JP2002231488A - ランプ装置 - Google Patents
ランプ装置Info
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- JP2002231488A JP2002231488A JP2001023516A JP2001023516A JP2002231488A JP 2002231488 A JP2002231488 A JP 2002231488A JP 2001023516 A JP2001023516 A JP 2001023516A JP 2001023516 A JP2001023516 A JP 2001023516A JP 2002231488 A JP2002231488 A JP 2002231488A
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- Discharge-Lamp Control Circuits And Pulse- Feed Circuits (AREA)
- Discharge Lamp (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数個のフラッシュランプを同一平面上に近
接配置して被処理物上での照度ムラを無くすると共に、
各フラッシュランプの管型封体に加わるローレンツ力を
軽減し、さらに、たとえフラッシュランプを近接配置し
てもトリガワイヤによる短絡を回避することのできるラ
ンプ装置を提供することにある。 【解決手段】 管型封体４内に陽極２と陰極３が設けら
れ、管型封体４の外表面に陽極２および陰極３とは独立
した電圧が印加されるトリガーワイヤ５が配設され、ト
リガーワイヤ５を含み外径形状が全て略同一のフラッシ
ュランプ１を互いに並行となるように複数配設したラン
プ装置において、前記複数配設される各フラッシュラン
プ１は、互いに隣接するフラッシュランプ１に流れる電
流の方向がが逆向きとなるように配設する。
接配置して被処理物上での照度ムラを無くすると共に、
各フラッシュランプの管型封体に加わるローレンツ力を
軽減し、さらに、たとえフラッシュランプを近接配置し
てもトリガワイヤによる短絡を回避することのできるラ
ンプ装置を提供することにある。 【解決手段】 管型封体４内に陽極２と陰極３が設けら
れ、管型封体４の外表面に陽極２および陰極３とは独立
した電圧が印加されるトリガーワイヤ５が配設され、ト
リガーワイヤ５を含み外径形状が全て略同一のフラッシ
ュランプ１を互いに並行となるように複数配設したラン
プ装置において、前記複数配設される各フラッシュラン
プ１は、互いに隣接するフラッシュランプ１に流れる電
流の方向がが逆向きとなるように配設する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ランプ装置に係
り、特に、半導体や液晶基板等の熱処理用の熱源に用い
られるフラッシュランプを利用したランプ装置に関す
る。
り、特に、半導体や液晶基板等の熱処理用の熱源に用い
られるフラッシュランプを利用したランプ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、半導体の集積回路の製造工程
には、酸化やアニール等の熱処理を行う加熱工程が設け
られる。この加熱工程において、被処理物である半導体
を長時間に亘って加熱すると半導体を構成する基体に打
ち込まれた不純物のプロファイルを破壊することがあ
り、この問題を回避するためにには、極めて短時間で加
熱処理を終了させる必要がある。近年、このような要望
に応える加熱手段として、点灯時間が極めて短く高い照
射エネルギーが得られるフラッシュランプを用い、被処
理物の大きさに応じてその配列本数を適宜設定して構成
したランプ装置が用いられるようになっている。
には、酸化やアニール等の熱処理を行う加熱工程が設け
られる。この加熱工程において、被処理物である半導体
を長時間に亘って加熱すると半導体を構成する基体に打
ち込まれた不純物のプロファイルを破壊することがあ
り、この問題を回避するためにには、極めて短時間で加
熱処理を終了させる必要がある。近年、このような要望
に応える加熱手段として、点灯時間が極めて短く高い照
射エネルギーが得られるフラッシュランプを用い、被処
理物の大きさに応じてその配列本数を適宜設定して構成
したランプ装置が用いられるようになっている。
【０００３】図５および図６は、従来技術に係るフラッ
シュランプを用いたランプ装置の一例を示す図である。
図５は、ランプ装置におけるフラッシュランプの配列構
成を示す平面図、図６は図５のＺ−Ｚ線から見た断面図
である。これらの図に示すように、複数本のフラッシュ
ランプ１１が互いに並行となるように配置されており、
各フラッシュランプ１１の後方には反射鏡１６が設けら
れている。また、各フラッシュランプ１１は同一に構成
されており、その管型封体１４内には陽極１２と陰極１
３が配置され、その外表面には同一形状のトリガーワイ
ヤ１５が配設されている。各トリガーワイヤ１５は管軸
に沿って配設された直線部１５１とこの直線部１５１を
保持するために設けられ管型封体１４の外周を囲むよう
に配設された複数個の保持部１５２とから構成されてい
る。各トリガーワイヤ１５には、管型封体１４内に設け
られる陽極１２および陰極１３とは独立した電圧が印加
されるように構成されている。
シュランプを用いたランプ装置の一例を示す図である。
図５は、ランプ装置におけるフラッシュランプの配列構
成を示す平面図、図６は図５のＺ−Ｚ線から見た断面図
である。これらの図に示すように、複数本のフラッシュ
ランプ１１が互いに並行となるように配置されており、
各フラッシュランプ１１の後方には反射鏡１６が設けら
れている。また、各フラッシュランプ１１は同一に構成
されており、その管型封体１４内には陽極１２と陰極１
３が配置され、その外表面には同一形状のトリガーワイ
ヤ１５が配設されている。各トリガーワイヤ１５は管軸
に沿って配設された直線部１５１とこの直線部１５１を
保持するために設けられ管型封体１４の外周を囲むよう
に配設された複数個の保持部１５２とから構成されてい
る。各トリガーワイヤ１５には、管型封体１４内に設け
られる陽極１２および陰極１３とは独立した電圧が印加
されるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に示した
ランプ装置では、図５に示すように、各フラッシュラン
プ１１が同一方向に配列されているため、各フラッシュ
ランプ１１が一斉に点灯した際には、互いに他のフラッ
シュランプ１１に流れる電流によって各フラッシュラン
プ１１にローレンツ力が加わる。このローレンツ力の大
きさは、フラッシュランプ１１の電流に比例すると共に
各フラッシュランプ１１間の距離に反比例する。そのた
め、従来のランプ装置ではフラッシュランプ１１が近接
して配置され、しかも点灯時には各フラッシュランプ１
１には、例えば、２ＫＡもの大電流が同一方向に流れる
ため、各フラッシュランプ１１には大きなローレンツ力
が加わる。通常、フラッシュランプ１１の管型封体１４
は細長く、その中央部には大きなモーメント力が加わ
る。特に、最外側に設けられるフラッシュランプ１１に
は、他の各フラッシュランプ１１によって生じるローレ
ンツ力の総和が加わり、管型封体１４に過大な外力が加
わることになる。この管型封体１４に紫外線による歪み
や熱歪みが存在するような場合には、このような過大な
ローレンツ力により管型封体１４が破損する恐れがあ
る。
ランプ装置では、図５に示すように、各フラッシュラン
プ１１が同一方向に配列されているため、各フラッシュ
ランプ１１が一斉に点灯した際には、互いに他のフラッ
シュランプ１１に流れる電流によって各フラッシュラン
プ１１にローレンツ力が加わる。このローレンツ力の大
きさは、フラッシュランプ１１の電流に比例すると共に
各フラッシュランプ１１間の距離に反比例する。そのた
め、従来のランプ装置ではフラッシュランプ１１が近接
して配置され、しかも点灯時には各フラッシュランプ１
１には、例えば、２ＫＡもの大電流が同一方向に流れる
ため、各フラッシュランプ１１には大きなローレンツ力
が加わる。通常、フラッシュランプ１１の管型封体１４
は細長く、その中央部には大きなモーメント力が加わ
る。特に、最外側に設けられるフラッシュランプ１１に
は、他の各フラッシュランプ１１によって生じるローレ
ンツ力の総和が加わり、管型封体１４に過大な外力が加
わることになる。この管型封体１４に紫外線による歪み
や熱歪みが存在するような場合には、このような過大な
ローレンツ力により管型封体１４が破損する恐れがあ
る。
【０００５】また、このようなランプ装置は、被処理物
上での照度ムラを小さくするためには、隣接するフラッ
シュランプ１１間の間隔を小さくする必要がある。しか
し、フラッシュランプ１１同士を近接して配置しようと
すると、互いの管型封体１４上に設けた保持部１５２同
士が接触し、点灯時にトリガーワイヤ１５に印加した電
圧が隣接するトリガーワイヤ１５にも印加されてしま
い、各トリガーワイヤ１５に印加される電圧、位相が異
なるとフラッシュランプ１１が点灯できないという問題
を起こす。そのため、例えば、フラッシュランプ１１間
を２ｍｍ以上離して配置する等の配慮が必要となり、均
一な照度を得ることや高出力化の障害となっている。
上での照度ムラを小さくするためには、隣接するフラッ
シュランプ１１間の間隔を小さくする必要がある。しか
し、フラッシュランプ１１同士を近接して配置しようと
すると、互いの管型封体１４上に設けた保持部１５２同
士が接触し、点灯時にトリガーワイヤ１５に印加した電
圧が隣接するトリガーワイヤ１５にも印加されてしま
い、各トリガーワイヤ１５に印加される電圧、位相が異
なるとフラッシュランプ１１が点灯できないという問題
を起こす。そのため、例えば、フラッシュランプ１１間
を２ｍｍ以上離して配置する等の配慮が必要となり、均
一な照度を得ることや高出力化の障害となっている。
【０００６】本発明の目的は、上記の種々の問題点に鑑
みて、複数個のフラッシュランプを互いに並行になるよ
うに、近接配置して被処理物上での照度ムラを無くすと
共に、各フラッシュランプの管型封体に加わるローレン
ツ力を軽減し、さらには、たとえフラッシュランプを近
接配置してもトリガワイヤによる短絡を回避することの
できるランプ装置を提供することにある。
みて、複数個のフラッシュランプを互いに並行になるよ
うに、近接配置して被処理物上での照度ムラを無くすと
共に、各フラッシュランプの管型封体に加わるローレン
ツ力を軽減し、さらには、たとえフラッシュランプを近
接配置してもトリガワイヤによる短絡を回避することの
できるランプ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するために、次のような手段を採用した。
解決するために、次のような手段を採用した。
【０００８】第１の手段は、管型封体内に陽極と陰極と
を備えた外径形状が略同一のフラッシュランプを互いに
並行になるように複数配設したランプ装置において、前
記各フラッシュランプは、フラッシュランプに流れる電
流の方向が隣接するフラッシュランプに流れる電流の方
向と逆向きとなるように配設されることを特徴とする。
を備えた外径形状が略同一のフラッシュランプを互いに
並行になるように複数配設したランプ装置において、前
記各フラッシュランプは、フラッシュランプに流れる電
流の方向が隣接するフラッシュランプに流れる電流の方
向と逆向きとなるように配設されることを特徴とする。
【０００９】第２の手段は、第１の手段において、前記
各フラッシュランプの管型封体の外表面には前記陽極お
よび前記陰極とは独立した電圧が印加される形状が略同
一のトリガーワイヤが設けられ、前記各トリガーワイヤ
は、管型封体の外表面に管軸に沿って配置される直線部
と、該直線部を支持し管型封体に周設される保持部とか
ら構成され、前記各フラッシュランプ間で隣接する保持
部は、互いにフラッシュランプの近接方向に対応する位
置に設けられていないことを特徴とする。
各フラッシュランプの管型封体の外表面には前記陽極お
よび前記陰極とは独立した電圧が印加される形状が略同
一のトリガーワイヤが設けられ、前記各トリガーワイヤ
は、管型封体の外表面に管軸に沿って配置される直線部
と、該直線部を支持し管型封体に周設される保持部とか
ら構成され、前記各フラッシュランプ間で隣接する保持
部は、互いにフラッシュランプの近接方向に対応する位
置に設けられていないことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施形態を図１お
よび図２を用いて説明する。
よび図２を用いて説明する。
【００１１】図１は、本実施形態に係るランプ装置にお
けるフラッシュランプの配列構成を示す平面図、図２は
図１のＸ−Ｘから見た断面図である。
けるフラッシュランプの配列構成を示す平面図、図２は
図１のＸ−Ｘから見た断面図である。
【００１２】これらの図において、１はフラッシュラン
プ、２は各フラッシュランプ１の陽極、３は各フラッシ
ュランプの１の陰極、４は各フラッシュランプ１の管型
封体、５は各フラッシュランプ１の管型封体４の外面上
に設けられるトリガーワイヤ、５１は各トリガーワイヤ
５の管軸に沿って配設された直線部、５２はトリガーワ
イヤ５の直線部５１に接続され直線部５１を管型封体４
に接するように支持し、管型封体４の外周を囲むように
配設された複数個の保持部、６は各フラッシュランプ１
の後方に配置された反射鏡である。
プ、２は各フラッシュランプ１の陽極、３は各フラッシ
ュランプの１の陰極、４は各フラッシュランプ１の管型
封体、５は各フラッシュランプ１の管型封体４の外面上
に設けられるトリガーワイヤ、５１は各トリガーワイヤ
５の管軸に沿って配設された直線部、５２はトリガーワ
イヤ５の直線部５１に接続され直線部５１を管型封体４
に接するように支持し、管型封体４の外周を囲むように
配設された複数個の保持部、６は各フラッシュランプ１
の後方に配置された反射鏡である。
【００１３】このランプ装置において、各フラッシュラ
ンプ１は、外径形状がほぼ同一の管型封体４内の略両端
部に陽極２と陰極３とが設けられ、その外面上には同一
形状のトリガーワイヤ５が配設されると共に、各フラッ
シュランプ１は互いに隣接するフラッシュランプ１同士
の放電電流の流れる方向が逆向きとなるように配列され
ている。そのため、各フラッシュランプ１のトリガーワ
イヤ５にトリガー電圧が印加されると、管型封体４内に
トリガーワイヤ５の直線部５１に沿って微放電が起こ
り、この微放電を契機に各フラッシュランプ１の陽極２
と陰極３間に印加された電圧により急速に各フラッシュ
ランプ１が主放電に移行しフラッシュ光が発生する。こ
のフラッシュ光からの直射光とフラッシュランプ１後方
に配置された反射鏡６からの反射光とが図示していない
被処理物に照射され被処理物が均一に加熱される。
ンプ１は、外径形状がほぼ同一の管型封体４内の略両端
部に陽極２と陰極３とが設けられ、その外面上には同一
形状のトリガーワイヤ５が配設されると共に、各フラッ
シュランプ１は互いに隣接するフラッシュランプ１同士
の放電電流の流れる方向が逆向きとなるように配列され
ている。そのため、各フラッシュランプ１のトリガーワ
イヤ５にトリガー電圧が印加されると、管型封体４内に
トリガーワイヤ５の直線部５１に沿って微放電が起こ
り、この微放電を契機に各フラッシュランプ１の陽極２
と陰極３間に印加された電圧により急速に各フラッシュ
ランプ１が主放電に移行しフラッシュ光が発生する。こ
のフラッシュ光からの直射光とフラッシュランプ１後方
に配置された反射鏡６からの反射光とが図示していない
被処理物に照射され被処理物が均一に加熱される。
【００１４】このように、本実施形態のランプ装置にお
いては、各フラッシュランプ１は、互いに並行になるよ
うに複数本配列されると共に、互いに隣接するフラッシ
ュランプ１同士は反対方向に放電電流が流れるように配
列されるので、隣接するフラッシュランプ同士によって
生起されるローレンツ力は互いに軽減しあい、フラッシ
ュランプ１は全体として各管型封体４に加えられるロー
レンツ力を十分に小さくすることができる。そのため、
従来のローレンツ力と比べ、十分小さなローレンツ力と
なるので、フラッシュランプ１の破損を確実に防止する
ことができる。
いては、各フラッシュランプ１は、互いに並行になるよ
うに複数本配列されると共に、互いに隣接するフラッシ
ュランプ１同士は反対方向に放電電流が流れるように配
列されるので、隣接するフラッシュランプ同士によって
生起されるローレンツ力は互いに軽減しあい、フラッシ
ュランプ１は全体として各管型封体４に加えられるロー
レンツ力を十分に小さくすることができる。そのため、
従来のローレンツ力と比べ、十分小さなローレンツ力と
なるので、フラッシュランプ１の破損を確実に防止する
ことができる。
【００１５】さらに、本実施形態のランプ装置では、管
型封体４上に設けられるトリガーワイヤ５の保持部５２
は、陽極２に最も近接する保持部５２は管型封体４の放
電路側に設置されるが、陰極３に最も近接する保持部５
２は陰極３付近からの発熱を回避するために管型封体４
上の陰極３の背部に設置され、上記両端の保持部５２間
に配置される他の複数の保持部５２は、直線部５１を保
持するためにほぼ均等な間隔で配置される。そのため、
各フラッシュランプ１の管型封体４上に設けられるトリ
ガーワイヤ５が同一形状に構成され互いに並行になるよ
うに近接配置しても、各フラッシュランプ１は隣接する
フラッシュランプ１が逆向きに配置されることにより、
隣接するフラッシュランプ１のトリガーワイヤ５の保持
部５２同士が接触して短絡することはなく、各フラッシ
ュランプ１間の間隔を、例えば、１ｍｍ程度に近接配置
することが可能となり、ランプ装置の高出力化が図れる
と共に、ランプ装置から照射される光の照度ムラを無く
することができる。また、各フラッシュランプ１に設け
られるトリガーワイヤ５は全て同じ形状のもので構成で
きるので、部品点数を少なくすることができる。
型封体４上に設けられるトリガーワイヤ５の保持部５２
は、陽極２に最も近接する保持部５２は管型封体４の放
電路側に設置されるが、陰極３に最も近接する保持部５
２は陰極３付近からの発熱を回避するために管型封体４
上の陰極３の背部に設置され、上記両端の保持部５２間
に配置される他の複数の保持部５２は、直線部５１を保
持するためにほぼ均等な間隔で配置される。そのため、
各フラッシュランプ１の管型封体４上に設けられるトリ
ガーワイヤ５が同一形状に構成され互いに並行になるよ
うに近接配置しても、各フラッシュランプ１は隣接する
フラッシュランプ１が逆向きに配置されることにより、
隣接するフラッシュランプ１のトリガーワイヤ５の保持
部５２同士が接触して短絡することはなく、各フラッシ
ュランプ１間の間隔を、例えば、１ｍｍ程度に近接配置
することが可能となり、ランプ装置の高出力化が図れる
と共に、ランプ装置から照射される光の照度ムラを無く
することができる。また、各フラッシュランプ１に設け
られるトリガーワイヤ５は全て同じ形状のもので構成で
きるので、部品点数を少なくすることができる。
【００１６】次に、本発明の第２の実施形態を図３およ
び図４を用いて説明する。
び図４を用いて説明する。
【００１７】図３は、本実施形態に係るランプ装置にお
けるフラッシュランプの配列構成を示す平面図、図４は
図４のＹ−Ｙから見た断面図である。これらの図におい
て、１ａはトリガーワイヤ５を含みフラッシュランプ１
と同一の構成を有するフラッシュランプである。なお、
その他の符号の構成は図１および図２に示す同符号の構
成と同じである。各フラッシュランプ１ａは、各フラッ
シュランプ１間にあって、フラッシュランプ１が配列さ
れる面とは異なる平面上に複数本配列されると共に、隣
接するフラッシュランプ１と電流の流れる方向が逆向き
となるように配列される。
けるフラッシュランプの配列構成を示す平面図、図４は
図４のＹ−Ｙから見た断面図である。これらの図におい
て、１ａはトリガーワイヤ５を含みフラッシュランプ１
と同一の構成を有するフラッシュランプである。なお、
その他の符号の構成は図１および図２に示す同符号の構
成と同じである。各フラッシュランプ１ａは、各フラッ
シュランプ１間にあって、フラッシュランプ１が配列さ
れる面とは異なる平面上に複数本配列されると共に、隣
接するフラッシュランプ１と電流の流れる方向が逆向き
となるように配列される。
【００１８】ここで、各フラッシュランプ１によって構
成されるフラッシュランプ１群と、各フラッシュランプ
１ａによって構成されるフラッシュランプ１ａ群とは、
互いに異なった平面上に存在することになるが、全ての
フラッシュランプ１、１ａは互いに並行となるように配
列される。
成されるフラッシュランプ１群と、各フラッシュランプ
１ａによって構成されるフラッシュランプ１ａ群とは、
互いに異なった平面上に存在することになるが、全ての
フラッシュランプ１、１ａは互いに並行となるように配
列される。
【００１９】本実施形態のランプ装置によれば、上述の
ごとくフラッシュランプ１，１ａを配列することによ
り、被処理物からフラッシュランプ１，１ａを見た場
合、各フラッシュランプ１の隙間に各フラッシュランプ
１ａが配列されることになり、第１の実施形態のものと
比べて被処理物上の照度をより一層均一化することがで
きる。
ごとくフラッシュランプ１，１ａを配列することによ
り、被処理物からフラッシュランプ１，１ａを見た場
合、各フラッシュランプ１の隙間に各フラッシュランプ
１ａが配列されることになり、第１の実施形態のものと
比べて被処理物上の照度をより一層均一化することがで
きる。
【００２０】また、フラッシュランプ１とフラッシュラ
ンプ１ａとでは、互いに放電電流の流れる方向が逆向き
となるので、隣り合うフラッシュランプ１，１ａ同士に
よって生ずるローレンツ力を互いに軽減することがで
き、フラッシュランプ１、１ａの破損を確実に防止する
ことができる。
ンプ１ａとでは、互いに放電電流の流れる方向が逆向き
となるので、隣り合うフラッシュランプ１，１ａ同士に
よって生ずるローレンツ力を互いに軽減することがで
き、フラッシュランプ１、１ａの破損を確実に防止する
ことができる。
【００２１】さらに、各フラッシュランプ１，１ａの管
型封体４上に設けられるトリガーワイヤ５は同一形状に
構成されているので、各フラッシュランプ１，１ａが互
いに並行となるように近接配置されても、隣り合う各フ
ラッシュランプ１とフラッシュランプ１ａとは逆向きに
配置されるので、隣り合うフラッシュランプ１とフラッ
シュランプ１ａの保持部５２の位置がずれ、保持部５２
同士が接触して短絡を起こすことがない。
型封体４上に設けられるトリガーワイヤ５は同一形状に
構成されているので、各フラッシュランプ１，１ａが互
いに並行となるように近接配置されても、隣り合う各フ
ラッシュランプ１とフラッシュランプ１ａとは逆向きに
配置されるので、隣り合うフラッシュランプ１とフラッ
シュランプ１ａの保持部５２の位置がずれ、保持部５２
同士が接触して短絡を起こすことがない。
【００２２】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、隣り合
うフラッシュランプ同士では放電電流の方向が逆向きと
なるため、ローレンツ力が軽減され、全体として各管型
封体に加えられるローレンツ力を小さくすることがで
き、従来のローレンツ力と比べてローレンツ力の発生が
十分小さくすることができるので、フラッシュランプの
破損を確実に防止することができる。請求項２記載の発
明によれば、各フラッシュランプの管型封体上に設けら
れるトリガーワイヤを同一形状に構成して同一平面上に
近接配置しても、各フラッシュランプは互いに隣接する
フラッシュランプが逆向きに配置されるので、隣接する
フラッシュランプのトリガーワイヤの保持部同士は接触
することがなくなり、短絡の問題を解決できると共に、
各フラッシュランプ間を極めて近接して配置することが
できるので、ランプ装置の高出力化が図れると共に、ラ
ンプ装置から照射される光の照度ムラを無くすることが
できる。
うフラッシュランプ同士では放電電流の方向が逆向きと
なるため、ローレンツ力が軽減され、全体として各管型
封体に加えられるローレンツ力を小さくすることがで
き、従来のローレンツ力と比べてローレンツ力の発生が
十分小さくすることができるので、フラッシュランプの
破損を確実に防止することができる。請求項２記載の発
明によれば、各フラッシュランプの管型封体上に設けら
れるトリガーワイヤを同一形状に構成して同一平面上に
近接配置しても、各フラッシュランプは互いに隣接する
フラッシュランプが逆向きに配置されるので、隣接する
フラッシュランプのトリガーワイヤの保持部同士は接触
することがなくなり、短絡の問題を解決できると共に、
各フラッシュランプ間を極めて近接して配置することが
できるので、ランプ装置の高出力化が図れると共に、ラ
ンプ装置から照射される光の照度ムラを無くすることが
できる。
【図１】本発明の第１の実施形態に係るランプ装置にお
けるフラッシュランプの配列構成を示す平面図である。
けるフラッシュランプの配列構成を示す平面図である。
【図２】図１のＸ−Ｘから見た断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係るランプ装置にお
けるフラッシュランプの配列構成を示す平面図である。
けるフラッシュランプの配列構成を示す平面図である。
【図４】図３のＹ−Ｙから見た断面図である。
【図５】従来技術に係るランプ装置におけるフラッシュ
ランプの配列構成を示す平面図である。
ランプの配列構成を示す平面図である。
【図６】図５のＺ−Ｚ線から見た断面図である。
１，１ａ フラッシュランプ ２ 陽極 ３ 陰極 ４ 管型封体 ５ トリガーワイヤ ５１ 直線部 ５２ 保持部 ６ 反射鏡
Claims (2)
- 【請求項１】 管型封体内に陽極と陰極とを備えた外径
形状が略同一のフラッシュランプを互いに平行となるよ
うに複数配設したランプ装置において、 前記各フラッシュランプは、フラッシュランプに流れる
電流の方向が隣接するフラッシュランプに流れる電流の
方向と逆向きとなるように配設されることを特徴とする
ランプ装置。 - 【請求項２】 前記各フラッシュランプの管型封体の外
表面には前記陽極および前記陰極とは独立した電圧が印
加される形状が略同一のトリガーワイヤが設けられ、前
記各トリガーワイヤは、管型封体の外表面に管軸に沿っ
て配置される直線部と、該直線部を支持し管型封体に周
設される保持部とから構成され、前記各フラッシュラン
プ間で隣接する保持部は、互いにフラッシュランプの近
接方向に対応する位置に設けられていないことを特徴と
する請求項１に記載のランプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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| US8054000B2 (en) | 2004-06-03 | 2011-11-08 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Flash lamp irradiation apparatus |
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-
2001
- 2001-01-31 JP JP2001023516A patent/JP2002231488A/ja active Pending
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