JPWO2008041273A1

JPWO2008041273A1 - Pickup method and pickup device

Info

Publication number: JPWO2008041273A1
Application number: JP2008537331A
Authority: JP
Inventors: 顕中津
Original assignee: Canon Machinery Inc
Current assignee: Canon Machinery Inc
Priority date: 2006-09-29
Filing date: 2006-09-29
Publication date: 2010-01-28
Anticipated expiration: 2026-09-29
Also published as: JP4850916B2; KR101133963B1; CN101512746A; KR20090043538A; CN101512746B; WO2008041273A1

Abstract

隣のペレットに割れが生じにくく、しかも剥離すべきペレットを確実かつ容易に剥離して取り出すことが可能なピックアップ方法およびピックアップ装置を提供する。粘着シート（１２）上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレット（１１）を、粘着シート（１２）から順次剥離して取り出すものである。剥離すべきペレット（１１）を上方から保持した状態で、粘着シート（１２）を下方から吸引して、このエアの吸引及び上方からのペレットの保持を行うとともに、隙間（１９）に突入される突起（２５）にて粘着シート（１２）を下方から支持しつつ受け部（１７）を水平方向に沿って移動させて、ペレット（１１）を剥離して行く。Provided is a pickup method and a pickup apparatus that are unlikely to crack in adjacent pellets and that can reliably and easily peel and take out a pellet to be peeled off. A plurality of rectangular thin-walled pellets (11) affixed on the pressure-sensitive adhesive sheet (12) are sequentially peeled off from the pressure-sensitive adhesive sheet (12). With the pellet (11) to be peeled held from above, the pressure-sensitive adhesive sheet (12) is sucked from below, and this air is sucked and the pellets are held from above, and is rushed into the gap (19). The support (17) is moved along the horizontal direction while supporting the adhesive sheet (12) from below with the protrusion (25), and the pellet (11) is peeled off.

Description

本発明は、ピックアップ方法およびピックアップ装置に関する。 The present invention relates to a pickup method and a pickup apparatus.

半導体装置の製造工程において、ダイシングされた半導体ペレット（以下、単にペレットという。）を粘着シートからピックアップする必要がある。従来のピックアップ装置として、粘着シートを保持するステージと、このステージに対して進退する突き上げ台と、この突き上げ台によって突き上げられるニードルとを備えたものがある。すなわち、突き上げ台によって突き上げられたニードルによりステージの粘着シートを裏面側から突いて、ペレットを粘着シートから離脱させるように構成されている。 In a manufacturing process of a semiconductor device, it is necessary to pick up a diced semiconductor pellet (hereinafter simply referred to as a pellet) from an adhesive sheet. As a conventional pick-up device, there is one provided with a stage for holding an adhesive sheet, a push-up table that advances and retreats with respect to the stage, and a needle that is pushed up by the push-up table. That is, the adhesive sheet of the stage is protruded from the back side by the needle pushed up by the push-up stand, and the pellet is separated from the adhesive sheet.

しかしながら、ニードルを使用するピックアップ装置では、ニードルが粘着シートを突き破ってペレットを突き上げて粘着シートから剥離する際に、ニードルの先端部が磨滅したり破損していたり曲がっていたりする場合がある。このような場合には、破損したニードルがペレット突き上げ時にペレット裏面を傷付けるおそれがある。また、磨滅や破損によって各ニードルの長さが相違することになって、ペレットが傾いて突き上げられる状態になり、隣合うペレット同士が衝突して傷付け合うおそれがある。 However, in a pickup device that uses a needle, when the needle breaks through the adhesive sheet to push up the pellet and peels from the adhesive sheet, the tip of the needle may be worn out, damaged, or bent. In such a case, the broken needle may damage the pellet back surface when the pellet is pushed up. Further, the lengths of the needles are different due to abrasion or breakage, and the pellets are tilted and pushed up, and adjacent pellets may collide and be damaged.

さらに、ペレットはコレットにて吸着されて取り出される。しかしながら、ペレットが傾いて突き上げられれば、コレットによるペレットの吸着ミスが発生する。コレットのペレット吸着ミスが発生すると、その後の作業に支障を来たすことになる。また、ニードルの突き上げによって、ペレットが損傷する場合もあった。 Further, the pellet is adsorbed by a collet and taken out. However, if the pellet is tilted and pushed up, a mistake in adsorption of the pellet due to the collet occurs. If a collet pellet adsorption error occurs, it will hinder subsequent operations. Moreover, the pellet may be damaged by the needle being pushed up.

そこで、近年このようなニードルを使用しないピックアップ装置（特許文献１）が提案されている。このピックアップ装置は、図８と図９に示すように、ペレット１が貼り付けられている粘着シート２を保持するステージ３を備える。また、ステージ３には、その上面４ａがステージ上面３ａより突出する受け部４が付設される。このため、受け部４の外周側には、粘着シート２との間に図９に示すように隙間６が形成される。さらに、ステージ３には、前記隙間６に連通される吸引孔５が設けられている。なお、この吸引孔５、５は、図８に示すように平面視において、その一部がペレット１の第１辺８ａよりも外側に突出している。 Therefore, in recent years, a pickup device (Patent Document 1) that does not use such a needle has been proposed. As shown in FIGS. 8 and 9, the pickup device includes a stage 3 that holds an adhesive sheet 2 to which a pellet 1 is attached. Further, the stage 3 is provided with a receiving portion 4 whose upper surface 4a protrudes from the stage upper surface 3a. For this reason, the clearance gap 6 is formed in the outer peripheral side of the receiving part 4 as shown in FIG. Further, the stage 3 is provided with a suction hole 5 communicating with the gap 6. As shown in FIG. 8, the suction holes 5 and 5 partially protrude outward from the first side 8 a of the pellet 1 in plan view.

次に、前記ピックアップ装置を使用したピックアップ装置を説明する。まず、上方からコレット（吸着コレット）７にてペレット１を吸着（保持）した状態で、吸引孔５を介して粘着シート２を吸引する。これによって、隙間６のエアが矢印Ａのように、吸引され、受け部４の周りの粘着シート２が吸引され、ペレット１の外周側において粘着シート２が剥離する。 Next, a pickup device using the pickup device will be described. First, the pressure-sensitive adhesive sheet 2 is sucked through the suction holes 5 in a state where the pellet 1 is sucked (held) by the collet (adsorption collet) 7 from above. As a result, the air in the gap 6 is sucked as indicated by an arrow A, the pressure-sensitive adhesive sheet 2 around the receiving portion 4 is sucked, and the pressure-sensitive adhesive sheet 2 is peeled off on the outer peripheral side of the pellet 1.

その後、図１０に示すように、受け部４を矢印Ｂの方向へ移動させる。つまり、第１辺８ａに対面する第２辺８ｂ側へ移動させる。これによって、受け部４にて受けられているペレット１の受け面積が減少していって、粘着シート２の吸着（吸引）面積が増加して、最終的にこのペレット１から粘着シート２を完全に剥離させることができる。
特許第３２０９７３６号明細書 Then, as shown in FIG. 10, the receiving part 4 is moved in the direction of arrow B. That is, it is moved to the second side 8b side facing the first side 8a. As a result, the receiving area of the pellet 1 received by the receiving portion 4 is reduced, the adsorption (suction) area of the adhesive sheet 2 is increased, and finally the adhesive sheet 2 is completely removed from the pellet 1. Can be peeled off.
Japanese Patent No. 3209736

ところで、前記ピックアップ装置を使用した場合、剥離の初期段階で、受け部４の周りの吸着シート２を剥がす必要があるので、この吸着によるチップ（ペレット）１周辺の剥離に時間が掛かる場合があり、しかも、吸着によるチップ周りの剥離に必要な力（応力）は、受け部４の３辺８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ（図１１参照）に沿って分散するので弱い。 By the way, when the pickup device is used, it is necessary to peel off the suction sheet 2 around the receiving portion 4 at the initial stage of peeling, so that it may take time to peel off the periphery of the chip (pellet) 1 due to this suction. In addition, the force (stress) necessary for peeling around the chip by suction is weak because it is distributed along the three sides 8a, 8b, 8c, and 8d (see FIG. 11) of the receiving portion 4.

また、図１１に示すように、第１辺８ａからこれに対面する第２辺８ｂ側に向かって粘着シート２が剥離されて行くことになる。このため、第１辺８ａの長さ分ずつはがすことになって、比較的大きな剥離力を必要とする。しかしながら、剥離時のチップ１の保持はコレット７の吸着力のみであるので、スライド時の剥離する力に対してチップ（ペレット）１側が負けてコレット７からチップ１が外れたり、受け部４のスライド動作により粘着シート２が引っ張られてチップ１に位置ずれが発生したりするおそれがある。 Moreover, as shown in FIG. 11, the adhesive sheet 2 will peel from the 1st edge | side 8a toward the 2nd edge | side 8b side which faces this. For this reason, the length of the first side 8a is peeled off, and a relatively large peeling force is required. However, since the holding of the chip 1 at the time of peeling is only the adsorption force of the collet 7, the chip (pellet) 1 side loses against the peeling force at the time of sliding and the chip 1 comes off from the collet 7, There is a possibility that the adhesive sheet 2 is pulled by the slide operation and the chip 1 is displaced.

本発明は、上記課題に鑑みて、剥離すべきペレットを確実かつ容易に剥離して取り出すことが可能なピックアップ方法およびピックアップ装置を提供する。 In view of the above problems, the present invention provides a pickup method and a pickup apparatus that can reliably and easily peel and take out pellets to be peeled.

本発明のピックアップ方法は、粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ方法であって、受け部にて、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受けて、この受け部の外周側において粘着シートとの間に隙間を形成した後、前記ペレットを上方から保持した状態で、前記隙間に突入される突起にて粘着シートの一部を下方から支持しつつ隙間のエアを吸引して、受け部の外周側の粘着シートを剥離し、その後、突起にて粘着シートを支持するとともに上方からペレットを保持しつつ、前記受け部を水平方向に沿って移動させて、ペレットを剥離して行くものである。 The pick-up method of the present invention is a pick-up method in which a plurality of rectangular thin-walled pellets affixed onto an adhesive sheet are sequentially peeled off from the adhesive sheet and taken out, and the pellet to be peeled off at the receiving part After forming a gap with the pressure-sensitive adhesive sheet on the outer peripheral side of the receiving portion, with the pellet held from above, a part of the pressure-sensitive adhesive sheet is projected with a protrusion that enters the gap. The air in the gap is sucked while supporting from below, the adhesive sheet on the outer periphery side of the receiving part is peeled off, and then the receiving part is supported in the horizontal direction while supporting the adhesive sheet with protrusions and holding the pellet from above The pellet is peeled off by moving along.

本発明のピックアップ方法によれば、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受けて、この受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引すれば、受け部の外周側において、粘着シートが吸引されて粘着シートがペレットから剥離する。その後は、受け部を、水平方向に沿って移動することによって、受け部によるペレットの受け面積が減少していく。これによって、粘着シートの吸着（吸引）面積が増加し、最終的には、この剥離すべきペレットから粘着シートを完全に剥離させることができる。 According to the pickup method of the present invention, if the pellet to be peeled is received via the adhesive sheet and the air in the gap formed between the receiving part and the adhesive sheet is sucked on the outer peripheral side of the receiving part, the outer periphery of the receiving part On the side, the adhesive sheet is sucked and the adhesive sheet peels from the pellet. After that, the receiving area of the pellet by the receiving part decreases by moving the receiving part along the horizontal direction. Thereby, the adsorption (suction) area of the pressure-sensitive adhesive sheet increases, and finally, the pressure-sensitive adhesive sheet can be completely peeled from the pellet to be peeled.

しかも、この剥離作業においては、受け部の外周側に形成される隙間に突入される突起にて、前記粘着シートを下方から支持するので、隙間のエアを吸引した場合、この突起近傍において応力を集中させることができ、吸着によるペレットの剥離が容易となる。また、吸引によって、突起が粘着シートに食い込むことになる。 Moreover, in this peeling operation, the pressure-sensitive adhesive sheet is supported from below by a protrusion that is inserted into the gap formed on the outer peripheral side of the receiving portion, so that when air in the gap is sucked, stress is applied near the protrusion. The pellets can be easily separated by adsorption. Moreover, a protrusion will bite into an adhesive sheet by suction.

本発明のピックアップ装置は、粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ装置であって、剥離すべきペレットを上方から保持する保持手段と、粘着シートが載置されるステージと、前記ペレットを粘着シートを介して受ける受け部と、この受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引するエア吸引手段と、前記隙間内に突入されて下方から前記粘着シートの一部を支持する突起と、前記受け部を水平方向に沿って移動させる駆動手段とを備えたものである。 The pick-up device of the present invention is a pick-up device that takes out a plurality of rectangular thin-walled pellets affixed on the pressure-sensitive adhesive sheet in order from the pressure-sensitive adhesive sheet, and holds the pellets to be peeled from above. A stage on which the pressure-sensitive adhesive sheet is placed, a receiving part that receives the pellets via the pressure-sensitive adhesive sheet, and an air suction unit that sucks air in a gap formed between the pressure-sensitive adhesive sheet on the outer peripheral side of the receiving part; And a protrusion that is inserted into the gap and supports a part of the pressure-sensitive adhesive sheet from below, and a drive unit that moves the receiving portion along the horizontal direction.

本発明のピックアップ装置によれば、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受け部にて受けることができる。そして、受け部にてペレットを受けるとともに保持手段にて上方からペレットを保持した状態で、受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアをエア吸引手段にて吸引することによって、受け部の外周側において、粘着シートが吸引されて粘着シートがペレットから剥離する。また、受け部を駆動手段にて水平方向に沿って移動させることができる。これによって、受け部によるペレットの受け面積が減少していって、粘着シートの吸着（吸引）面積が増加していく。このため、吸着面積がペレット面積と同一乃至ペレット面積よりも大きくなれば、この剥離すべきペレットから粘着シートを完全に剥離させることができる。 According to the pickup device of the present invention, the pellet to be peeled can be received by the receiving portion via the adhesive sheet. Then, the air suction means sucks the air in the gap formed between the receiving part and the adhesive sheet on the outer peripheral side of the receiving part while receiving the pellets from above and holding the pellets from above. Thus, the pressure-sensitive adhesive sheet is sucked and peeled off from the pellets on the outer peripheral side of the receiving portion. Moreover, a receiving part can be moved along a horizontal direction with a drive means. Thereby, the receiving area of the pellet by the receiving part decreases, and the adsorption (suction) area of the adhesive sheet increases. For this reason, if the adsorption area is the same as the pellet area or larger than the pellet area, the pressure-sensitive adhesive sheet can be completely peeled from the pellet to be peeled.

しかも、この剥離作業においては、受け部の外周側に形成される隙間に突入される突起にて、前記粘着シートを下方から支持するので、隙間のエアを吸引した場合、この突起近傍において応力を集中させることができ、吸着によるペレットの剥離が容易となる。このため、前記ピックアップ方法を確実に実行することができる。 Moreover, in this peeling operation, the pressure-sensitive adhesive sheet is supported from below by a protrusion that is inserted into the gap formed on the outer peripheral side of the receiving portion, so that when air in the gap is sucked, stress is applied near the protrusion. The pellets can be easily separated by adsorption. For this reason, the said pick-up method can be performed reliably.

前記突起を、上下動可能なピンにて構成することができる。これにより、ピンの高さ位置を調整することができる。また、受け部が配置されるステージに、突起を一体的に付設することが可能である。この場合、上下方向に延びるものであっても、横方向（水平方向）に延びるものであってもよい。 The protrusion can be constituted by a pin that can move up and down. Thereby, the height position of a pin can be adjusted. Further, it is possible to integrally attach the protrusion to the stage on which the receiving portion is disposed. In this case, it may extend in the vertical direction or may extend in the horizontal direction (horizontal direction).

突起をペレットのコーナ部（角部）に対応させて配置するのが好ましく、このように配置することによって、剥離の容易なペレットの角部に応力を集中させることができる。 It is preferable to arrange the protrusions corresponding to the corner portions (corner portions) of the pellet. By arranging the protrusions in this manner, stress can be concentrated on the corner portions of the pellet that can be easily peeled off.

本発明では、隙間のエアを吸引した場合、突起近傍において応力を集中させることができ、吸着によるペレットの剥離が容易となる。すなわち、剥離初期において比較的小さい力で、剥離が可能となって、剥離開始時間の短縮を図ることができる。 In the present invention, when the air in the gap is sucked, stress can be concentrated in the vicinity of the protrusion, and the peeling of the pellet by adsorption becomes easy. That is, peeling can be performed with a relatively small force at the initial stage of peeling, and the peeling start time can be shortened.

また、この剥離作業においては、吸引によって、突起が粘着シートに食い込むことになり、突起が粘着シートに対してアンカーとなる。このため、剥離作業が安定するとともに、受け部のスライドによっても粘着シートが引っ張られず、スライド時の剥離する力に対してチップ（ペレット）側が負けない。したがって、コレット（保持手段）からペレットが外れないとともに、粘着シートが引っ張られてペレットに位置ずれが発生するおそれがない。 Further, in this peeling operation, the protrusions bite into the adhesive sheet by suction, and the protrusions become anchors to the adhesive sheet. For this reason, the peeling operation is stabilized, the adhesive sheet is not pulled even by the slide of the receiving portion, and the chip (pellet) side does not lose against the peeling force at the time of sliding. Therefore, the pellet does not come off from the collet (holding means), and there is no possibility that the pellet is displaced due to the adhesive sheet being pulled.

突起を、上下動可能なピンにて構成することによって、ピンの高さ位置を調整することができるので、粘着シートの肉厚や受け部が配置されるステージの高さ等に応じて、ピンの高さ位置を調整することによって、剥離すべきペレットに対して最適な剥離性能を発揮することができる。 By configuring the protrusion with a pin that can move up and down, the height position of the pin can be adjusted, so depending on the thickness of the adhesive sheet, the height of the stage where the receiving part is arranged, etc. By adjusting the height position, optimum peeling performance can be exhibited for the pellets to be peeled.

ステージに対して一体的に突起を形成した場合、装置全体の構成の簡略化を図ることができる。また、上下方向に延びるものであっても、横方向（水平方向）に延びるものであっても、粘着シートを下方から支持することができ、剥離性の向上を図る機能を確実に発揮することができる。 When the protrusions are formed integrally with the stage, the configuration of the entire apparatus can be simplified. Moreover, even if it extends in the vertical direction or in the horizontal direction (horizontal direction), the pressure-sensitive adhesive sheet can be supported from below, and the function of improving the peelability is surely exhibited. Can do.

突起をペレットのコーナ部（角部）に対応させて配置することによって、剥離の容易なペレットの角部に応力を集中させることができる。このため、剥離開始を安定して確実に行うことができ、剥離作業の信頼性が向上する。 By arranging the protrusions in correspondence with the corner portions (corner portions) of the pellet, stress can be concentrated on the corner portions of the pellet that are easily peeled off. For this reason, the start of peeling can be performed stably and reliably, and the reliability of the peeling work is improved.

本発明の実施形態のピックアップ方法を示す簡略工程図である。It is a simplified process diagram showing a pickup method of an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態のピックアップ装置を示し、この装置を使用したピックアップの簡略断面図である。1 shows a pickup device according to an embodiment of the present invention, and is a simplified cross-sectional view of a pickup using this device. 粘着シートに貼り付けたペレットを示す簡略平面図である。It is a simplified top view which shows the pellet affixed on the adhesive sheet. ピックアップ装置の突起と受け部との関係を示す簡略図である。It is a simplified diagram showing the relationship between the protrusion of the pickup device and the receiving portion. 本発明の他の実施形態のピックアップ装置の断面図である。It is sectional drawing of the pick-up apparatus of other embodiment of this invention. 本発明の実施形態の別のピックアップ装置を使用したピックアップ方法を示す簡略工程図である。It is a simplified process diagram showing a pickup method using another pickup device of an embodiment of the present invention. ピックアップ装置の突起の変形例を示す簡略図である。It is a simplified diagram showing a modification of the protrusion of the pickup device. 従来のピックアップ装置の簡略平面図である。It is a simplified top view of the conventional pick-up apparatus. 従来のピックアップ装置の簡略断面図である。It is a simplified sectional view of a conventional pickup device. 従来のピックアップ装置を使用した剥離工程を示す簡略断面図である。It is simplified sectional drawing which shows the peeling process using the conventional pick-up apparatus. 従来のピックアップ装置を使用したピックアップ方法の問題点を示す簡略図である。It is a simplification figure showing the problem of the pick-up method using the conventional pick-up device.

Explanation of symbols

１１ペレット
１２粘着シート
１５保持手段
１６ステージ
１７受け部
１８エア吸引手段
１９隙間
２５突起DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Pellets 12 Adhesive sheet 15 Holding means 16 Stage 17 Receiving part 18 Air suction means 19 Gap 25 Protrusion

以下、本発明の実施の形態を図１〜図７に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.

図２に本発明のピックアップ装置を示す。このピックアップ装置は、粘着シート１２上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレット（半導体チップ）１１を、前記粘着シート１２から順次剥離して取り出す装置である。 FIG. 2 shows the pickup device of the present invention. This pickup device is a device that sequentially removes a plurality of rectangular thin-walled pellets (semiconductor chips) 11 affixed on the pressure-sensitive adhesive sheet 12 from the pressure-sensitive adhesive sheet 12.

ペレット１１は、ウェーハＷ(図３参照)を素材とし、この素材を矩形状に切断することによって最終製品となる。このため、ペレット１１には正方形や短冊状のもの等がある。すなわち、図３に示すように、ウェーハＷは全体として円形であり、ダイシングにより個々のペレット１１に分割され、このペレット１１が粘着シート１２に貼り付けられている。また、粘着シート１２の外周側にはリング体からなるフレーム１３が貼着されている。すなわち、このフレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている。そして、フレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている状態で、このピックアップ装置にてペレット１１が取り出される。 The pellet 11 is a final product by using the wafer W (see FIG. 3) as a material and cutting the material into a rectangular shape. For this reason, the pellets 11 include squares and strips. That is, as shown in FIG. 3, the wafer W is circular as a whole, and is divided into individual pellets 11 by dicing, and the pellets 11 are attached to the adhesive sheet 12. A frame 13 made of a ring body is attached to the outer peripheral side of the adhesive sheet 12. That is, the frame 13 and the adhesive sheet 12 are integrated. And the pellet 11 is taken out with this pick-up apparatus in the state in which the flame | frame 13 and the adhesive sheet 12 are integrated.

ピックアップ装置は、図２に示すように、剥離すべきペレット１１を上方から保持する保持手段１５と、粘着シート１２が載置されるステージ１６と、ペレット１１を粘着シート１２を介して受ける受け部１７と、この受け部１７の外周側において粘着シート１２との間に形成される隙間１９のエアを吸引するエア吸引手段１８と、受け部１７を移動させる図示省略の駆動手段とを備える。 As shown in FIG. 2, the pickup device includes a holding unit 15 that holds the pellet 11 to be peeled from above, a stage 16 on which the adhesive sheet 12 is placed, and a receiving portion that receives the pellet 11 via the adhesive sheet 12. 17 and an air suction means 18 for sucking air in a gap 19 formed between the receiving portion 17 and the adhesive sheet 12 on the outer peripheral side of the receiving portion 17, and a driving means (not shown) for moving the receiving portion 17.

保持手段１５は、ペレット１１を吸着するヘッド２０を有する吸着部材（コレット）２１にて構成している。ヘッド２０は、その下端面２０ａに吸着孔が設けられ、この吸着孔を介してペレット１１が真空吸引され、このヘッド２０の下端面２０ａにペレット１１が吸着する。このため、この真空吸引（真空引き）が解除されれば、ヘッド２０からペレット１１が外れる。そして、この吸着部材２１は例えばロボットのアームに連結され、鉛直方向（図２の矢印Ｃ、Ｄ方向）、水平方向(図２の矢印Ｅ方向)、およびこれらを組み合わせた方向の移動が可能とされる。 The holding means 15 is constituted by an adsorbing member (collet) 21 having a head 20 that adsorbs the pellet 11. The head 20 is provided with an adsorption hole in its lower end surface 20 a, and the pellet 11 is vacuumed through the adsorption hole, and the pellet 11 is adsorbed on the lower end surface 20 a of the head 20. For this reason, when this vacuum suction (evacuation) is released, the pellet 11 is detached from the head 20. And this adsorption | suction member 21 is connected with the arm of a robot, for example, and the movement of the direction (the arrow E direction of FIG. 2), the horizontal direction (arrow E direction of FIG. 2), and the combination of these is possible. Is done.

ステージ１６の上面には凹所２２が設けられ、この凹所２２に受け部１７が配置されている。凹所２２は、矩形状の本体部２２ａと、本体部２２ａの外周側に配設されるテーパ部２２ｂとを備える。また、受け部１７は、凹所２２の本体部２２ａに嵌合する矩形平板体であり、厚さ寸法が本体部２２ａの深さ寸法が略同一に設定されている。また、図１に示すように、受け部１７の幅寸法Ｗは、正方形であるペレット１１の一辺の長さ（幅寸法）Ｗ１よりも小さく設定されている。この場合、受け部１７の一方の長辺１７ａが剥離すべきペレット１１の第１辺２３ａに対応し、受け部１７の他方の長辺１７ｂが剥離すべきペレット１１の第２辺２３ｂ（第１辺２３ａに対面する辺）に対応し、受け部１７の先端側の短辺１７ｃがペレット１１の第３辺２３ｃ（第１辺２３ａと第２辺２３ｂとに対して直角を成す辺）に対応している。 A recess 22 is provided on the upper surface of the stage 16, and the receiving portion 17 is disposed in the recess 22. The recess 22 includes a rectangular main body portion 22a and a tapered portion 22b disposed on the outer peripheral side of the main body portion 22a. Moreover, the receiving part 17 is a rectangular flat plate fitted to the main body part 22a of the recess 22, and the thickness dimension is set to be substantially the same as the depth dimension of the main body part 22a. Moreover, as shown in FIG. 1, the width dimension W of the receiving part 17 is set smaller than the length (width dimension) W1 of one side of the pellet 11 which is a square. In this case, one long side 17a of the receiving part 17 corresponds to the first side 23a of the pellet 11 to be peeled, and the other long side 17b of the receiving part 17 is the second side 23b of the pellet 11 to be peeled (first Corresponding to the side 23a), and the short side 17c on the distal end side of the receiving portion 17 corresponds to the third side 23c of the pellet 11 (a side perpendicular to the first side 23a and the second side 23b). is doing.

前記凹所２２には、図１に示すように、第１辺２３ａの中間部と第２辺２３ｂの中間部と、第３辺２３ｃの中間部に対応して吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃが設けられている。そして、各吸引孔３０は、平面視で分かるように、一部がペレット１１より外側へ突出している。 As shown in FIG. 1, the recess 22 has suction holes 30a, 30b, 30c corresponding to the middle part of the first side 23a, the middle part of the second side 23b, and the middle part of the third side 23c. Is provided. Each suction hole 30 protrudes outward from the pellet 11 as can be seen in plan view.

そして、図２（Ａ）に示すように、ステージ１６上に、ペレット１１が貼り付けられた粘着シート１２を配置することによって、受け部１７の外周側、具体的には少なくとも受け部１７の先端側の短辺１７ｃの前方側において粘着シート１２との間に隙間１９が形成される。 Then, as shown in FIG. 2 (A), by disposing the adhesive sheet 12 with the pellets 11 affixed on the stage 16, the outer peripheral side of the receiving portion 17, specifically, at least the tip of the receiving portion 17. A gap 19 is formed between the adhesive sheet 12 and the front side of the short side 17c.

吸引手段１８は、前記吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃを有し、この吸引孔３０ａ等に図示省略の真空ポンプが接続されてなる。すなわち、真空ポンプが駆動することによって、吸引孔３０ａ等を介して隙間１９内の空気が吸引される。 The suction means 18 has the suction holes 30a, 30b, and 30c, and a vacuum pump (not shown) is connected to the suction holes 30a and the like. That is, when the vacuum pump is driven, air in the gap 19 is sucked through the suction hole 30a and the like.

受け部１７は、駆動手段を介して、受け部１７の先端側の短辺１７ｃがペレット１１の第３辺２３ｃと平行を保持しつつ水平方向に沿って移動する。なお、駆動手段としては、ボルト軸部材とこれに螺合するナット部材からなる往復動機構やシリンダ機構等の種々の機構を用いることができる。また、この受け部１７には支持部材３１が連設され、この受け部１７と支持部材３１とで、移動ブロック体３２を構成している。 The receiving portion 17 moves along the horizontal direction while the short side 17c on the distal end side of the receiving portion 17 is kept parallel to the third side 23c of the pellet 11 via the driving means. In addition, as a drive means, various mechanisms, such as a reciprocation mechanism and a cylinder mechanism which consist of a bolt shaft member and a nut member screwed together, can be used. Further, a support member 31 is connected to the receiving portion 17, and the receiving block 17 and the support member 31 constitute a moving block body 32.

また、ステージ１６には、前記隙間１９に突入される突起２５が付設されている。すなわち、剥離すべきペレット１１の第１辺２３ａと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）と、ペレット１１の第２辺２３ｂと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）にそれぞれ突起２５としてのピン（先端がアール状とされた小径の円柱体）（図４参照）が配置されている。 Further, the stage 16 is provided with a protrusion 25 that is inserted into the gap 19. That is, a corner portion (corner portion) formed by the first side 23a and the third side 23c of the pellet 11 to be peeled and a corner portion (corner portion) formed by the second side 23b and the third side 23c of the pellet 11 are formed. Pins (small-diameter cylinders whose tips are rounded) (see FIG. 4) are arranged as protrusions 25, respectively.

この場合、ステージ１６に上下方向に孔部（図示省略）が設けられ、この孔部に突起２５としてのピンが上下動可能に配置されている。突起２５は、図示省略のシリンダ機構やボールねじ機構等の上下動機構によって上下動する。このため、図４（Ａ）に示すように、突起２５の先端２６の高さ位置と受け部１７の上面２７の高さ位置とが一致する状態としたり、図４（Ｂ）に示すように、突起２５の先端２６の高さ位置が受け部１７の上面２７の高さ位置より高くなる状態としたり、図４（Ｃ）に示すように、突起２５の先端２６の高さ位置が受け部１７の上面２７の高さ位置より低くなる状態としたりすることができる。なお、突起２５としては、剥離すべきペレット１１の大きさや肉厚寸法、粘着シート１２の肉厚寸法等によって相違するが、例えば、０．６ｍｍ〜０．７ｍｍ程度であって、先端のアール部の曲率半径としては、例えば、２００μｍ〜３００μｍ程度である。 In this case, the stage 16 is provided with a hole (not shown) in the vertical direction, and a pin as the protrusion 25 is disposed in the hole so as to be movable up and down. The protrusion 25 moves up and down by a vertical movement mechanism such as a cylinder mechanism or a ball screw mechanism (not shown). Therefore, as shown in FIG. 4 (A), the height position of the tip 26 of the protrusion 25 and the height position of the upper surface 27 of the receiving portion 17 are matched, or as shown in FIG. 4 (B). The height position of the tip 26 of the projection 25 is higher than the height position of the upper surface 27 of the receiving portion 17, or the height position of the tip 26 of the projection 25 is the receiving portion as shown in FIG. 17 may be lower than the height of the upper surface 27 of the upper surface 27. The protrusion 25 differs depending on the size and thickness of the pellet 11 to be peeled off, the thickness of the adhesive sheet 12, and the like. The radius of curvature is, for example, about 200 μm to 300 μm.

次に、前記ピックアップ装置を使用したピックアップ方法を説明する。まず、図３に示すように、フレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている状態において、図１に示すように、１辺（この場合、第４辺２３ｄ）に、他のペレット１１が対応しないペレット１１ａを選択して、このピックアップ装置のステージ１６をこのペレット１１ａの下方に位置させて、図２（Ａ）に示すように、粘着シート１２を介して、移動ブロック体３２の受け部１７にて受ける。 Next, a pickup method using the pickup device will be described. First, as shown in FIG. 3, in a state where the frame 13 and the adhesive sheet 12 are integrated, as shown in FIG. 1, another pellet 11 is placed on one side (in this case, the fourth side 23 d). The non-corresponding pellet 11a is selected, the stage 16 of this pickup device is positioned below the pellet 11a, and the receiving portion of the moving block body 32 is interposed via the adhesive sheet 12 as shown in FIG. Receive at 17.

このため、受け部１７の少なくとも前方側には、図２（Ａ）に示すように、粘着シート１２の下方側に隙間１９が形成される。また、隙間１９には、ペレット１１の第１辺２３ａと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）と、ペレット１１の第２辺２３ｂと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）とに対応した突起２５を突入させる。この際、例えば、図４（ａ）に示すように、突起２５の先端２６の高さ位置と受け部１７の上面２７の高さ位置とが一致する状態とする。この状態で、保持手段１５のコレット２１を、矢印Ｄのように下降させ、ヘッド２０をペレット１の上面に当接するとともに、吸着孔を介してペレット１１ａを真空吸引して、このヘッド２０の下端面２０ａにペレット１１ａを吸着させる。 For this reason, the clearance gap 19 is formed in the downward side of the adhesive sheet 12, as shown to FIG. Further, in the gap 19, a corner portion (corner portion) formed by the first side 23a and the third side 23c of the pellet 11 and a corner portion (corner portion) formed by the second side 23b and the third side 23c of the pellet 11 are formed. ) And the protrusion 25 corresponding to the above is inserted. At this time, for example, as shown in FIG. 4A, the height position of the tip 26 of the protrusion 25 and the height position of the upper surface 27 of the receiving portion 17 are set to coincide with each other. In this state, the collet 21 of the holding means 15 is lowered as indicated by the arrow D, the head 20 is brought into contact with the upper surface of the pellet 1, and the pellet 11a is vacuum-sucked through the suction hole. The pellet 11a is adsorbed on the end face 20a.

前記隙間１９は、前記したように、吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃに連通されている。そこで、吸引手段１８を駆動することによって、吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃを介して隙間１９のエアを吸引する。これによって、図２（Ｂ）に示すように、粘着シート１２の一部が突起２５に支持された状態で、この突起２５の周りの粘着シート１２の一部が吸引され、突起２５の近傍の粘着シート１２をペレット１１ａから剥離する。 As described above, the gap 19 communicates with the suction holes 30a, 30b, and 30c. Therefore, by driving the suction means 18, the air in the gap 19 is sucked through the suction holes 30a, 30b, 30c. As a result, as shown in FIG. 2B, a part of the pressure-sensitive adhesive sheet 12 around the protrusion 25 is sucked in a state where a part of the pressure-sensitive adhesive sheet 12 is supported by the protrusion 25, and in the vicinity of the protrusion 25. The adhesive sheet 12 is peeled from the pellet 11a.

その後、図１（Ｂ）（Ｃ）および図２（Ｃ）（Ｄ）に示すように、受け部１７を矢印Ｆのように移動（スライド）させる。これによって、受け部１７によるペレット１の受け面積が減少していって、粘着シート１２の下方への吸着（吸引）面積が増加していく。この際、ペレット１１ａはコレット２１に保持（吸着）されているので、粘着シート１２が順次ペレット１１ａから剥離していく。このため、図２（Ｄ）に示すように、吸着面積がペレット面積と同一乃至ペレット面積よりも大きくなれば、この剥離すべきペレット１から粘着シート１２を完全に剥離させることができる。 Thereafter, the receiving portion 17 is moved (slid) as shown by an arrow F, as shown in FIGS. Thereby, the receiving area of the pellet 1 by the receiving part 17 decreases, and the adsorption | suction (suction) area to the downward direction of the adhesive sheet 12 increases. At this time, since the pellet 11a is held (adsorbed) on the collet 21, the adhesive sheet 12 is sequentially peeled from the pellet 11a. For this reason, as shown in FIG. 2D, when the adsorption area is the same as the pellet area or larger than the pellet area, the pressure-sensitive adhesive sheet 12 can be completely peeled from the pellet 1 to be peeled.

そして、剥離後は、図２（Ｅ）に示すように、コレット２１を矢印Ｃのように上昇させてステージ１６から離すことによって、ペレット１１ａを粘着シート１２から取り出すことができる。その後は、図２（Ｆ）に示すように、受け部１７を矢印Ｇのように戻して待機状態とし、次に剥離すべきペレット１１を受け部１７にて受けるように配置する。この場合、図１の１１ｂのペレット１１に対応することになる。 And after peeling, the pellet 11a can be taken out from the adhesive sheet 12 by raising the collet 21 as shown by the arrow C and releasing it from the stage 16 as shown in FIG. Thereafter, as shown in FIG. 2 (F), the receiving portion 17 is returned to the standby state as shown by an arrow G, and the pellet 11 to be peeled next is arranged to be received by the receiving portion 17. In this case, it corresponds to the pellet 11 of 11b in FIG.

このように、順次ペレット１１にこのピックアップ装置を対応させて行けば、粘着シート１２上のすべてのペレット１１を粘着シート１２から剥離して取り出すことができる。 Thus, if this pickup device is sequentially associated with the pellets 11, all the pellets 11 on the adhesive sheet 12 can be peeled off from the adhesive sheet 12 and taken out.

なお、各ペレット１１にピックアップ装置を対応させる場合、ピックアップ装置側を移動させても、ペレット１１が貼り付けられた粘着シート１２側を移動させても、さらには両者を移動させてもよい。 In addition, when making a pick-up apparatus respond | correspond to each pellet 11, even if the pick-up apparatus side is moved, the adhesive sheet 12 side to which the pellet 11 was affixed may be moved, and also both may be moved.

本発明では、受け部１７の外周側に形成される隙間１９に突入される突起２５にて、粘着シート１２を下方から支持するので、隙間１９のエアを吸引した場合、この突起２５近傍において応力を集中させることができ、吸着によるペレット１１の剥離が容易となる。すなわち、剥離初期において比較的小さい力で、剥離が可能となって、剥離開始時間の短縮を図ることができる。 In the present invention, the pressure-sensitive adhesive sheet 12 is supported from below by the protrusion 25 that enters the gap 19 formed on the outer peripheral side of the receiving portion 17. Therefore, when air in the gap 19 is sucked, stress is generated in the vicinity of the protrusion 25. The pellets 11 can be easily peeled off by adsorption. That is, peeling can be performed with a relatively small force at the initial stage of peeling, and the peeling start time can be shortened.

また、この剥離作業においては、吸引によって、突起２５が粘着シート１２に食い込むことになり、突起２５が粘着シート１２に対してアンカーとなる。このため、剥離作業が安定するとともに、受け部１７のスライドによっても粘着シート１２が引っ張られず、スライド時の剥離する力に対してチップ（ペレット）１側が負けない。したがって、コレット２１（保持手段）からペレット１１が外れないとともに、粘着シート１２が引っ張られてペレット１１に位置ずれが発生するおそれがない。 In this peeling operation, the protrusion 25 bites into the pressure-sensitive adhesive sheet 12 by suction, and the protrusion 25 becomes an anchor with respect to the pressure-sensitive adhesive sheet 12. For this reason, the peeling operation is stabilized, and the adhesive sheet 12 is not pulled even by the sliding of the receiving portion 17, and the chip (pellet) 1 side does not lose against the peeling force at the time of sliding. Therefore, the pellet 11 is not detached from the collet 21 (holding means), and there is no possibility that the pellet 11 is displaced due to the adhesive sheet 12 being pulled.

突起２５を、上下動可能なピンにて構成することによって、ピンの高さ位置を調整することができるので、粘着シート１２の肉厚や受け部１７が配置されるステージ１６の高さ等に応じて、ピンの高さ位置を調整することによって、剥離すべきペレット１１に対して最適な剥離性能を発揮することができる。 By configuring the protrusion 25 with a pin that can move up and down, the height position of the pin can be adjusted, so that the thickness of the adhesive sheet 12, the height of the stage 16 on which the receiving portion 17 is disposed, etc. Accordingly, by adjusting the height position of the pin, it is possible to exhibit the optimum peeling performance for the pellet 11 to be peeled.

突起２５をペレット１１のコーナ部（角部）に対応させて配置することによって、剥離の容易なペレット１１の角部に応力を集中させることができる。このため、剥離開始を安定して確実に行うことができ、剥離作業の信頼性が向上する。 By arranging the protrusions 25 so as to correspond to the corner portions (corner portions) of the pellet 11, stress can be concentrated on the corner portions of the pellet 11 that can be easily peeled off. For this reason, the start of peeling can be performed stably and reliably, and the reliability of the peeling work is improved.

次に、図５は他の実施形態を示し、この場合、受け部１７がステージ１６の上面より突出している。このため、受け部１７にて剥離すべきペレット１１を受けた場合、ステージ１６の上面よりも上位でペレット１１を受けることになる。 Next, FIG. 5 shows another embodiment. In this case, the receiving portion 17 protrudes from the upper surface of the stage 16. For this reason, when the pellet 11 to be peeled is received by the receiving portion 17, the pellet 11 is received at a higher position than the upper surface of the stage 16.

従って、この図５に示すピックアップ装置であっても、隙間１９に突入する上下動可能な突起２５が付設されている。このため、コレット２１にてペレット１１を上方から保持した状態で、隙間１９にエアを吸引すれば、受け部１７の前方側において、突起２５にて粘着シート１２の一部を支持した状態でペレット１１から粘着シート１２を剥離することができる。そこで、この状態で受け部１７を、水平方向に沿って移動させれば、図２に示すピックアップ装置と同様、粘着シート１２を容易に剥離して行くことができる。 Therefore, even in the pickup device shown in FIG. 5, a protrusion 25 that can be moved up and down to enter the gap 19 is provided. For this reason, if air is sucked into the gap 19 while the pellet 11 is held from above by the collet 21, the pellet in a state in which a part of the adhesive sheet 12 is supported by the protrusion 25 on the front side of the receiving portion 17. The pressure-sensitive adhesive sheet 12 can be peeled from 11. Therefore, if the receiving portion 17 is moved along the horizontal direction in this state, the adhesive sheet 12 can be easily peeled off as in the pickup device shown in FIG.

ところで、前記各実施形態では、受け部１７をステージ１６に対して移動させていたが、別の実施形態として、受け部１７をステージ１６に一体的に設けて、ステージ１６を移動させることによって、受け部１７をペレット１１に対して移動させるようにしてもよい。 By the way, in each said embodiment, although the receiving part 17 was moved with respect to the stage 16, by providing the receiving part 17 integrally in the stage 16 and moving the stage 16 as another embodiment, The receiving part 17 may be moved relative to the pellet 11.

次に図６は別の実施形態を示し、この場合、受け部１７は、先端に向かって細くなる先細部３５を備える。すなわち、先細部３５は、ペレット１１の第２辺２３ｂに平行な第１辺３６と、ペレット１１の第２辺２３ｃに平行な第２辺３７にて構成され、この第１辺３６と第２辺３７とは９０度を成す。そして、先細部３５の角部３８が、剥離しようとする一のペレット角部３９に対応する。この一のペレット角部３９は、前記第２辺２３ｂと第３辺２３ｃとがなす接合部である。 Next, FIG. 6 shows another embodiment, in which the receiving part 17 comprises a taper 35 that tapers towards the tip. That is, the tapered portion 35 includes a first side 36 parallel to the second side 23b of the pellet 11 and a second side 37 parallel to the second side 23c of the pellet 11, and the first side 36 and the second side The side 37 forms 90 degrees. The corner portion 38 of the tapered portion 35 corresponds to one pellet corner portion 39 to be peeled off. The one pellet corner 39 is a joint formed by the second side 23b and the third side 23c.

この実施形態においては、ペレット角部３９とこれに対向する他のペレット角部４０（第１辺２３ａと第４辺２３ｄとがなす角部）を結ぶ対角線Ｌ上に前記受け部１７の角部３８が配置される。 In this embodiment, the corner portion of the receiving portion 17 on a diagonal line L connecting the pellet corner portion 39 and another pellet corner portion 40 (corner portion formed by the first side 23a and the fourth side 23d) opposite to the pellet corner portion 39. 38 is arranged.

この実施形態においては、第２辺２３ｂと第４辺２３ｄとの角部に対応して吸引孔３０ｄが設けられ、第２辺２３ａの中間部に対応して吸引孔３０ｅが設けられ、第３辺２３ｃの中間部に対応して吸引孔３０ｇが設けられ、第３辺２３ｃと第１辺２３ａとの角部に対応して吸引孔３０ｈが設けられている。そして、各吸引孔３０は、平面視で分かるように、一部がペレット１１より外側へ突出している。この場合、隙間１９に突入する上下動可能な突起２５が、第２辺２３ｂと第３辺２３ｃとの角部３９に対応して付設されている。 In this embodiment, the suction holes 30d are provided corresponding to the corners of the second side 23b and the fourth side 23d, the suction holes 30e are provided corresponding to the intermediate part of the second side 23a, and the third A suction hole 30g is provided corresponding to an intermediate portion of the side 23c, and a suction hole 30h is provided corresponding to a corner portion of the third side 23c and the first side 23a. Each suction hole 30 protrudes outward from the pellet 11 as can be seen in plan view. In this case, a vertically movable protrusion 25 that enters the gap 19 is provided corresponding to the corner 39 of the second side 23b and the third side 23c.

次に、図６に示すピックアップ装置を使用したピックアップ方法を説明する。まず、フレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている状態において、２辺（この場合、第１辺２３ａと第４辺２３ｄ）に、他のペレット１１が対応しないペレット１１ａを選択して、このピックアップ装置のステージ１６をこのペレット１１ａの下方に位置させて、粘着シート１２を介して、移動ブロック体３２の受け部１７にて受ける。この際、受け部１７の第１辺３６がペレット１１ａの第２辺２３ｂに対して平行となるとともに、受け部１７の第２辺３７がペレット１１ａの第３辺２３ｃに対して平行となるように、受け部１７の角部３８をペレット１１ａの対角線Ｌ上に配置する。また、角部３８がペレット１１ａの角部３９に対して、図６の矢印αの方向、つまり対角線Ｌに沿って、角部３９に対向する角部４０側にずれている。 Next, a pickup method using the pickup device shown in FIG. 6 will be described. First, in a state where the frame 13 and the adhesive sheet 12 are integrated, a pellet 11a that does not correspond to the other pellets 11 on two sides (in this case, the first side 23a and the fourth side 23d) is selected, The stage 16 of this pickup device is positioned below the pellet 11 a and is received by the receiving portion 17 of the moving block body 32 via the adhesive sheet 12. At this time, the first side 36 of the receiving part 17 is parallel to the second side 23b of the pellet 11a, and the second side 37 of the receiving part 17 is parallel to the third side 23c of the pellet 11a. Further, the corner portion 38 of the receiving portion 17 is disposed on the diagonal line L of the pellet 11a. Further, the corner portion 38 is shifted from the corner portion 39 of the pellet 11a toward the corner portion 40 facing the corner portion 39 in the direction of the arrow α in FIG.

このため、受け部１７の先細部３５の前方側（第１辺３６及び第２辺３７の前方側）には、粘着シート１２の下方側に隙間１９が形成され、突起２５にて粘着シート１２の一部を支持している。この状態で、図２の（Ａ）と同様、保持手段１５のコレット２１にてペレット１１ａを吸着させる。 Therefore, a gap 19 is formed on the lower side of the pressure-sensitive adhesive sheet 12 on the front side of the tapered portion 35 of the receiving portion 17 (the front side of the first side 36 and the second side 37). I support a part of. In this state, the pellet 11a is adsorbed by the collet 21 of the holding means 15 as in FIG.

前記隙間１９は、吸引孔３０ｄ、３０ｅ、３０ｇ、３０ｈを介して隙間１９のエアを吸引する。これによって、隙間１９に対応する粘着シート１２の一部が吸引され、突起２５の近傍の粘着シート１２をペレット１１ａから剥離する。 The gap 19 sucks the air in the gap 19 through the suction holes 30d, 30e, 30g, and 30h. Thereby, a part of the adhesive sheet 12 corresponding to the gap 19 is sucked, and the adhesive sheet 12 in the vicinity of the protrusion 25 is peeled from the pellet 11a.

その後、受け部１７を前記対角線Ｌに沿って矢印αのように移動（スライド）させる。これによって、受け部１７によるペレット１１の受け面積が減少していって、粘着シート１２の下方への吸着（吸引）面積が増加していく。この際、ペレット１１ａはコレット２１に保持（吸着）されているので、粘着シート１２が順次ペレット１１ａから剥離していく。このため、吸着面積がペレット面積と同一乃至ペレット面積よりも大きくなれば、この剥離すべきペレット１から粘着シート１２を完全に剥離させることができる。 Thereafter, the receiving portion 17 is moved (slid) along the diagonal line L as indicated by an arrow α. Thereby, the receiving area of the pellet 11 by the receiving part 17 decreases, and the adsorption | suction (suction) area to the downward direction of the adhesive sheet 12 increases. At this time, since the pellet 11a is held (adsorbed) on the collet 21, the adhesive sheet 12 is sequentially peeled from the pellet 11a. For this reason, if the adsorption area is the same as the pellet area or larger than the pellet area, the pressure-sensitive adhesive sheet 12 can be completely peeled from the pellet 1 to be peeled.

図６に示すピックアップ装置では、ペレット１１の対角線Ｌに沿って剥離することになる。このため、ペレット１１の一辺の長さ分ずつ剥離する場合と相違して、その剥離力が小さくて済み、粘着シートの剥離が容易となる。しかも、剥離して行く際には、剥離を開始するペレット１１のペレット角部を構成する２辺に対応する隣のペレット１１の辺に対して、受け部１７が離れて行くことになる。これによって、隣接するペレット１１に動的な曲げ応力を掛けることがなくなり、隣接するペレット１１（特に、剥離すべきペレットに対応する辺）に割れを生じさせない。また、一のペレット角部から剥離して行くものであるので、粘着シート１２を吸引する吸着応力が１箇所に集中させることができ、薄くてしなりやすいペレット１１であっても、剥離が可能となり、剥離させることができるペレット１１の適用範囲が拡大する利点がある。さらに、剥離部位が斜めに移動するので、せん断を掛けつつ吸着力で粘着シート１２が剥がれていき、剥離性能の向上を図ることができる。 In the pickup device shown in FIG. 6, the peeling occurs along the diagonal line L of the pellet 11. For this reason, unlike the case where it peels for the length of one side of the pellet 11, the peeling force is small and peeling of an adhesive sheet becomes easy. In addition, when peeling off, the receiving portion 17 moves away from the side of the adjacent pellet 11 corresponding to the two sides constituting the pellet corner of the pellet 11 from which peeling is started. As a result, no dynamic bending stress is applied to the adjacent pellets 11, and the adjacent pellets 11 (particularly, the sides corresponding to the pellets to be peeled) are not cracked. In addition, since it peels from one corner of the pellet, the adsorption stress that sucks the adhesive sheet 12 can be concentrated in one place, and even the thin pellet 11 can be peeled off. Thus, there is an advantage that the application range of the pellet 11 that can be peeled is expanded. Furthermore, since the peeling site moves obliquely, the pressure-sensitive adhesive sheet 12 is peeled off by the adsorbing force while applying shear, and the peeling performance can be improved.

特に、剥離作業開始においては、受け部１７の角部を、剥離すべきペレット１１の一のペレット角部に対応させればよいので、その幅寸法をペレット１１の一辺よりも僅かに小さい寸法等に設定して受け部１７をその都度製作する必要がない。すなわち、受け部１７を、ペレット１１の寸法に合わせることなく、一種類の受け部にて位置調整するのみで種々のサイズのペレットに合わせることができ、汎用性にすぐれ、コスト低減に寄与する。また、受け部１７の移動方向が、ペレット角部３９を構成する２辺に対してそれぞれ４５度をなす方向であるので、粘着シート１２に対して均等な剥離力で剥離していくことができ、製品（ペレット）への不要な負荷を掛けずに済み、製品損傷を防止できる。しかも、突起２５が、剥離しやすいペレット角部に対応して設けられているので、剥離を確実に開始することができ、しかも、対角線Ｌに沿って剥離することと相俟って、粘着シート１２の剥離が一層容易となる利点がある。 In particular, at the start of the peeling operation, the corner portion of the receiving portion 17 only needs to correspond to one pellet corner portion of the pellet 11 to be peeled off, so that the width dimension is slightly smaller than one side of the pellet 11 or the like. It is not necessary to manufacture the receiving part 17 each time. That is, the receiving part 17 can be adjusted to pellets of various sizes only by adjusting the position of the receiving part 17 with one kind of receiving part without adjusting to the size of the pellet 11, and it is excellent in versatility and contributes to cost reduction. Moreover, since the moving direction of the receiving part 17 is a direction which makes 45 degree | times with respect to two sides which comprise the pellet corner part 39, respectively, it can peel with equal peeling force with respect to the adhesive sheet 12. This eliminates unnecessary load on the product (pellet) and prevents product damage. Moreover, since the protrusions 25 are provided corresponding to the corners of the pellet that are easily peeled off, the peeling can be reliably started, and in addition to peeling along the diagonal line L, the pressure-sensitive adhesive sheet There is an advantage that peeling of 12 becomes easier.

図６に示すように、ペレット１１に対して受け部１７を斜め方向にスライドする場合、移動方向の変更も可能である。このように、受け部１７の移動方向の変更を可能とすれば、剥離するペレット１１の性質等に応じて移動方向を変更することができる。すなわち、結晶方位によってペレット１１には割れやすい方向があるので、受け部１７の移動方向を、隣接するペレット１に対して割れにくい方向の力が作用するように設定できる。このため、隣接するペレットの損傷（割れ）を一層安定して防止できる。 As shown in FIG. 6, when the receiving portion 17 is slid in the oblique direction with respect to the pellet 11, the moving direction can be changed. As described above, if the movement direction of the receiving portion 17 can be changed, the movement direction can be changed according to the properties of the pellet 11 to be peeled. That is, since the pellet 11 has a fragile direction depending on the crystal orientation, the movement direction of the receiving portion 17 can be set so that a force in a direction in which it is difficult to break acts on the adjacent pellet 1. For this reason, damage (cracking) of adjacent pellets can be prevented more stably.

ところで、突起２５として、図７に示すように、ステージ１６に対して一体に形成されたものであってもよい。この場合、突起２５は凹所２２に横方向から水平に突出するものであって、上下方向に延びるものであってもよい。このように、ステージ１６に対して一体に突起を形成した場合、装置全体の構成の簡略化を図ることができる。また、上下方向に延びるものであっても、横方向（水平方向）に延びるものであっても、粘着シート１２を下方から支持することができ、剥離性の向上を図る機能を確実に発揮することができる。 By the way, as shown in FIG. 7, the protrusion 25 may be formed integrally with the stage 16. In this case, the protrusion 25 protrudes horizontally from the lateral direction into the recess 22 and may extend in the vertical direction. As described above, when the protrusions are formed integrally with the stage 16, the configuration of the entire apparatus can be simplified. Moreover, even if it extends in the up-down direction or in the horizontal direction (horizontal direction), the pressure-sensitive adhesive sheet 12 can be supported from below, and the function of improving the peelability is reliably exhibited. be able to.

以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、ステージ１６に設けられる吸引孔３０としては、大きさ、数、形状等を、隙間１９のエアの吸引可能範囲で任意に設定できる。このため、吸引孔３０は１個であってもよい。また、剥離すべきペレット１１として、正方形に限るものではなく、短辺と長辺とを有する長方形であっても、さらには、短辺に比べて長辺が極めて長い短冊状であってもよい。粘着シート１２の厚さとしても、吸引力等によって相違するが、吸引手段１８にて隙間１９のエアを吸引した際に、ペレット１１から剥離できるように、湾曲変形できるものであればよい。 As described above, the embodiment of the present invention has been described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible. For example, the suction hole 30 provided in the stage 16 has a size and a number of The shape and the like can be arbitrarily set within the air suckable range of the gap 19. For this reason, the suction hole 30 may be one. Further, the pellet 11 to be peeled is not limited to a square, but may be a rectangle having a short side and a long side, or may be a strip having a very long side compared to the short side. . The thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet 12 may vary depending on the suction force or the like, but may be anything that can be deformed in a curved manner so that it can be peeled off from the pellet 11 when the air in the gap 19 is sucked by the suction means 18.

受け部１７の肉厚としても、吸引手段１８にて隙間１９のエアを吸引した際に、ペレット１１から剥離できる範囲によって、任意に設定できる。また、図６に示すような受け部１７である場合、受け部１７の角部の角度として９０度に限るものではなく、多少鋭角であっても鈍角であってもよい。 The thickness of the receiving portion 17 can be arbitrarily set depending on the range in which the air can be peeled from the pellet 11 when the air in the gap 19 is sucked by the suction means 18. Further, in the case of the receiving portion 17 as shown in FIG. 6, the angle of the corner portion of the receiving portion 17 is not limited to 90 degrees, and may be somewhat acute or obtuse.

粘着シート１２上に貼り付けられているペレット１１の数としても任意であり、本発明では、数に影響されることなく、粘着シート１２上の全てのペレット１１を順次剥離して行くことができる。また、図１に示すものでは、剥離すべきペレット１１の第４辺２３ｄに他のペレット１１が対応していなければよく、図６に示すものでは、剥離すべきペレット１１の第２辺２３ｂと第４辺２３ｄとに他のペレット１１が対応していなければよいので、剥離して行く順序としてはこの条件を満たす範囲で任意に設定できる。 The number of pellets 11 affixed on the pressure-sensitive adhesive sheet 12 is also arbitrary, and in the present invention, all the pellets 11 on the pressure-sensitive adhesive sheet 12 can be sequentially peeled without being affected by the number. . Further, in the case shown in FIG. 1, it is sufficient that the other pellets 11 do not correspond to the fourth side 23d of the pellet 11 to be peeled. In the case shown in FIG. Since the other pellets 11 do not have to correspond to the fourth side 23d, the order of peeling can be arbitrarily set within a range that satisfies this condition.

図１では、突起２５を、剥離すべきペレット１１の第１辺２３ａと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）と、ペレット１１の第２辺２３ｂと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）とに配置し、図６では、ペレット１１の第２辺２３ｂと第３辺２３ｃのコーナ部（角部）３９に配置しているが、それぞれ、突起２５の配置位置や数等は任意に変更することができる。すなわち、第１辺２３ａの中間部や第２辺２３ｂの中間部や第３辺２３ｃの中間部等であってもよい。なお、突起２５を配置する場合、吸引孔３０に対応して設けても、吸引孔３０を避けてもうけてもよい。また、図２のように突起２５をピンにて構成する場合であっても、上下動しない固定型のものであってもよい。この場合、ピン構成部材をステージ１６に植設等すればよい。 In FIG. 1, the corners (corners) formed by the first side 23 a and the third side 23 c of the pellet 11 to be peeled and the corners formed by the second side 23 b and the third side 23 c of the pellet 11 are formed. 6, in FIG. 6, it is arranged at the corner (corner) 39 of the second side 23 b and the third side 23 c of the pellet 11. Etc. can be arbitrarily changed. That is, it may be an intermediate part of the first side 23a, an intermediate part of the second side 23b, an intermediate part of the third side 23c, or the like. When the protrusion 25 is disposed, the protrusion 25 may be provided corresponding to the suction hole 30 or may be avoided. Moreover, even if it is a case where the protrusion 25 is comprised with a pin like FIG. 2, the fixed type which does not move up and down may be sufficient. In this case, a pin constituent member may be implanted on the stage 16.

切断されたウェーハ、もしくは最終製品になる前の板材を、粘着シートに貼り付けて、この状態でダイシングソー等にて切断することによって、複数枚のペレットを形成することができる。そして、このピックアップ装置には、粘着シートからペレットを一枚ずつ剥離させて取り出すことができる。取り出したペレットは、リードフレームの所定のランドに供給することができる。 A plurality of pellets can be formed by attaching a cut wafer or a plate material before becoming a final product to an adhesive sheet, and cutting with a dicing saw or the like in this state. And in this pick-up apparatus, a pellet can be peeled from the adhesive sheet one by one and taken out. The extracted pellets can be supplied to a predetermined land of the lead frame.

Claims

A pick-up method in which a plurality of rectangular thin-walled pellets affixed on an adhesive sheet are sequentially peeled off and taken out from the adhesive sheet, and the receiving part receives the pellets to be peeled off via the adhesive sheet. After forming a gap with the pressure-sensitive adhesive sheet on the outer peripheral side of the receiving part, while holding the pellets from above, while supporting a part of the pressure-sensitive adhesive sheet from below with the protrusions that enter the gap, Air is sucked, the adhesive sheet on the outer peripheral side of the receiving part is peeled off, and then the supporting part is moved along the horizontal direction while supporting the adhesive sheet with the protrusion and holding the pellet from above, A pick-up method characterized by peeling the pellets.

A pick-up device for sequentially removing a plurality of rectangular thin-walled pellets affixed on an adhesive sheet from the adhesive sheet and removing the pellets, and holding means for holding the pellets to be peeled from above and an adhesive sheet A stage that receives the pellets via an adhesive sheet, an air suction means for sucking air in a gap formed between the adhesive sheet on the outer peripheral side of the receiving part, and a rush into the gap A pickup apparatus comprising: a protrusion that supports a part of the pressure-sensitive adhesive sheet from below; and a driving unit that moves the receiving portion along a horizontal direction.

3. The pickup device according to claim 2, wherein the protrusion is constituted by a pin that can move up and down.

4. The pickup device according to claim 2, wherein the protrusion is integrally provided on a stage on which the receiving portion is disposed.

The pickup device according to any one of claims 2 to 4, wherein the protrusion is disposed in correspondence with a corner portion of a pellet to be peeled off.