JPWO2008004270A1 - Pickup method and pickup device - Google Patents

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Abstract

隣のペレットに割れが生じにくく、しかも剥離すべきペレットを確実かつ容易に剥離して取り出すことが可能なピックアップ方法およびピックアップ装置を提供する。粘着シート（１２）上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレット（１１）を、粘着シート（１２）から順次剥離して取り出すものである。剥離すべきペレット（１１）を上方から保持した状態で、粘着シート（１２）を下方から吸引しつつ、ペレット（１１）の一のペレット角部（２６）からこのペレット角部（２６）に対向する他のペレット角部（２７）乃至その近傍に向けてペレット（１１）を剥離していく。Provided is a pickup method and a pickup apparatus that are unlikely to crack in adjacent pellets and that can reliably and easily peel and take out a pellet to be peeled off. A plurality of rectangular thin-walled pellets (11) affixed on the pressure-sensitive adhesive sheet (12) are sequentially peeled off from the pressure-sensitive adhesive sheet (12). While holding the pellet (11) to be peeled from above, the pressure-sensitive adhesive sheet (12) is sucked from below and is opposed to the pellet corner (26) from one pellet corner (26) of the pellet (11). The pellet (11) is peeled off toward the other pellet corner (27) or the vicinity thereof.

Description

本発明は、ピックアップ方法およびピックアップ装置に関する。   The present invention relates to a pickup method and a pickup apparatus.

半導体装置の製造工程において、ダイシングされた半導体ペレット（以下、単にペレットという。）を粘着シートからピックアップする必要がある。従来のピックアップ装置として、粘着シートを保持するステージと、このステージに対して進退する突き上げ台と、この突き上げ台によって突き上げられるニードルとを備えたものがある。すなわち、突き上げ台によって突き上げられたニードルによりステージの粘着シートを裏面側から突いて、ペレットを粘着シートから離脱させるように構成されている。   In a manufacturing process of a semiconductor device, it is necessary to pick up a diced semiconductor pellet (hereinafter simply referred to as a pellet) from an adhesive sheet. As a conventional pick-up device, there is one provided with a stage for holding an adhesive sheet, a push-up table that advances and retreats with respect to the stage, and a needle that is pushed up by the push-up table. That is, the adhesive sheet of the stage is protruded from the back side by the needle pushed up by the push-up stand, and the pellet is separated from the adhesive sheet.

しかしながら、ニードルを使用するピックアップ装置では、ニードルが粘着シートを突き破ってペレットを突き上げて粘着シートから剥離する際に、ニードルの先端部が磨滅したり破損していたり曲がっていたりする場合がある。このような場合には、破損したニードルがペレット突き上げ時にペレット裏面を傷付けるおそれがある。また、磨滅や破損によって各ニードルの長さが相違することになって、ペレットが傾いて突き上げられる状態になり、隣合うペレット同士が衝突して傷付け合うおそれがある。   However, in a pickup device that uses a needle, when the needle breaks through the adhesive sheet to push up the pellet and peels off the adhesive sheet, the tip of the needle may be worn out, damaged, or bent. In such a case, the broken needle may damage the pellet back surface when the pellet is pushed up. Further, the lengths of the needles are different due to abrasion or breakage, and the pellets are tilted and pushed up, and adjacent pellets may collide and be damaged.

さらに、ペレットはコレットにて吸着されて取り出される。しかしながら、ペレットが傾いて突き上げられれば、コレットによるペレットの吸着ミスが発生する。コレットのペレット吸着ミスが発生すると、その後の作業に支承を来たすことになる。また、ニードルの突き上げによって、ペレットが損傷する場合もあった。   Further, the pellet is adsorbed by a collet and taken out. However, if the pellet is tilted and pushed up, a mistake in adsorption of the pellet due to the collet occurs. If a collet pellet pick-up error occurs, the subsequent work will be supported. Moreover, the pellet may be damaged by the needle being pushed up.

そこで、近年このようなニードルを使用しないピックアップ装置（特許文献１）が提案されている。このピックアップ装置は、図５と図６に示すように、ペレット１が貼り付けられている粘着シート２を保持するステージ３を備える。また、ステージ３には、その上面４ａがステージ上面３ａより突出する受け部４が付設される。このため、受け部４の外周側には、粘着シート２との間に図６に示すように隙間６が形成される。さらに、ステージ３には、前記隙間６に連通される吸引孔５が設けられている。なお、この吸引孔５、５は、図３に示すように平面視において、その一部がペレット１の第１辺８ａよりも外側に突出している。   Therefore, in recent years, a pickup device (Patent Document 1) that does not use such a needle has been proposed. As shown in FIGS. 5 and 6, the pickup device includes a stage 3 that holds an adhesive sheet 2 to which a pellet 1 is attached. Further, the stage 3 is provided with a receiving portion 4 whose upper surface 4a protrudes from the stage upper surface 3a. For this reason, the clearance gap 6 is formed in the outer peripheral side of the receiving part 4 between the adhesive sheets 2 as shown in FIG. Further, the stage 3 is provided with a suction hole 5 communicating with the gap 6. In addition, as shown in FIG. 3, the suction holes 5 and 5 partially project outward from the first side 8 a of the pellet 1 in a plan view.

次に、前記ピックアップ装置を使用したピックアップ装置を説明する。まず、上方からコレット（吸着コレット）７にてペレット１を吸着（保持）した状態で、吸引孔５を介して粘着シート２を吸引する。これによって、隙間６のエアが矢印Ａのように、吸引され、受け部４の周りの粘着シート２が吸引され、ペレット１の外周側において粘着シート２が剥離する。   Next, a pickup device using the pickup device will be described. First, the pressure-sensitive adhesive sheet 2 is sucked through the suction holes 5 in a state where the pellet 1 is sucked (held) by the collet (adsorption collet) 7 from above. As a result, the air in the gap 6 is sucked as indicated by an arrow A, the pressure-sensitive adhesive sheet 2 around the receiving portion 4 is sucked, and the pressure-sensitive adhesive sheet 2 is peeled off on the outer peripheral side of the pellet 1.

その後、図７に示すように、受け部４を矢印Ｂの方向へ移動（移動）させる。つまり、前記第１辺８ａに対面する第２辺８ｂ側へ移動させる。これによって、受け部４にて受けられているペレット１の受け面積が減少していって、粘着シート２の吸着（吸引）面積が増加して、最終的にこのペレット１から粘着シート２を完全に剥離させることができる。
特許第３２０９７３６号明細書 Thereafter, as shown in FIG. 7, the receiving portion 4 is moved (moved) in the direction of arrow B. That is, it is moved to the second side 8b facing the first side 8a. As a result, the receiving area of the pellet 1 received by the receiving portion 4 is reduced, the adsorption (suction) area of the adhesive sheet 2 is increased, and finally the adhesive sheet 2 is completely removed from the pellet 1. Can be peeled off.
Japanese Patent No. 3209736

ところで、前記ピックアップ装置を使用した場合、図８に示すように、受け部４を、第１辺８ａに対して直交する方向に移動させることになる。このため、この受け部４の移動によって、剥離しているペレット１ａに隣設するペレット１ｂ、１ｃに対して動的な曲げ応力を付与することになり、割れが生じるおそれがある。なお、図８において、Ｓは割れが生じている部位を示し、ペレット１ｂ、１ｄのＳ１はスライドさせた際に生じる割れを示し、ペレット１ｃのＳ２は吸引に際に生じる吸着割れを示している。   By the way, when the said pick-up apparatus is used, as shown in FIG. 8, the receiving part 4 will be moved to the direction orthogonal to the 1st edge | side 8a. For this reason, the movement of the receiving portion 4 gives a dynamic bending stress to the pellets 1b and 1c adjacent to the peeled pellet 1a, which may cause cracking. In FIG. 8, S indicates a portion where cracking occurs, S1 of pellets 1b and 1d indicates cracking that occurs when sliding, and S2 of pellet 1c indicates adsorption cracking that occurs during suction. .

また、前記ピックアップ装置では、第１辺８ａからこれに対面する第２辺８ｂ側に向かって粘着シート２が剥離されて行くことになる。このため、第１辺８ａの長さ分づつはがすことになって、比較的大きな剥離力を必要とし、粘着シート２の粘着力が強ければ、剥離しにくいことになる。さらに、吸着（吸引応力）が２箇所の角部７、９に分散するので、薄いペレット１である場合に、吸着時にペレットがいわゆる「しなった状態」となって、剥離開始部の端部が剥離しにくいことになる。   Moreover, in the said pick-up apparatus, the adhesive sheet 2 peels toward the 2nd edge | side 8b side which faces this from the 1st edge | side 8a. For this reason, the length of the first side 8a is peeled off, and a relatively large peeling force is required. If the adhesive strength of the adhesive sheet 2 is strong, it is difficult to peel off. Further, since adsorption (suction stress) is dispersed in the two corners 7 and 9, when the pellet is a thin pellet 1, the pellet becomes a so-called “broken state” at the time of adsorption, and the end of the peeling start portion. Will be difficult to peel off.

さらに、受け部４の形状寸法を剥離しようとするペレット１の寸法に合わせる必要があり、ペレット（チップ）１毎に受け部４を相違させる必要があり、コスト高となっていた。   Furthermore, it is necessary to match the shape and size of the receiving portion 4 with the size of the pellet 1 to be peeled off, and it is necessary to make the receiving portion 4 different for each pellet (chip) 1, which increases the cost.

本発明は、上記課題に鑑みて、隣のペレットに割れが生じにくく、しかも剥離すべきペレットを確実かつ容易に剥離して取り出すことが可能なピックアップ方法およびピックアップ装置を提供する。   In view of the above problems, the present invention provides a pick-up method and a pick-up device that are unlikely to crack in adjacent pellets and that can reliably and easily peel and take out the pellets to be peeled.

本発明のピックアップ方法は、粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ方法であって、剥離すべきペレットを上方から保持した状態で、粘着シートを下方から吸引しつつ、前記ペレットの一のペレット角部からこのペレット角部に対向する他のペレット角部乃至その近傍に向けてペレットを剥離して行くものである。   The pick-up method of the present invention is a pick-up method in which a plurality of rectangular thin-walled pellets affixed on the pressure-sensitive adhesive sheet are sequentially peeled off from the pressure-sensitive adhesive sheet, and the pellets to be peeled are held from above, While sucking the adhesive sheet from below, the pellet is peeled from one pellet corner of the pellet toward another pellet corner facing the pellet corner or the vicinity thereof.

本発明のピックアップ方法によれば、ペレットの対角線に沿って剥離することになる。このため、ペレットの一辺の長さ分づつ剥離する場合と相違して、その剥離力が小さくて済む。しかも、剥離して行く際には、剥離を開始するペレットのペレット角部を構成する２辺に対応する隣のペレットの辺に対して、離れて行くことになる。これによって、隣接するペレットに動的な曲げ応力を掛けることがなくなる。また、一のペレット角部から剥離して行くものであるので、粘着シートを吸引する吸着応力が１箇所に集中させることができる。このため、薄くてしなりやすいペレットであっても、剥離が可能となる。さらに、剥離部位が斜めに移動するので、せん断を掛けつつ吸着力で粘着シートが剥がれていくことになる。   According to the pickup method of the present invention, peeling occurs along the diagonal line of the pellet. For this reason, unlike the case where it peels according to the length of one side of a pellet, the peeling force may be small. And when peeling, it will leave | separate with respect to the side of the adjacent pellet corresponding to 2 sides which comprise the pellet corner | angular part of the pellet which starts peeling. This prevents dynamic bending stress from being applied to adjacent pellets. Moreover, since it peels from the corner | angular part of one pellet, the adsorption stress which attracts | sucks an adhesive sheet can be concentrated on one place. For this reason, even if the pellet is thin and easily deformed, it can be peeled off. Furthermore, since the peeled portion moves obliquely, the pressure-sensitive adhesive sheet is peeled off by the adsorption force while applying shear.

本発明の他のピックアップ方法は、粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ方法であって、角部が一のペレット角部に対応する受け部にて、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受けて、この受け部の外周側において粘着シートとの間に隙間を形成した後、前記ペレットを上方から保持した状態で、前記隙間のエアを吸引して、少なくとも前記受け部の角部の外周側の粘着シートを剥離し、その後、このエアの吸引及び上方からのペレットの保持を行いつつ、前記受け部を、前記ペレット角部を構成するペレットの２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させ、ペレット角部からこのペレット角部に対向する他のペレット角部乃至その近傍に向けてペレットを剥離して行くことものである。   Another pick-up method of the present invention is a pick-up method in which a plurality of rectangular thin-walled pellets affixed on the pressure-sensitive adhesive sheet are sequentially peeled off from the pressure-sensitive adhesive sheet, and the corner corresponds to one pellet corner. In the receiving part, the pellet to be peeled is received via the adhesive sheet, and after forming a gap with the adhesive sheet on the outer peripheral side of the receiving part, the gap is held in a state where the pellet is held from above. The suction portion is peeled off at least on the outer peripheral side of the corner portion of the receiving portion, and then the air receiving portion and holding the pellet from above are performed while the receiving portion is moved to the corner portion of the pellet. Is moved along a horizontal direction in a direction inclined with respect to two sides of the pellets constituting the pellet, from the pellet corner to another pellet corner facing the pellet corner or the vicinity thereof. It is intended to go peeling off the toilet.

本発明の他のピックアップ方法によれば、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受けて、この受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引すれば、受け部の外周側において、粘着シートが吸引されて粘着シートがペレットから剥離する。その後は、受け部を、ペレット角部を構成するペレットの２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動することによって、受け部によるペレットの受け面積が減少していく。これによって、粘着シートの吸着（吸引）面積が増加し、最終的には、この剥離すべきペレットから粘着シートを完全に剥離させることができる。しかも、剥離作業開始においては、受け部の角部を、剥離すべきペレットの一のペレット角部に対応させればよいので、その幅寸法をペレットの一辺によりも僅かに小さい寸法等に設定したりする必要がない。すなわち、受け部を、ペレットの寸法に合わせて設計してその都度製作する必要がない。   According to another pickup method of the present invention, if the pellet to be peeled is received via the adhesive sheet, and the air in the gap formed between the receiving part and the adhesive sheet is sucked, the receiving part On the outer peripheral side, the pressure-sensitive adhesive sheet is sucked and the pressure-sensitive adhesive sheet peels from the pellet. Thereafter, the receiving area of the pellet by the receiving section decreases by moving the receiving section along the horizontal direction in a direction inclined with respect to the two sides of the pellet constituting the pellet corner. Thereby, the adsorption (suction) area of the pressure-sensitive adhesive sheet increases, and finally, the pressure-sensitive adhesive sheet can be completely peeled from the pellet to be peeled. Moreover, at the start of the peeling operation, the corner portion of the receiving portion only needs to correspond to one pellet corner portion of the pellet to be peeled, so the width dimension is set to a dimension slightly smaller than one side of the pellet. There is no need to That is, it is not necessary to design the receiving portion according to the size of the pellet and to manufacture it each time.

本発明のピックアップ装置は、粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ装置であって、剥離すべきペレットを上方から保持する保持手段と、粘着シートが載置されるステージと、角部がペレットの一のペレット角部に対応するように前記ペレットを粘着シートを介して受ける受け部と、この受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引するエア吸引手段と、前記受け部をペレットのペレット角部を構成する２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させる駆動手段とを備えたものである。   The pick-up device of the present invention is a pick-up device that takes out a plurality of rectangular thin-walled pellets affixed on the pressure-sensitive adhesive sheet in order from the pressure-sensitive adhesive sheet, and holds the pellets to be peeled from above. A stage on which the pressure-sensitive adhesive sheet is placed, a receiving part that receives the pellet through the pressure-sensitive adhesive sheet so that the corner corresponds to one pellet corner of the pellet, and an adhesive sheet on the outer peripheral side of the receiving part. An air suction means for sucking air in a gap formed therebetween, and a drive means for moving the receiving portion along a horizontal direction in a direction inclined with respect to two sides constituting the pellet corner portion of the pellet. Is.

本発明のピックアップ装置によれば、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受け部にて受けることができる。そして、受け部にてペレットを受けるとともに保持手段にて上方からペレットを保持した状態で、受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引することによって、受け部の外周側において、粘着シートが吸引されて粘着シートがペレットから剥離する。また、受け部を、ペレット角部を構成するペレットの２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させることができる。これによって、受け部によるペレットの受け面積が減少していって、粘着シートの吸着（吸引）面積が増加していく。このため、吸着面積がペレット面積と同一乃至ペレット面積よりも大きくなれば、この剥離すべきペレットから粘着シートを完全に剥離させることができる。すなわち、前記他のピックアップ方法を確実に実行することができる。   According to the pickup device of the present invention, the pellet to be peeled can be received by the receiving portion via the adhesive sheet. And in the state where the pellet is received from above by the holding part and the pellet is held from above by sucking the air in the gap formed between the adhesive part and the adhesive sheet on the outer peripheral side of the receiving part, On the outer peripheral side, the pressure-sensitive adhesive sheet is sucked and the pressure-sensitive adhesive sheet peels from the pellet. Moreover, a receiving part can be moved along a horizontal direction in the direction which inclines with respect to 2 sides of the pellet which comprises a pellet corner | angular part. Thereby, the receiving area of the pellet by the receiving part decreases, and the adsorption (suction) area of the adhesive sheet increases. For this reason, if the adsorption area is the same as the pellet area or larger than the pellet area, the pressure-sensitive adhesive sheet can be completely peeled from the pellet to be peeled. That is, the other pickup method can be reliably executed.

前記駆動手段による受け部の移動方向は、ペレット角部を構成する２辺に対してそれぞれ４５度をなす方向であるようにしたり、さらには、前記駆動手段は、前記受け部の移動方向の変更を可能としたりできる。   The moving direction of the receiving portion by the driving means is a direction that makes 45 degrees with respect to the two sides constituting the pellet corner, and further, the driving means changes the moving direction of the receiving portion. Can be made possible.

本発明のピックアップ方法では、剥離力が小さくて済むので、粘着シートの剥離が容易となる。しかも、剥離すべきペレットを剥離する際には、隣接するペレットに動的な曲げ応力を掛けることがなくなる。このため、隣接するペレット（特に、剥離すべきペレットに対応する辺）に割れを生じさせない。また、また、初期に粘着シートを吸引する吸着応力を受け部の角１箇所に集中させることができるので、薄くてしなりやすいペレットであっても、剥離が可能となり、剥離させることができるペレット厚みの適用範囲が拡大する利点がある。さらに、剥離部位が斜めに移動するので、せん断を掛けつつ吸着力で粘着シートが剥がれていき、剥離性能の向上を図ることができる。   In the pickup method of the present invention, the peeling force can be small, so that the pressure-sensitive adhesive sheet can be easily peeled off. Moreover, when exfoliating the pellets to be exfoliated, dynamic bending stress is not applied to the adjacent pellets. For this reason, the adjacent pellet (particularly, the side corresponding to the pellet to be peeled) is not cracked. Moreover, since the adsorption stress that sucks the adhesive sheet in the initial stage can be concentrated on one corner of the part, the pellet can be peeled off even if it is a thin and easy to pellet. There is an advantage that the application range of the thickness is expanded. Furthermore, since the peeling site moves obliquely, the pressure-sensitive adhesive sheet is peeled off by the adsorbing force while applying shear, and the peeling performance can be improved.

他の本発明のピックアップ方法では、受け部を移動することによって、剥離すべきペレットから粘着シートを完全に剥離させることができ、剥離の信頼性の向上を図ることができる。しかも、ピックアップ方法と同様、隣接するペレットに割れを生じさせない等の作用効果も奏する。特に、使用する受け部を、ペレットの寸法に合わせる必要がないので、一種類の受け部にて種々のサイズのペレットに合わせることができ、汎用性にすぐれ、コスト低減に寄与する。   In another pickup method of the present invention, the pressure sensitive adhesive sheet can be completely peeled from the pellet to be peeled by moving the receiving portion, and the peeling reliability can be improved. In addition, similar to the pick-up method, there are effects such as preventing the adjacent pellets from cracking. In particular, since the receiving part to be used does not need to be matched to the size of the pellet, it can be adjusted to pellets of various sizes with one kind of receiving part, which is excellent in versatility and contributes to cost reduction.

本発明のピックアップ装置では、前記他のピックアップ方法を確実に実行できるので、安定した剥離作業および隣接するペレットの損傷を防止できる等の作用効果を奏することがきる。   In the pickup device of the present invention, since the other pickup method can be surely executed, it is possible to achieve an effect such as stable peeling work and prevention of damage to adjacent pellets.

受け部の移動方向を、ペレット角部を構成する２辺に対してそれぞれ４５度をなす方向とした場合、粘着シートに対して均等な剥離力で剥離していくことができ、製品（ペレット）への不要な負荷を掛けずに済み、製品損傷を防止できる。   When the moving direction of the receiving part is 45 degrees with respect to the two sides constituting the pellet corner part, it can be peeled off with a uniform peeling force against the adhesive sheet. This eliminates unnecessary load on the product and prevents product damage.

また、受け部の移動方向の変更を可能とすれば、４５度という角度は、剥離するペレットの性質等に応じて変更することができる。すなわち、結晶方位によってペレットには割れやすい方向があるので、受け部の移動方向を、隣接するペレットに対して割れにくい方向の力が作用するように設定できる。このため、隣接するペレットの損傷（割れ）を一層安定して防止できる。ここで、結晶方位とは、結晶の方向を、結晶の面指数で表したものである。   If the movement direction of the receiving portion can be changed, the angle of 45 degrees can be changed according to the properties of the pellets to be peeled off. That is, since the pellet has a direction in which the pellet is easily broken depending on the crystal orientation, the moving direction of the receiving portion can be set so that a force in a direction in which the pellet is difficult to break acts on the adjacent pellet. For this reason, damage (cracking) of adjacent pellets can be prevented more stably. Here, the crystal orientation is the direction of the crystal expressed by the plane index of the crystal.

本発明の実施形態のピックアップ方法を示す簡略工程図である。It is a simplified process diagram showing a pickup method of an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態のピックアップ装置を示し、この装置を使用したピックアップの簡略断面図である。1 shows a pickup device according to an embodiment of the present invention, and is a simplified cross-sectional view of a pickup using this device. 粘着シートに貼り付けたペレットを示す簡略平面図である。It is a simplified top view which shows the pellet affixed on the adhesive sheet. 本発明の他の実施形態のピックアップ装置の断面図である。It is sectional drawing of the pick-up apparatus of other embodiment of this invention. 従来のピックアップ装置の簡略平面図である。It is a simplified top view of the conventional pick-up apparatus. 従来のピックアップ装置の簡略断面図である。It is a simplified sectional view of a conventional pickup device. 従来のピックアップ装置を使用した剥離工程を示す簡略断面図である。It is simplified sectional drawing which shows the peeling process using the conventional pick-up apparatus. 従来のピックアップ装置を使用したピックアップ方法の問題点を示す簡略図である。It is a simplification figure showing the problem of the pick-up method using the conventional pick-up device.

符号の説明Explanation of symbols

１１ ペレット
１２ 粘着シート
１５ 保持手段
１６ ステージ
１７ 受け部
１８ エア吸引手段
１９ 隙間
２５ 角部
２６ ペレット角部
２７ ペレット角部DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Pellet 12 Adhesive sheet 15 Holding means 16 Stage 17 Receiving part 18 Air suction means 19 Gap 25 Corner 26 Pellet corner 27 Pellet corner

以下、本発明の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.

図２に本発明のピックアップ装置を示す。このピックアップ装置は、粘着シート１２上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレット（半導体チップ）１１を、前記粘着シート１２から順次剥離して取り出す装置である。   FIG. 2 shows the pickup device of the present invention. This pickup device is a device that sequentially removes a plurality of rectangular thin-walled pellets (semiconductor chips) 11 affixed on the pressure-sensitive adhesive sheet 12 from the pressure-sensitive adhesive sheet 12.

ペレット１１は、ウェーハＷ(図３参照)を素材とし、この素材を矩形状に切断することによって最終製品となる。このため、ペレット１１には正方形や短冊状のもの等がある。すなわち、図３に示すように、ウェーハＷは全体として円形であり、ダイシングにより個々のペレット１１に分割かれ、このペレット１１が粘着シート１２に貼り付けられている。また、粘着シート１２の外周側にはリング体からなるフレーム１３が貼着されている。すなわち、このフレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている。そして、フレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている状態で、このピックアップ装置にてペレット１１が取り出される。   The pellet 11 is a final product by using the wafer W (see FIG. 3) as a material and cutting the material into a rectangular shape. For this reason, the pellets 11 include squares and strips. That is, as shown in FIG. 3, the wafer W is circular as a whole, and is divided into individual pellets 11 by dicing, and the pellets 11 are attached to the adhesive sheet 12. A frame 13 made of a ring body is attached to the outer peripheral side of the adhesive sheet 12. That is, the frame 13 and the adhesive sheet 12 are integrated. And the pellet 11 is taken out with this pick-up apparatus in the state in which the flame | frame 13 and the adhesive sheet 12 are integrated.

ピックアップ装置は、図２に示すように、剥離すべきペレット１１を上方から保持する保持手段１５と、粘着シート１２が載置されるステージ１６と、ペレット１１を粘着シート１２を介して受ける受け部１７と、この受け部１７の外周側において粘着シート１２との間に形成される隙間１９のエアを吸引するエア吸引手段１８と、受け部１７を移動させる図示省略の駆動手段とを備える。   As shown in FIG. 2, the pickup device includes a holding unit 15 that holds the pellet 11 to be peeled from above, a stage 16 on which the adhesive sheet 12 is placed, and a receiving portion that receives the pellet 11 via the adhesive sheet 12. 17 and an air suction means 18 for sucking air in a gap 19 formed between the receiving portion 17 and the adhesive sheet 12 on the outer peripheral side of the receiving portion 17, and a driving means (not shown) for moving the receiving portion 17.

保持手段１５は、ペレット１１を吸着するヘッド２０を有する吸着部材（コレット）２１にて構成している。ヘッド２０は、その下端面２０ａに吸着孔が設けられ、この吸着孔を介してペレット１１が真空吸引され、このヘッド２０の下端面２０ａにペレット１１が吸着する。このため、この真空吸引（真空引き）が解除されれば、ヘッド２０からペレット１１が外れる。そして、この吸着部材２１は例えばロボットのアームに連結され、鉛直方向（図２の矢印Ｃ、Ｄ方向）、水平方向(図２の矢印Ｅ方向)、およびこれらを組み合わせた方向の移動が可能とされる。   The holding means 15 is constituted by an adsorbing member (collet) 21 having a head 20 that adsorbs the pellet 11. The head 20 is provided with an adsorption hole in its lower end surface 20 a, and the pellet 11 is vacuumed through the adsorption hole, and the pellet 11 is adsorbed on the lower end surface 20 a of the head 20. For this reason, when this vacuum suction (evacuation) is released, the pellet 11 is detached from the head 20. And this adsorption | suction member 21 is connected with the arm of a robot, for example, and the movement of the direction (the arrow E direction of FIG. 2), the horizontal direction (arrow E direction of FIG. 2), and the combination of these is possible. Is done.

ステージ１６の上面には凹所２２が設けられ、この凹所２２に受け部１７が配置されている。また、受け部１７は、図１に示すように、先端に向かって細くなる先細部１７ａを備える。すなわち、先細部１７ａは、ペレット１１の第１辺２８ａに平行な第１辺２２と、ペレット１１の第３辺２８ｃに平行な第２辺２３にて構成され、この第１辺２２と第２辺２３とは９０度を成す。そして、先細部１７ａの角部２５が、剥離しようとする一のペレット角部２６に対応する。この一のペレット角部２６は、前記第１辺２８ａと第３辺２８ｃとがなす接合部である。   A recess 22 is provided on the upper surface of the stage 16, and the receiving portion 17 is disposed in the recess 22. Moreover, the receiving part 17 is provided with the taper 17a which becomes thin toward the front-end | tip, as shown in FIG. That is, the tapered portion 17a is configured by a first side 22 parallel to the first side 28a of the pellet 11 and a second side 23 parallel to the third side 28c of the pellet 11, and the first side 22 and the second side The side 23 forms 90 degrees. And the corner | angular part 25 of the taper 17a respond | corresponds to one pellet corner | angular part 26 which is going to peel. The one pellet corner 26 is a joint formed by the first side 28a and the third side 28c.

この実施形態においては、ペレット１１は正方形であり、ペレット角部２６とこれに対向する他のペレット角部２７（第２辺２８ｂと第４辺２８ｄとがなす角部）を結ぶ対角線Ｌ上に前記受け部１７の角部２５が配置される。また、前記凹所２２は、深さ寸法が受け部１７の厚さ寸法と略同一の本体部２２ａと、先細部１７ａの先端側（第１辺２２と第２辺２３の前方側）に配設されるテーパ部２２ｂとを備える。テーパ部２２ｂは本体部２２ａから先端に向かって順次浅くなっている。   In this embodiment, the pellet 11 has a square shape and is on a diagonal line L connecting the pellet corner portion 26 and the other pellet corner portion 27 (corner portion formed by the second side 28b and the fourth side 28d) facing the pellet corner portion 26. A corner portion 25 of the receiving portion 17 is disposed. Further, the recess 22 is arranged on the main body portion 22a whose depth dimension is substantially the same as the thickness dimension of the receiving portion 17 and on the tip side of the tapered portion 17a (the front side of the first side 22 and the second side 23). And a tapered portion 22b provided. The tapered portion 22b is gradually shallower from the main body portion 22a toward the tip.

前記凹所２２には、図１に示すように、ペレット１１の第１辺２８ａと第３辺２８ｃとの対応して、前記吸引手段１８を構成する吸引孔３０が連通されている。なお、この実施形態においては、第１辺２８ａと第４辺２８ｄとの角部に対応して吸引孔３０ａが設けられ、第１辺２８ａの中間部に対応して吸引孔３０ｂが設けられ、第１辺２８ａと第３辺２８ｃとの角部に対応して吸引孔３０ｃが設けられ、第３辺２８ｃの中間部に対応して吸引孔３０ｄが設けられ、第３辺２８ｃと第２辺２８ｂとの角部に対応して吸引孔３０ｅが設けられている。そして、各吸引孔３０は、平面視で分かるように、一部がペレット１１より外側へ突出している。   As shown in FIG. 1, suction holes 30 constituting the suction means 18 are communicated with the recesses 22 corresponding to the first side 28 a and the third side 28 c of the pellet 11. In this embodiment, the suction holes 30a are provided corresponding to the corners of the first side 28a and the fourth side 28d, and the suction holes 30b are provided corresponding to the intermediate part of the first side 28a. Suction holes 30c are provided corresponding to the corners of the first side 28a and the third side 28c, and suction holes 30d are provided corresponding to the intermediate part of the third side 28c. The third side 28c and the second side A suction hole 30e is provided corresponding to the corner with 28b. Each suction hole 30 protrudes outward from the pellet 11 as can be seen in plan view.

そして、図２（Ａ）に示すように、ステージ１６上に、ペレット１１が貼り付けられた粘着シート１２を配置することによって、受け部１７の外周側、具体的には第１辺２２と第２辺２３の前方側において粘着シート１２との間に隙間１９が形成される。   Then, as shown in FIG. 2A, by disposing the adhesive sheet 12 with the pellets 11 affixed on the stage 16, the outer peripheral side of the receiving portion 17, specifically the first side 22 and the first side. A gap 19 is formed between the two sides 23 and the adhesive sheet 12.

吸引手段１８は、前記吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅを有し、この吸引孔３０ａ等に図示省略の真空ポンプが接続されてなる。すなわち、真空ポンプが駆動することによって、吸引孔３０ａ等を介して隙間１９内の空気が吸引される。   The suction means 18 has the suction holes 30a, 30b, 30c, 30d, and 30e, and a vacuum pump (not shown) is connected to the suction holes 30a and the like. That is, when the vacuum pump is driven, air in the gap 19 is sucked through the suction hole 30a and the like.

受け部１７は、駆動手段を介して、ペレット角部２６を構成するペレット１の２辺２８ａ、２８ｃに対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動する。つまり、受け部１７は前記対角線Ｌに沿った方向に移動する。なお、駆動手段としては、ボルト軸部材とこれに螺合するナット部材からなる往復動機構やシリンダ機構等の種々の機構を用いることができる。また、この受け部１７は平板体からなり、これに支持部材３１が連設され、この受け部１７と支持部材３１とで、移動ブロック体３２を構成している。   The receiving part 17 moves along the horizontal direction in a direction inclined with respect to the two sides 28a and 28c of the pellet 1 constituting the pellet corner part 26 via the driving means. That is, the receiving part 17 moves in the direction along the diagonal L. In addition, as a drive means, various mechanisms, such as a reciprocation mechanism and a cylinder mechanism which consist of a bolt shaft member and a nut member screwed together, can be used. In addition, the receiving portion 17 is formed of a flat plate body, and a support member 31 is continuously provided to the receiving portion 17, and the receiving portion 17 and the supporting member 31 constitute a moving block body 32.

次に、前記ピックアップ装置を使用したピックアップ方法を説明する。まず、図３に示すように、フレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている状態において、図１に示すように、２辺（この場合、第２辺２８ｂと第４辺２８ｄ）に、他のペレット１１が対応しないペレット１１（この場合、ペレット１１ａ）を選択して、このピックアップ装置のステージ１６をこのペレット１１ａの下方に位置させて、図２（Ａ）に示すように、粘着シート１２を介して、移動ブロック体３２の受け部１７にて受ける。この際、図１（Ａ）に示すように、受け部１７の第１辺２２がペレット１１ａの第１辺２８ａに対して平行となるとともに、受け部１７の第２辺２３がペレット１１ａの第３辺２８ｃに対して平行となるように、受け部１７の角部２５をペレット１１ａの対角線Ｌ上に配置する。また、角部２５がペレット１１ａの角部２６に対して、図１の矢印αの方向、つまり対角線Ｌに沿って、角部２６に対向する角部２７側にずれている。   Next, a pickup method using the pickup device will be described. First, as shown in FIG. 3, in a state where the frame 13 and the adhesive sheet 12 are integrated, as shown in FIG. 1, on two sides (in this case, the second side 28b and the fourth side 28d), A pellet 11 that does not correspond to another pellet 11 (in this case, a pellet 11a) is selected, and the stage 16 of the pickup device is positioned below the pellet 11a, as shown in FIG. 12 is received by the receiving portion 17 of the moving block body 32. At this time, as shown in FIG. 1A, the first side 22 of the receiving portion 17 is parallel to the first side 28a of the pellet 11a, and the second side 23 of the receiving portion 17 is the second side of the pellet 11a. The corner portion 25 of the receiving portion 17 is arranged on the diagonal line L of the pellet 11a so as to be parallel to the three sides 28c. Further, the corner 25 is shifted from the corner 26 of the pellet 11a toward the corner 27 facing the corner 26 along the direction of the arrow α in FIG.

このため、受け部１７の先細部１７ａの前方側（第１辺２２及び第２辺２３の前方側）には、図２（Ａ）に示すように、粘着シート１２の下方側に隙間１９が形成される。この状態で、保持手段１５のコレット２１を、矢印Ｄのように下降させ、ヘッド２０をペレット１の上面に当接するとともに、吸着孔を介してペレット１１ａを真空吸引して、このヘッド２０の下端面２０ａにペレット１１ａを吸着させる。   Therefore, on the front side of the tapered portion 17a of the receiving portion 17 (the front side of the first side 22 and the second side 23), as shown in FIG. It is formed. In this state, the collet 21 of the holding means 15 is lowered as indicated by the arrow D, the head 20 is brought into contact with the upper surface of the pellet 1, and the pellet 11a is vacuum-sucked through the suction hole. The pellet 11a is adsorbed on the end face 20a.

前記隙間１９は、前記したように、吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅに連通されている。そこで、吸引手段１８を駆動することによって、吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅを介して隙間１９のエアを吸引する。これによって、図２（Ｂ）に示すように、隙間１９に対応する粘着シート１２の一部が吸引され、受け部１７の先細部１７ａの前方側の粘着シート１２をペレット１１ａから剥離する。   As described above, the gap 19 communicates with the suction holes 30a, 30b, 30c, 30d, and 30e. Therefore, by driving the suction means 18, the air in the gap 19 is sucked through the suction holes 30a, 30b, 30c, 30d, and 30e. As a result, as shown in FIG. 2B, a part of the adhesive sheet 12 corresponding to the gap 19 is sucked, and the adhesive sheet 12 on the front side of the tapered portion 17a of the receiving portion 17 is peeled off from the pellet 11a.

その後、図１（Ｂ）（Ｃ）および図２（Ｃ）（Ｄ）に示すように、受け部１７を前記対角線Ｌに沿って矢印αのように移動（スライド）させる。これによって、受け部１７によるペレット１の受け面積が減少していって、粘着シート１２の下方への吸着（吸引）面積が増加していく。この際、ペレット１１ａはコレット２１に保持（吸着）されているので、粘着シート１２が順次ペレット１１ａから剥離していく。このため、図２（Ｄ）に示すように、吸着面積がペレット面積と同一乃至ペレット面積よりも大きくなれば、この剥離すべきペレット１から粘着シート１２を完全に剥離させることができる。   Thereafter, as shown in FIGS. 1B, 1C, and 2C, the receiving portion 17 is moved (slid) along the diagonal L as indicated by an arrow α. Thereby, the receiving area of the pellet 1 by the receiving part 17 decreases, and the adsorption | suction (suction) area to the downward direction of the adhesive sheet 12 increases. At this time, since the pellet 11a is held (adsorbed) on the collet 21, the adhesive sheet 12 is sequentially peeled from the pellet 11a. For this reason, as shown in FIG. 2D, when the adsorption area is the same as the pellet area or larger than the pellet area, the pressure-sensitive adhesive sheet 12 can be completely peeled from the pellet 1 to be peeled.

そして、剥離後は、図２（Ｅ）に示すように、コレット２１を矢印Ｃのように上昇させてステージ１６から離すことによって、ペレット１１ａを粘着テー１２から取り出すことができる。その後は、図２（Ｆ）に示すように、受け部１７が矢印Ｇのように戻して待機状態とし、次に剥離すべきペレット１１を受け部１７にて受けるように配置する。この場合、図１の１１ｂのペレット１１に対応することになる。   Then, after peeling, the pellet 11a can be taken out from the adhesive tape 12 by raising the collet 21 as indicated by arrow C and releasing it from the stage 16 as shown in FIG. After that, as shown in FIG. 2 (F), the receiving portion 17 returns to the standby state as shown by the arrow G, and is placed so that the receiving portion 17 receives the pellet 11 to be peeled next. In this case, it corresponds to the pellet 11 of 11b in FIG.

このように、順次ペレット１１にこのピックアップ装置を対応させて行けば、粘着シート１２上のすべてのペレット１１を粘着シート１２から剥離して取り出すことができる。   Thus, if this pickup device is sequentially associated with the pellets 11, all the pellets 11 on the adhesive sheet 12 can be peeled off from the adhesive sheet 12 and taken out.

なお、各ペレット１１にピックアップ装置を対応させる場合、ピックアップ装置側を移動させても、ペレット１１が貼り付けられた粘着シート１２側を移動させても、さらには両者を移動させてもよい。   In addition, when making a pick-up apparatus respond | correspond to each pellet 11, even if the pick-up apparatus side is moved, the adhesive sheet 12 side to which the pellet 11 was affixed may be moved, and also both may be moved.

本発明では、ペレット１１の対角線Ｌに沿って剥離することになる。このため、ペレット１１の一辺の長さ分づつ剥離する場合と相違して、その剥離力が小さくて済み、粘着シートの剥離が容易となる。しかも、剥離して行く際には、剥離を開始するペレット１１のペレット角部２６を構成する２辺２８ａ、２８ｃに対応する隣のペレット１１の辺に対して、受け部１７が離れて行くことになる。これによって、隣接するペレット１１に動的な曲げ応力を掛けることがなくなり、隣接するペレット１１（特に、剥離すべきペレットに対応する辺）に割れを生じさせない。また、一のペレット角部２６から剥離して行くものであるので、粘着シート１２を吸引する吸着応力が１箇所に集中させることができ、薄くてしなりやすいペレット１１であっても、剥離が可能となり、剥離させることができるペレット１１の適用範囲が拡大する利点がある。さらに、剥離部位が斜めに移動するので、せん断を掛けつつ吸着力で粘着シート１２が剥がれていき、剥離性能の向上を図ることができる。   In the present invention, peeling occurs along the diagonal L of the pellet 11. For this reason, unlike the case where it peels for the length of one side of the pellet 11, the peeling force is small and peeling of an adhesive sheet becomes easy. Moreover, when peeling off, the receiving part 17 moves away from the side of the adjacent pellet 11 corresponding to the two sides 28a, 28c constituting the pellet corner 26 of the pellet 11 from which peeling starts. become. As a result, no dynamic bending stress is applied to the adjacent pellets 11, and the adjacent pellets 11 (particularly, the sides corresponding to the pellets to be peeled) are not cracked. Moreover, since the peeling is performed from one corner of the pellet 26, the adsorption stress for sucking the adhesive sheet 12 can be concentrated in one place, and even if the pellet 11 is thin and easily peeled off. This has the advantage that the application range of the pellets 11 that can be peeled off is expanded. Furthermore, since the peeling site moves obliquely, the pressure-sensitive adhesive sheet 12 is peeled off by the adsorbing force while applying shear, and the peeling performance can be improved.

特に、剥離作業開始においては、受け部１７の角部２５を、剥離すべきペレット１１の一のペレット角部２６に対応させればよいので、その幅寸法をペレット１１の一辺よりも僅かに小さい寸法等に設定して受け部１７をその都度製作する必要がない。すなわち、受け部１７を、ペレット１１の寸法に合わせることなく、一種類の受け部にて位置調整するのみで種々のサイズのペレットに合わせることができ、汎用性にすぐれ、コスト低減に寄与する。また、受け部１７の移動方向が、ペレット角部２６を構成する２辺２８ａ、２８ｃに対してそれぞれ４５度をなす方向であるので、粘着シート１２に対して均等な剥離力で剥離していくことができ、製品（ペレット）への不要な負荷を掛けずに済み、製品損傷を防止できる。   In particular, at the start of the peeling operation, the corner portion 25 of the receiving portion 17 may be made to correspond to one pellet corner portion 26 of the pellet 11 to be peeled, so that the width dimension is slightly smaller than one side of the pellet 11. There is no need to set the dimensions or the like to manufacture the receiving portion 17 each time. That is, the receiving part 17 can be adjusted to pellets of various sizes only by adjusting the position of the receiving part 17 with one kind of receiving part without adjusting to the size of the pellet 11, and it is excellent in versatility and contributes to cost reduction. Moreover, since the moving direction of the receiving part 17 is a direction which makes 45 degree | times with respect to 2 sides 28a and 28c which comprise the pellet corner | angular part 26, it peels with the equal peeling force with respect to the adhesive sheet 12. Therefore, unnecessary load on the product (pellet) can be avoided and product damage can be prevented.

次に、図４は他の実施形態を示し、この場合、受け部１７がステージ１６の上面より突出している。このため、受け部１７にて剥離すべきペレット１１を受けた場合、ステージ１６の上面よりも上位でペレット１１を受けることになる。   Next, FIG. 4 shows another embodiment. In this case, the receiving portion 17 protrudes from the upper surface of the stage 16. For this reason, when the pellet 11 to be peeled is received by the receiving portion 17, the pellet 11 is received at a higher position than the upper surface of the stage 16.

従って、この図４に示すピックアップ装置であっても、受け部１７の先細部１７ａの前方側に隙間１９が形成される。このため、コレット２１にてペレット１１を上方から保持した状態で、隙間１９にエアを吸引すれば、受け部１７の先細部１７ａの前方側において、粘着シート１２がペレット１１から剥離する。   Therefore, even in the pickup device shown in FIG. 4, the gap 19 is formed on the front side of the tapered portion 17 a of the receiving portion 17. For this reason, if air is sucked into the gap 19 while the pellet 11 is held from above by the collet 21, the adhesive sheet 12 is peeled from the pellet 11 on the front side of the tapered portion 17 a of the receiving portion 17.

そこで、この状態で受け部１７を、ペレット１１のペレット角部２６を構成する２辺２８ａ、２８ｃに対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させれば、図２に示すピックアップ装置と同様、ペレット１１の対角線Ｌに沿って剥離することになり、粘着シート１２を容易に剥離して行くことができる。   Therefore, in this state, if the receiving portion 17 is moved along the horizontal direction in a direction inclined with respect to the two sides 28a and 28c constituting the pellet corner portion 26 of the pellet 11, it is the same as the pickup device shown in FIG. Then, the adhesive sheet 12 can be easily peeled off along the diagonal line L of the pellet 11.

ところで、前記各実施形態では、受け部１７をステージ１６に対して移動させていたが、別の実施形態として、受け部１７をステージ１６に一体的に設けて、ステージ１６を移動させることによって、受け部１７をペレット１１に対して移動させるようにしてもよい。この場合であっても、ペレット１１の対角線Ｌに沿って剥離することができ、図２や図４に示すピックアップ装置と同様の作用効果を奏することができる。   By the way, in each said embodiment, although the receiving part 17 was moved with respect to the stage 16, by providing the receiving part 17 integrally in the stage 16 and moving the stage 16 as another embodiment, The receiving part 17 may be moved relative to the pellet 11. Even in this case, it can be peeled along the diagonal line L of the pellet 11, and the same effect as the pickup device shown in FIGS. 2 and 4 can be obtained.

また、前記各実施形態では、受け部１７がペレット１１の対角線Ｌに沿って移動するものであって、ペレット角部２６を構成する２辺２８ａ、２８ｃに対してそれぞれ４５度をなす方向に移動していた。しかしながら、４５度をなす方向に限らず、例えば、第１辺２８ａに対して３０度をなし、第３辺２８ｃに対して６０度をなす方向に沿って移動させるようにしても、第１辺２８ａに対して６０度をなし、第３辺２８ｃに対して３０度をなす方向に沿って移動させるようにしてもよい。   Moreover, in each said embodiment, the receiving part 17 moves along the diagonal L of the pellet 11, and it moves to the direction which makes 45 degree | times with respect to 2 sides 28a and 28c which comprise the pellet corner part 26, respectively. Was. However, the direction is not limited to 45 degrees. For example, the first side may be 30 degrees with respect to the first side 28a and may be moved along the direction of 60 degrees with respect to the third side 28c. You may make it move along the direction which makes 60 degree | times with respect to 28a and makes 30 degree | times with respect to the 3rd edge | side 28c.

すなわち、一つの辺（例えば、第１辺２８ａに対して直交する方向でなくて、一つのペレット角部（例えばペレット角部２６）からこれに対向する他のペレット角部（例えばペレット角部２７）に近傍に向かって受け部１７が移動すればよい。   That is, instead of one side (for example, the direction orthogonal to the first side 28a), one pellet corner (for example, pellet corner 26) is opposed to another pellet corner (for example, pellet corner 27). ), The receiving part 17 should just move toward the vicinity.

さらに、受け部１７に移動方向を任意に変更できるようにすることも可能である。すなわち、図１や図２に示すピックアップ装置において、ペレット１１に対する受け部１７の移動(スライド)方向を変更することができる。   Furthermore, it is possible to allow the receiving portion 17 to arbitrarily change the moving direction. That is, in the pickup device shown in FIGS. 1 and 2, the movement (slide) direction of the receiving portion 17 with respect to the pellet 11 can be changed.

このように、受け部１７の移動方向の変更を可能とすれば、剥離するペレット１１の性質等に応じて移動方向を変更することができる。すなわち、結晶方位によってペレット１１には割れやすい方向があるので、受け部１７の移動方向を、隣接するペレット１に対して割れにくい方向の力が作用するように設定できる。このため、隣接するペレットの損傷（割れ）を一層安定して防止できる。   As described above, if the movement direction of the receiving portion 17 can be changed, the movement direction can be changed according to the properties of the pellet 11 to be peeled. That is, since the pellet 11 has a fragile direction depending on the crystal orientation, the movement direction of the receiving portion 17 can be set so that a force in a direction in which it is difficult to break acts on the adjacent pellet 1. For this reason, damage (cracking) of adjacent pellets can be prevented more stably.

以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、ステージ１６に設けられる吸引孔３０としては、大きさ、数、形状等を、隙間１９のエアの吸引可能範囲で任意に設定できる。このため、吸引孔３０は１個であってもよい。また、剥離すべきペレット１１として、正方形に限るものではなく、短辺と長辺とを有する長方形であっても、さらには、短辺に比べて長辺が極めて長い短冊状であってもよい。粘着シート１２の厚さとしても、吸引力等によって相違するが、吸引手段１８にて隙間１９のエアを吸引した際に、ペレット１１から剥離できるように、湾曲変形できるものであればよい。   As described above, the embodiment of the present invention has been described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible. For example, the suction hole 30 provided in the stage 16 has a size and a number of The shape and the like can be arbitrarily set within the air suckable range of the gap 19. For this reason, the suction hole 30 may be one. Further, the pellet 11 to be peeled is not limited to a square, but may be a rectangle having a short side and a long side, or may be a strip having a very long side compared to the short side. . The thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet 12 may vary depending on the suction force or the like, but may be anything that can be deformed in a curved manner so that it can be peeled off from the pellet 11 when the air in the gap 19 is sucked by the suction means 18.

受け部１７の肉厚としても、吸引手段１８にて隙間１９のエアを吸引した際に、ペレット１１から剥離できる範囲によって、任意に設定できる。受け部１７の形状としても、図８に示すような矩形平板体であってもよい。要は、ペレット１１の一つのペレット角部(例えば、ペレット角部２６)に対応する角部があって、この角部がペレット１１のペレット角部２６を構成する辺２８ａ、２８ｃに対向する２辺から形成されていればよく、そして、ペレット１１に対する受け部１７が、ペレット角部を構成する２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動できればよい。また、受け部１７の角部２５の角度として９０度に限るものではなく、多少鋭角であっても鈍角であってもよい。   The thickness of the receiving portion 17 can be arbitrarily set depending on the range in which the air can be peeled from the pellet 11 when the air in the gap 19 is sucked by the suction means 18. The shape of the receiving part 17 may be a rectangular flat plate as shown in FIG. In short, there is a corner corresponding to one pellet corner of the pellet 11 (for example, the pellet corner 26), and this corner faces the sides 28a and 28c constituting the pellet corner 26 of the pellet 11. What is necessary is just to be formed from the edge | side, and the receiving part 17 with respect to the pellet 11 should just move along a horizontal direction in the direction which inclines with respect to 2 sides which comprise a pellet corner | angular part. Further, the angle of the corner portion 25 of the receiving portion 17 is not limited to 90 degrees, and may be somewhat acute or obtuse.

粘着シート１２上に貼り付けられているペレット１１の数としても任意であり、本発明では、数に影響されることなく、粘着シート１２上の全てのペレット１１を順次剥離して行くことができる。また、図１に示すように、剥離すべきペレット１１の第２辺２８ｂと第４辺２８ｄとに他のペレット１１が対応していなければよいので、剥離して行く順序としてはこの条件を満たす範囲で任意に設定できる。   The number of pellets 11 affixed on the pressure-sensitive adhesive sheet 12 is also arbitrary, and in the present invention, all the pellets 11 on the pressure-sensitive adhesive sheet 12 can be sequentially peeled without being affected by the number. . Further, as shown in FIG. 1, since it is sufficient that the other pellets 11 do not correspond to the second side 28b and the fourth side 28d of the pellet 11 to be peeled, this condition is satisfied as the order of peeling. Can be set arbitrarily in the range.

切断されたウェーハ、もしくは最終製品になる前の板材を、粘着シートに貼り付けて、この状態でダイシングソー等にて切断することによって、複数枚のペレットを形成することができる。そして、このピックアップ装置には、粘着シートからペレットを一枚づつ剥離させて取り出すことができる。取り出したペレットは、リードフレームの所定のランドに供給することができる。   A plurality of pellets can be formed by attaching a cut wafer or a plate material before becoming a final product to an adhesive sheet, and cutting with a dicing saw or the like in this state. And in this pick-up apparatus, a pellet can be peeled from the adhesive sheet one by one and taken out. The extracted pellets can be supplied to a predetermined land of the lead frame.

Claims (5)

粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ方法であって、剥離すべきペレットを上方から保持した状態で、粘着シートを下方から吸引しつつ、前記ペレットの一のペレット角部からこのペレット角部に対向する他のペレット角部乃至その近傍に向けてペレットを剥離して行くことを特徴とするピックアップ方法。   A method of picking up a plurality of rectangular thin-walled pellets affixed on a pressure-sensitive adhesive sheet from the pressure-sensitive adhesive sheet in order, and taking out the pressure-sensitive adhesive sheet from below while holding the pellet to be peeled from above. On the other hand, the pellet is peeled from one pellet corner of the pellet toward another pellet corner facing the pellet corner or in the vicinity thereof. 粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ方法であって、角部が一のペレット角部に対応する受け部にて、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受けて、この受け部の外周側において粘着シートとの間に隙間を形成した後、前記ペレットを上方から保持した状態で、前記隙間のエアを吸引して、少なくとも前記受け部の角部の外周側の粘着シートを剥離し、その後、このエアの吸引及び上方からのペレットの保持を行いつつ、前記受け部を、前記ペレット角部を構成するペレットの２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させ、ペレット角部からこのペレット角部に対向する他のペレット角部乃至その近傍に向けてペレットを剥離して行くことを特徴とするピックアップ方法。   A pick-up method in which a plurality of rectangular thin-walled pellets affixed on an adhesive sheet are sequentially peeled from the adhesive sheet and taken out, and should be peeled off at a receiving portion corresponding to one pellet corner. After receiving the pellet through the adhesive sheet and forming a gap with the adhesive sheet on the outer peripheral side of the receiving portion, the air in the gap is sucked at least in the state where the pellet is held from above. The adhesive sheet on the outer peripheral side of the corner portion of the receiving portion is peeled off, and then the receiving portion is held against the two sides of the pellet constituting the pellet corner portion while sucking the air and holding the pellet from above. And moving along the horizontal direction in a slanting direction, and peeling the pellet from the pellet corner toward another pellet corner facing the pellet corner or in the vicinity thereof. Pickup how to. 粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ装置であって、剥離すべきペレットを上方から保持する保持手段と、粘着シートが載置されるステージと、角部がペレットの一のペレット角部に対応するように前記ペレットを粘着シートを介して受ける受け部と、この受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引するエア吸引手段と、前記受け部をペレットのペレット角部を構成する２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させる駆動手段とを備えたことを特徴とするピックアップ装置。   A pick-up device for sequentially removing a plurality of rectangular thin-walled pellets affixed on an adhesive sheet from the adhesive sheet and removing the pellets, and holding means for holding the pellets to be peeled from above and an adhesive sheet A gap formed between the stage and the receiving part that receives the pellet through the adhesive sheet so that the corner corresponds to one pellet corner of the pellet, and the adhesive sheet on the outer peripheral side of the receiving part A pickup device comprising: air suction means for sucking air; and drive means for moving the receiving portion along a horizontal direction in a direction inclined with respect to two sides constituting the pellet corner portion of the pellet. . 前記駆動手段による受け部の移動方向は、ペレット角部を構成する２辺に対してそれぞれ４５度をなす方向であることを特徴とする請求項３のピックアップ装置。   4. The pickup device according to claim 3, wherein the moving direction of the receiving portion by the driving means is a direction that forms 45 degrees with respect to the two sides constituting the pellet corner. 前記駆動手段は、前記受け部の移動方向の変更を可能としたことを特徴とする請求項３のピックアップ装置。   The pickup device according to claim 3, wherein the driving unit is capable of changing a moving direction of the receiving portion.
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