JP4622270B2 - フラッシュランプ装置 - Google Patents
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Description
図8(a)はフラッシュランプ等の灯具が収納されたフラッシュランプ装置の筐体を示す斜視図であり、図8(b)は図8(a)のA−Aから見た断面図である。
これらの図に示すように、このフラッシュランプ装置は、石英ガラスからなる複数のフラッシュランプの発光管が複数本並列に配置されており、各フラッシュランプには、フラッシュランプの始動性を高めるために隣接してトリガー電極が設けられている。またこれらの複数のフラッシュランプは、隣接するフラッシュランプ同士によって生起されるローレンツ力を軽減するために、各フラッシュランプは各フラッシュランプに流れる電流の方向が隣接するフラッシュランプに流れる電流の方向と逆向きとなるように配置されている。
閃光時、放電プラズマは、フラッシュランプの陰極側のトリガー電極に沿って成長するため、トリガー電極側の発光管内壁は、非常に高い電流密度を持った放電プラズマに曝される。この放電プラズマに曝された石英ガラスは、この放電プラズマの熱や紫外線により、SiO2の結合バンドが切断され、閃光のたびに次式のようにSiOが生成される。
SiO2→SiO+O2/2
このSiOの生成には、温度依存性があり、温度が高いと上式の右辺の項のSiOの蒸発量が増える。フラッシュランプにおいて、発生したSiOは、トリガー電極側とは反対側の比較的温度の低い発光管内表面に堆積していく。SiOの堆積量が増えると、作業者の目に白く見え出す。この白く見えるものが、ここでいう白濁であり、ワーク面での照度低下につながる。この白濁度合いを減らすために、トリガー電極が沿う側の発光管を冷却しようとして、冷却風量を増やしても、図8(b)に示すように、風下側に熱溜まりができ、冷やしたいトリガー電極が沿う側の発光管を冷却することができず、早期に風下側の発光管内表面が白濁してしまう。
第1の手段は、筐体内に、複数のフラッシュランプを電極の極性を交互に逆にして並列に配置し、前記フラッシュランプの一方の端部側から他方の端部側に冷却風を流す通風機構を備えたフラッシュランプ装置において、前記通風機構は、前記フラッシュランプの所定回数の発光毎に前記冷却風を流す方向を切り替える風向切替手段を備えており、前記所定回数のフラッシュ発光の最後のフラッシュ発光信号に同期して該フラッシュ発光信号によるフラッシュランプの発光後の所定時間経過後に、前記風向切替手段に風向切り替え信号を入力して、前記冷却風の方向を切り替えるようにしたものであることを特徴とするフラッシュランプ装置である。
図1(a)は、本実施形態の発明に係るフラッシュランプ装置の筐体の構成を示す斜視図、図1(b)は図1のA−Aから見た断面図である。
これらの図において、1はフラッシュランプ等の灯具が収納された筐体、2は筐体1に設けられた吸気口または排気口、3は筐体1に設けられた排気口または吸気口、4は発光管が石英ガラスからなる複数のフラッシュランプ、5,6はフラッシュランプ4の電極、7はフラッシュランプ4の始動性を高めるためにフラッシュランプ4に隣接して配置されたトリガー電極、8はリフレクタ、9は前面ガラス、10は電装部である。
図2は、筐体1内に流れる冷却風の方向を切り替えるための外付け風向制御板による風向交互切替方式を示す図である。
同図において、11は冷却ファン、12,13,14は冷却用配管、15は風向制御板、16は冷却風入口、17は冷却風出口である。なお、その他の構成は図1の同符号の構成に対応する。
同図に示すように、冷却用ファン11が駆動されることにより、冷却風入口16から入った冷却風は、風向制御板15が実線の位置にあるときは、筐体1内の図示右側の冷却用配管13を通って複数のフラッシュランプ4の右側の端部側に入り、フラッシュランプ4を冷却してフラッシュランプ4の左側の端部側を通り、図示左側の冷却用配管14、共通の冷却用配管12を通って冷却風出口17から排出される。風向制御板15が点線の位置にあるときは、筐体1内の図示左側の冷却用配管14を通って複数のフラッシュランプ4の左側の端部側に入り、各フラッシュランプ4を冷却してフラッシュランプ4の右側の端部側を通り、図示右側の冷却用配管13、共通の冷却用配管12を通って冷却風出口17から排出される。
これらの図において、18はフラッシュランプを点灯すると共に、所定回数の発光信号の出力毎に電磁弁に制御信号を出力する点灯電源装置、19は電磁弁A、20は電磁弁B、21は切替弁である。その他の構成は図2および図3に示す同符号の構成に対応する。
発光信号から所定の遅延時間を設ける理由は、ランプ発光直後が最もランプ管壁が高温になる。このときには安定した冷却を確保する必要があるが、風向の切替時には一時的に冷却風が止まってしまうため、点灯後一定の遅延時間を設け、冷却風の方向を切り替え、点灯時には安定した冷却条件にしておく必要がある。例えば、1回の発光毎に風向を切り替える場合、その発光間隔が60秒であれば、発光信号から遅延させる時間は30秒というように設定する。
また、風向制御板の方向を切り替えるに際しては、本実施形態の説明においては、フラッシュランプの発光信号と同期させて自動的に切替弁を操作するように説明したが、簡易的に、手動で切替弁を操作するようにすることも当然可能である。
なお、ここで照度測定は、フラッシュランプから48mm離間したワーク面の照度を照度計で測定したものである。
同図に示すように、毎回の1ショット毎に冷却風の向きを変えると、10万ショットを越えても点灯初期の95%以上のワーク面照度を維持することができた。また2万回のショット毎に冷却風の向きを変えた場合でも、10万ショットを越えたときも点灯初期の90%以上のワーク面照度を維持した。しかし、3万回のショット毎に冷却風の向きを変えた場合には照度は大きく低下した。
2 吸気口または排気口
3 排気口または吸気口
4 フラッシュランプ
5,6 フラッシュランプの電極
7 トリガー電極
8 リフレクタ
9 前面ガラス
10 電装部
11 冷却ファン
12,13,14 冷却用配管
15 風向制御板
16 冷却風入口
17 冷却風出口
18 点灯電源装置
19 電磁弁A
20 電磁弁B
21 切替弁
Claims (3)
- 筐体内に、複数のフラッシュランプを電極の極性を交互に逆にして並列に配置し、前記フラッシュランプの一方の端部側から他方の端部側に冷却風を流す通風機構を備えたフラッシュランプ装置において、
前記通風機構は、前記フラッシュランプの所定回数の発光毎に前記冷却風を流す方向を切り替える風向切替手段を備えており、
前記所定回数のフラッシュ発光の最後のフラッシュ発光信号に同期して該フラッシュ発光信号によるフラッシュランプの発光後の所定時間経過後に、前記風向切替手段に風向切り替え信号を入力して、前記冷却風の方向を切り替えるようにしたものであることを特徴とするフラッシュランプ装置。 - 前記所定回数が、2万回以下であることを特徴とする請求項1に記載のフラッシュランプ装置。
- 前記風向切替手段は、冷却用配管内の風向制御板の方向を変えることにより切り替えるものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のフラッシュランプ装置。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5039186U (ja) * | 1973-08-06 | 1975-04-22 | ||
JPS61179553U (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | ||
JPS6235684A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-16 | Nec Corp | レ−ザ装置 |
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JP2003017432A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Ushio Inc | 閃光放射装置 |
JP2004039511A (ja) * | 2002-07-05 | 2004-02-05 | Japan Storage Battery Co Ltd | 照射装置 |
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Patent Citations (7)
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---|---|---|---|---|
JPS5039186U (ja) * | 1973-08-06 | 1975-04-22 | ||
JPS61179553U (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | ||
JPS6235684A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-16 | Nec Corp | レ−ザ装置 |
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JP2002298639A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Mitsubishi Electric Corp | 光源装置及び投写型表示装置 |
JP2003017432A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Ushio Inc | 閃光放射装置 |
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