えば約２００℃低下）。
【００１７】
また、酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側（引出し電極７と反対側）に伝わった熱は、中心部側からその周辺部に伝わって加熱されることによって熱損失が生じ、酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側の中心部とその周辺部との間での温度差が大きくなり、曲げ応力が発生する。即ち、酸素マイナスイオン放出部１ａの中心部側では引張り応力が発生し、酸素マイナスイオン放出部１ａの周辺部では形状を保持するために圧縮応力が発生する。例えば、ハロゲンランプに３００Ｗ投入することで背面側の中心部付近の温度は約８００℃に達するが、その時の背面側の周辺部の温度は約６６０℃であり、中心部と周辺部で約１４０℃もの温度差がついている。
【００１８】
図３は、図２に示した酸素マイナスイオン発生装置１００において、酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側（引出し電極７と反対側）を加熱した際の酸素マイナスイオン放出部１ａに作用する応力（引張り応力、圧縮応力）と酸素マイナスイオン放出部１ａの中心から径方向の距離との関係を示す実験結果である。なお、酸素マイナスイオン放出部１ａの厚みは３ｍｍ、半径は１１．５ｍｍ、酸素マイナスイオン発生部材１側面の厚みは２ｍｍである。図３の横軸は、酸素マイナスイオン放出部１ａの中心から径方向の距離（ｍｍ）、縦軸は、酸素マイナスイオン放出部１ａに作用する応力（Ｐａ）であり、応力のプラス（＋）は圧縮応力、マイナス（−）は引張り応力を表している。
【００１９】
図３において、ａは図４に示す酸素マイナスイオン放出部１ａの表面における応力分布、ｂは図４に示す酸素マイナスイオン放出部１ａの表面と背面間の中間部における応力分布、ｃは図４に示す酸素マイナスイオン放出部１ａの背面における応力分布である。この実験結果からも明らかなように、酸素マイナスイオン放出部１ａの中心部付近では引張り応力が最も大きくなり、酸素マイナスイオン放出部１ａの周辺部では圧縮応力が発生している。
【００２０】
このように、酸素マイナスイオン放出部１ａの周辺部に圧縮応力が発生し、酸素マイナスイオン放出部１ａの中心部に引張り応力が発生すると、酸素マイナスイオン放出部１ａに曲げ応力が生じることによって酸素マイナスイオン放出部１ａにひび（クラック）が入ったり、酸素マイナスイオン放出部１ａが破断してしまう場合があった。
【００２１】
また、上記したように、酸素マイナスイオンが放出される酸素マイナスイオン放出部１ａの表面側（引出し電極７側）の温度の方が低くなると、酸素マイナスイオン放出部１ａから酸素マイナスイオンが放出され難くなったり、酸素マイナスイオン放出部１ａから酸素マイナスイオンが放出されなくなる場合があった。
【００２２】
つまり、酸素ガスの供給側である酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側の方の温度が高くなると、酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側（酸素ガス供給側）がその表面側（引出し電極７側）に比較して酸素マイナスイオン（Ｏ^-）が少なくなる。即ち、酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側（酸素ガス供給側）がその表面側（引出し電極７側）に対してプラス（正）電位となる。
【００２３】
図２に示した従来の酸素マイナスイオン発生装置１００を使用して酸素マイナスイオンが放出されなかったときにおいて、酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側（酸素ガス供給側）の電圧を測定したところ、＋０．２Ｖとなっていた。つまり、酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側（酸素ガス供給側）がその表面側（引出し電極７側）に対してプラス（正）電位となるために、酸素マイナスイオン放出部１ａの表面側（引出し電極７側）にイオン伝導できなくなり、酸素マイナスイオン（Ｏ^-）が放出されなくなる。
【００２４】
そこで本発明は、固体電解質からなる酸素マイナスイオン放出部材を加熱する際に、酸素マイナスイオン放出部材の中心部と周辺部との間での温度差が大きくなることを防止して、酸素マイナスイオン放出部材に曲げ応力が発生するのを抑制し、酸素マイナスイオン放出部材にひびや破断が発生するのを防止することができる酸素マイナスイオン発生装置を提供することを目的とする。
【００２５】
また、本発明は、固体電解質からなる酸素マイナスイオン放出部材を加熱する際に、酸素マイナスイオンが放出される酸素マイナスイオン放出部材の表面側（引出し電極側）の温度の方が低くなることを防止して、酸素マイナスイオンを良好に放出することができる酸素マイナスイオン発生装置を提供することを目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、固体電解質からなる酸素マイナスイオン放出部材と、前記酸素マイナスイオン放出部材の酸素マイナスイオン放出側の表面と反対側の背面に付着した多数の微細孔を有する導電性の第１電極と、前記酸素マイナスイオン放出部材の表面側の前方に設けた多数の微細孔を有する導電性の第２電極と、前記酸素マイナスイオン放出部材を加熱する加熱手段と、真空状態とした前記酸素マイナスイオン放出部材の背面側に酸素ガスを導入する酸素ガス導入手段と、を備え、前記第１電極にマイナス極性の電圧を印加すると共に、前記第２電極側を前記第１電極側よりもプラス電位側に高い電位に設定し、前記加熱手段で前記酸素マイナスイオン放出部材を所定温度に加熱すると共に、真空状態の前記酸素マイナスイオン放出部材の背面側に前記酸素ガス導入手段により酸素ガスを導入することによって、前記酸素マイナスイオン放出部材中で酸素マイナスイオンを発生させ、発生した酸素マイナスイオンを、前記酸素マイナスイオン放出部材の表面側から前記第２電極の微細孔を通過させて前記第２電極の前方に放出する酸素マイナスイオン発生装置において、前記加熱手段は、前記酸素マイナスイオン放出部材の背面側から加熱を行う第１加熱手段と、前記酸素マイナスイオン放出部材の表面側から加熱を行う第２加熱手段とを有していることを特徴としている。
【００２７】
また、前記酸素マイナスイオン放出部材は円板状に形成されており、円筒状に形成された固体電解質からなる酸素マイナスイオン発生部材の一方の先端を封止するようにして一体的に設けられていることを特徴としている。
【００２８】
また、前記第２加熱手段は、前記酸素マイナスイオン放出部の外周近傍に近接して設置した円環状の加熱ランプであることを特徴としている。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。
【００３０】
図１は、本発明の実施の形態に係る酸素マイナスイオン発生装置を示す概略断面図である。なお、図２に示した従来の酸素マイナスイオン発生装置と同一機能を有する部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００３１】
本発明の実施の形態に係る酸素マイナスイオン発生装置３０は、図１に示すように、円筒状の酸素マイナスイオン発生部材１の酸素マイナスイオン放出部１ａがある先端側の外周に、酸素マイナスイオン発生部材１の外周面と数ｍｍの隙間を設けてリング状のハロゲンランプ（以下、サークルランプという）２２が設置されている。サークルランプ２２の側面及び背面の周囲にはリフレクター２３が設置されており、サークルランプ２２とリフレクター２３は支持部材２４でイオン発生容器２に支持されている。
【００３２】
また、図２に示した従来例と同様に、円筒状の酸素マイナスイオン発生部材１の内側に隙間を設けて石英柱９が設置され、イオン発生容器２の外側に露出している石英柱９の後端部に、リフレクター１３を備えたハロゲンランプ１２が設置されている。他の構成は図２に示した従来の酸素マイナスイオン発生装置と同様である。
【００３３】
本実施の形態においても、円筒状の酸素マイナスイオン発生部材１及びその先端に一体に設けた円板状の酸素マイナスイオン放出部１ａは、固体電解質としてのアルミナ・カルシウム（（ＣａＯ）₁₂（Ａｌ₂Ｏ₃）₇）で形成されている。
【００３４】
なお、酸素マイナスイオン発生部材１の酸素マイナスイオン放出部１ａが位置する外周上、又は酸素マイナスイオン放出部１ａの少し前方の外周上にサークルランプ２２を設置する構成にすると、円板状の酸素マイナスイオン放出部１ａの表面側（引出し電極７側）の温度をより効果的に上げることができるが、サークルランプ２２が引出し電極７に近接することによって、引出し電極７が必要以上に加熱される。よって、本実施の形態では、図１のように、酸素マイナスイオン放出部１ａの少し後方側（引出し電極７と反対側）に位置する酸素マイナスイオン発生部材１の外周近傍に近接して設置した。
【００３５】
上記構成の本実施の形態に係る酸素マイナスイオン発生装置３０は、酸素マイナスイオン発生部材１の酸素マイナスイオン放出部１ａと基端側のツバ部１ｂ間の長さ：１００ｍｍ、酸素マイナスイオン発生部材１の厚み：２ｍｍ、酸素マイナスイオン放出部１ａの厚み：３ｍｍ、酸素マイナスイオン放出部１ａの直径：２３ｍｍ、ハロゲンランプ１２の出力：５０Ｗ、サークルランプ２２の直径：１０ｍｍ、サークルランプ２２の出力：１６０Ｗ〜３００Ｗ、サークルランプ２２の内周面と酸素マイナスイオン発生部材１表面間の隙間：３ｍｍ、電極４への印加電圧：−１００Ｖに設定されている。
【００３６】
本実施の形態における酸素マイナスイオン発生装置３０で酸素マイナスイオンを発生させる際には、ヒータ電源１１からの通電によりハロゲンランプ１２を発熱させると共に、ヒータ電源（不図示）からの通電によりサークルランプ２２を発熱させる。
【００３７】
ハロゲンランプ１２の発熱によってハロゲンランプ１２から輻射された赤外光Ａはリフレクター１３の内面で反射して、石英柱９の内周面で全反射を繰り返しながら伝達されて酸素マイナスイオン放出部１ａの背面に形成した電極４に効率よく入射し、電極４と共に酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側を酸素マイナスイオン発生温度になるように加熱する。ハロゲンランプ１２とサークルランプ２２の加熱によって、酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側の中心部付近は７９８℃程度となりその周辺部は８１８℃程度になった。
【００３８】
そして、サークルランプ２２の発熱によってサークルランプ２２から輻射された赤外光はリフレクター２３で反射され、酸素マイナスイオン発生部材１の酸素マイナスイオン放出部１ａを有する先端付近を加熱する。酸素マイナスイオン発生部材１の外側に設けたサークルランプ２２の発熱によって、酸素マイナスイオン放出部１ａの表面側が輻射によって酸素マイナスイオン発生温度になるように加熱される。外側のサークルランプ２２と内側のハロゲンランプ１２による加熱によって酸素マイナスイオン放出部１ａの表面側の中心部付近は８００℃程度となり、その周辺部は８２０℃程度となり酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側よりも少し（約２０℃）高くなる。
【００３９】
この際、排気ポンプ２０を駆動してイオン発生容器２内を１．３×１０^-3Ｐａ程度に真空排気した状態から、酸素ボンベ１６からガス流量調節器１５で流量調整しながら酸素ガス導入口１ａを通してイオン発生容器２内に、酸素ガスを約１００〜１０００ｓｃｃｍ程度の流量で導入し、イオン発生容器２内を１．３×１０²Ｐａ程度に設定する。
【００４０】
この状態で、直流電源６から負極性（マイナス）の直流電圧（−１００Ｖ）を導線５を介して電極４に印加することによって酸素マイナスイオン放出部１ａ中に電界が形成され、酸素マイナスイオン（Ｏ^-）が背面側から表面（引出し電極７側）にイオン伝導で移動する。そして、酸素マイナスイオン放出部１ａの表面に移動した酸素マイナスイオン（Ｏ^-）は前方（引出し電極７側）に向けて真空中に放出され、引出し電極７に設けた多数の微細孔を通過して真空チャンバー２１内に放出される。
【００４１】
このように本発明の実施の形態に係る酸素マイナスイオン発生装置３０では、ハロゲンランプ１２と石英柱９によって酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側（引出し電極７と反対側）を加熱し、サークルランプ２２によって酸素マイナスイオン放出部１ａの表面側（引出し電極７側）を加熱して、酸素マイナスイオン放出部１ａの表面側が少し高くなるように加熱することによって、酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側と表面側の各々の中心部と周辺部の温度差を小さくすることができる。これにより、酸素マイナスイオン放出部１ａに曲げ応力が発生することが抑制され、酸素マイナスイオン放出部１ａにひびや破断が発生することを防止することができた。
【００４２】
また、上記構成の本実施の形態に係る酸素マイナスイオン発生装置３０によって発生する酸素マイナスイオンの放出量を、酸素マイナスイオンの放出量に応じて増減する電流によって測定したところ１２μＡ程度の値が得られ、酸素マイナスイオン放出部１ａの表面から酸素マイナスイオンが安定して多数放出されているのが確認された。
【００４３】
このように本発明の実施の形態に係る酸素マイナスイオン発生装置３０では、酸素マイナスイオン発生部材１の酸素マイナスイオン放出部１ａを有する先端側の外周に、サークルランプ２２を設置して酸素マイナスイオン放出部１ａを表面側からも加熱することにより、酸素マイナスイオン放出部１ａの背面側（引出し電極７と反対側）よりも酸素マイナスイオンが放出される表面側（引出し電極７側）の方の温度を少し高くすることができるので、酸素マイナスイオンを安定して多数放出することができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、酸素マイナスイオン放出部材の酸素イオン放出側の表面と反対側の背面を第１加熱手段で加熱し、酸素マイナスイオン放出部材の酸素イオン放出側の表面を第２加熱手段で加熱することにより、酸素マイナスイオン放出部材の背面側と表面側の各々の中心部と周辺部の温度差が小さくなるように加熱することができるので、酸素マイナスイオン放出部材に曲げ応力が発生することが抑制され、酸素マイナスイオン放出部材にひびや破断が発生することを防止することができる。
【００４５】
また、酸素マイナスイオン放出部材の酸素イオン放出側の表面と反対側の背面を第１加熱手段で加熱し、酸素マイナスイオン放出部材の酸素イオン放出側の表面を第２加熱手段で加熱することにより、酸素マイナスイオン放出部材の表面側の方の温度が少し高くなるように加熱することができるので、酸素マイナスイオンを安定して多数放出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る酸素マイナスイオン発生装置を示す概略断面図。
【図２】従来例における酸素マイナスイオン発生装置を示す概略断面図。
【図３】従来例における酸素マイナスイオン発生装置で酸素マイナスイオン放出部の背面側を加熱した際における、その中心から径方向に作用する応力分布を示す図。
【図４】酸素マイナスイオン放出部の応力測定箇所を示す図。
【符号の説明】
１酸素マイナスイオン発生部材
１ａ酸素マイナスイオン放出部（酸素マイナスイオン放出部材）
２イオン発生容器
４電極（第１電極）
６直流電源
７引出し電極（第２電極）
１２ハロゲンランプ（第１加熱手段）
２２サークルランプ（第２加熱手段）
３０酸素マイナスイオン発生装置

Claims

固体電解質からなる酸素マイナスイオン放出部材と、前記酸素マイナスイオン放出部材の酸素マイナスイオン放出側の表面と反対側の背面に付着した多数の微細孔を有する導電性の第１電極と、前記酸素マイナスイオン放出部材の表面側の前方に設けた多数の微細孔を有する導電性の第２電極と、前記酸素マイナスイオン放出部材を加熱する加熱手段と、真空状態とした前記酸素マイナスイオン放出部材の背面側に酸素ガスを導入する酸素ガス導入手段と、を備え、前記第１電極にマイナス極性の電圧を印加すると共に、前記第２電極側を前記第１電極側よりもプラス電位側に高い電位に設定し、前記加熱手段で前記酸素マイナスイオン放出部材を所定温度に加熱すると共に、真空状態の前記酸素マイナスイオン放出部材の背面側に前記酸素ガス導入手段により酸素ガスを導入することによって、前記酸素マイナスイオン放出部材中で酸素マイナスイオンを発生させ、発生した酸素マイナスイオンを、前記酸素マイナスイオン放出部材の表面側から前記第２電極の微細孔を通過させて前記第２電極の前方に放出する酸素マイナスイオン発生装置において、
前記加熱手段は、前記酸素マイナスイオン放出部材の背面側から加熱を行う第１加熱手段と、前記酸素マイナスイオン放出部材の表面側から加熱を行う第２加熱手段とを有している、
ことを特徴とする酸素マイナスイオン発生装置。
前記酸素マイナスイオン放出部材は円板状に形成されており、円筒状に形成された固体電解質からなる酸素マイナスイオン発生部材の一方の先端を封止するようにして一体的に設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載の酸素マイナスイオン発生装置。
前記第２加熱手段は、前記酸素マイナスイオン放出部の外周近傍に近接して設置した円環状の加熱ランプである、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の酸素マイナスイオン発生装置。