JPH0247553Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ライン状の発光源を有し、光加熱用
もしくは照明用電球として用いられるラインフイ
ラメント電球に関するものである。

〔従来の技術〕

例えば半導体デバイスの製作プロセスにおいて
は、イオン注入層の結晶欠陥を回復させるための
アニール工程、ウエハー中に含有せしめた不純物
を熱により拡散せしめる熱拡散工程、不純物の活
性化のための熱処理工程などの加熱工程が必要と
され、これらの加熱工程においてラインフイラメ
ント電球を用いることが提案されている。ライン
フイラメントとは、一本の線状白熱線または複数
本の撚線よりなる直線状のフイラメントをいう。

このような加熱工程においては、ラインフイラ
メント電球と集光ミラーとを組合せて、これによ
りウエハー面にライン状の照射光を当ててこの照
射光を相対的に走査せしめてウエハー全面を光照
射するようにしてウエハーの加熱処理が行なわれ
る。

ウエハーは後に切断されて多数のチツプに分割
されるが、歩留まりを向上せしめるためには加熱
工程においてウエハーが均一に加熱されることが
必要であり、このためウエハー面におけるライン
状の照射光の照度の均一性が厳しく要求され、特
に発光源であるラインフイラメントの位置精度が
高くて長期間安定していることが必要である。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、ラインフイラメント電球の点灯
中においては、ラインフイラメントが熱膨脹によ
り撓み易くて直線性がくずれるという欠点があ
り、このため照度ムラが生じ易くウエハーの加熱
処理が不均一となつて歩留まりが低下する問題点
がある。ラインフイラメントの撓みを防止するた
めに例えばラインフイラメントと内導線とを金属
製コイルバネを介して接続するようにした構成
（実公昭47−40701号参照）の電球が知られている
が、ウエハーの加熱工程においては比較的大きな
光エネルギーが必要とされるためラインフイラメ
ントに大きな電流を流す必要があり、このため上
記の如き電球においては金属製コイルバネが電流
路となつていて当該コイルバネにおける電力損失
が大きくて効率が低く、逆に電力損失を小さくす
るために線径を大きくして低抵抗にするとバネが
硬くなつて内導線に過度の張力がかかりシール部
で断線し易い欠点がある。

〔考案の目的〕

本考案は以上の如き事情に基いてなされたもの
であつて、その目的は、ラインフイラメントの熱
膨脹による撓みを、電力損失が小さくてしかも内
導線に過度の張力を加えることなく吸収すること
ができ、ラインフイラメントの直線性が長期間安
定して得られる位置精度が高いラインフイラメン
ト電球を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段及び作用〕

本考案においては、長尺な管型封体の両端のシ
ール部からそれぞれ当該封体の内部空間に突出す
る内導線を設け、これらの内導線の一方または両
方において、その外端が当該内導線の基部に固定
された金属線を巻回して形成した引張コイル部
と、この引張コイル部に続いて当該内導線の内端
側に接触して摺動し得るよう当該金属線を巻回し
て形成したスライドコイル部とを有してなるスプ
リング部材を設け、一本の線状白熱線または複数
本の撚線よりなるラインフイラメントの一方の端
部をスプリング部材のスライドコイル部に接続す
ると共に他方の端部を他方の内導線に直接または
他方の内導線にスプリング部材を設けた場合には
そのスライドコイル部に接続し、スプリング部材
の引張力により当該ラインフイラメントを管型封
体の管軸に沿つて伸びるよう張架せしめてライン
フイラメント電球を構成する。

斯かる構成によれば、スプリング部材における
引張コイル部の外端が内導線に固定されているう
えスライドコイル部が内導線に接触しているの
で、内導線が主として電流路となつて引張コイル
部は実質上短絡された状態にあり、このためスプ
リング部材における消費電力が小さく、しかも発
熱も小さいので常に好ましい弾性を有することが
でき、ラインフイラメントが適切な張力で張架さ
れる。

〔実施例〕 以下本考案の実施例について詳細に説明する。

第１図は本考案に係るラインフイラメント電球
の概略を示す説明図であつて、１はガラスよりな
る長尺な管型封体である。この封体１の両端のシ
ール部１１Ａ，１１Ｂにおいては、それぞれ封体
１の内部空間に突出するよう例えばタングステン
よりなる内導線２Ａ，２Ｂが埋設固定されてい
る。これらの内導線２Ａ，２Ｂはそれぞれシール
部１１Ａ，１１Ｂに埋設された金属箔３Ａ，３Ｂ
を介して外導線４Ａ，４Ｂに電気的に接続されて
いる。

５は、一方の内導線２Ａに設けた金属製スプリ
ング部材であり、この例においてはスプリング部
材５は、スライドコイル部５１と引張コイル部５
２と接続コイル部５３とを有してなる。スライド
コイル部５１は、内導線２Ａに接触して摺動し得
るよう例えばタングステンよりなる細径の金属線
を内導線２Ａの内端側部分２１Ａに巻回して形成
され、引張コイル部５２は、スライドコイル部５
１の外端５１１に続いて金属線を封体１の内壁１
２に当接するよう大径に巻回して形成され、接続
コイル部５３は、引張コイル部５２の外端に続く
金属線部分を内導線２Ａの外端側部分２２Ａに巻
回して形成され、この接続コイル部５３が溶接な
どにより内導線２Ａに接続固定されている。

６はラインフイラメントであり、このラインフ
イラメント６は、例えばタングステンよりなる一
本の線状白熱線またはタングステンよりなる複数
本の撚線よりなり発光部は非コイル状である。こ
の例においてはラインフイラメント６の一方の端
部には接続のためのコイル部６１が形成されてい
てこのコイル部６１をスプリング部材５のスライ
ドコイル部５１に螺合せしめてラインフイラメン
ト６の一端をスプリング部材５を介して一方の内
導線２Ａに電気的に接続する。このラインフイラ
メント６の他方の端部は他方の内導線２Ｂに溶接
などにより接続固定されている。このラインフイ
ラメント６は、スプリング部材５の引張力により
封体１の管軸に沿つて伸びるよう張架されてい
る。

７Ａ，７Ｂはそれぞれシール部１１Ａ，１１Ｂ
を囲むよう接着剤などにより固定して設けた筒状
のベースである。

以上の実施例によれば、スプリング部材５にお
ける引張コイル部５２の外端即ち接続コイル部５
３が内導線２Ａに固定されているうえスプリング
部材５のスライドコイル部５１が内導線２Ａに接
触しているので、内導線２Ａが主として電流路と
なつて引張コイル部５２が内導線２Ａによつて実
質上短絡された状態にあり、このためスプリング
部材５が白熱して照度分布に悪影響を与えること
もないうえこのスプリング部材５によつて消費さ
れる損失電力が小さく、従つてスプリング部材５
による消費電力を小さくするために従来必要とさ
れていたスプリング部材の素線を太径にすること
が不要となり、この結果スプリング部材５を細径
の金属線により形成してスライドコイル部５１に
おけるスライド幅が十分であつて柔軟性のあるス
プリング部材とすることができ、しかも発熱が小
さくて熱による弾性劣化が小さく、結局内導線２
Ａ，２Ｂに過度の張力を加えることなく良好な引
張力によりラインフイラメント６を張架せしめる
ことができ、点灯時の熱膨脹によるラインフイラ
メント６の撓みが確実に吸収されてラインフイラ
メント６の直線性が長期間安定して得られるライ
ンフイラメント電球を得ることができる。そして
この例においては引張コイル部５２が封体１の内
壁１２に当接する大径コイルよりなるため、この
引張コイル部５２の弾性力により引張コイル部５
２自身が管軸と直角方向において位置固定される
ため、シール部１１Ａの形成においてはラインフ
イラメント６を容易に管軸に一致せしめるように
することができ組立精度の向上を図ることがで
き、しかも電球の点灯或いは消灯の度毎にライン
フイラメント６が伸縮して内導線２Ａにも力が加
えられるが、これに対しても内導線２Ａを変位せ
しめることなく所期の位置に確実に固定せしめる
ことができ、この結果ラインフイラメント６の位
置が長期間安定したものとなる。なおこの引張コ
イル部５２は上述したように白熱しないので封体
１における引張コイル部５２に当接する部分が熱
劣化して寿命が短くなることもない。

そしてこのラインフイラメント電球を半導体の
加熱工程において光照射による加熱源として用い
ることにより長期間安定して均一な加熱処理を行
なうことができ、この結果歩留まりが向上して半
導体デバイスの製造コストの低減化に寄与するこ
とができる。

以上一実施例について詳細に説明したが、本考
案の実施の態様は上記実施例に限定されるもので
はない。例えば第２図に示すように、スプリング
部材５のスライドコイル部５１の内端部５１２を
延長して鉤状の接続部５４を形成すると共にライ
ンフイラメント６の端部に鉤状の接続部６２を形
成し、これら両方の鉤状の接続部５４，６２を互
に絡め合わせてラインフイラメント６とスプリン
グ部材５とを接続するようにしてもよい。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案は、長尺な管型封
体と、この管型封体の両端部からそれぞれ当該封
体の内部空間に突出するよう固定された内導線
と、これらの内導線の少なくとも一方に設けた金
属製スプリング部材と、このスプリング部材によ
り引張された状態で前記管型封体の管軸に沿つて
配置されたラインフイラメントとを具えてなり、
前記スプリング部材は、その外端が内導線の基部
に固定された引張コイル部と、この引張コイル部
に続いて前記内導線に接触して摺動可能に巻回し
て形成したスライドコイル部とを有し、前記ライ
ンフイラメントの一端部が前記スライドコイル部
に接続されることを特徴とするラインフイラメン
ト電球であるから、ラインフイラメントの熱膨脹
による撓みを、電力損失が小さくてしかも内導線
に過度の張力を加えることなく吸収することがで
き、ラインフイラメントの直線性が長期間安定し
て得られる位置精度が高いラインフイラメント電
球を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一実施例を示す説明用断面図、第２図
は他の実施例の要部を示す説明用断面図である。 １……封体、１１Ａ，１１Ｂ……シール部、２
Ａ，２Ｂ……内導線、３Ａ，３Ｂ……金属箔、４
Ａ，４Ｂ……外導線、５……スプリング部材、５
１……スライドコイル部、５２……引張コイル
部、５３……接続コイル部、６……ラインフイラ
メント、６１……コイル部、７Ａ，７Ｂ……ベー
ス、５４，６２……鉤状の接続部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 長尺な管型封体と、この管型封体の両端部から
   それぞれ当該封体の内部空間に突出するよう固定
   された内導線と、これらの内導線の少なくとも一
   方に設けた金属製スプリング部材と、このスプリ
   ング部材により引張された状態で前記管型封体の
   管軸に沿つて配置されたラインフイラメントとを
   具えてなり、 前記スプリング部材は、その外端が内導線の基
   部に固定された引張コイル部と、この引張コイル
   部に続いて前記内導線に接触して摺動可能に巻回
   して形成したスライドコイル部とを有し、前記ラ
   インフイラメントの一端部が前記スライドコイル
   部に接続されることを特徴とするラインフイラメ
   ント電球。