JPWO2007102582A1 - 基板処理装置システム - Google Patents

Abstract

複数の基板処理装置及び管理装置における操作権限の設定を容易にすることができる基板処理システムを提供する。ウエハ２００に処理を行う複数の基板処理装置１００と、複数の基板処理装置１００と通信回線３０８で接続される管理装置３０２と、を含む基板処理システム３００において、管理装置３０２は、使用者毎に、この管理装置３０２と、この管理装置３０２と通信可能な複数の基板処理装置１００とのそれぞれに対して、操作権限を設定する表示画面３５０を有する。

Description

本発明は、基板を処理する複数の基板処理装置と、これらの基板処理装置を管理する管理装置とで構成される基板処理システムに関し、特に管理装置及び複数の基板処理装置における操作権限を設定する基板処理システムに関する。

この種の基板処理システムにおいて、基板処理装置の使用者（例えばオペレータ、保守員、プロセスエンジニア等）に対する操作権限の設定は、基板処理装置もしくは管理装置にて行われている。従来、複数の基板処理装置にて操作権限の設定を行う場合には、それぞれの基板処理装置に設けられた操作装置から操作権限に関する情報（操作権限情報）の入力を行うか、又は設定済みの操作権限情報を外部の記憶メディアに記憶させ、該記憶メディアを介して各基板処理装置にコピーしていた。一方、管理装置に操作権限を設定する場合には、該管理装置に操作権限情報を入力していた。
ここで操作権限とは、誤操作防止等のため使用者毎に管理装置や基板処理装置（操作装置）の使用可能な機能を制限するものである。また、操作権限情報とは、各使用者に、どのような機能を与えられているか、又、これらの機能毎に基板処理装置、又は管理装置のそれぞれに対して、各使用者には、どのような操作権が設定されているかを示す情報をいう。

しかしながら、管理装置に対する操作権の設定と、基板処理装置に対する操作権の設定とが個別に行われているため、各基板処理装置に操作権を設定する場合には設定作業の工数が多く、誤った設定が行われる恐れがあった。

本発明は、上記従来の問題を解消し、基板処理装置及び管理装置における操作権限の設定を容易にするだけでなく、各使用者に対して、基板処理装置と管理装置とのそれぞれに設定されている操作権限情報を目視確認することができる基板処理システムを提供することを目的とする。

本発明の第１の特徴とするところは、基板の処理を行う複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置と通信回線で接続される管理装置と、を含む基板処理システムにおいて、前記管理装置は、使用者毎に該管理装置と、この管理装置と通信可能な前記複数の基板処理装置とのそれぞれに対して、操作権限情報を設定するために用いられる画面を有する基板処理システムにある。

好適には、前記画面に、前記使用者毎に使用可能な機能及び該機能に対する操作権の表示がなされる。

また、好適には、前記画面に、前記使用者毎に使用可能な機能及び該機能に対する操作権を設置する部分の表示がなされる。

また、本発明の第２の特徴とするところは、基板の処理を行う複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置と通信回線で接続される管理装置と、を含む基板処理システムにおいて、前記管理装置は、所定の基板処理装置における操作装置上で使用者の操作権限情報が変更され、この変更された操作権限情報が送信されると、送信された操作権限情報と、前記使用者について設定された他の基板処理装置の操作権限情報とに相異があるかを判定し、相異がある場合は、前記所定の基板処理装置の操作装置に警告を表示させ、該管理装置に設定されている操作権限情報を更新し、更新した操作権限情報を前記他の基板処理装置に送信し、前記所定の基板処理装置と前記他の基板処理装置との間で、前記使用者の操作権限情報を一致させる基板処理システムにある。

また、本発明の第３の特徴とするところは、基板の処理を行う複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置と通信回線で接続される管理装置と、を含む基板処理システムにおいて、前記管理装置は、所定の処理をする際に、所定の基板処理装置における操作装置上で使用者の操作権限情報が変更され、この変更された操作権限情報が送信なされると、送信された操作権限情報と、前記使用者について設定された他の基板処理装置の操作権限情報とに相異がないかを判定し、相異がある場合は、前記所定の基板処理装置の操作装置に警告を表示させ、前記所定の処理が終了するまで待機し、前記所定の処理が完了すると、前記所定の基板処理装置から送信された前記使用者に関する操作権限情報を収納する基板処理システムにある。

本発明によれば、管理装置が、この管理装置と、この管理装置と通信可能な複数の基板処理装置とのそれぞれに対して、使用者毎に操作権限情報を設定するために用いられる画面を有するので、複数の基板処理装置及び管理装置における操作権限の設定を容易にするだけでなく、各使用者に対して基板処理装置と管理装置のそれぞれに設定されている操作権限情報を目視確認することができる。

本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す透視側面図である。 本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す模式図である。 本発明の実施形態に係る基板処理システムの詳細な構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る管理装置の表示画面に表示された操作権限情報を例示する図である。 本発明の実施形態に係る管理装置による操作権限情報の設定方法を説明するラダー図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置（操作装置）の表示画面に表示された操作権限情報を例示する図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置（操作装置）による操作権限情報の設定方法を説明する第１のラダー図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置（操作装置）による操作権限情報の設定方法を説明する第２のラダー図である。 本発明の実施形態に係る複数の基板処理装置及び管理装置間における操作権限情報を整合させる方法を説明するラダー図である。

符号の説明

１００ 基板処理装置
３００ 基板処理システム
３０２ 管理装置
３０４ 操作装置
３０８ 通信回線
３５０ 表示画面
３５２ 操作権限設定テーブル
３７０ 表示画面
３７２ 操作権限設定テーブル

本発明を実施する最良の形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理装置を実施する半導体製造装置として構成されている。尚、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行う縦型の装置（以下、単に処理装置という）を適用した場合について述べる。図１は、本発明に適用される基板処理装置の斜視図として示されている。また、図２は図１に示す基板処理装置の側面透視図である。

図１及び図２に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の基板処理装置１００は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。尚、操作装置３０４については、後述するのでここでは省略する。
筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。

サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａおよびウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図１に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。

移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。

図１に模式的に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。

図１に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５及びウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。

次に、本発明の基板処理装置１００の動作について説明する。
図１及び図２に示されているように、ポッド１１０がロードポット１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。

載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。 ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。

この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。

ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００及びポッド１１０は筐体の外部へ払い出される。

次に、上述した基板処理装置１００を用いた基板処理システム３００の一例を図３及び図４に基づいて説明する。

図３に示すように、基板処理システム３００は、管理装置３０２、上述した基板処理装置１００、管理装置３０２と複数の基板処理装置１００とを接続する例えばＬＡＮなどの通信回線３０８を有する。各基板処理装置１００にはそれぞれ操作装置３０４が基板処理装置１００と一体に、又はネットワークを介して設けられており、この操作装置３０４により、後述する各機能の設定等が行われる。また、管理装置３０２にはネットワークを介して管理端末装置３０６が接続されており、この管理装置３０２及び管理端末装置３０６により後述する各機能の設定等が行われる。尚、操作装置３０４は、基板処理装置１００を介さずに通信回線３０８に接続されていてもよい。

図４に示すように、管理装置３０２は、制御部３１０、記憶部３１２、表示部３１４、入力部３１６及び通信制御部３１８を有する。制御部３１０は、記憶部３１２、表示部３１４、入力部３１６、通信制御部３１８の間におけるデータの入出力を行う。入力部３１６は、システム管理者等からの入力を受け付け、入力データを制御部３１０に出力する。記憶部３１２は、制御部３１０から出力されたデータを格納し、また、予め格納されているデータ（後述する管理装置３０２や基板処理装置１００で使用可能な機能や、後述する操作権に関するデータ、また、レシピ等のファイル等）を制御部３１０に出力する。表示部３１４は、後述する表示画面３５０を有し、制御部３１０から出力されたデータを該表示画面３５０に表示する。通信制御部３１８は、通信回線３０８に接続されており、通信回線３０８に接続された他の装置と管理装置３０６とのデータの入出力を制御する。尚、表示部３１４は、表示手段と入力手段とを有する入力兼表示部であってもよい。

操作装置３０４は、制御部３２０、入力部３２２、表示部３２４及び通信制御部３２６を有する。制御部３２０は、入力部３２２、表示部３２４、通信制御部３２６の間におけるデータの入出力を行う。入力部３２２は、システム管理者等からの入力を受け付け、入力データを制御部３２０に出力する。表示部３２４は、後述する表示画面３７０を有し、制御部３２０から出力されたデータを該表示画面３７０に表示する。通信制御部３２６は、通信回線３０８に接続されており、通信回線３０８に接続された他の装置と操作装置３０４とのデータの入出力を制御する。尚、表示部３２４は、表示手段と入力手段を有する入力兼表示部であってもよい。

基板処理装置１００は、制御部３２８、記憶部３３０、通信制御部３３２及び上述した操作装置３０４を有する。制御部３２８は、記憶部３３０、通信制御部３３２の間におけるデータの入出力を行う。記憶部３３０は、制御部３２８から出力されたデータを格納し、また格納されているデータを制御部３２８に出力する。記憶部３３０には、基板処理装置１００で使用可能な機能のデータだけでなく、操作権限に関するデータ等、また、レシピファイル等のファイルも記憶される。通信制御部３３２は、通信回線３０８に接続されており、通信回線３０８に接続された他の装置と基板処理装置１００とのデータの入出力を制御する。

また、制御部３２８は、Ｉ／Ｏ制御部３３４と可動制御部３３６とを有する。Ｉ／Ｏ制御部３３４は、反応炉２０２内の温度や圧力等を調整する調整装置（例えばヒータ、ガス流量バルブ等）に対して制御データを出力し、また反応炉２０２内の状態を検出する複数のセンサからの検出データ（例えば温度、ガス流量、圧力等に関するデータ）を受け付ける。可動制御部３３６は、可動機構３３８（例えば上述したボートエレベータ１１５、ポッド搬送装置１１８、ウエハ移載装置１２５などを含む）の動作を制御する。

管理端末装置３０６は、制御部３４０、入力部３４２、表示部３４４及び通信制御部３４６を有する。制御部３４０は、入力部３４２、表示部３４４、通信制御部３４６の間におけるデータの入出力を行う。入力部３４２は、システム管理者等からの入力を受け付け、入力データを制御部３４０に出力する。表示部３４４は、制御部３４０から出力されたデータを表示する。通信制御部３４６は、通信回線３０８に接続されており、通信回線３０８に接続された他の装置と管理端末装置３０６とのデータの入出力を制御する。

次に、管理装置３０２及び基板処理装置１００（操作装置３０４）における操作権限情報の設定方法について図５乃至図９に基づいて説明する。

操作権限情報を設定する目的は、使用者（オペレータ、保守員及びプロセスエンジニア等）毎に管理装置３０２や基板処理装置１００（操作装置３０４）における使用可能な機能を操作する権利（操作権）に制限を付加することで、誤操作を防止し、ひいては基板処理装置１００の不要な停止（必要のないエラーや故障による停止）を防止することにある。

管理装置３０２において操作権限情報を設定する方法を説明する。

図５に示すように、システム管理者は、管理装置３０２の表示部３１４（図４に示す）に設けられた表示画面３５０に操作権限設定テーブル３５２を表示させる。この操作権限設定テーブル３５２は、ＩＤ入力部３５４、パスワード入力部３５６、機能入力部３５８、管理装置操作権限入力部３６０及び操作装置操作権限入力部３６２を有する。続いて、システム管理者等は、使用者の識別情報としての使用者ＩＤ及び使用者パスワードをそれぞれＩＤ入力部３５４及びパスワード入力部３５６に入力する。各使用者には、予め使用者の識別情報としての使用者ＩＤ及び該使用者ＩＤに対応する使用者パスワードが付与されている。
また、入力部３５４を押下することにより、使用者ＩＤ一覧表（図示省略）を表示させて、この使用者ＩＤ一覧表より所定の使用者ＩＤを選択してもよい。
尚、システム管理者は、使用者の使用範囲を決める権限を持つ者である。従って、操作権限設定テーブル３５２は、システム管理者のみに表示させることができる。

続いて、システム管理者は、所定の使用者に関する管理装置３０２の操作権限及び基板処理装置１００（操作装置３０４）の操作権限情報を操作権限設定テーブル３５２に設定する。具体的には、管理装置３０２及び基板処理装置１００（操作装置３０４）の各機能を機能入力部３５８に設定し、各機能に対応した管理装置３０２の操作権を管理装置操作権限入力部３６０に設定し、各機能に対応した基板処理装置１００（操作装置３０４）の操作権を操作装置操作権限入力部３６２に入力してセーブボタン３６８を押下する。システム管理者により設定された操作権限設定テーブル３５２の各情報は、セーブボタン３６８が押下された際に、操作権限情報として管理装置３０２の記憶部３１２（図４に示す）に格納される。このように、所定の使用者に関する管理装置３０２の操作権と基板処理装置１００（操作装置３０４）の操作権とを同一画面上で設定することができるので、操作権の設定ミスを抑制することができる。ところで、各機能の設定は、所定の使用者が、オペレータ、サービスエンジニア等であるかによって予め異ならせた状態で表示させておいてから行って良い。尚、操作権の設定は選択により設定できるようにすることが望ましい。
尚、管理装置３０２の記憶部３１２に格納された操作権限情報は、図５に示すように、管理装置３０２の表示画面３５０に表示され、ＩＤ入力部３５４の使用者ＩＤを変更する毎に各使用者に関する操作権限情報が切替え表示されるようになっている。

本例における操作権には、図５に示すように、実行可、編集可、参照可、実行不可及び参照不可などがあり、これらの操作権は次のように不等号で表すことができる。
参照不可または実行不可＜参照可＜編集可または実行可
ここで、上記不等号の右側の操作権は上記不等号の左側の操作権を包含する。例えば、「編集可」の権限を有する場合は、参照も可能である。

ここで、図５に示す管理装置３０２及び基板処理装置１００（操作装置３０４）の各機能について説明する。
「集約情報モニタ」とは、管理装置３０２の表示画面３５０上に複数台の基板処理装置１００の稼動状態を集約して一覧表示させる機能である。例えばホスト制御オンライン／オフライン、装置モード、アラーム発生状況、実行中レシピ、レシピの終了予定時刻などが表示される。
「詳細情報モニタ」とは、所定の基板処理装置１００の詳細な稼動状態を表示させる機能である。例えば、ヒータ温度、ガス流量、バルブの開閉、炉内圧力、メカステータス、材料（ポッド、ウエハなど）の状態、各種センサの検出状態などが表示される。
「トレースデータ」とは、所定の基板処理装置１００の稼動状態の変化を一定周期で取得したデータを時間軸に対してプロットしてグラフ表示させる機能である。
「障害情報」とは、所定の基板処理装置１００で発生した障害発生履歴を時系列で一覧表示させたり、該基板処理装置１００の障害発生時における詳細な状態を表示させたりする機能である。

また、「レシピ編集」とは、指定した基板処理装置１００の記憶部に格納されたレシピ
をアップロードして管理装置３０２や基板処理装置１００（操作装置３０４）で編集する機能である。ここで、レシピとは、基板処理装置１００においてウエハを処理するためのシーケンスプログラムや設定値等をまとめたものをいう。
「テーブル編集」とは、指定した基板処理装置１００で使用するテーブルを編集する機能である。このテーブルには、温度補正テーブルや、アラームを発生させる条件を設定したアラーム条件テーブル、各可動部の動作スピードやポジションを定義したテーブルなどがある。
「リモートコマンド」とは、管理装置３０２や基板処理装置１００から離れた位置にある操作装置３０４において遠隔で基板処理装置１００を制御するコマンドを送信する機能である。このリモートコマンドに用いられるコマンドには、レシピのスタート及びストップ、ステップジャンプ、アラームクリア、ロットの投入及び払い出し指示などがある。
尚、管理装置３０２が有する機能は、基板処理装置１００（操作装置３０４）が有する機能を包含している。例えば「集約情報モニタ」機能のように管理装置３０２のみに与えられる機能が存在する。

次に、管理装置３０２で設定した操作権限情報を基板処理装置１００（操作装置３０４）に設定する方法を説明する。

図６に示すように、管理装置３０２において設定された操作権限情報は、表示画面３５０のダウンロードボタン３６４（図５に示す）が押下されると、管理装置３０２の記憶部３１２（図４に示す）より通信回線３０８を介して基板処理装置１００に送信（ダウンロード）される。このとき、少なくとも各機能に対応した操作権（図５の操作装置操作権限入力部３６２に入力された操作権）に関する情報が送信される。基板処理装置１００（操作装置３０４）は、管理装置３０２より送信された操作権限情報を記憶部３３０（図４に示す）に格納する。これにより、基板処理装置１００では変更された操作権限情報に基づいて各プログラムが実行される。尚、使用者が必要に応じて、変更された操作権限情報が操作装置３０４の表示部３２４（図４に示す）に表示させるようになっている。また、ダウンロードボタン３６４が押下されると記憶部３１２に格納された操作権限情報を全て送信するのではなく、使用者を選択するようにしてもよい。また、送信する基板処理装置１００を選択するようにしてもよく、更に、使用者と基板処理装置１００の両方を選択してもよい。

次に、基板処理装置１００（操作装置３０４）において操作権限情報を設定する方法を説明する。

図７に示すように、システム管理者は、操作装置３０４の表示部３２４（図４に示す）に設けられた表示画面３７０に操作権限設定テーブル３７２を表示させ、使用者ＩＤをＩＤ入力部３７４に入力し、使用者パスワードをパスワード入力部３７６に入力する。この操作権限設定テーブル３７２は、このＩＤ入力部３７４、パスワード入力部３７６の他、機能入力部３７８及び操作装置操作権限入力部３８０を有する。この場合でも、この操作権限設定テーブル３７２を開く（表示する）権限があるのは、システム管理者のみである。

続いて、システム管理者は、基板処理装置１００（操作装置３０４）の操作権限を操作権限設定テーブル３７２に設定する。具体的には、基板処理装置１００（操作装置３０４）の各機能を機能入力部３７８に設定し、各機能に対応した基板処理装置１００（操作装置３０４）の操作権を操作装置操作権限入力部３８０に設定してセーブボタン３８４を押下する。システム管理者により設定された操作権限設定テーブル３７２の各情報は、セーブボタン３８４が押下された際に、操作権限情報として基板処理装置１００の記憶部３３０（図４に示す）に格納される。尚、各機能の設定は、対象となる使用者がオペレータ、プロセスエンジニア等であるかによって、予め設定された状態で表示して、機能を追加したり、削除したりして設定してもかまわない。

次に、基板処理装置１００（操作装置３０４）で設定した操作権限情報を管理装置３０２に設定する方法を説明する。

図８に示すように、基板処理装置１００（操作装置３０４）において設定（変更）された操作権限情報は、操作装置３０４の表示画面３７０のアップロードボタン３８２（図７に示す）が押下されることにより、基板処理装置１００の記憶部３３０（図４に示す）より管理装置３０２に送信（アップロード）される。あるいは、管理装置３０２の表示画面３５０において、使用者等を指定してのアップロードボタン３８２（図５に示す）が押下されることにより、操作装置３０４において設定（変更）された操作権限情報が基板処理装置１００から管理装置３０２へ送信（アップロード）される。このとき、管理装置３０２は、送信された操作権限情報が他の基板処理装置１００（操作装置３０４）で設定された操作権限情報と相違があったと判定した場合には、操作装置３０４の表示画面３７０に警告を表示する。一方、管理装置３０２は、他の基板処理装置１００（操作装置３０４）で設定された操作権限情報と相違がない場合もしくは他の基板処理装置１００（操作装置３０４）で設定されていないと判定した場合には、該操作権限情報を管理装置３０２の記憶部３１２に格納する。これにより、基板処理装置１００（操作装置３０４）で設定された操作権限情報が管理装置３０２に設定される。より具体的には、管理装置３０２の表示画面３５０に表示された操作権限設定テーブル３５２の操作装置操作権限入力部３６２（図５に示す）のデータが、基板処理装置１００（操作装置３０４）より送信された操作権限情報に変更され、更新された操作装置操作権限入力部３６２のデータが管理装置操作権限入力部３６０にコピーされる。このとき、管理装置３０２のみの機能（例えば集約情報モニタ）のデータは変更されない。

又、基板処理装置１００より送信された操作権限情報により操作装置操作権限入力部３６２のデータが変更されても、管理装置操作権限入力部３６０にデータは、自動更新されないようにしてもよい。そしてセーブボタン３６８を押下して記憶部３１２に格納する。
操作装置３０４の表示画面３７０に表示された警告の解除は、例えば、解除ボタンを押下するなど種々の方法で解除される。図示しないが、この管理装置３０２の操作権限設定テーブル３５２上におけるデータ更新が終了すると、前記警告が解除されるようにしても良い。

例えば、トラブル復旧操作や材料投入・払出しは、基板処理装置１００（操作装置３０４）側のみで行われるようにすることが考えられる。トラブル復旧操作は、近い場所（基板処理装置１００（操作装置３０４））で状態を確認せずに離れた場所から操作すると危険な場合がある。また、材料投入払い出しは、材料を人が運ぶ場合がある。この場合、離れた場所（管理装置３０２）からは操作しないようになっている。又、基板処理装置１００に関するパラメータ（例えば、装置構成に関わるパラメータ）は、装置の出荷時に設定され、改造等により装置構成を変更する場合に変更される。これらの場合、誤作動等が生じる可能性があるため、操作は基板処理装置１００側のみで行われる。また、これらの場合、管理装置３０２の操作権限情報と基板処理装置１００（操作装置３０４）の操作権限情報とを異なる設定とする必要があるため、所定の基板処理装置１００のみ個別に操作権限情報が再入力される。

図８で示すように、操作権限情報が変更されると、基板処理装置１００（操作装置３０４）に警告が表示される。しかしながら、基板処理装置１００では、上述したトラブル復旧操作や、材料投入・払出しや、セットアップにおける種々の処理が行えるのは言うまでもない。

装置構成に関するパラメータは、出荷時に設定されると、まず変更されることはない。但し、装置の改造（例えば仕様変更に伴う装置構造変更）をする場合、パラメータ変更を行わなければならない。設定変更後、誤動作等を考慮してセットアップが必要である。この設定変更は、基板処理装置１００側で行われるため、管理装置３０２側と基板処理装置１００側とでは、操作権限情報の設定が異なる。上述した装置構成のパラメータにおいて、セットアップ中（復帰操作中）は、管理装置３０２の操作情報と基板処理装置１００の操作権限情報とを異なる設定とするが、セットアップ終了後（復旧操作終了後）は、元に戻す（それぞれの操作権限情報を同じに戻す）場合がある。

図９にこのような場合（トラブル復旧操作、材料投入・払出し、装置構成に関するパラメータ変更等）のデータの流れを示す。図９に示すように、基板処理装置１００Aで操作権限の設定変更が行われると、この変更が管理装置３０２に通知される。管理装置３０２は、他の装置における操作権限に関する情報と相異があるか判定し、相異がある場合は基板処理装置１００Aの表示画面に警告を表示する。相異が無い場合でも、再度、操作権限情報が送信されるのを待つ。使用者がセットアップ作業を終えると、基板処理装置１００Aは、警告表示を解除するとともに、操作権限情報を管理装置３０２へ通知する。この通知を受けて、管理装置３０２は、通知された操作情報と管理装置３０２で保持していた操作権情報とを比較し、操作権限に関する情報を更新（格納）し、この更新した情報を同一の使用者が設定された他の基板処理装置１００Bへ反映させるか判定し、反映させて良い場合、他の基板処理装置１００Bへ、この更新させた操作権限に関する情報をダウンロードする、また、反映させてはいけない場合は、そのまま終了する。尚、この警告情報通知とともに送信された操作権限に関する情報を他の装置へ反映させるかの判定を基板処理装置１００Aで行い、上記警告解除通知に、この判定結果の情報を含めるようにしても良い。

次に、複数の基板処理装置１００（操作装置３０４）及び管理装置３０２間において操作権限情報を整合させる方法について説明する。

図１０に示すように、基板処理装置１００Ａが起動して管理装置３０２との通信が確立した際に、基板処理装置１００Ａは管理装置３０２に操作権限情報を要求する。管理装置３０２は、基板処理装置１００Ａより操作権限情報の要求を受け付けると、最新の操作権限情報を該基板処理装置１００Ａに送信（ダウンロード）する。基板処理装置１００Ａは、操作権限情報を格納し操作権限情報を更新する。従って、それぞれの基板処理装置１００の起動時において、該基板処理装置１００の操作権限情報を管理装置３０２の最新の操作権限情報に更新することで、管理装置３０２の操作権限情報と各基板処理装置１００（操作装置３０４）の操作権限情報との整合性を保持することができる。また、基板処理装置１００（操作装置３０４）における操作権限の容易な設定及び変更も可能となる。

また、基板処理装置１００Ａにおいて設定した操作権限情報を他の基板処理装置１００Ｂに設定するようにしてもよい。具体的には、図８、図９に示し、詳述しない。図１０においては、基板処理装置１００Ａで変更された操作権限情報が管理装置３０２に送信（アップロード）されると、管理装置３０２は送信された操作権限情報を格納する。このとき、必要に応じて操作装置３０４や管理端末装置３０６（図４に示す）等に操作権限情報の変更があった旨を通知する。続いて、管理装置３０２は、基板処理装置１００Ａで設定された操作権限情報と同一の使用者が設定された操作権限情報が記憶された他の基板処理装置１００Ｂに対して操作権限情報を送信（ダウンロード）する。このとき全ての使用者における操作権限情報を送信してもよいし、指定した使用者のみの操作権限情報を送信してもよい。このように、管理装置３０２より基板処理装置１００Ａと同一の使用者が設定された他の基板処理装置１００（操作装置３０４）に対して操作権限情報を送信することで、通信回線３０８に接続された全ての基板処理装置（操作装置３０４）の操作権限情報の整合性を保持することができる。

以上のように本発明における実施例によれば、管理装置に対する操作権の設定と基板処理装置に対する操作権限の設定とが個別に行われていた上に、これらの操作権限の共有化がなされていなかったため、各基板処理装置に設定された操作権と管理装置に設定された操作権とが異なると、基板処理装置側では、データ編集が可能であるのに管理装置ではデータ参照のみでデータ編集ができないという矛盾がなくなり、また、参照可能なデータが、使用者が意図するデータと異なるということがなくなり、使い勝手が向上する。

従って、本発明は、複数の基板処理装置１００（操作装置３０４）及び管理装置３０２に対する使用者毎の操作権限情報を同一画面上で容易に設定及び変更することができる。また、すでに運用されている既存のシステムに対して本発明の管理システム３００を容易に導入することができる。すなわち、各基板処理装置１００（操作装置３０４）にそれぞれ異なった操作権限情報が設定されている既存のシステムに対して管理装置３０２を後から導入した場合においても、該管理装置３０２が各基板処理装置１００（操作装置３０４）の操作権限情報を取り込み、全ての基板処理装置１００（操作装置３０４）の操作権限情報の整合性を保つことが可能である。特に、本発明では、各使用者の管理装置３０２における操作権限情報と、基板処理装置１００（操作装置３０４）における操作権限情報とを共有しているので、各機能に対する操作権の設定が、管理装置３０２と基板処理装置１００（操作装置３０４）とで、使用者の意思に反して異なることはない。よって、それに伴う装置の不要な停止を抑止できる。

尚、本実施形態においては、操作装置３０４と基板処理装置１００とが切り離されている場合、操作装置３０４で管理装置３０２と同様な操作権限設定テーブル３５２を表示させて操作権限を設定するようにしてもよい。また、本発明は、基板処理装置として、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置でも適用することができる。上述した基板処理装置内の処理（成膜処理）には、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理等を含むものである。更に、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等でもよい。

本発明の好ましい実施形態を付記する。
基板の処理を行う複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置と通信回線で接続される管理装置と、を含む基板処理システムにおいて、前記管理装置は、使用者毎に該管理装置と、この管理装置と通信可能な前記複数の基板処理装置とのそれぞれに対して、操作権限情報を設定するために用いられる画面を有することで、複数の基板処理装置及び管理装置に対する使用者毎の操作権限情報を同一画面上で容易に設定及び変更ができる。

更に、前記画面に、前記使用者毎に使用可能な機能及び該機能に対する操作権の表示がなされることが望ましい。更に、前記画面に、前記使用者毎に使用可能な機能及び該機能に対する操作権を設定する部分の表示がなされることにより、設定ミスが生じにくい。

また、基板の処理を行う複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置と通信回線で接続される管理装置と、を含む基板処理システムにおいて、前記管理装置は、所定の基板処理装置における操作装置上で使用者の操作権限情報が変更され、この変更された操作権限情報が送信されると、送信された操作権限情報と、前記使用者について設定された他の基板処理装置の操作権限情報とに相異があるかを判定し、相異がある場合は、前記所定の基板処理装置の操作装置に警告を表示させ、該管理装置に設定されている操作権限情報を更新し、更新した操作権限情報を前記他の基板処理装置に送信し、前記所定の基板処理装置と前記他の基板処理装置との間で、前記使用者の操作権限情報を一致させることにより、全ての基板処理装置の操作権限情報の整合性を保つことが可能となる。

また、基板の処理を行う複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置と通信回線で接続される管理装置と、を含む基板処理システムにおいて、前記管理装置は、所定の処理をする際に、所定の基板処理装置における操作装置上で使用者の操作権限情報が変更され、この変更された操作権限情報が送信なされると、送信された操作権限情報と、前記使用者について設定された他の基板処理装置の操作権限情報とに相異がないかを判定し、相異がある場合は、前記所定の基板処理装置の操作装置に警告を表示させ、前記所定の処理が終了するまで待機し、前記所定の処理が完了すると、前記所定の基板処理装置から送信された前記使用者に関する操作権限情報を収納することで、管理装置での操作権限情報と基板処理装置での操作権限情報とを異なる設定にしても、他の基板処理装置の操作権限情報が変更されることによる影響がない。

本発明は、複数の基板処理装置及び管理装置に対して各使用者の操作権限情報を設定する必要がある基板処理システムに利用することができる。

Claims (5)

1. 基板の処理を行う複数の基板処理装置と、
   前記複数の基板処理装置と通信回線で接続される管理装置と、
   を含む基板処理システムにおいて、
   前記管理装置は、使用者毎に該管理装置と、この管理装置と通信可能な前記複数の基板処理装置とのそれぞれに対して、操作権限情報を設定するために用いられる画面を有する基板処理システム。
2. 前記画面に、前記使用者毎に使用可能な機能及び該機能に対する操作権の表示がなされる請求項１記載の基板処理システム。
3. 前記画面に、前記使用者毎に使用可能な機能及び該機能に対する操作権を設定する部分の表示がなされる請求項１記載の基板処理システム。
4. 基板の処理を行う複数の基板処理装置と、
   前記複数の基板処理装置と通信回線で接続される管理装置と、
   を含む基板処理システムにおいて、
   前記管理装置は、
   所定の基板処理装置における操作装置上で使用者の操作権限情報が変更され、この変更された操作権限情報が送信されると、送信された操作権限情報と、前記使用者について設定された他の基板処理装置の操作権限情報とに相異があるかを判定し、
   相異がある場合は、前記所定の基板処理装置の操作装置に警告を表示させ、該管理装置に設定されている操作権限情報を更新し、更新した操作権限情報を前記他の基板処理装置に送信し、
   前記所定の基板処理装置と前記他の基板処理装置との間で、前記使用者の操作権限情報を一致させる基板処処理システム。
5. 基板の処理を行う複数の基板処理装置と、
   前記複数の基板処理装置と通信回線で接続される管理装置と、
   を含む基板処理システムにおいて、
   前記管理装置は、
   所定の処理をする際に、所定の基板処理装置における操作装置上で使用者の操作権限情報が変更され、この変更された操作権限情報が送信なされると、送信された操作権限情報と、前記使用者について設定された他の基板処理装置の操作権限情報とに相異がないかを判定し、
   相異がある場合は、前記所定の基板処理装置の操作装置に警告を表示させ、
   前記所定の処理が終了するまで待機し、
   前記所定の処理が完了すると、前記所定の基板処理装置から送信された前記使用者に関する操作権限情報を収納する基板処理システム。

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