JPWO2008065959A1 - 超音波トランスデューサ - Google Patents
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Abstract
Description
内部ケースは、超音波振動作用面のうち圧電素子の配置位置に対向する部分に、圧電素子および外部ケースの振動により生じる超音波ビームを扁平化する第1の切欠部を有し、且つ、超音波振動作用面のうち、第1の切欠部とは離れた位置に例えば切欠状または彫り込み形状の第2の切欠部を設けたことを特徴としている。
この構造により、第1の切欠部だけが存在する場合に外部ケースに対する拘束質量が大きな位置に第2の切欠部が存在することになり、外部ケースを拘束する質量の質量バランスがとれて、ベンディングモード等の不要振動が効果的に抑制される。
この構造により、外部ケースの内底面と内部ケースの超音波振動作用面との接触部分を最小限とすることができるため、質量バランスのばらつきを抑制することができる。また、内部ケースのコーナー(稜)部分にまで第2の切欠部が広がることになるので、内部ケースと外部ケースとに寸法誤差があっても、内部ケースの超音波振動作用面と外部ケースの内底面との密着度がアンバランスになることもなく、上記質量バランスのくずれによって生じる不要モードの振動を確実に防ぐことができる。
そのことにより外部ケースの底面の振動を抑制できるだけでなく、外部ケースの側面の共振振動も抑制することができ、残響をより抑制できる。
この構造によれば、外部ケースの内底面(特にそのコーナー部分)および外部ケースの側面の不要振動を吸収することができ、不要振動をより効果的に抑制できる。なお、本発明によれば、第1の切欠部と第2の切欠部との間に堤部が形成されているため、ダンピング材として作用する充填材が圧電素子の有効振動領域にまで達することがなく、圧電素子の有効振動領域の基本振動に影響することを防ぐことができる。
この構造により、内部ケースの内部から貫通孔を通して外部ケースの内底面と第2の切欠部内に充填材等を注入するだけで充填できるようになる。その結果、外部ケースと内部ケースとを上記充填材で接着することができるので、外部ケースと内部ケースとを接着するためだけの接着剤は不要となる。
2−内部ケース
3−圧電素子
4,5−ワイヤ
6,7−ピン
8−吸音材
9−ピン支持基板
10−充填材
11−第1の切欠部
12−第2の切欠部
13−堤部
14−貫通孔
15−第3の切欠部
図1は第1の実施形態に係る超音波トランスデューサの主要部の断面図、図2は内部ケースの上面側から見た斜視図である。この超音波トランスデューサは、外部ケース1と内部ケース2の2つの部材でケースを構成し、これを接合している。外部ケース1は、例えばアルミニウムからなり、その内底面に円板形状の圧電素子3を接合している。この圧電素子3はその両面に電極を備えていて、一方の電極は外部ケース1に対して電気的に導通している。
図3は第2の実施形態に係る超音波トランスデューサで用いる内部ケースの形状を示す図である。図3(A)はその第2の実施形態に係る超音波トランスデューサで用いる内部ケースの超音波振動作用面側から見た斜視図、(B)はその参考例としての超音波トランスデューサの内部ケースの斜視図である。
図6は第3の実施形態に係る超音波トランスデューサで用いる内部ケースの形状を示す図である。
第1・第2の実施形態では第2の切欠部を第1の切欠部と同様に空気媒質の空間部として設けたが、第4の実施形態では第2の切欠部と外部ケース1の内底面との間に生じる空間内に外部ケース1および内部ケース2より媒質密度の低い充填材を充填したものである。
Claims (7)
- 有底筒状の外部ケースと、前記外部ケースの内底面に設けた圧電素子と、前記外部ケースの内部に設けられ、前記外部ケースの内底面に対向する面である超音波振動作用面で前記外部ケースの前記圧電素子による振動を質量で拘束する内部ケースと、前記圧電素子に電気的に導通する端子と、を備えた超音波トランスデューサにおいて、
前記内部ケースは、前記超音波振動作用面のうち前記圧電素子の配置位置に対向する部分に、前記圧電素子および外部ケースの振動により生じる超音波ビームを扁平化する第1の切欠部を有し、且つ、前記超音波振動作用面のうち、前記第1の切欠部とは離れた位置に第2の切欠部を有してなる超音波トランスデューサ。 - 前記第1の切欠部は前記外部ケースの内底面に対向する面に沿って一方向に長軸を有する形状を成し、前記第2の切欠部は前記長軸を対称軸として線対称に配置したものである請求項1に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記第2の切欠部は、当該第2の切欠部の存在によって前記第1の切欠部の周囲に堤部を形成するとともに当該堤部の外側の全面に亘って切欠かれたものである請求項1または2に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記内部ケースの媒質密度は前記外部ケースの媒質密度より高い、請求項1〜3のうちいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記内部ケースの第2の切欠部と前記外部ケースの内底面とで構成される空間を前記内部ケースおよび前記外部ケースより媒質密度の低い充填材で充填した請求項1〜4のうちいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記第2の切欠部に貫通孔を形成した請求項5に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記第1の切欠部の長軸方向の両端は前記ケースの端部にまで達し、前記堤部の長手方向の途中に第3の切欠部を備えた請求項3に記載の超音波トランスデューサ。
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KR101286768B1 (ko) * | 2009-12-08 | 2013-07-16 | 한국전자통신연구원 | 압전형 스피커 및 그 제조 방법 |
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US9105835B2 (en) * | 2010-12-10 | 2015-08-11 | Mitsubishi Electric Corporation | Air-coupled ultrasonic sensor |
CN102075837B (zh) * | 2010-12-22 | 2012-07-04 | 汉得利(常州)电子有限公司 | 一种高频率高灵敏度超声波传感器 |
KR20130013431A (ko) * | 2011-07-28 | 2013-02-06 | 삼성전기주식회사 | 초음파 센서 |
WO2013058297A1 (ja) * | 2011-10-21 | 2013-04-25 | 株式会社村田製作所 | 超音波トランスデューサー |
US10322949B2 (en) * | 2012-03-15 | 2019-06-18 | Flodesign Sonics, Inc. | Transducer and reflector configurations for an acoustophoretic device |
JP6611992B2 (ja) * | 2017-05-16 | 2019-11-27 | 三菱電機株式会社 | 超音波センサ装置及び障害物検知装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11266498A (ja) * | 1998-01-13 | 1999-09-28 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波センサ、およびその製造方法 |
JP2001013239A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波振動子 |
JP2001078296A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波振動子 |
JP2002058097A (ja) * | 2000-06-02 | 2002-02-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波振動子 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3821834A (en) * | 1972-07-18 | 1974-07-02 | Automation Ind Inc | Method of making an ultrasonic search unit |
US3921016A (en) | 1973-12-12 | 1975-11-18 | Proctor & Assoc Co | Sonic signal generator and housing |
JPS60139399U (ja) | 1984-02-24 | 1985-09-14 | 日本特殊陶業株式会社 | 超音波セラミツクセンサ |
JPS61120600A (ja) | 1984-11-15 | 1986-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波セラミツクマイクロホン |
FR2800229B1 (fr) * | 1999-10-22 | 2002-04-05 | Thomson Marconi Sonar Sas | Transducteur acoustique sous-marin a large bande |
JP2001128292A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Nippon Ceramic Co Ltd | 超音波トランスデューサの製造方法 |
JP4019799B2 (ja) * | 2002-06-04 | 2007-12-12 | 株式会社村田製作所 | 超音波センサ |
JP2004343660A (ja) | 2003-05-19 | 2004-12-02 | Nippon Ceramic Co Ltd | 超音波センサ |
JP4228997B2 (ja) * | 2004-05-26 | 2009-02-25 | パナソニック電工株式会社 | 超音波センサ |
JP4306561B2 (ja) * | 2004-08-11 | 2009-08-05 | 株式会社デンソー | 超音波センサ |
JP4193006B2 (ja) | 2005-09-09 | 2008-12-10 | 株式会社村田製作所 | 超音波センサ |
CN101297591B (zh) * | 2005-12-14 | 2011-09-07 | 株式会社村田制作所 | 超声波换能器 |
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Patent Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JPH11266498A (ja) * | 1998-01-13 | 1999-09-28 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波センサ、およびその製造方法 |
JP2001013239A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波振動子 |
JP2001078296A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波振動子 |
JP2002058097A (ja) * | 2000-06-02 | 2002-02-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波振動子 |
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