JP2002058097A - 超音波振動子 - Google Patents

超音波振動子

Info

Publication number
JP2002058097A
JP2002058097A JP2000300884A JP2000300884A JP2002058097A JP 2002058097 A JP2002058097 A JP 2002058097A JP 2000300884 A JP2000300884 A JP 2000300884A JP 2000300884 A JP2000300884 A JP 2000300884A JP 2002058097 A JP2002058097 A JP 2002058097A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
case body
inner lid
ultrasonic
closed
piezoelectric element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000300884A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4432245B2 (ja
Inventor
Masatake Uno
真武 宇野
Kiwamu Shibata
究 柴田
Tomohito Kajiyama
智史 梶山
Yusuke Hashimoto
裕介 橋本
Riyuuji Ootani
隆児 大谷
Masahiko Adachi
将彦 足立
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP2000300884A priority Critical patent/JP4432245B2/ja
Publication of JP2002058097A publication Critical patent/JP2002058097A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4432245B2 publication Critical patent/JP4432245B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K9/00Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
    • G10K9/18Details, e.g. bulbs, pumps, pistons, switches or casings
    • G10K9/22Mountings; Casings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 異方向性の指向特性を有する超音波振動子の
振動特性を安定にすることができ、さらに高出力で密閉
性の良い超音波振動子を提供する。 【解決手段】 一端面が開口すると共に他端面が閉塞面
1aであるケース体1の閉塞面1aの内面側に圧電素子
8を配設する。この閉塞面1aにて発生される超音波が
異方向性の指向特性を有する。ケース体1内部を樹脂に
より封止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波を発振する
と共に障害物からの反射波を受信して障害物の存在を検
知する、車載用等として用いられる超音波センサに適用
できる超音波振動子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の車載用の障害物検知を行う超音波
センサとしては、超音波センサから超音波を空気中に発
振し、検知対象物等の障害物に反射させて、その反射波
を超音波センサで受信し、その受信信号の処理を行い、
警報等を発するような構成になっているものがある。
【0003】このような超音波センサの取付状態を図1
9に示す。この超音波センサ24は自動車22のバンパ
ー23に取付けられている。ここで、バンパー23周辺
に存在する自動車22の移動の支障となる障害物を検知
すると共に、路面等の、自動車2の移動の支障とならな
いものを検知しないようにするためには、路面に対して
水平方向に広く、鉛直方向に狭い検知エリアを有する超
音波センサ24を使用することが好ましい。
【0004】このような、路面に対して水平方向に広
く、鉛直方向に狭い異方向性の指向特性を有する超音波
センサ24のための超音波振動子Aとしては、これまで
に、特願平11−246674号として出願した明細書
等に記載の超音波振動子を提案している。この超音波振
動子の構造を図2,3に示す。この超音波振動子Aは、
一端面が開口すると共に他端面が閉塞面1aであるケー
ス体1の閉塞面1aの内面側に圧電素子8を配設し、こ
の閉塞面1aにて発生される超音波の異方向性の指向特
性を有し、ケース体1を、金属製の板材から形成された
閉塞面1aの縦横の長さの比を調整することが可能であ
る金属ケース2と、合成樹脂材からなる樹脂ケース3と
で構成したものである。またこの超音波振動子Aの作製
にあたっては、金属ケース2のための金属製の板材の加
工には鍛造工程や切削工程が不要であるため、金属ケー
ス2を安価且つ容易に形成し得るものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
一端面が開口すると共に他端面が閉塞面1aであるケー
ス体1にて構成された超音波振動子Aでは、閉塞面1a
の内面側に配設された圧電素子8が振動すると、ケース
体1の内側の内周面付近の、閉塞面1aと垂直な領域で
ある側面部1bに向けて、閉塞面1aから機械的な振動
エネルギーが伝達され、閉塞面1aの振動エネルギーは
閉塞面1aのみが振動する場合よりも小さくなるもので
あった。
【0006】特にケース体1が、合成樹脂材からなる樹
脂ケース3と金属ケース2とで構成される場合は、超音
波振動子Aは金属ケース2の部分が板材により構成され
るため、図20(b)に示すように、ケース体1の側面
部1bの強度が弱く、この側面部1bが圧電素子8を配
設した閉塞面1aの振動に追従して振動するものであっ
た。このため、機械的な振動エネルギーが閉塞面1aか
ら側面部1bへとより分散しやすくなり、閉塞面1aの
振動エネルギーは閉塞面1aのみが振動する場合よりも
更に小さくなるものであった。
【0007】また、図20(a)に概念的に示すよう
に、圧電素子8が接続されている回路は負荷抵抗25を
有するものであり、圧電素子8の振動による閉塞面1a
からの超音波の発振終了後にケース体1に残留した機械
的残留エネルギーは大部分が閉塞面1aに配設された圧
電素子8によって電気的エネルギーに変換され、負荷抵
抗25によって熱として消費されるが、機械的振動エネ
ルギーが圧電素子8の配設された閉塞面1a以外の部分
に分散している場合は、超音波の発振終了後に機械的残
留エネルギーが消費されにくくなり、残響が長くなって
反射波の受信精度が悪化し、超音波振動子Aの応答性が
悪くなるものであった。
【0008】さらに、超音波振動子Aを自動車22のバ
ンパー23に取り付ける際に、取り付け治具によって超
音波振動子Aに及ぼされる応力により、側面部1bが容
易に変位し、その結果、超音波振動子Aの振動特性が変
化するおそれがあった。
【0009】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、超音波の出力を向上すると共に密閉性を向上し、
また超音波を受信する際の応答性を向上し、また超音波
の発振方向に異方向性の指向特性が付与されている場合
の振動特性を安定にすることができるなどの、特性が向
上された超音波振動子を提供することを目的とするもの
である。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
超音波振動子は、一端面が開口すると共に他端面が閉塞
面1aであるケース体1の閉塞面1aの内面側に圧電素
子8を配設し、この閉塞面1aにて発生される超音波が
異方向性の指向特性を有する超音波振動子Aであって、
ケース体1内部を樹脂により封止して成ることを特徴と
するものである。
【0011】また本発明の請求項2に係る超音波振動子
は、一端面が開口すると共に他端面が閉塞面1aである
ケース体1の閉塞面1aの内面側に圧電素子8を配設
し、この閉塞面1aにて発生される超音波が異方向性の
指向特性を有する超音波振動子Aであって、ケース体1
内部を粘弾性材にて封止して成ることを特徴とするもの
である。
【0012】また本発明の請求項3に係る超音波振動子
は、一端面が開口すると共に他端面が閉塞面1aである
ケース体1の閉塞面1aの内面側に圧電素子8を配設
し、この閉塞面1aにて発生される超音波が異方向性の
指向特性を有する超音波振動子Aであって、剛性の高い
部材からなる中蓋12をケース体1の内側に挿入し、こ
の中蓋12とケース体1との境界部に封止材26を充填
して成ることを特徴とするものである。
【0013】また請求項4の発明は、請求項3の構成に
加えて、封止材26として接着剤13を用い、中蓋12
とケース体1との境界部に接着剤13を介在させて成る
ことを特徴とするものである。
【0014】また請求項5の発明は、請求項3又は4の
構成に加えて、中蓋12とケース体1との境界部に封止
材26を介在させる際の封止材26の流動を促すための
流動経路12aを中蓋12に形成して成ることを特徴と
するものである。
【0015】また本発明の請求項6に係る超音波振動子
は、一端面が開口すると共に他端面が閉塞面1aである
ケース体1の閉塞面1aの内面側に圧電素子8を配設
し、この閉塞面1aにて発生される超音波が異方向性の
指向特性を有する超音波振動子Aであって、剛性の高い
部材からなる中蓋12をケース体1の内側に圧入して成
ることを特徴とするものである。
【0016】また請求項7の発明は、請求項3乃至6の
いずれかの構成に加えて、中蓋12を成形品にて成形し
て成ることを特徴とするものである。
【0017】また請求項8の発明は、請求項7の構成に
加えて、中蓋12を制振性に優れた樹脂材料の成形品に
て成形して成ることを特徴とするものである。
【0018】また請求項9の発明は、請求項3乃至8の
いずれかの構成に加えて、中蓋12の形状を、ケース体
1の閉塞面1aを水平に配置した状態におけるこの閉塞
面1aと垂直な少なくとも一つの断面形状が工字状とな
るように形成して成ることを特徴とするものである。
【0019】また請求項10の発明は、請求項3乃至9
のいずれかの構成に加えて、ケース体1の閉塞面1aの
内面側に配設された圧電素子8に接続された電力伝送用
のリード線7をケース体1の閉塞面1a側から開口面1
c側に導出するためのリード用通路18を中蓋12に設
けて成ることを特徴とするものである。
【0020】また請求項11の発明は、請求項10の構
成に加えて、リード用通路18に粘弾性材19を充填し
て成ることを特徴とするものである。
【0021】また請求項12の発明は、請求項11の構
成に加えて、リード用通路18に粘弾性材19を充填す
る際の粘弾性材19の流動を促すための流動経路20を
中蓋12に設けて成ることを特徴とするものである。
【0022】また請求項13の発明は、請求項3又は4
の構成に加えて、中蓋12とケース体1との境界部に封
止材26を介在させる際の封止材26の流動を促すため
の流動経路12aと、ケース体1の閉塞面1aの内面側
に配設された圧電素子8に接続された電力伝送用のリー
ド線7をケース体1の閉塞面1a側から開口面1c側に
導出するためのリード用通路18と、リード用通路18
に粘弾性材19を充填する際の粘弾性材19の流動を促
すための流動経路20とを、中蓋12に設けて成ること
を特徴とするものである。
【0023】また請求項14の発明は、請求項3乃至1
3のいずれかの構成に加えて、ケース体1の閉塞面1a
の内面側に位置する圧電素子8に接続された電力伝送用
のリード線7を中蓋12に固定して成ることを特徴とす
るものである。
【0024】また請求項15の発明は、請求項14の構
成に加えて、ケース体1の閉塞面1aの内面側に位置す
る圧電素子8に接続されると共に中蓋12に固定された
リード線7に、より線径の大きいリード線7aを接続し
又は導通させて成ること特徴とするものである。
【0025】また請求項16の発明は、請求項1乃至1
5のいずれかの構成に加えて、ケース体1を金属にて構
成して成ることを特徴とするものである。
【0026】また請求項17の発明は、請求項1乃至1
5のいずれかの構成に加えて、ケース体1を金属製の板
材から形成される金属ケース2と合成樹脂材からなる樹
脂ケース3とで構成して成ることを特徴とするものであ
る。
【0027】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。
【0028】本発明に係る超音波振動子Aは、一端が開
口する開口面1cとして形成されると共に他端が閉塞面
1aとして構成されるケース体1の閉塞面1aの内面側
に圧電素子8を配設して構成される。このケース体1は
金属にて構成することができ、また金属製の板材から形
成される金属ケース2と合成樹脂材からなる樹脂ケース
3とで構成することもできる。
【0029】図2,3は金属製の板材から形成される金
属ケース2と合成樹脂材からなる樹脂ケース3とでケー
ス体1を構成し、このケース体1に対して圧電素子8を
配設した様子を示す。
【0030】金属ケース2は、振動部4と振動抑止部5
とから構成されている。振動部4は厚みがほぼ均一な矩
形状の板状に形成され、一面が超音波送受信面4cとし
て形成されており、また他面は圧電素子8が配設される
配設面4dとして形成されている。振動抑止部5は振動
部4の外縁から配設面4d側に向けて延設されて筒状に
形成されている。ここで振動部4の外縁を構成する4個
の辺のうちの、対向し合う一対の辺と、振動抑止部5と
の間にはそれぞれ金属ケース2の内側と外側とを連通す
る開口部9が形成されており、そのためこの一対の辺
が、振動抑止部5と直接には接続されていない非接続部
4bとしてそれぞれ形成されている。また他の対向し合
う一対の辺は振動抑止部5と直接接続された接続部4a
としてそれぞれ形成されている。すなわち、振動部4の
外縁に沿って交互に形成された接続部4aと非接続部4
bとが、接続部4a同士の並び方向と非接続部4b同士
の並び方向とが略直交するように配置されているもので
ある。
【0031】樹脂ケース3は、剛性が高く制振性に優れ
た合成樹脂材にて形成される。この樹脂ケース3は前面
が円形状、背面が前面よりも径が大きい円形状に形成さ
れており、前面と背面とを接続する外周面には、前面側
よりも背面側の方が径が大きくなるように段差5aが形
成されている。この樹脂ケース3には前面及び背面にて
開口する前後方向の貫通孔が形成されており、この貫通
孔の内部が配置部6として構成されている。この配置部
6の内周形状は、金属ケース2の振動抑止部5の外周面
形状と略同一の形状及び寸法を有する断面略矩形状に形
成されている。
【0032】金属ケース2は、配置部6内に保持されて
いるものであり、このとき金属ケース2の振動部4は配
置部6の、前面側の開口を塞ぐと共に振動部4の超音波
送受信面4cが樹脂ケース3の前面と略面一になるよう
に配置される。また振動抑止部5は配置部6の内面に密
接して配置され、配置部6の内面において樹脂ケース3
に固定されている。そのため、配置部6の外縁のうち、
一対の接続部4aは樹脂ケース3に固定され、一対の非
接続部4bは固定されずに撓みやすくなっている。また
ここで配置部6の、振動部4にて閉塞される側の開口に
は、金属ケース2の開口部9から金属ケース2の内側に
向けて突出する突出部27が突設されている。
【0033】圧電素子8は、振動部4の配設面4dに電
気的に接続されて配設されている。また金属ケース2の
振動抑止部5と、圧電素子8の、配設面4dに接続され
ていない側の面には、それぞれリード線7が接続されて
いる。
【0034】このようにして構成される超音波振動子A
は、リード線7間にパルス電圧を印加し、またリード線
7間に発生する電圧を測定する制御回路を接続すること
により、超音波センサとして構成することができる。そ
してリード線7間にパルス電圧を印加すると圧電素子8
が振動し、それに従って振動部4が振動して超音波を発
振する。また、この振動部4から発振した超音波が障害
物等にあたって反射し、この反射波が振動部4の超音波
送受信面4cにあたると、振動部4が振動し、それに応
じて圧電素子8が振動する。このとき圧電素子8内に起
電力が発生するものであり、リード線7間の起電力を検
知することにより、障害物の有無を検知することができ
る。
【0035】このような超音波振動子Aを自動車のバン
パー等の、取付対象物に取付ける場合は、取付対象物に
形成した開口に超音波振動子Aを、開口部9においてケ
ース体1の閉塞面1aが外部に露出するように配設す
る。このとき特に車載用として超音波振動子Aを自動車
のバンパー等に配設する場合は、ケース体1の閉塞面1
aを水平面に対して略垂直に配置すると共に、振動部4
における一対の接続部4aが水平方向に並ぶように配置
され、一対の非接続部4bが鉛直方向に並ぶように配置
される。
【0036】超音波振動子Aから超音波を発振する場
合、超音波送受信面4cでの振動部4における水平方向
(一方の接続部4aから他方の接続部4aへと向う方
向)の振動モードは単純な撓み振動であるが、鉛直方向
(一方の非接続部4bから他方の非接続部4bへと向う
方向)の振動モードは、非接続部4bが樹脂ケース3に
固定されていないために撓みやすくなっているので、水
平方向の振動モードに比べて平面振動が大きくなるもの
であり、振動部4を厚みが略均一な平板状に形成したと
しても、振動部4に複数種の振動モードを発生させるこ
とができる。その結果、振動部4の振動により発生する
超音波の発振方向は、水平方向に比べて鉛直方向に広が
らずに鋭くなり、振動部4から発振される超音波には、
全体として水平方向には広がるが鉛直方向への広がりが
狭くなる異方向性を持つ指向性が付与される。それに従
って超音波振動子Aの検知エリアは、水平方向に広く、
垂直方向に狭いものとなるものであり、しかも超音波の
送波出力が向上されるものである。そのため、このよう
な超音波振動子Aを特に車載用として用いると、路面等
の、自動車の移動の支障とならないものを検知しないよ
うにすることができるものである。
【0037】また超音波振動子Aから発振される超音波
自身が異方向性を持つ指向性を有するため、超音波振動
子Aからの超音波の発振方向である前方に超音波に指向
性を付与するためのホーン等を設ける必要がなく、超音
波振動子Aの前方に窪み等を形成せずに超音波振動子A
を直接外部に露出させることができるものであり、超音
波振動子Aの前方に雨水、雪、埃等の異物が溜ることを
防ぎ、このような異物によって超音波振動子Aから発振
される超音波の異方向性の指向特性の変化や誤作動を防
止することができるものであり、障害物を検知できる検
知エリアが変化したり、障害物が存在しないにもかかわ
らず、障害物があるかのように報知してしまうというよ
うな事態を防ぐことができるものである。
【0038】また、超音波振動子Aを取付対象物に取付
けた状態において、ケース体1の閉塞面1aを取付対象
物の表面と面一になるように配設することができ、ホー
ン等が取付対象物の表面から突出したり、開口が外部に
露出するようなことがなく、取付状態における外観を向
上することができるものである。
【0039】またこのような超音波振動子Aにおいて、
樹脂ケース3を形成するにあたっては、成形金型のキャ
ビティ内に金属ケース2を配置した状態でキャビティ内
に樹脂ケース3を成形するインサート成形により、金属
ケース2に樹脂ケース3を一体に成形してケース体1を
作製することができる。このようにすると、樹脂ケース
3を成形すると同時にケース体1を作製することがで
き、超音波振動子Aの作製工程を削減することができる
ものであり、しかも金属ケース2の振動抑止部5と樹脂
ケース3の配置部6の内面との密着性を向上して、金属
ケース2の振動部4の接続部4aを樹脂ケース3に安定
して固定することができ、超音波振動子Aの作動安定性
を向上することができるものである。
【0040】図5はケース体1を金属のみにて構成し、
このケース体1に対して圧電素子8を配設した様子を示
す。
【0041】ケース体1は前面と背面とが略同一形状の
円柱状に形成されている。このケース体1の内部には背
面に開口する配置部6が形成されており、前面が閉塞面
1a、背面が開口面1cとして形成されている。ここ
で、配置部6の閉塞面1aと平行な断面形状は一方向が
この方向と直交する方向よりも長い形状に形成されてお
り、図示の例では外周形状が一対の対向し合う長辺6
a,6a及びこの長辺6a,6aと直交する一対の対向
し合う短辺6b,6bからなる矩形状に形成されてい
る。また閉塞面1aは超音波送受信面4cとして形成さ
れており、閉塞面1aの内面側は圧電素子8が配設され
る配設面4dとして形成されている。
【0042】圧電素子8は、配設面4dに電気的に接続
されて配設されている。また配置部6の内周面と、圧電
素子8の配設面4dに接続されていない側の面には、そ
れぞれリード線7が接続されている。
【0043】このような超音波振動子Aを自動車のバン
パー等の、取付対象物に取付ける場合は、取付対象物に
形成した開口に超音波振動子Aを、開口部9においてケ
ース体1の閉塞面1aが外部に露出するように配設す
る。このとき特に車載用として超音波振動子Aを自動車
のバンパー等に配設する場合は、ケース体1の閉塞面1
aを水平面に対して略垂直に配置すると共に、配置部6
の断面形状が、一対の長辺6aが水平方向に並ぶように
配置され、一対の短辺6bが鉛直方向に並ぶように配置
される。
【0044】超音波振動子Aから超音波を発振する場
合、超音波送受信面4cにおける鉛直方向(一方の短辺
6bから他方の短辺6bへと向う方向)の振動モード
は、水平方向(一方の長辺6aから他方の長辺6aへと
向う方向)の振動モードに比べて平面振動が大きくな
り、超音波送受信面4cに複数種の振動モードを発生さ
せることができる。その結果、超音波送受信面4cの振
動により発生する超音波の発振方向は、水平方向に比べ
て鉛直方向に広がらずに鋭くなり、超音波送受信面4c
から発振される超音波には、全体として水平方向には広
がるが鉛直方向への広がりが狭くなる異方向性を持つ指
向性が付与される。それに従って超音波振動子Aの検知
エリアは、水平方向に広く、垂直方向に狭いものとなる
ものであり、しかも超音波の送波出力が向上されるもの
である。そのため、このような超音波振動子Aを特に車
載用として用いると、路面等の、自動車の移動の支障と
ならないものを検知しないようにすることができるもの
である。
【0045】また超音波振動子Aから発振される超音波
自身が異方向性を持つ指向性を有するため、超音波振動
子Aからの超音波の発振方向である前方に超音波に指向
性を付与するためのホーン等を設ける必要がなく、超音
波振動子Aの前方に窪み等を形成せずに超音波振動子A
を直接外部に露出させることができるものであり、超音
波振動子Aの前方に雨水、雪、埃等の異物が溜ることを
防ぎ、このような異物によって超音波振動子Aから発振
される超音波の異方向性の指向特性の変化や誤作動を防
止することができるものであり、障害物を検知できる検
知エリアが変化したり、障害物が存在しないにもかかわ
らず、障害物があるかのように報知してしまうというよ
うな事態を防ぐことができるものである。
【0046】また、超音波振動子Aを取付対象物に取付
けた状態において、ケース体1の閉塞面1aを取付対象
物の表面と面一になるように配設することができ、ホー
ン等が取付対象物の表面から突出したり、開口が外部に
露出するようなことがなく、取付状態における外観を向
上することができるものである。
【0047】本発明では、このように構成される超音波
振動子Aのケース体1の内部を封止樹脂や粘弾性材で封
止したり、あるいはケース体の内部に中蓋を配置したり
することにより、超音波振動子Aの特性を向上したもの
である。
【0048】以下において本発明を、具体的な実施形態
を挙げて説明する。
【0049】(実施形態1)本実施形態に係る超音波振動
子Aの構成を、図1を示して説明する。
【0050】この実施形態では図2,3に示すように金
属製の板材から形成される金属ケース2と合成樹脂材か
らなる樹脂ケース3とでケース体1を構成し、このケー
ス体1に対して圧電素子8を配設したものである。ま
た、配置部6の内部には、フェルト等にて形成された吸
音材11が配設されており、この吸音材11は、圧電素
子8の、振動部4とは反対側に、僅かに離間させた状態
で配置されている。
【0051】また、図1に示すように、配置部6の内部
には、吸音材11の表面から開口面1cに亘って、樹脂
からなる充填材10が充填されており、これによりケー
ス体1の内部が樹脂にて封止されている。この樹脂から
なる充填材10としては、時間の経過と共に硬化する樹
脂を用いることができ、例えばエポキシ樹脂を用いるこ
とができる。このような充填材10を形成するにあたっ
ては、例えば液状のエポキシ樹脂を配置部6内に注入し
た後、加熱硬化するものである。
【0052】このように形成された超音波振動子Aで
は、充填材10によって開口面1cが閉塞されることに
より、超音波振動子Aの防水性を向上し、防滴仕様の超
音波センサを得ることができる。また圧電素子8を振動
させて超音波を発振させる際に、図1(c)に示すよう
に、配置部6の内周面付近の領域(以下、側面部1bと
いう)が充填材10によって固定されることで圧電素子
8が配設された閉塞面1aに振動エネルギーが集中し、
出力音圧が大きくなるものである。また、圧電素子8の
振動を停止させて超音波振動子Aの駆動を終了した後
に、超音波振動子Aに残留する機械的振動エネルギーが
圧電素子8によって電気エネルギーに変換されて、圧電
素子8に接続された回路の負荷抵抗によって熱として消
費される際に、圧電素子8が配設された閉塞面1aにケ
ース体1の振動が集中することにより、機械的振動エネ
ルギーが圧電素子8によって効率よく電気エネルギーに
変化され、更に負荷抵抗によって消費されることとな
る。その結果、超音波振動子Aの振動が速やかに減衰さ
れることとなって残響が短くなり、反射波の受信精度が
向上して超音波振動子Aの応答性が向上するものであ
る。
【0053】また、上記の構成において、充填材10を
シリコーン等の粘弾性材にて構成することもできる。こ
のようにすると、閉塞面1aの振動に追従して側面部1
bが振動したとしても、圧電素子8の振動を停止させて
超音波振動子Aの駆動を終了した後に、側面部1bに残
留した振動エネルギーを粘弾性材からなる充填材10が
固有のヒステリシス特性によって熱として吸収する。そ
の結果、超音波振動子Aの残響が短くなり、反射波の受
信精度が向上して応答性能が向上するものである。
【0054】(実施形態2)図4に本実施形態の構成を
示す。
【0055】この実施形態では図2,3に示すように金
属製の板材から形成される金属ケース2と合成樹脂材か
らなる樹脂ケース3とでケース体1を構成し、このケー
ス体1に対して圧電素子8を配設したものである。ま
た、配置部6の内部には、フェルト等にて形成された吸
音材11が配設されており、この吸音材11は、圧電素
子8の、振動部4とは反対側に、僅かに離間させた状態
で配置されている。
【0056】このケース体1の配置部6内には、中蓋1
2が配置されている。この中蓋12は配置部6内におい
て、吸音材11の表面から開口面1cに亘って配置され
ており、この中蓋12と配置部6の内周面との間の境界
領域における隙間は封止材26にて封止されている。封
止材26としてはエポキシ樹脂等のような樹脂の硬化物
や、シリコーン等の粘弾性材を用いることができる。こ
こで、図示はしていないが中蓋12の開口面1c側の端
面が開口面1cよりも内方に配置されるように中蓋12
を配置する場合は、配置部6における中蓋12の端面か
ら開口面1cまでの領域をも封止材26にて封止するこ
とができる。
【0057】このようにして封止材26にて中蓋12と
ケース体1の配置部6の内面との隙間を封止した結果、
ケース体1の開口面1cが密閉され、超音波振動子Aの
防水性を向上し、防滴仕様の超音波センサを得ることが
できる。また圧電素子8を振動させて超音波を発振させ
る際に、配置部6の側面部1bが中蓋12によって固定
されることで圧電素子8が配設された閉塞面1aに振動
エネルギーが集中し、出力音圧が大きくなるものであ
る。また、圧電素子8の振動を停止させて超音波振動子
Aの駆動を終了した後に、超音波振動子Aに残留する機
械的振動エネルギーが圧電素子8によって電気エネルギ
ーに変換されて負荷抵抗によって熱として消費される際
に、圧電素子8が配設された閉塞面1aにケース体1の
振動が集中することにより、機械的振動エネルギーが圧
電素子8によって効率よく電気エネルギーに変化され、
更に負荷抵抗によって消費されることとなる。その結
果、超音波振動子Aの振動が速やかに減衰されることと
なって残響が短くなり、反射波の受信精度が向上して、
超音波振動子Aの応答性が向上するものである。
【0058】ここで、上記の中蓋12は、金属等の剛性
の高い材質にて構成することができ、この場合、所望の
効果を得ることができる。
【0059】また中蓋12はプラスチック等の成形品に
て形成することもできる。この場合は液晶ポリマー等の
ような制振性に優れたプラスチックの成形品にて形成す
ることが好ましい。液晶ポリマーは、成形時に層状構造
を成し、外部から与えられた振動エネルギーを各層間の
摩擦によって熱エネルギーとして吸収する働きがあるも
のであり、このため、中蓋12の材料に液晶ポリマー等
を用いた場合、超音波振動子Aの駆動終了後にケース体
1の側面部1bに残留した振動エネルギーを液晶ポリマ
ー等からなる中蓋12が熱として吸収し、その結果残響
が短くなって、反射波の受信精度が向上し、超音波振動
子Aの応答性が向上するものである。
【0060】また、特に封止材26として、エポキシ樹
脂等からなる接着剤13を用い、中蓋12とケース体1
との境界部に接着剤13を介在させると、配置部6の側
面部1bを中蓋12によって更に強固に固定することが
できて、出力音圧が更に向上すると共に応答性も更に向
上するものである。
【0061】(実施形態3)図6に本実施形態の構成を
示す。
【0062】この実施形態では図5に示すようにケース
体1を金属のみにて構成し、このケース体1に対して圧
電素子8を配設している。また、配置部6の内部には、
フェルト等にて形成された吸音材11が配設されてお
り、この吸音材11は、圧電素子8の、振動部4とは反
対側に、僅かに離間させた状態で配置されている。
【0063】また、配置部6の内部には、フェルト等に
て形成された吸音材11が配設されており、この吸音材
11は、圧電素子8の、振動部4とは反対側に、僅かに
離間させた状態で配置されている。
【0064】また、このケース体1の配置部6内には、
中蓋12が配置されている。この中蓋12は配置部6内
において、吸音材11の表面から開口面1cに亘って配
置されており、この中蓋12と配置部6の内周面との間
の境界領域における隙間は封止材26にて封止されてい
る。封止材26としてはエポキシ樹脂等のような樹脂の
硬化物や、シリコーン等の粘弾性材を用いることができ
る。ここで、図示はしていないが中蓋12の開口面1c
側の端面が開口面1cよりも内方に配置されるように中
蓋12を配置する場合は、配置部6における中蓋12の
端面から開口面1cまでの領域をも封止材26にて封止
することができる。
【0065】このようにして封止材26にて中蓋12と
ケース体1の配置部6の内面との隙間を封止した結果、
ケース体1の開口面1cが密閉され、超音波振動子Aの
防水性を向上し、防滴仕様の超音波センサを得ることが
できる。また圧電素子8を振動させて超音波を発振させ
る際に、配置部6の側面部1bが中蓋12によって固定
されることで圧電素子8が配設された閉塞面1aに振動
エネルギーが集中し、出力音圧が大きくなるものであ
る。また、圧電素子8の振動を停止させて超音波振動子
Aの駆動を終了した後に、超音波振動子Aに残留する機
械的振動エネルギーが圧電素子8によって電気エネルギ
ーに変換されて負荷抵抗によって熱として消費される際
に、圧電素子8が配設された閉塞面1aにケース体1の
振動が集中することにより、機械的振動エネルギーが圧
電素子8によって効率よく電気エネルギーに変化され、
更に負荷抵抗によって消費されることとなる。その結
果、超音波振動子Aの振動が速やかに減衰されることと
なって残響が短くなり、反射波の受信精度が向上して、
超音波振動子Aの応答性が向上するものである。
【0066】ここで、上記の中蓋12は、金属等の剛性
の高い材質にて構成することができ、この場合、所望の
効果を得ることができる。
【0067】また中蓋12はプラスチック等の成形品に
て形成することもできる。この場合は液晶ポリマー等の
ような制振性に優れたプラスチックの成形品にて形成す
ることが好ましい。液晶ポリマーは、成形時に層状構造
を成し、外部から与えられた振動エネルギーを各層間の
摩擦によって熱エネルギーとして吸収する働きがあるも
のであり、このため、中蓋12の材料に液晶ポリマー等
を用いた場合、超音波振動子Aの駆動終了後にケース体
1の側面部1bに残留した振動エネルギーを液晶ポリマ
ー等からなる中蓋12が熱として吸収し、その結果残響
が短くなって、反射波の受信精度が向上し、超音波振動
子Aの応答性が向上するものである。
【0068】また、特に封止材26として、エポキシ樹
脂等からなる接着剤13を用い、中蓋12とケース体1
との境界部に接着剤13を介在させると、配置部6の側
面部1bを中蓋12によって更に強固に固定することが
できて、出力音圧が更に向上すると共に応答性も更に向
上するものである。
【0069】(実施形態4)図7に本実施形態を示す。
【0070】この実施形態では図2,3に示すように金
属製の板材から形成される金属ケース2と合成樹脂材か
らなる樹脂ケース3とでケース体1を構成し、このケー
ス体1に対して圧電素子8を配設したものである。ま
た、配置部6の内部には、フェルト等にて形成された吸
音材11が配設されており、この吸音材11は、圧電素
子8の、振動部4とは反対側に、僅かに離間させた状態
で配置されている。
【0071】また、本実施形態においても、実施形態2
と同様の材質からなる中蓋12を用いるものであるが、
本実施形態ではケース体1の配置部6の開口寸法tより
も、閉塞面1aと平行な方向における中蓋12の寸法
t′を大きく形成し、中蓋12をケース体1の配置部6
内に圧入するものである。このようにすると、配置部6
の内周面に対して中蓋12の外周面が圧接することとな
って、ケース体1の側面部1bが実施形態2の場合より
も強固に固定されることとなり、ケース体1の振動エネ
ルギーがより閉塞面1aに集中することとなる。その結
果、超音波振動子Aの出力音圧が更に向上し、また残響
が短くなって反射波の受信精度が向上し、応答性が更に
向上するものである。
【0072】(実施形態5)図8に本実施形態の構成を
示す。
【0073】本実施形態では、図4に示すように中蓋1
2を接着剤13等の封止材26を介して配置部6内に配
置するにあたり、中蓋12とケース体1の配置部6との
境界部に注入された封止材26の流動を促すための流動
経路12aを中蓋12に形成したものである。図示の例
では、略直方体状に形成された中蓋12の外周面の四つ
の隅部に、配置部6の閉塞面1aから開口面1c方向に
亘る四個の溝を形成すると共に、閉塞面1a側におい
て、隣り合う二つの溝同士を連通する溝を形成すること
により、二つの流動経路12aがコ字状の溝として形成
されている。
【0074】このように流動経路12aを形成すると、
中蓋12の外面と配置部6の内面に接着剤13等の封止
材26を介在させた状態で中蓋12を配置部6内に配置
しようとする際に、中蓋12の外面と配置部6の内面と
の間に空気の層が介在していても、封止材26が図8
(b)の矢印に示すように流動経路12aを、ケース1
の開口面1c側から閉塞面1a側に流動し、更に閉塞面
1a側から開口面1c側に向けて流動し、それに伴って
空気の層を停滞させることなく配置部6と中蓋12との
境界の隙間から押し出すものであり、その結果、封止材
26による配置部6と中蓋12との接着信頼性が向上す
るものである。そして、このためケース体1の側面部1
bがより強固に固定され、超音波振動子Aの出力音圧が
更に向上すると共に、駆動停止時の残響が更に短くなっ
て、反射波の受信精度が向上し、応答性が更に向上する
ものである。
【0075】(実施形態6)図9では、ケース体1の配
置部6は、閉塞面1aと平行な平面における開口形状を
長方形状に形成したものである。ここで、ケース体1の
側面部1bのうち、配置部6を開口面1c側からみた場
合の配置部6の長手方向に沿った領域を長手領域14、
配置部6の短手方向に沿った領域を短手領域15とす
る。このように構成される超音波振動子Aでは、圧電素
子8が振動して閉塞面1aが振動した場合、この閉塞面
1aの振動に追従して側面部1bが振動するが、このと
き主として長手領域14が振動することとなる。そこ
で、配置部6に中蓋12を配置するにあたっては、中蓋
12が主としてその剛性によって長手領域14を固定す
るようにすることが好ましい。
【0076】また、配置部6に中蓋12が配置されてい
ない状態では、側面部1bが振動する場合は、図10
(a)に示すように、側面部1bは開口面1c側の端部
16に近づくに従って大きく振動することとなるから、
配置部6に中蓋12を配置するにあたっては、中蓋12
が開口面1c側の端部16付近をその剛性によって強固
に固定することが好ましい。
【0077】更に、図10(b)に示すように、配置部
6に中蓋12が配置されている状態において、閉塞面1
aを振動させる場合、金属ケース2の振動部4に振動が
集中するような理想的振動形状を実現するためには、側
面部1bの、閉塞面1a側の端部17付近に振動の節が
形成されることが好ましく、そのためには中蓋12はそ
の剛性によって側面部1bの閉塞面1a側の端部17付
近を強固に固定することが好ましい。
【0078】以上のことから、本実施形態では、ケース
体1の側面部1bのうちの特に長手領域14において、
開口面1c側の端部16付近及び閉塞面1a側の端部1
7付近を強固に固定するものである。
【0079】図11に本実施形態の構成を示す。
【0080】ケース体1の配置部6は、図9に示すもの
と同様に、閉塞面1aと平行な平面における開口形状を
長方形状に形成している。
【0081】中蓋12には、ケース体1の長手領域14
側の側面において、閉塞面1a側の端部17及び開口面
1c側の端部16に、突出部12bが外方に突出するよ
うに設けられており、そのため、中蓋12の、閉塞面1
aと垂直かつ一方の長手領域14から他方の長手領域1
4に亘る方向の断面形状が工字状に形成されている。
【0082】そして、中蓋12を配置部6内に配置した
状態では、図11(c)に示すように側面部1bのうち
の開口面1c側の端部16付近及び閉塞面1a側の端部
17付近において、各突出部12bの先端は配置部6の
内面に沿って配置されて、側面部1bを固定するもので
ある。
【0083】このような構成では、中蓋12は突出部1
2bによって、特に長手領域14において、開口面1c
側の端部16付近及び閉塞面1a側の端部17付近を強
固に固定するものであり、長手領域14の振動を防止し
て側面部1bの振動を効果的に防止して駆動停止時の残
響が更に短くなって、反射波の受信精度が向上し、応答
性が更に向上するものであり、更に超音波発振時の振動
の節を側面部1bの、閉塞面1a側の端部17付近に形
成するようにして理想的な振動が発振されるようにし、
出力音圧が更に向上するものである。
【0084】また、この中蓋12を、開口面1c側を上
方、閉塞面1a側を下方に配置した状態において、各突
出部12bが形成されている面からみると、各突出部1
2bの、閉塞面1aと平行な方向の両端部は、中蓋12
の、突出部12bが形成されていない面よりも内側に配
置されるように形成されている。このため、中蓋12
の、突出部12bが形成されている側の面には接着剤1
3等の封止材26の流動を促すための流動経路12a
が、H字状の溝として形成されている。従って、中蓋1
2を接着剤13等の封止材26を介して配置部6に配置
する場合には、実施形態5の場合と同様に、中蓋12の
外面と配置部6の内面との間に空気の層が介在していて
も、接着剤13等の封止材26が流動経路12aを流動
し、それに伴って空気の層を停滞させることなく配置部
6と中蓋12との境界の隙間から押し出すものであり、
その結果、接着剤13等の封止材26による配置部6と
中蓋12との接着信頼性が向上するものである。そし
て、このためケース体1の側面部1bがより強固に固定
され、超音波振動子Aの出力音圧が更に向上すると共
に、駆動停止時の残響が更に短くなって、反射波の受信
精度が向上し、応答性が更に向上するものである。
【0085】(実施形態7)図12に本実施形態の構成
を示す。
【0086】中蓋12には、図12(a)に示すよう
に、圧電素子8に接続されたリード線7を配置部6内に
おいて閉塞面1a側から開口面1c側まで導出するため
のリード用通路18が形成されており、配置部6に中蓋
12を配置すると共に、リード線7を容易に導出できる
ようになっている。
【0087】図12(b)に示す例では、中蓋12の略
中央部を閉塞面1a側から開口面1c側に貫通する貫通
孔によって、リード用通路18が構成されている。
【0088】図12(c)に示す例では、略直方体状に
形成された中蓋12の側面のうち、一つの平面部分の略
中央部に形成された、閉塞面1a側から開口面1c側に
向かう溝によって、リード用通路18が構成されてい
る。
【0089】図12(d)に示す例では、略直方体状に
形成された中蓋12の側面のうち、一つの角部を切り欠
くように形成された、閉塞面1a側から開口面1c側に
向かう溝によって、リード用通路18が構成されてい
る。
【0090】このようにして構成されるリード用通路1
8内にリード線7を通すことにより、圧電素子8に接続
されたリード線7を配置部6内において閉塞面1a側か
ら開口面1c側まで導出することができる。ここで、図
12(c)及び図12(d)に示す例では、中蓋12の
中央に貫通孔をあけないようにしてリード用通路18を
形成したものであり、そのため中蓋12の剛性の低下を
抑制し、中蓋12によるケース体1の側面部1bの固定
強度が低下しないようにしている。
【0091】(実施形態8)図13に本実施形態の構成
を示す。
【0092】本実施形態では、実施形態7のように中蓋
12にリード用通路18を形成し、リード用通路18に
リード線7を通した後、更にこのリード用通路18内に
シリコーン等の粘弾性材19を充填し、リード線7を固
定したものである。
【0093】このため、ケース体1の密閉性が向上し、
超音波振動子Aの防水性が向上する。また、超音波の発
振時に圧電素子8からリード線7へ伝達された振動は、
粘弾性材19によって速やかに吸収されることとなっ
て、超音波発振の停止時にリード線7に振動エネルギー
が残留して残響の原因となることを防ぎ、反射波の受信
精度が向上して超音波振動子Aの応答性が向上するもの
である。更に、貫通孔又は溝にて構成されるリード用通
路18に粘弾性材19を充填させることで、リード線7
の周囲に粘弾性材19を付着させるにあたって、リード
線7に直接粘弾性材19を塗布するような工程を削減す
ることができるものである。
【0094】(実施形態9)図14,15に本実施形態
の構成を示す。
【0095】本実施形態では、実施形態7,8のように
中蓋12にリード用通路18を形成し、更に中蓋12
に、リード用通路18を充填するために注入される粘弾
性材の流動を促すための流動経路20を形成したもので
ある。
【0096】図15(a)に示す例では、中蓋12を閉
塞面1a側から開口面1c側に貫通する貫通孔を二個設
けることにより、リード用通路18と流動経路20とが
構成されている。
【0097】図15(b)に示す例では、略直方体状に
形成された中蓋12の側面のうち、一つの平面と、この
平面に対して略平行な平面とに、それぞれその略中央部
に形成された、閉塞面1a側から開口面1c側に向かう
溝によって、リード用通路18及び流動経路20が構成
されている。
【0098】図15(c)に示す例では、略直方体状に
形成された中蓋12の側面のうち、一つの角部、及びこ
の角部と平行かつこの角部と隣合う角部をそれぞれ切り
欠くように形成された、閉塞面1a側から開口面1c側
に向かう溝によって、リード用通路18及び流動経路2
0が構成されている。
【0099】このようなリード用通路18と流動経路2
0とが形成された中蓋12は、図14に示すように、そ
の閉塞面1a側の端部と吸音材11との間に隙間が生じ
る状態で配置部6内に配置される。そして、リード用通
路18にリード線7が通された状態でリード用通路18
に粘弾性材19が注入されると、リード用通路18内の
空気は、図15に矢印で示すように、粘弾性材19に押
し出されて、流動経路20から外部に放出されるもので
あり、粘弾性材19がリード用通路18に、空気の層が
存在することなく、スムーズに充填される。このとき、
粘弾性材19を更にリード用通路18に注入し続けるこ
とにより、粘弾性材19を、中蓋12及び吸音材11の
間の領域及び流動経路20内にも充填するものである。
【0100】(実施形態10)図16に本実施形態の構
成を示す。
【0101】中蓋12の側面のうち、対向し合う二面に
は、それぞれ閉塞面1aと略平行方向の溝が形成されて
おり、この溝の両端からは、中蓋12の角部において、
開口面1c側に向かう溝が形成されており、これによ
り、接着剤13等の封止材26の流動経路12aが構成
されている。
【0102】また、中蓋12の側面のうち、他の対向し
合う二面には、それぞれその略中央部に、閉塞面1a側
から開口面1c側に向かう溝が形成されており、この各
溝によって、リード用通路18及び粘弾性材19の流動
経路20が構成されている。
【0103】このように構成すると、実施形態5の場合
と同様に、中蓋12の外面と配置部6の内面に接着剤1
3等の封止材26を介在させた状態で中蓋12を配置部
6内に配置しようとする際に、中蓋12の外面と配置部
6の内面との間に空気の層が介在していても、接着剤1
3等の封止材26が図16(b)の矢印イに示すように
流動経路12aを、ケース1の開口面1c側から閉塞面
1a側に流動し、更に閉塞面1a側から開口面1c側に
向けて流動し、それに伴って空気の層を停滞させること
なく配置部6と中蓋12との境界の隙間から押し出すも
のであり、その結果、接着剤13等の封止材26による
配置部6と中蓋12との接着信頼性が向上するものであ
る。そして、このためケース体1の側面部1bがより強
固に固定され、超音波振動子Aの出力音圧が更に向上す
ると共に、駆動停止時の残響が更に短くなって、反射波
の受信精度が向上し、応答性が更に向上するものであ
る。
【0104】また、リード用通路18にリード線7が通
された状態でリード用通路18に粘弾性材19が注入さ
れると、実施形態8の場合と同様に、リード用通路18
内の空気は、図16に矢印ロで示すように、粘弾性材1
9に押し出されて、流動経路20から外部に放出される
ものであり、粘弾性材19がリード用通路18に、空気
の層が存在することなく、スムーズに充填される。この
とき、粘弾性材19を更にリード用通路18に注入し続
けることにより、粘弾性材19を、中蓋12及び吸音材
11の間の領域及び流動経路20内にも充填するもので
ある。
【0105】(実施形態11)図17に本実施形態の構
成を示す。
【0106】中蓋12には、図15(b)に示すものと
同様に、リード用通路18及び流動経路20が形成され
ている。また、中蓋12の、ケース体1の開口面1a側
に配置される面には、固定用突起21が突設されてい
る。この固定用突起21は、中蓋12を配置部6に配置
した状態で、ケース部1の開口面1cから突出するよう
に形成される。
【0107】そして、圧電素子8に直接接続されている
リード線7は、リード用通路18内に通すことにより、
配置部6内において閉塞面1a側から開口面1c側まで
導出され、ケース体1外に引き出される。そしてこの引
き出されたリード線7を、固定用突起21に巻回すなど
することにより固定するものである。
【0108】このようにすると、リード線7の一端部分
に外力が加えられた場合、主に中蓋12の固定用突起2
1の部分に応力が加わり、リード線7と圧電素子8との
接合部分8aには応力が加わりにくくなって、圧電素子
8とリード線7との接続信頼性が向上するものである。
そのため、この超音波振動子Aを自動車等の超音波セン
サとして組み込むなどの組み立て工程において、ケース
体1の外部に引き出されているリード線7に不用意な外
力がかかっても、圧電素子8とリード線7との接続信頼
性を維持することができるものである。
【0109】(実施形態12)図18に、本実施形態の
構成を示す。
【0110】本実施形態は、実施形態10と同様に、圧
電素子8に直接接続されているリード線7は、リード用
通路18内に通すことにより、配置部6内において閉塞
面1a側から開口面1c側まで導出され、ケース体1外
に引き出される。そしてこの引き出されたリード線7
を、固定用突起21に巻回すなどすることにより固定す
るものである。
【0111】そして、この固定用突起21に固定されて
いる部分において、リード線7に、線径の異なる他のリ
ード線7aを接続するものである。
【0112】ここで、圧電素子8に直接接続されている
リード線7は、線径がより細いものを用いることが好ま
しく、この場合、リード線7の質量が小さくなることか
ら、圧電素子8からリード線7に伝達される振動エネル
ギーを低減することができ、超音波振動の発振停止時に
おいてリード線7に残留している振動エネルギーに起因
する残響の発生を抑制することができ、反射波の受信精
度が向上して、超音波振動子Aの応答性を更に向上する
ことができる。
【0113】また、固定用突起21においてリード線7
に接続されて、ケース体1の外部に配置されるリード線
7aの線径は、より太いほうが好ましく、この場合、ケ
ース体1の外部においてリード線7aの強度が更に向上
するものである。
【0114】
【発明の効果】本発明の請求項1に係る超音波振動子
は、一端面が開口すると共に他端面が閉塞面であるケー
ス体の閉塞面の内面側に圧電素子を配設し、この閉塞面
にて発生される超音波が異方向性の指向特性を有する超
音波振動子であって、ケース体内部を樹脂により封止す
るものであり、ケース体を密閉することができ、さらに
ケース体の内側の内面付近の領域である側面部の振動が
抑えられることで振動が圧電素子の配設された閉塞面に
集中し、その結果出力音圧を向上することができるもの
であり、また超音波の発振終了後に側面部に残留する機
械的振動エネルギーが小さくなるため残響が短くなり、
反射波の受信精度が向上して応答性能が向上するもので
ある。
【0115】また本発明の請求項2に係る超音波振動子
は、一端面が開口すると共に他端面が閉塞面であるケー
ス体の閉塞面の内面側に圧電素子を配設し、この閉塞面
にて発生される超音波が異方向性の指向特性を有する超
音波振動子であって、ケース体内部を粘弾性材にて封止
するものであり、ケース体を密閉することができ、さら
に、超音波の発振終了後に、ケース体の内側の内面付近
の領域である側面部に残留した振動エネルギーが粘弾性
材に吸収されて熱に変換され、残響が短くなり、反射波
の受信精度が向上して応答性能が向上するものである。
【0116】また本発明の請求項3に係る超音波振動子
は、一端面が開口すると共に他端面が閉塞面であるケー
ス体の閉塞面の内面側に圧電素子を配設し、この閉塞面
にて発生される超音波が異方向性の指向特性を有する超
音波振動子であって、剛性の高い部材からなる中蓋をケ
ース体の内側に挿入し、この中蓋とケース体との境界部
に封止材を充填するものであり、ケース体を密閉するこ
とができ、さらにケース体の内側の内面付近の領域であ
る側面部の振動が抑えられることで振動が圧電素子の配
設された閉塞面に集中し、その結果出力音圧を向上する
ことができるものであり、また超音波の発振終了後に側
面部に残留する機械的振動エネルギーが小さくなるため
残響が短くなり、反射波の受信精度が向上して応答性能
が向上するものである。
【0117】また請求項4の発明は、請求項3の構成に
加えて、封止材として接着剤を用い、中蓋とケース体と
の境界部に接着剤を介在させるものであり、ケース体を
更に確実に密閉することができ、さらにケース体の内側
の内面付近の領域である側面部の振動を更に確実に抑制
して、振動を圧電素子の配設された閉塞面に集中させ、
その結果出力音圧を更に向上することができるものであ
り、また超音波の発振終了後に側面部に残留する機械的
振動エネルギーが小さくなるため残響が短くなり、反射
波の受信精度が向上して応答性能が更に向上するもので
ある。
【0118】また請求項5の発明は、請求項3又は4の
構成に加えて、中蓋とケース体との境界部に封止材を介
在させる際の封止材の流動を促すための流動経路を中蓋
に形成するものであり、中蓋とケース体の内側との境界
に空気層を形成すること無く接着剤を流動させることが
でき、その結果、超音波振動子の応答性を安定させるこ
とができるものである。
【0119】また本発明の請求項6に係る超音波振動子
は、一端面が開口すると共に他端面が閉塞面であるケー
ス体の閉塞面の内面側に圧電素子を配設し、この閉塞面
にて発生される超音波が異方向性の指向特性を有する超
音波振動子であって、剛性の高い部材からなる中蓋をケ
ース体の内側に圧入するものであり、ケース体を密閉す
ることができ、さらにケース体の内側の内面付近の領域
である側面部の振動が抑えられることで振動が圧電素子
の配設された閉塞面に集中し、その結果出力音圧を向上
することができるものであり、また超音波の発振終了後
に側面部に残留する機械的振動エネルギーが小さくなる
ため残響が短くなり、反射波の受信精度が向上して応答
性能が向上するものである。
【0120】また請求項7の発明は、請求項3乃至6の
いずれかの構成に加えて、中蓋を成形品にて成形するも
のであり、ケース体を密閉することができ、さらにケー
ス体の内側の内面付近の領域である側面部の振動が抑え
られることで振動が圧電素子の配設された閉塞面に集中
し、その結果出力音圧を向上することができるものであ
り、また超音波の発振終了後に側面部に残留する機械的
振動エネルギーが小さくなるため残響が短くなり、反射
波の受信精度が向上して応答性能が向上するものであ
る。
【0121】また請求項8の発明は、請求項7の構成に
加えて、中蓋を制振性に優れた樹脂材料の成形品にて成
形するものであり、超音波の発振終了後に、ケース体の
内側の内面付近の領域である側面部に残留した振動エネ
ルギーが中蓋にて効率良く吸収され、超音波振動子の応
答性が更に向上するものである。
【0122】また請求項9の発明は、請求項3乃至8の
いずれかの構成に加えて、中蓋の形状を、ケース体の閉
塞面を水平に配置した状態におけるこの閉塞面と垂直な
少なくとも一つの断面形状が工字状となるように形成す
るものであり、ケース体の内側の内面付近の領域である
側面部のうち、最も振動しやすいケース体の開口面付近
を強固に固定すると共に、側面部の閉塞面付近を強固に
固定してこの部分に振動の節を形成することができ、閉
塞面に振動を集中させて出力音圧を更に向上することが
できるものである。
【0123】また請求項10の発明は、請求項3乃至9
のいずれかの構成に加えて、ケース体の閉塞面の内面側
に配設された圧電素子に接続された電力伝送用のリード
線をケース体の閉塞面側から開口面側に導出するための
リード用通路を中蓋に設けるものであり、リード線の位
置を安定させることができるものである。
【0124】また請求項11の発明は、請求項10の構
成に加えて、リード用通路に粘弾性材を充填するもので
あり、ケース体を密閉することができ、また超音波の発
振終了後にリード線に残留した残留エネルギーが粘弾性
材によって吸収されて残響が短くなり、超音波振動子の
応答性が更に安定するものである。
【0125】また請求項12の発明は、請求項11の構
成に加えて、リード用通路に粘弾性材を充填する際の粘
弾性材の流動を促すための流動経路を中蓋に設けるもの
であり、空気の層を停滞させることなく粘弾性材を流動
させることができ、その結果、超音波振動子の応答性を
安定させることができるものである。
【0126】また請求項13の発明は、請求項3又は4
の構成に加えて、中蓋とケース体との境界部に封止材を
介在させる際の封止材の流動を促すための流動経路と、
ケース体の閉塞面の内面側に配設された圧電素子に接続
された電力伝送用のリード線をケース体の閉塞面側から
開口面側に導出するためのリード用通路と、リード用通
路に粘弾性材を充填する際の粘弾性材の流動を促すため
の流動経路とを、中蓋に設けるものであり、ケース体を
密閉することができ、また超音波の発振終了後にリード
線に残留した残留エネルギーを粘弾性材によって吸収す
ることができ、更に空気の層を停滞させることなく接着
剤や粘弾性材を流動させることができて、超音波振動子
の応答性を更に安定にすることができるものである。
【0127】また請求項14の発明は、請求項3乃至1
3のいずれかの構成に加えて、ケース体の閉塞面の内面
側に位置する圧電素子に接続された電力伝送用のリード
線を中蓋に固定するものであり、ケース体の外部からリ
ード線に応力が加わった場合に、ケース体の閉塞面の内
面側に配設された圧電素子とリード線との接合部までこ
の応力が伝達されることを防いで、この接合部の損傷を
防ぐことができるものである。
【0128】また請求項15の発明は、請求項14の構
成に加えて、ケース体の閉塞面の内面側に位置する圧電
素子に接続されると共に中蓋に固定されたリード線に、
より線径の大きいリード線を接続し又は導通させるもの
であり、ケース体の外部に配置されるリード線の強度を
向上し、ケース体の外部からリード線に加わる外力に対
するリード線自身の強度を強化して、組み立て工程にお
けるリード線の損傷を低減することができるものであ
る。
【0129】また請求項16の発明は、請求項1乃至1
5のいずれかの構成に加えて、ケース体を金属にて構成
するものであり、異方向性の指向特性を有する超音波を
発する防水型の超音波発振子のケース体を金属により形
成することができ、超音波の指向特性を制御するための
ホーン等を設ける必要がない超音波振動子を、安価且つ
容易に形成することができるものである。
【0130】また請求項17の発明は、請求項1乃至1
5のいずれかの構成に加えて、ケース体を金属製の板材
から形成される金属ケースと合成樹脂材からなる樹脂ケ
ースとで構成するものであり、異方向性の指向特性を有
する超音波を発する防水型の超音波発振子のケース体を
金属製の板材と合成樹脂材を成形することにより形成す
ることができ、超音波の指向特性を制御するためのホー
ン等を設ける必要がない超音波振動子を、安価且つ容易
に形成することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態1の構成を示すものであり、(a)は
斜視図、(b)は(a)のA−A′断面図、(c)は動
作を示す断面図である。
【図2】ケース体を金属ケース及び樹脂ケースにて構成
した場合のケース体及び圧電素子の構成を示すものであ
り、(a)は正面図、(b)は平面の断面図、(c)は
側面の断面図、(d)は背面図である。
【図3】同上の構成を示すものであり、(a)は斜視
図、(b)は断面図、(c)は金属ケースを示す斜視図
である。
【図4】実施形態2の構成を示すものであり、(a)は
分解斜視図、(b)は断面図である。
【図5】ケース体を金属にて構成した場合のケース体及
び圧電素子の構成を示すものであり、(a)は正面図、
(b)は平面の断面図、(c)は側面の断面図、(d)
は背面図である。
【図6】実施形態3の構成を示す断面図である。
【図7】実施形態4の構成を示すものであり、(a)は
分解状態の断面図、(b)は断面図である。
【図8】実施形態5の構成を示すものであり、(a)は
分解斜視図、(b)は動作を説明するための中蓋の斜視
図である。
【図9】実施形態6を説明するための参考図であり、
(a)は斜視図、(b)はA−A′断面図、(c)はB
−B′断面図である。
【図10】実施形態6を説明するための参考図であり、
(a)(b)は断面図である。
【図11】実施形態6の構成を示すものであり、(a)
は一部の斜視図、(b)は分解状態の断面図、(c)は
断面図である。
【図12】実施形態7の構成を示すものであり、(a)
は断面図、(b)は分解斜視図、(c)は他例を示す中
蓋の斜視図、(d)は更に他例を示す中蓋の斜視図であ
る。
【図13】実施形態8の構成を示す断面図である。
【図14】実施形態9の構成を示す断面図である。
【図15】(a)乃至(c)は実施形態9における中蓋
の例を示す斜視図である。
【図16】実施形態10の構成を示すものであり、
(a)は分解斜視図、(b)は動作を示す中蓋の斜視図
である。
【図17】実施形態11の構成を示すものであり、
(a)は断面図、(b)は一部の分解斜視図である。
【図18】実施形態12の構成を示すものであり、
(a)は断面図、(b)は一部の分解斜視図である。
【図19】自動車に超音波センサを配設した様子を示す
斜視図である。
【図20】(a)、(b)はそれぞれ従来技術の問題点
を説明するための断面図である。
【符号の説明】
A 超音波振動子 1 ケース体 1a 閉塞面 1c 開口面 2 金属ケース 3 樹脂ケース 7 リード線 7a リード線 8 圧電素子 12 中蓋 12a 流動経路 13 接着剤 18 リード用通路 19 粘弾性材 20 流動経路 26 封止材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 41/09 H01L 41/08 C (72)発明者 梶山 智史 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 橋本 裕介 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 大谷 隆児 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 足立 将彦 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Fターム(参考) 5D019 AA02 BB09 BB12 BB28 EE01 EE02 EE05 FF01 GG09

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一端面が開口すると共に他端面が閉塞面
    であるケース体の閉塞面の内面側に圧電素子を配設し、
    この閉塞面にて発生される超音波が異方向性の指向特性
    を有する超音波振動子であって、ケース体内部を樹脂に
    より封止して成ることを特徴とする超音波振動子。
  2. 【請求項2】 一端面が開口すると共に他端面が閉塞面
    であるケース体の閉塞面の内面側に圧電素子を配設し、
    この閉塞面にて発生される超音波が異方向性の指向特性
    を有する超音波振動子であって、ケース体内部を粘弾性
    材にて封止して成ることを特徴とする超音波振動子。
  3. 【請求項3】 一端面が開口すると共に他端面が閉塞面
    であるケース体の閉塞面の内面側に圧電素子を配設し、
    この閉塞面にて発生される超音波が異方向性の指向特性
    を有する超音波振動子であって、剛性の高い部材からな
    る中蓋をケース体の内側に挿入し、この中蓋とケース体
    との境界部に封止材を充填して成ることを特徴とする超
    音波振動子。
  4. 【請求項4】 封止材として接着剤を用い、中蓋とケー
    ス体との境界部に接着剤を介在させて成ることを特徴と
    する請求項3に記載の超音波振動子。
  5. 【請求項5】 中蓋とケース体との境界部に封止材を介
    在させる際の封止材の流動を促すための流動経路を中蓋
    に形成して成ることを特徴とする請求項3又は4に記載
    の超音波振動子。
  6. 【請求項6】 一端面が開口すると共に他端面が閉塞面
    であるケース体の閉塞面の内面側に圧電素子を配設し、
    この閉塞面にて発生される超音波が異方向性の指向特性
    を有する超音波振動子であって、剛性の高い部材からな
    る中蓋をケース体の内側に圧入して成ることを特徴とす
    る超音波振動子。
  7. 【請求項7】 中蓋を成形品にて成形して成ることを特
    徴とする請求項3乃至6のいずれかに記載の超音波振動
    子。
  8. 【請求項8】 中蓋を制振性に優れた樹脂材料の成形品
    にて成形して成ることを特徴とする請求項7に記載の超
    音波振動子。
  9. 【請求項9】 中蓋の形状を、ケース体の閉塞面を水平
    に配置した状態におけるこの閉塞面と垂直な少なくとも
    一つの断面形状が工字状となるように形成して成ること
    を特徴とする請求項3乃至8のいずれかに記載の超音波
    振動子。
  10. 【請求項10】 ケース体の閉塞面の内面側に配設され
    た圧電素子に接続された電力伝送用のリード線をケース
    体の閉塞面側から開口面側に導出するためのリード用通
    路を中蓋に設けて成ることを特徴とする請求項3乃至9
    のいずれかに記載の超音波振動子。
  11. 【請求項11】 リード用通路に粘弾性材を充填して成
    ることを特徴とする請求項10に記載の超音波振動子。
  12. 【請求項12】 リード用通路に粘弾性材を充填する際
    の粘弾性材の流動を促すための流動経路を中蓋に設けて
    成ることを特徴とする請求項11に記載の超音波振動
    子。
  13. 【請求項13】 中蓋とケース体との境界部に封止材を
    介在させる際の封止材の流動を促すための流動経路と、
    ケース体の閉塞面の内面側に配設された圧電素子に接続
    された電力伝送用のリード線をケース体の閉塞面側から
    開口面側に導出するためのリード用通路と、リード用通
    路に粘弾性材を充填する際の粘弾性材の流動を促すため
    の流動経路とを、中蓋に設けて成ることを特徴とする請
    求項3又は4に記載の超音波振動子。
  14. 【請求項14】 ケース体の閉塞面の内面側に位置する
    圧電素子に接続された電力伝送用のリード線を中蓋に固
    定して成ることを特徴とする請求項3乃至13のいずれ
    かに記載の超音波振動子。
  15. 【請求項15】 ケース体の閉塞面の内面側に位置する
    圧電素子に接続されると共に中蓋に固定されたリード線
    に、より線径の大きいリード線を接続し又は導通させて
    成ること特徴とする請求項14に記載の超音波振動子。
  16. 【請求項16】 ケース体を金属にて構成して成ること
    を特徴とする請求項1乃至15のいずれかに記載の超音
    波振動子。
  17. 【請求項17】 ケース体を金属製の板材から形成され
    る金属ケースと合成樹脂材からなる樹脂ケースとで構成
    して成ることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか
    に記載の超音波振動子。
JP2000300884A 2000-06-02 2000-09-29 超音波振動子 Expired - Lifetime JP4432245B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000300884A JP4432245B2 (ja) 2000-06-02 2000-09-29 超音波振動子

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000-166568 2000-06-02
JP2000166568 2000-06-02
JP2000300884A JP4432245B2 (ja) 2000-06-02 2000-09-29 超音波振動子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002058097A true JP2002058097A (ja) 2002-02-22
JP4432245B2 JP4432245B2 (ja) 2010-03-17

Family

ID=26593256

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000300884A Expired - Lifetime JP4432245B2 (ja) 2000-06-02 2000-09-29 超音波振動子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4432245B2 (ja)

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007174323A (ja) * 2005-12-22 2007-07-05 Denso Corp 超音波センサ
WO2007094184A1 (ja) * 2006-02-14 2007-08-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. 超音波センサおよびその製造方法
WO2007094104A1 (ja) * 2006-02-14 2007-08-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. 超音波センサ
JP2008085462A (ja) * 2006-09-26 2008-04-10 Denso Corp 超音波センサ
JP2008099103A (ja) * 2006-10-13 2008-04-24 Denso Corp 超音波センサ
WO2008065959A1 (fr) 2006-11-27 2008-06-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transducteur à ultrasons
US7490517B2 (en) 2005-10-12 2009-02-17 Denso Corporation Sensor attachment structure and ultrasonic sensing device
US7555955B2 (en) 2006-01-11 2009-07-07 Denso Corporation Ultrasonic sensor
JP2009230736A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Ind Technol Res Inst 容量式超音波センサならびに容量式超音波センサを使用する表示装置
US7613073B2 (en) 2006-05-08 2009-11-03 Denso Corporation Ultrasonic sensor
US7622849B2 (en) 2006-03-06 2009-11-24 Denso Corporation Ultrasonic sensor having vibrator mounted on substrate
US7638931B2 (en) 2006-10-13 2009-12-29 Denso Corporation Resin substrate and ultrasonic sensor using the same
JP2010063135A (ja) * 2009-10-30 2010-03-18 Nippon Ceramic Co Ltd 超音波送受波器
US7737609B2 (en) 2006-10-20 2010-06-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor
US7775110B2 (en) 2006-09-22 2010-08-17 Denso Corporation Ultrasonic sensor
GB2493101A (en) * 2011-07-22 2013-01-23 Bosch Gmbh Robert An ultrasound sensor device and an array of such devices
CN114074065A (zh) * 2020-08-17 2022-02-22 Tdk株式会社 超声波器件

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60163899U (ja) * 1984-04-06 1985-10-31 日本特殊陶業株式会社 超音波セラミツクセンサ
JPH0166082U (ja) * 1987-10-20 1989-04-27
JP3014801U (ja) * 1995-02-15 1995-08-22 日本セラミック株式会社 超音波センサ
JPH08182090A (ja) * 1994-12-22 1996-07-12 Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency 整流覆い付き水中受波器
JP2000121739A (ja) * 1998-10-16 2000-04-28 Murata Mfg Co Ltd 超音波センサ、およびその製造方法
JP2001078296A (ja) * 1999-08-31 2001-03-23 Matsushita Electric Works Ltd 超音波振動子

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60163899U (ja) * 1984-04-06 1985-10-31 日本特殊陶業株式会社 超音波セラミツクセンサ
JPH0166082U (ja) * 1987-10-20 1989-04-27
JPH08182090A (ja) * 1994-12-22 1996-07-12 Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency 整流覆い付き水中受波器
JP3014801U (ja) * 1995-02-15 1995-08-22 日本セラミック株式会社 超音波センサ
JP2000121739A (ja) * 1998-10-16 2000-04-28 Murata Mfg Co Ltd 超音波センサ、およびその製造方法
JP2001078296A (ja) * 1999-08-31 2001-03-23 Matsushita Electric Works Ltd 超音波振動子

Cited By (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7490517B2 (en) 2005-10-12 2009-02-17 Denso Corporation Sensor attachment structure and ultrasonic sensing device
JP4645436B2 (ja) * 2005-12-22 2011-03-09 株式会社デンソー 超音波センサ
US7497121B2 (en) 2005-12-22 2009-03-03 Denso Corporation Ultrasonic sensor
DE102006061182B4 (de) * 2005-12-22 2010-09-02 DENSO CORPORATION, Kariya-shi Ultraschallsensor
JP2007174323A (ja) * 2005-12-22 2007-07-05 Denso Corp 超音波センサ
DE102006061886B4 (de) * 2006-01-11 2012-06-14 Denso Corporation Ultraschallsensor
US7555955B2 (en) 2006-01-11 2009-07-07 Denso Corporation Ultrasonic sensor
WO2007094104A1 (ja) * 2006-02-14 2007-08-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. 超音波センサ
KR101001766B1 (ko) 2006-02-14 2010-12-15 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 초음파 센서
US7956516B2 (en) 2006-02-14 2011-06-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor and method for manufacturing the same
WO2007094184A1 (ja) * 2006-02-14 2007-08-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. 超音波センサおよびその製造方法
US7795785B2 (en) 2006-02-14 2010-09-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor
KR101239306B1 (ko) * 2006-02-14 2013-03-05 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 초음파 센서 및 그 제조방법
DE102007008560B4 (de) * 2006-03-06 2018-01-18 Denso Corporation Ultraschallsensor mit einer an einem Substrat angebrachten Vibrationseinrichtung
US7622849B2 (en) 2006-03-06 2009-11-24 Denso Corporation Ultrasonic sensor having vibrator mounted on substrate
US7613073B2 (en) 2006-05-08 2009-11-03 Denso Corporation Ultrasonic sensor
DE102007021616B4 (de) * 2006-05-08 2016-05-04 Denso Corporation Ultraschallsensor
US7775110B2 (en) 2006-09-22 2010-08-17 Denso Corporation Ultrasonic sensor
JP4635996B2 (ja) * 2006-09-26 2011-02-23 株式会社デンソー 超音波センサ
JP2008085462A (ja) * 2006-09-26 2008-04-10 Denso Corp 超音波センサ
US7638931B2 (en) 2006-10-13 2009-12-29 Denso Corporation Resin substrate and ultrasonic sensor using the same
JP4702255B2 (ja) * 2006-10-13 2011-06-15 株式会社デンソー 超音波センサ
JP2008099103A (ja) * 2006-10-13 2008-04-24 Denso Corp 超音波センサ
US7737609B2 (en) 2006-10-20 2010-06-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor
JP5267128B2 (ja) * 2006-10-20 2013-08-21 株式会社村田製作所 超音波センサ
EP2076062A4 (en) * 2006-10-20 2016-12-21 Murata Manufacturing Co ULTRASONIC SENSOR
EP2076061A4 (en) * 2006-11-27 2011-06-01 Murata Manufacturing Co ULTRASONIC TRANSDUCER
JPWO2008065959A1 (ja) * 2006-11-27 2010-03-04 株式会社村田製作所 超音波トランスデューサ
EP2076061A1 (en) * 2006-11-27 2009-07-01 Murata Manufacturing Co. Ltd. Ultrasonic transducer
WO2008065959A1 (fr) 2006-11-27 2008-06-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transducteur à ultrasons
JP2009230736A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Ind Technol Res Inst 容量式超音波センサならびに容量式超音波センサを使用する表示装置
JP2010063135A (ja) * 2009-10-30 2010-03-18 Nippon Ceramic Co Ltd 超音波送受波器
GB2493101A (en) * 2011-07-22 2013-01-23 Bosch Gmbh Robert An ultrasound sensor device and an array of such devices
GB2493101B (en) * 2011-07-22 2018-12-26 Bosch Gmbh Robert Ultrasound sensor device for sensing and transmitting ultrasound
CN114074065A (zh) * 2020-08-17 2022-02-22 Tdk株式会社 超声波器件

Also Published As

Publication number Publication date
JP4432245B2 (ja) 2010-03-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002058097A (ja) 超音波振動子
US7554248B2 (en) Ultrasonic sensor
JP3721786B2 (ja) 超音波センサ、およびその製造方法
JP4661868B2 (ja) 超音波センサ
JP4086091B2 (ja) 超音波トランスデューサ
EP2076062B1 (en) Ultrasonic sensor
US7732993B2 (en) Ultrasonic sensor and method for manufacturing the same
KR101528890B1 (ko) 초음파 센서
JP3552605B2 (ja) 超音波振動子
WO2007094104A1 (ja) 超音波センサ
JP3948484B2 (ja) 超音波センサ
JP2002262383A (ja) 超音波振動子
JP6891293B2 (ja) 振動性ダイヤフラムに組み込まれた圧電セラミック変換素子を有する音響変換器
JP2001232294A (ja) 超音波振動子
JP2001238292A (ja) 超音波センサー
JP3659153B2 (ja) 超音波振動子
JP2004040614A (ja) 超音波センサ
JP4126759B2 (ja) 超音波センサ
JP3796969B2 (ja) 超音波センサ
JP4126758B2 (ja) 超音波センサ
JP2022137676A (ja) 超音波トランスデューサ
JP2022140152A (ja) 超音波送受信器
KR101146068B1 (ko) 초음파 송수파기
JP2003032794A (ja) 超音波振動子およびその超音波振動子を有する超音波センサ
JP2012114540A (ja) 超音波センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070417

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090810

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090818

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091019

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091201

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091214

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4432245

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130108

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130108

Year of fee payment: 3