JP3438224B2 - 圧電振動デバイス - Google Patents
圧電振動デバイスInfo
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Description
れる圧電振動デバイスに関するものであり、特に気密封
止を必要とする圧電振動デバイスのパッケージ構成に関
するものである。
の例として、水晶振動子、水晶フィルタ、水晶発振器等
の水晶応用製品があげられる。これら各製品はいずれも
水晶振動板の表面に金属薄膜電極を形成し、この金属薄
膜電極を外気から保護するため、気密封止されている。
要求から、セラミックパッケージに気密的に収納する構
成が増加している。このようなセラミックパッケージを
用いる場合、パッケージ本体とフタとの接合は多種多様
の接合方法が検討されている。例えばはんだ接合、低融
点ガラス接合、抵抗溶接、電子ビーム溶接等各種の接合
方法であるが、よく用いられている接合方法としてシー
ム溶接による気密封止があり、例えば特開平7−326
687号の従来例に示されている。これは、セラミック
パッケージの開口部分に形成されたシールリング(金属
リング)と金属フタとを、抵抗溶接の1種であるシーム
溶接により気密封止したもので、表面実装化に対応した
接合方法である。
を図4、図5とともに説明する。図4はシールリングを
用いた従来の電子部品用パッケージの内部断面図、図5
は図4の一部拡大断面図である。なお、パッケージ内部
の電子素子は割愛している。セラミックパッケージ70
の堤部71上面にはメタライズ層72が形成され、その
上面にニッケル等の金属メッキ層(図示せず)が形成さ
れている。この金属メッキ層の上面にコバール等からな
る金属リング73がろう材74により接合されている。
当該金属リングの表面には、図示していないがニッケル
メッキが施されている。そして金属フタ75が金属リン
グ73に接合される。金属フタ75はコバール等からな
る母材にニッケルメッキ76が形成されており、シーム
溶接により気密接合される。具体的には一対の通電ロー
ラー77(他方は図示していない)により金属フタ75
の外周の稜をトレースしながら通電し、金属フタとシー
ルリングを接合する。金属フタの外周はシールリングの
外周より若干小さく形成され、段差部bが形成されてお
り、両者の接合を確実にしている。
され、局所加熱方法としては好適な方法であり、その気
密封止の信頼性も高く評価されている。しかしながら、
図5から明らかなとおり、シーム溶接を行う場合堤部上
面には、ろう材のメニスカス(meniscus)部分aが必要
となり、また上述した段差部bが必要となる。これは気
密封止時の熱歪みに対応するための構成である。すなわ
ちシーム溶接は局所加熱方法であるが故に、ニッケルメ
ッキを溶融させるシーム溶接による加熱がセラミックパ
ッケージの接合部分に大きな熱歪みを生じさせるが、こ
の熱歪みに対応できる接合強度を得るために金属リング
の側面にメニスカスを形成している。従って、金属フタ
とシールリングの実質的な接合部分は接合領域cとなっ
てしまう。例えば縦5mm、横3.2mm、高さ0.7mmのパ
ッケージの場合、メタライズ層の引き下がり寸法a1が
0.08mm、メニスカス形成寸法b1が0.1mm、接合領
域の幅c1が0.25mm程度となる。なお、メタライズ
層の引き下がり寸法a1はセラミックパッケージの製造
方法に関連して必要となる。すなわちセラミックパッケ
ージは通常大きなウェハから多数個のパッケージを得る
ようにバッチ処理されるが、堤部の外周端までメタライ
ズ層を形成すると金属リング73を固定するろう材が外
周端まで流れることがある。この場合、この流出がウェ
ハの状態から各セラミックパッケージに小割切断する際
の障害となることがあるためである。
属リングとニッケルメッキの形成された金属フタとをシ
ーム溶接するセラミックパッケージにおいて、上述の外
形寸法(縦5mm、横3.2mm、高さ0.7 mm)の場合、
上記a1,b1、c1の寸法例は、ほぼ技術的限界に近
い値であり、より以上の狭小化をはかる場合、シーム溶
接時にセラミック部分と金属リング部分の境界部分にク
ラックが生じる等セラミックパッケージが破損すること
があった。
ジの小型化と容積の確保、すなわち収納される圧電振動
板の外形寸法の確保という二律背反の課題解決を求めら
れており、従来の気密封止構成ではこの要求に対応する
ことができなかった。なお、圧電振動板の外形寸法が小
さくなると所望の電気的特性が得にくくなり、また設計
マージンが小さくなり、信頼性が低下するという問題が
生じる。
に、金属フタは金属リング外周よりも小さいサイズを選
択する必要があった。これは金属フタの搭載位置がずれ
た場合でもシーム溶接による接合性を確保するものであ
る。すなわちシーム溶接時は通電ローラRと金属フタの
接触部分並びに金属フタと金属リングの接触部分に抵抗
熱が生じるが、発熱量が多いのは前者の通電ローラとの
接触部分であり、これは金属フタ端部に相当する。例え
ば図3に示すように、金属フタが大きい等の理由で金属
リングの外部にはみ出した状態で接合された場合、従来
のようにニッケルメッキを施した金属フタと金属リング
をシーム溶接する構成では、はみ出した領域22に近い
領域でしか金属フタと金属リングが接合せず、接合領域
が小さくなってしまうことがあった。従って、従来にお
いては金属リングの外形サイズに対して金属フタの外形
サイズを相対的に小さくし、金属フタの端部が金属リン
グの上面に位置するように構成していた。このような構
成は接合面積を確保するために金属リング幅の拡大につ
ながっていた。
フタが小さいため画像処理による厳密な位置決めが必要
となり、製造上のコストもかかっていた。
解決するためになされたもので、圧電振動板の収納スペ
ースを確保しつつ、より小型化を可能にするとともに、
気密封止の信頼性を向上させ、また製造コストを低下さ
せることのできる圧電振動デバイスを提供すること目的
とするものである。
溶接温度を低下させ、セラミックパッケージに作用する
熱応力を低下させることにより、上記問題点を解決する
ものであり、次の構成によって解決するものである。
くとも圧電振動板を収納する凹部を有し、外周に堤部を
有するとともに当該堤部上面に金属リングをろう付け
し、金属リング側面にろう材のメニスカスを形成したセ
ラミックパッケージと、前記金属リングと接合され前記
凹部を気密的に封止する金属フタとを具備した圧電振動
デバイスであって、前記金属フタは前記金属リングの外
形以上のサイズを有し、少なくともセラミックパッケー
ジとの接合部分にはクラッド化した銀ろう層が形成さ
れ、当該金属フタと前記金属リングとをシーム溶接によ
り気密接合したことを特徴としている。
いて、前記凹部には圧電振動板と、当該圧電振動板とと
もに発振回路を構成する回路素子が収納されている構成
としてもよい。
との接合領域に介在する銀ろう層がシーム溶接時に比較
的低い温度(例えば800°C)で溶融し、気密封止が
行われる。従って、パッケージに対して作用する熱応力
が小さくなる。また金属フタと金属リングの接合性が良
好であるので、金属フタが金属リングより外側にはみ出
したり、位置ずれして接合された場合でも金属フタと金
属リングが確実に接合される。
表1に示す。表1において従来品は上記従来例で示した
構成で、金属フタには厚さ約6μmのニッケルメッキが
形成されており、本発明品は後述の実施の形態で示した
構成で、金属フタには厚さ約15μmのクラッド化され
た銀ろうが形成されており、両者とも金属フタと金属リ
ングの外形サイズを等しくした構成である。いずれの構
成においても圧電振動デバイスの外形寸法は縦4mm、横
2.5 mm、高さ0.7mmである。またa1はメタライズ
層の引き下がり部分の寸法であり、b1はメニスカス形
成部分の寸法、c1は接合領域の幅であり、各々実施可
能な寸法の最小値を記載している。接合時の電流値は従
来品で約80A、本発明品で約50Aである。
品に較べてメニスカス形成部分の寸法b1、接合領域の
幅c1ともそれぞれ半分あるいは半分以上小さくするこ
とが可能となっており、具体値では断面で見て片方の堤
部で0.2mm、両側で0.4mm分の容積を拡大させるこ
とができる。なお、上記最小値は外形寸法が多少増減し
てもほぼ同じであり、例えば縦5mm、横3.2mm、高さ
0.7mmの場合でも同様の最小値を採ることができる。
実装型の水晶振動子を例にとり図1、図2とともに説明
する。図1は本実施の形態を示す内部断面図、図2は図
1の要部拡大図である。表面実装型水晶振動子は、上部
が開口した凹部を有するセラミックパッケージ1と、当
該パッケージの中に収納される圧電素子である水晶振動
板3と、パッケージの開口部に接合される金属フタ2と
からなる。
は、セラミック基体10と、凹形周囲の堤部10a上に
形成される周状の金属層11とからなる。金属層11
は、タングステンあるいはモリブデン等からなるメタラ
イズ層11aと、当該メタライズ層11aの上部に形成
されるニッケル等からなるメッキ層11bとからなる。
当該金属層11の上部には周状の金属リング12が銀ろ
う等のろう材12aにより接合され、当該金属リング1
2には図示していないが、少なくともその上面にニッケ
ル、金の順にメッキ処理が施されている。図2に示すよ
うに、堤部上部にはメタライズ層の引き下がり部分の寸
法a1、メニスカス形成部分の寸法b1、接合領域の幅
c1が形成されている。それぞれメタライズ層の引き下
がり部分の寸法a1はメタライズ層形成時の製造誤差を
許容するためであり、メニスカス形成部分の寸法b1は
メニスカス13のおよぶ領域で、金属リングの接合強度
はこの領域の大きさに一部関連する。また接合領域すな
わち金属リングの幅c1は金属フタとの接合面積に関連
し、気密封止の信頼性に関連する。
には電極パッド13、14(14は図示せず)が形成さ
れており、これら電極パッドは連結電極15,16(1
6は図示せず)を介して、パッケージ外部の底面に引出
電極17,18として電気的に引き出されている。前記
電極パッド13,14間には圧電振動板である矩形の水
晶振動板3が搭載されている。水晶振動板3の表裏面に
は一対の励振電極(図示せず)が形成され、各励振電極
は各々電極パッド13,14に引き出されており、導電
性接合材S1により導電接合されている。
属母材20からなり、その外形サイズは金属リングの外
周サイズと等しく設定している。当該金属フタの下面す
なわち前記金属リング12側には銀ろう層21が形成さ
れ、その厚さは約15μmである。当該銀ろう層の形成
は、例えば圧延の手法を用いて形成されて、クラッド化
した銀ろう層を形成している。クラッド化することによ
り溶融時のガスの放出が少なく、ガスによるパッケージ
内部への悪影響を回避することができるという利点を有
している。
の各金属膜層の接合は、シーム溶接と同じ手法を用い
る。すなわち金属リング12と金属フタの銀ろう層21
を重ね合わせ位置決めした状態で、パラレルシーム溶接
機の通電ローラーRを金属フタの稜部分を押圧しながら
走行させる。これにより主に金属フタの銀ろうが溶融
し、気密接合が行われる。なお、本溶接となるシーム溶
接の前にセラミックパッケージと金属フタとをスポット
溶接により仮溶接を行い、位置決めを確実にしてもよ
い。
外形サイズは前記金属リング外周に合致するサイズを用
いているが、図3に示すように金属フタが金属リングの
外形サイズより大きく、金属リングの外部にはみ出した
状態で接合してもよい。金属フタを大きくすることによ
り、金属リングとの接合領域が増加させることができ
る。前述のとおり従来においてはこのような状態で接合
された場合、図3に示すはみ出した領域22に近い領域
でしか金属フタと金属リングが接合せず、接合領域が小
さくなってしまうことがあった。しかしながら比較的融
点の低い銀ろうにより接合することにより、シーム溶接
時の銀ろうの溶融が比較的早く、溶融したろう材が金属
フタと金属リング間に介在する状態となるため接合領域
が増加し気密封止の信頼性が向上する。
接電流あるいは通電時間は、ろう材の融点、適用するパ
ッケージのサイズ等によって決定されるが、前述の比較
例からも理解できるように、従来のようにニッケルを溶
融する構成に較べて小さな最適値に設定する必要があ
る。
と、当該圧電振動板と発振回路を構成するICや抵抗等
の回路素子を一体的に収納した構成としてもよい。この
場合、セラミックパッケージ側に各回路素子を電気的に
接合する金属膜配線を設ける必要がある。
タとの接合領域に介在する銀ろうがシーム溶接時に比較
的低い温度で溶融し、気密封止が行われる。従って、パ
ッケージに対して作用する熱応力が小さくなり、パッケ
ージの肉厚を小さくすることができるとともに、金属リ
ングとパッケージとの接合についても、従来のように強
度を上げるため金属リング側面に大きくメニスカスを形
成する必要もなく、小さなメニスカスかあるいはメニス
カスを形成しなくても強度を保つことができる。従っ
て、必要な強度を保ったままパッケージ全体のサイズを
小さくできたり、またはパッケージの容積を増加させる
ことができ、収納される圧電振動板の設計を容易にする
圧電振動デバイスを得ることができる。
であるので、気密信頼性の高い外形サイズの大きい金属
フタを用いることができるとともに、画像処理を用いた
精度の高い位置決め技術を用いなくても、多少の位置ず
れを許容する構成であるので、製造コストを低下させ、
安価な圧電振動デバイスを得ることができる。
Claims (2)
- 【請求項1】 少なくとも圧電振動板を収納する凹部を
有し、外周に堤部を有するとともに当該堤部上面に金属
リングをろう付けし、金属リング側面にろう材のメニス
カスを形成したセラミックパッケージと、前記金属リン
グと接合され前記凹部を気密的に封止する金属フタとを
具備した圧電振動デバイスであって、 前記金属フタは前記金属リングの外形以上のサイズを有
し、少なくともセラミックパッケージとの接合部分には
クラッド化した銀ろう層が形成され、当該金属フタと前
記金属リングとをシーム溶接により気密接合したことを
特徴とする圧電振動デバイス。 - 【請求項2】 前記凹部には圧電振動板と当該圧電振動
板と発振回路を構成する回路素子が収納されていること
を特徴とする請求項1記載の圧電振動デバイス。
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