JPWO2008018222A1 - 圧電振動デバイス - Google Patents
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 157
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 157
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 128
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims abstract description 119
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 101
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 51
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims abstract description 49
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 42
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 46
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 45
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 45
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 claims description 42
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 34
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 claims description 33
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 27
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 55
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 37
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 21
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 21
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 17
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000006023 eutectic alloy Substances 0.000 description 13
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 10
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 10
- AVYVHIKSFXVDBG-UHFFFAOYSA-N N-benzyl-N-hydroxy-2,2-dimethylbutanamide Chemical compound C(C1=CC=CC=C1)N(C(C(CC)(C)C)=O)O AVYVHIKSFXVDBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N gold tin Chemical compound [Sn].[Au] JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- CCXYPVYRAOXCHB-UHFFFAOYSA-N bismuth silver Chemical compound [Ag].[Bi] CCXYPVYRAOXCHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N [Ag].[Sn] Chemical compound [Ag].[Sn] QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQIJHIWFHSVPMH-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Ag].[Sn] Chemical compound [Cu].[Ag].[Sn] PQIJHIWFHSVPMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKOAAUKSGOOJH-UHFFFAOYSA-N copper silver Chemical compound [Cu].[Ag].[Ag] YCKOAAUKSGOOJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- WBXLKYWOSANNMW-UHFFFAOYSA-N gold nickel tungsten Chemical compound [W][Ni][Au] WBXLKYWOSANNMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000002815 nickel Chemical class 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 229910000969 tin-silver-copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
- H03H9/1021—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/24—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16195—Flat cap [not enclosing an internal cavity]
Abstract
Description
2 水晶振動片(圧電振動片)
3 ベース
33 接合領域
332 メタライズ層
333 ニッケルコバルト層
334 金属層
4 キャップ
5 本体筐体
7 金属ろう材
91 非共晶組成部
92 第1の金属間化合物
93 ニッケルコバルト層
94 第2の金属間化合物
95 第3の金属間化合物
Claims (8)
- 圧電振動片を保持するベースと、前記ベースに保持した前記圧電振動片を気密封止するためにベースと接合するキャップとが設けられた圧電振動デバイスにおいて、
前記ベースの前記キャップとの接合領域は、少なくとも、ニッケルとコバルトとからなるニッケルコバルト層と、前記ニッケルコバルト層に積層した金属材料からなる金属層とから構成され、
前記ベースと前記キャップとは、金属ろう材を用いて加熱溶融接合されたことを特徴とする圧電振動デバイス。 - 前記加熱溶融接合は、360℃以下の加熱温度で行なわれたことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動デバイス。
- 前記ニッケルコバルト層におけるニッケルとコバルトの比率は、1:1〜3:1であることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動デバイス。
- 前記金属層の厚さは、0.3〜1.0μmであることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1つに記載の圧電振動デバイス。
- 前記金属ろう材は、非共晶組成部と、第1の金属間化合物とから構成されることを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1つに記載の圧電振動デバイス。
- 前記非共晶組成部は、金と錫とから構成され金の組成比率が大きい第2の金属間化合物と、金と錫とから構成され金と錫とが略同等程度の組成比率で組成された第3の金属間化合物との非共晶状態の構成であることを特徴とする請求項5に記載の圧電振動デバイス。
- 前記金属ろう材と前記接合領域とは、少なくとも、非共晶組成部と、第1の金属間化合物と、ニッケルとコバルトとからなるニッケルコバルト層とから構成されることを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1つに記載の圧電振動デバイス。
- 前記非共晶組成部は、金と錫とから構成され金の組成比率が大きい第2の金属間化合物と、金と錫とから構成され金と錫とが略同等程度の化合物を含む第3の金属間化合物との非共晶状態の構成であり、
前記第1の金属間化合物は、ニッケルと錫とから構成されることを特徴とする請求項7に記載の圧電振動デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008528740A JP5024290B2 (ja) | 2006-08-10 | 2007-05-25 | 圧電振動デバイス |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006218118 | 2006-08-10 | ||
JP2006218118 | 2006-08-10 | ||
JP2008528740A JP5024290B2 (ja) | 2006-08-10 | 2007-05-25 | 圧電振動デバイス |
PCT/JP2007/060713 WO2008018222A1 (fr) | 2006-08-10 | 2007-05-25 | Dispositif piézoélectrique de vibrations |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008018222A1 true JPWO2008018222A1 (ja) | 2009-12-24 |
JP5024290B2 JP5024290B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=39032760
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008528740A Active JP5024290B2 (ja) | 2006-08-10 | 2007-05-25 | 圧電振動デバイス |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7919908B2 (ja) |
JP (1) | JP5024290B2 (ja) |
KR (1) | KR101379786B1 (ja) |
CN (1) | CN101356728B (ja) |
WO (1) | WO2008018222A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009194091A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | 電子部品、電子機器、及びベース部材製造方法 |
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- 2007-05-25 CN CN200780001126.9A patent/CN101356728B/zh active Active
- 2007-05-25 US US11/992,948 patent/US7919908B2/en active Active
- 2007-05-25 WO PCT/JP2007/060713 patent/WO2008018222A1/ja active Application Filing
- 2007-05-25 JP JP2008528740A patent/JP5024290B2/ja active Active
- 2007-05-25 KR KR1020087010396A patent/KR101379786B1/ko active IP Right Grant
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JP2004007198A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスと圧電デバイス用パッケージ、圧電デバイスの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置ならびに圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2005123297A (ja) * | 2003-10-15 | 2005-05-12 | Kyocera Corp | 電子部品収納用パッケージ |
JP2005136812A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7919908B2 (en) | 2011-04-05 |
US20090224634A1 (en) | 2009-09-10 |
KR101379786B1 (ko) | 2014-03-31 |
WO2008018222A1 (fr) | 2008-02-14 |
KR20090048539A (ko) | 2009-05-14 |
JP5024290B2 (ja) | 2012-09-12 |
CN101356728B (zh) | 2014-10-01 |
CN101356728A (zh) | 2009-01-28 |
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A621 | Written request for application examination |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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