JP2000343386A

JP2000343386A - オンライン管理システム

Info

Publication number: JP2000343386A
Application number: JP15981999A
Authority: JP
Inventors: Narihiro Yokoki; 成浩横木
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1999-06-07
Filing date: 1999-06-07
Publication date: 2000-12-12

Abstract

(57)【要約】【課題】処理条件の設定にミスがあった場合でも不良
製品が発生することを回避できるオンライン管理システ
ムを提供する。【解決手段】本発明のオンライン管理システムは、収
集したデータに基づいて統括制御を行う中央制御部１
と、装置４を監視、制御する装置制御部３と、上記中央
制御部１および上記装置制御部３から上記装置４の制御
に係る装置制御情報をネットワークを介してそれぞれ受
信し、受信した２つの装置制御情報が一致しているか否
かを確認し、不一致の場合には上記装置制御部３が上記
装置４の制御を行うことを停止させるデータ中継部２と
を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、様々な処理を行う
装置が多数導入され、それら全体に対して、統括した制
御、監視及びデータ収集処理を行うために中央制御部
（いわゆるホストコンピュータ）を導入している工場で
利用されるオンライン管理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、製品を製造するために複数の製造
装置を稼働させている工場において、これらの製造装置
を制御するためのコンピュータが一般的に導入されてい
る。ここで、図８を参照しながら、従来のオンライン管
理システムについて以下に説明する。なお、以下の説明
において、括弧内の数字は、関連する図面におけるデー
タの送信、受信、または処理の流れを示す数字に対応し
ている。

【０００３】図８は、従来のオンライン管理システムを
示すブロック図である。これらのコンピュータは、単体
の装置の動作制御を行う装置制御部３のようなものもあ
れば工場全体の全装置を制御している中央制御部１（ホ
ストコンピュータ）のような大規模なものまで様々な種
類がある。

【０００４】液晶ディスプレイ製造工場や半導体チップ
製造工場等のように、様々な処理を行う装置が多数導入
され、それら全体に対して、統括した制御、監視、及び
データ収集を行う必要がある工場では、中央制御部１を
導入していることが多い。このような工場においては、
装置４、装置の動作制御を行う装置制御部３、及び中央
制御部１で構成されるオンライン管理システムが採用さ
れている。

【０００５】装置制御部３は、例えば、製品の加工処理
手順をはじめとして装置付属アーム（またはローラ）等
の可動部分の動作方法又は動作速度から装置の処理温
度、湿度、液量に至るまであらゆる監視及び制御を行っ
ている。装置制御部３は基本的に装置１台につき１台設
置されるが、制御が比較的簡単な装置であれば、１台の
装置制御部３で複数台の装置を制御する場合もある。ま
た、単体で複数の処理を行う複雑な装置であれば、１台
の装置に対し複数台の装置制御部３が必要な場合もあ
る。

【０００６】コンピュータによる統合管理を行う工場で
は、このような装置制御部３の上記機能に加えて、装置
での稼働情報（装置稼働情報）を中央制御部１に送信し
たり、逆に中央制御部１からの装置制御情報を受信した
りする通信機能を搭載した装置制御部３が導入される。

【０００７】装置制御部３から中央制御部１に送信され
る情報として、装置稼働情報がある。例えば、製品処理
の実施時の装置の液温、流量、湿度、及びその他装置特
有の情報である。液晶ディスプレイ製造工場を例にとる
と、シール印刷速度、ラビングのトルク値、スペーサの
散布量等、様々な情報がある。さらに、装置の処理時
間、休止時間（トラブル以外の停止時間）、トラブル発
生時間、及びトラブル内容等も装置稼働情報に含まれ
る。

【０００８】このような装置稼働情報は、図８に示すよ
うな通信形態で中央制御部１に送信される。つまり、装
置制御部３から装置４に対して製品処理指示が発行され
（１１）、その指示に基づき装置４は製品処理を実施
（１２）後、装置稼働情報を装置制御部３に送信する
（１３）。最後に装置制御部３は装置稼働情報を中央制
御部１に送信する（１４）。

【０００９】一般に、装置制御部３と装置４とは一体に
なっており、両者の区別はつけにくい。また、装置４が
装置制御部３に対して装置稼働情報を送信しているのか
装置制御部３が装置４から装置稼働情報を取得している
のかも明確には区別できないが、説明を明確にするため
に、ここでは装置のブレイン的な部分を装置制御部３と
し、装置４から装置制御部３に情報送信するとしてい
る。

【００１０】図９に示した例は、図８に示したオンライ
ン管理システムにおいて、装置制御部３にデータ取得部
７を接続することにより、さらなる詳細なデータを中央
制御部１に送信することを可能とするものである。

【００１１】データ取得部７の代表的なものとして、カ
メラ、バーコードリーダ、ＩＤリーダ等がある。これら
は、製品毎の品質管理のために固有に設定された各製品
の製品番号を読み取るために設置される。なお、このよ
うな製品番号は、製品に対して直接マーキングされるか
或いは製品の収納器に付帯されている。

【００１２】まず、データ取得部７は、製品の製品番号
を読み取り、装置制御部３に送信する（１６）。装置制
御部３は、データ取得部７から受信した製品番号を記憶
し、装置４に製品の処理指示を発行する（１１）。装置
４は、その処理指示に従って製品を処理する（１２）。
処理が終わると、装置４は装置稼働情報を装置制御部３
に送信（１３）する。装置制御部３は、先ほど記憶して
おいた製品番号と装置稼働情報を紐付けて中央制御部１
に送信を行う（１５）。

【００１３】これら装置稼働情報は、製品の品質を一定
に保つために必要な情報であり、装置稼働情報の監視を
行ない、装置稼働情報が異常な数値を示すと、装置の稼
動をストップさせて不良品の発生を防ぐといったリアル
タイムな対応を可能ならしめると共に、それらの装置稼
働情報を中央制御部１のデータベースに蓄積しておき、
後々のデータ解析に利用することも可能となる。これら
装置稼働情報は、例えば、製品販売後に不良品と判明し
た製品の不良発生原因をデータベースに蓄積された製品
番号及びそれに付随する装置稼働情報から解析し、今後
の不良発生防止の対策を検討する際の貴重な資料として
利用される。

【００１４】一方、中央制御部１から装置制御部３に送
信される装置制御情報の代表的なものとして、製品の処
理条件（レシピ）がある。作業者が中央制御部１に対し
て処理条件の設定を行い、その処理条件に係る情報を装
置制御情報として装置制御部３からの要求時に送信でき
るようにされる。装置制御部３では、受信した処理条件
を基に、装置４に対して処理指示を発行する。装置４
は、その処理指示に従って製品の処理を行う。

【００１５】なお、このような処理条件の設定は、中央
制御部１以外にも装置制御部３からの入力により行える
ものもあり、いずれか片方あるいは両方に処理条件が入
力設定される。

【００１６】図１０及び図１１は、図９の従来のオンラ
イン管理システムにおける処理条件の設定と通信形態を
それぞれ示すブロック図である。図１０では、まず、デ
ータ取得部７が製品の製品番号を読み取り、装置制御部
３に送信する（１６）。装置制御部３は、データ取得部
７から送られてきた製品番号を記憶すると同時に中央制
御部１に対して製品番号を送信する（１７）。中央制御
部１は、送信されてきた製品番号に相当する処理条件を
装置制御部３に返信する（１８）。装置制御部３は、装
置４に処理条件に基づく製品の処理指示を発行し（１
１）、装置４はその処理指示に従って製品を処理する
（１２）。

【００１７】一方、図１１では、データ取得部７は、製
品の製品番号を読み取り、装置制御部３に送信する（１
６）。装置制御部３は、データ取得部７から送られてき
た製品番号を記憶すると同時に自身のデータ記憶部に設
定された処理条件を基に処理指示を装置４に発行する
（１１）。装置４は、その処理指示に従って製品を処理
する（１２）。また、処理条件以外にも前工程での装置
稼働情報（不良判定結果や前工程での処理結果等）も送
信される。

【００１８】図１２は、従来のオンライン管理システム
における前工程の装置稼働情報の取得を示すブロック図
である。工程において、装置４から装置稼働情報が装置
制御部３に送信され（１３）、装置制御部３から製品番
号と装置稼働情報が中央制御部１に送信される（１
５）。そのとき、中央制御部１に送信されてくる製品番
号と装置稼働情報を記憶しておく。そして、当該工程の
装置制御部３から送信される製品番号（１７）に対し
て、記憶しておいた前工程の装置稼働情報（当該工程で
の装置制御情報に相当する）を装置制御部３に返信する
（１８）。この時返信される装置制御情報に基づいて、
当該工程での製品に対する処理方法を考慮したりあるい
は不良品として破棄したりする。

【００１９】例えば、液晶パネル製造工場においては、
前工程での装置ローラー回転速度が設定範囲以内でない
場合、製品を不良破棄又は検査・修正する処理に廻した
り、あるいは前工程での洗浄処理実施後の経過時間が規
定範囲外であれば再度洗浄処理を行ったりする。このよ
うな工場では、中央制御部１との間でなされる通信が非
常に重要であるため、そのトラブル対策として、中央制
御部１をクラスター（２重）構造にし、一方の中央制御
部１がシステムダウンした場合でも、他方の中央制御部
１が処理を継続してくれる構造にしたり、また、通信シ
ステムにおいても、１つの通信管理システムがシステム
ダウンした場合でも別の通信システムにつなぎに行く等
の処理が行われるようにしたりして、トラブル発生時で
も処理が継続されるシステムを構築するのが通常であ
る。

【００２０】また、特開平９−１２９５２９号公報に開
示されているように、中央制御部がシステムダウンした
場合、装置制御部に相当するもの（レシピ管理手段）が
代わりに処理を制御するようなシステムも知られてい
る。このようなシステムでは、システムダウンに備えて
中央制御部の処理情報が、通信により、常に、レシピ管
理手段に書き込まれるようになっている。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術は次のような問題点を有している。

【００２２】図８及び図９に示すような中央制御部１を
用いた従来のオンライン管理システムでは、中央制御部
１から入力された処理条件は装置制御部３によって受信
され、その装置制御情報を基に装置４に対して処理指示
を発行している。中央制御部１を用いていない工場内装
置では、装置制御部３に対して処理条件の入力を行い、
それを基に装置４に対して処理指示を発行している。

【００２３】ところが、これらの処理条件を入力するオ
ペレータは人間であり、オペレータが誤入力すると、装
置４は誤った処理条件で処理してしまう。特開平９−１
２９５２９号公報に開示のシステムでは、中央制御部、
レシピ管理手段、及び装置制御部が処理条件を保持して
おり、どの処理条件を使用するかについては決定できる
が、それぞれの処理条件が一致しているか否かの確認、
及びそれぞれの処理条件が不一致の場合、装置に対して
処理停止の指示を発行していない。

【００２４】また、中央制御部１による制御を行う工場
のトラブル対策として、中央制御部１をクラスター構造
（２重構造）にしたり、通信システムをクラスター構造
にしたり等の対策を実施しているが、それらの２重構造
を実現するためには通常多くの費用を必要とする。

【００２５】また、一言に２重構造の実現と言っても、
その対応は様々であり、中央制御部１のＣＰＵ（Centra
l Processing Unit ）部分の２重構造化や、中央制御部
１のデータ記憶部の２重構造化等があり、クラスター
（２重）構造化されていない部分でトラブルが発生する
可能性もある。

【００２６】例えば、中央制御部１と装置制御部３を結
ぶネットワークが物理的に切断された場合などにおいて
は、上記２重構造も効力を示さない。また、これらのネ
ットワーク配線は通常非常に長いため、切断等の不具合
箇所の発見及び修復には多くの時間を要する。

【００２７】装置制御部３は、中央制御部１との間で通
信が行えない場合、装置４に対して目標の制御を行うこ
とができず、製品に対する処理を一時中断せざるを得な
い状態となってしまう。また、その中断している装置４
が他の装置に対して重要な影響を及ぼす場合には、周辺
の装置も停止する必要があり、工場全体の稼働停止とい
う事態にも発展しかねない。

【００２８】中央制御部１の何らかのトラブルにより停
止している装置制御部３及び装置４は製品に対する処理
の停止を余儀なくされるが、たとえ、中央制御部１との
間で通信を行わない状態でも稼働できるようなシステム
構成にしている場合（いわゆるオフライン運転機能）で
も、その間の装置稼動情報を中央制御部１に送信するこ
とができないため、中央制御部１における装置稼働状態
の監視及び後々のデータ解析が不可能となる。

【００２９】特開平９−１２９５２９号公報では、その
ような不具合を解決するために、中央制御部と装置制御
部及びレシピ管理手段とが互いにネットワークで連結さ
れ、仮に中央制御部がシステムダウンしてもレシピ管理
手段が装置制御部に対する制御を行うようになってい
る。

【００３０】しかしながら、特開平９−１２９５２９号
公報によれば、システムダウンに備えて中央制御部から
は装置制御部に送信した情報と同一の情報を常にレシピ
管理手段に送信する必要があるので、中央制御部に対し
て２倍の情報処理が要求される。また、中央制御部から
受信した装置等の処理条件を無条件で装置制御部に送信
し、装置制御部でもその条件通り何のチェックもなしに
装置に送信しているため、処理条件の設定にミスがあっ
た場合は多くの不良製品を出してしまうことになる。

【００３１】

【課題を解決するための手段】本発明に係るオンライン
管理システムは、上記課題を解決するために、管理下に
ある装置に対して、収集したデータに基づいて統括制御
を行う中央制御部と、被制御装置を監視、制御する装置
制御部と、上記中央制御部および上記装置制御部から上
記被制御装置の制御に係る装置制御情報をネットワーク
を介してそれぞれ受信し、受信した２つの装置制御情報
が一致しているか否かを確認し、不一致の場合には上記
装置制御部が上記被制御装置の制御を行うことを停止さ
せるデータ中継部とを備えている。

【００３２】上記の発明によれば、被制御装置は、中央
制御部の統括制御下で、中央制御部によって収集された
データに基づいて、装置制御部を介して制御される。

【００３３】中央制御部は、データ中継部に対して、被
制御装置の制御に係る装置制御情報をネットワークを介
して送信する。一方、装置制御部は、データ中継部に対
して、被制御装置の制御に係る装置制御情報をネットワ
ークを介して送信する。このように、中央制御部は、装
置制御情報をデータ中継部に対してのみ送信すればよい
ので、中央制御部から装置制御部を含めて複数箇所に送
信する場合と比べると、中央制御部の負担は大幅に軽減
される。

【００３４】上記２つの装置制御情報を受信したデータ
中継部は、両者が互いに一致しているか否かを確認す
る。このように、装置制御情報の確認を行うことによっ
て、従来チェック無しで被制御装置に送られていた装置
制御情報を事前にチェックすることが可能となる。つま
り、中央制御部および装置制御部のそれぞれに装置制御
情報が設定される場合、何れか一方の設定が誤ってなさ
れると、不一致であることがデータ中継部によって確認
され、装置制御部によって上記被制御装置の制御が行わ
れることが停止される。したがって、この場合、装置制
御部によって誤った制御が無駄に行われてしまうことが
未然に回避できる。

【００３５】上記オンライン管理システムは、上記被制
御装置の処理対象（製品）を特定するための特定情報
（製品番号）を取得する特定情報取得部を更に備え、上
記データ中継部は該特定情報取得部から受信した上記特
定情報を記憶すると共に、上記装置制御部は、処理対象
の処理完了後、被制御装置での稼働情報をデータ中継部
に送信し、データ中継部は、上記特定情報に紐付けて上
記稼働情報を上記中央制御部に送信し、該中央制御部は
受信情報を記憶することが好ましい。

【００３６】この場合、特定情報取得部は、被制御装置
の処理対象を特定するための特定情報を取得すると、デ
ータ中継部に送信する。データ中継部は、受信した特定
情報を記憶する。装置制御部は、処理対象の処理完了
後、被制御装置での稼働情報をデータ中継部に送信し、
データ中継部では、上記稼働情報が上記特定情報に紐付
けられて中央制御部に送信され、ここで記憶される。

【００３７】上記稼働情報を中央制御部が監視すること
によって、被制御装置の処理を停止させて不良品発生を
防ぐといったリアルタイムな対応が可能となる。加え
て、稼働情報が上記特定情報に紐付けられて中央制御部
に記憶されるので、後々のデータ解析に利用することも
可能である。また、中央制御部に記憶された上記特定情
報及びそれに付随する稼働情報に基づいて解析し、今後
の不良発生防止の対策を検討する際の貴重な資料として
利用することもできる。

【００３８】上記オンライン管理システムは、上記デー
タ中継部が、上記中央制御部から受信した装置制御情報
を記憶するデータ記憶部を有し、上記中央制御部がシス
テムダウンした場合、上記中央制御部に代わって、上記
データ記憶部に記憶された装置制御情報に基づいて被制
御装置の処理を行うことが好ましい。

【００３９】上記中央制御部がシステムダウンすると、
該中央制御部とデータ中継部との間で装置制御情報の送
受信が行えなくなってしまう。この結果、上記の装置制
御情報が一致しているか否かの確認結果は、常に、不一
致になってしまうので、上記データ中継部は、上記装置
制御部が上記被制御装置の処理を行うことを停止させる
ことになり、トラブルに非常に弱いシステムとなってし
まう。

【００４０】そこで、上記の発明によれば、上記中央制
御部がシステムダウンした場合、上記中央制御部に代わ
って、上記データ記憶部に記憶された装置制御情報に基
づいて、データ中継部が装置制御部を介して被制御装置
に処理を継続して行わせることになる。つまり、システ
ムダウンした場合、データ記憶部に記憶された装置制御
情報と、上記装置制御部からの装置制御情報とが一致し
ているか否かが確認され、上述と同様な処理が行われ
る。

【００４１】このように、中央制御部がシステムダウン
しても、被制御装置の処理を継続して行うための構成を
別途設けることが不要となるので、システムを複雑化す
ることなく安価でトラブルに強いシステムの構築が可能
となる。

【００４２】上記オンライン管理システムは、上記中央
制御部がシステムダウンすると、上記装置制御部から送
信される稼働情報を上記データ記憶部に記憶し、上記中
央制御部がシステムダウンから復旧すると、上記データ
記憶部に記憶された稼働情報を上記中央制御部に送信す
ることが好ましい。

【００４３】この場合、中央制御部がシステムダウンか
ら復旧して正常になると、データ記憶部に記憶された稼
働情報が上記中央制御部に送信される。システムダウン
の間に記憶された稼働情報の中央制御部への送信中も、
中央制御部が復帰したことにより、被制御装置の処理が
通常どおり行えるので、時間的な損失がなく、非常に効
率のよいシステムを安価に構築できる。しかも、システ
ムダウンから復旧までの間の稼動情報を、復旧後に、中
央制御部に送信することができるので、中央制御部にお
ける装置稼働状態の監視及び後々のデータ解析が可能と
なる。

【００４４】本発明に係る他のオンライン管理システム
は、上記の課題を解決するために、管理下にある装置に
対して、収集したデータに基づいて統括制御を行う中央
制御部と、第１及び第２被制御装置を監視、制御する第
１及び第２装置制御部と、ネットワークを介して上記中
央制御部と上記の第１及び第２装置制御部とに接続され
ている第１及び第２データ中継部とを備え、上記第１デ
ータ中継部は、上記第１被制御装置の稼働情報を上記第
１装置制御部を介して受信すると、上記中央制御部およ
び上記第２データ中継部に対してそれぞれ上記稼働情報
を送信し、上記第２データ中継部は受信した上記稼働情
報をデータ記憶部に記憶すると共に、上記第１被制御装
置によって処理された処理対象（製品）が上記第２被制
御装置によって処理される際、上記中央制御部が正常に
稼働している場合に上記第２装置制御部は該中央制御部
から稼働情報を受信する一方、上記中央制御部がシステ
ムダウンしている場合に上記第２装置制御部は上記の第
２データ中継部から上記データ記憶部を介して上記稼働
情報を受信することが好ましい。

【００４５】上記の発明によれば、第１及び第２被制御
装置は、中央制御部の統括制御下で、中央制御部によっ
て収集されたデータに基づいて、第１及び第２装置制御
部を介してそれぞれ制御される。

【００４６】第１データ中継部は、上記第１被制御装置
の稼働情報を上記第１装置制御部を介して受信すると、
上記中央制御部および上記第２データ中継部に対してそ
れぞれ上記稼働情報を送信する。上記第２データ中継部
は、受信した上記稼働情報をデータ記憶部に記憶する。

【００４７】上記第１被制御装置によって処理された処
理対象（製品）が上記第２被制御装置によって処理され
る際、上記中央制御部が正常に稼働している場合、上記
第２装置制御部は、該中央制御部から稼働情報を受信す
る。この稼働情報に基づいて、処理対象は、第２被制御
装置によって処理される。

【００４８】一方、上記第１被制御装置によって処理さ
れた処理対象（製品）が上記第２被制御装置によって処
理される際、上記中央制御部がシステムダウンしている
場合、上記第２装置制御部は上記の第２データ中継部か
ら上記データ記憶部を介して上記稼働情報を受信する。
そして、この稼働情報に基づいて、処理対象は、第２被
制御装置によって処理される。

【００４９】以上のように、中央制御部がシステムダウ
ンしても、第２装置制御部は、第２データ中継部のデー
タ記憶部に記憶された稼働情報を受信できるので、この
稼働情報に基づいて、処理対象の処理が第２被制御装置
によって滞りなく行われることになる。したがって、非
常に効率のよいシステムを安価に構築できる。

【００５０】上記オンライン管理システムは、上記デー
タ中継部と同じ機能を有する予備のデータ中継部を更に
備え、上記データ中継部がシステムダウンした場合に該
予備のデータ中継部に切り替えられる構成が好ましい。

【００５１】この場合、データ中継部がシステムダウン
しても、予備のデータ中継部により処理が継続して行わ
れるので、非常に信頼性の高いシステムを構築できる。

【００５２】上記オンライン管理システムは、上記装置
制御部に対して指示が入力可能な入力手段を更に備えて
いることが好ましい。

【００５３】この場合、たとえ、上記中央制御部および
上記データ中継部が共にシステムダウンしても、入力手
段を介して上記装置制御部に指示を入力すれば、それま
での処理を継続して行うことが可能となり、より一層、
信頼性の高いシステムを構築できる。

【００５４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態について図
１乃至図７に基づいて説明すれば、以下のとおりであ
る。なお、従来技術と同じ機能を有する部材について
は、同じ参照符号を付記して詳細な説明を省略する。ま
た、以下の説明において、括弧内の数字は、関連する図
面におけるデータの送信、受信、または処理の流れを示
す数字に対応している。

【００５５】本発明に係るオンライン管理システムは、
図２に示すように、中央制御部１と装置制御部３の間
に、データ中継部２が設けられ、中央制御部１とデータ
中継部２の間、及びデータ中継部２と装置制御部３の間
はそれぞれネットワークで連結（接続）されている。

【００５６】図２に示すように、装置制御部３から装置
４（被制御装置）に対して製品処理指示が発行され（１
１）、その指示に基づき装置４は製品処理を実施（１
２）後、装置稼働情報（稼働情報）を装置制御部３に送
信する（１３）。

【００５７】上記装置稼働情報の中央制御部１への送信
は、従来の装置制御部３から中央制御部１への送信は直
接的に行われる代わりに、データ中継部２を介して間接
的に行われる。即ち、装置制御部３からデータ中継部２
へ装置稼働情報の送信（１９）が行われ、データ中継部
２は、受信した装置稼働情報を内部に備えたデータ記憶
部８に一時記憶する。受信した装置稼働情報（データ記
憶部８に一時記憶された装置稼働情報）は、データ中継
部２から中央制御部１へネットワークを介して送信（２
３）される。

【００５８】データ中継部２としては、ワークステーシ
ョン等の高価なシステムで構成されている場合もある
が、現在のパーソナルコンピュータ（以下、単に、パソ
コンと称す。）の高性能化及びマルチタスク化に伴い、
パソコンでの構成でもほとんどの場合充分機能する。ま
た、このようなパソコンで構成されたデータ中継部２
は、装置制御部３と通常１対１で接続されるが、複数対
１又は１対複数で接続される場合もある。

【００５９】図３は、本発明に係る他のオンライン管理
システムの構成例を示すブロック図である。図３のオン
ライン管理システムは、ネットワークを介してデータ中
継部２に接続され、製品（処理対象）の製品番号を取得
するためのデータ取得部７（特定情報取得部）が設けら
れている点で図２と異なっている。

【００６０】データ取得部７の代表的なものとして、カ
メラ、バーコードリーダ、ＩＤリーダ等がある。これら
は、製品毎の品質管理のために固有に設定された各製品
の製品番号を読み取るために設置される。なお、このよ
うな製品番号は、製品に対して直接マーキングされるか
或いは製品の収納器に付帯されている。

【００６１】上記データ取得部７は、製品の製品番号
（特定情報）をデータ中継部２に送信し（１６）、デー
タ中継部２は、受信した製品番号を内部に備えられたデ
ータ記憶部８に一時記憶しておく。そして、データ中継
部２は、装置制御部３に対して製品処理指示を発行する
（２１）。装置制御部３は、製品の処理完了後、装置稼
働情報をデータ中継部２に送信する（１９）。データ中
継部２は、製品番号に紐付けて装置稼働情報を中央制御
部１に送信する（１５）。

【００６２】これら装置稼働情報は、製品の品質を一定
に保つために必要な情報であり、装置稼働情報の監視を
行ない、装置稼働情報が異常な数値を示すと、装置の稼
動をストップさせて不良品の発生を防ぐといったリアル
タイムな対応を可能ならしめると共に、それらの装置稼
働情報を中央制御部１のデータベースに蓄積しておき、
後々のデータ解析に利用することも可能となる。

【００６３】また、これら装置稼働情報は、例えば、製
品販売後に不良品と判明した製品の不良発生原因をデー
タベースに蓄積された製品番号及びそれに付随する装置
稼働情報から解析し、今後の不良発生防止の対策を検討
する際の貴重な資料として利用される。

【００６４】図１は、図３のオンライン管理システムに
おいて処理条件（レシピ）を設定する場合について説明
する説明図である。

【００６５】まず、作業者は、中央制御部１及び装置制
御部３に対してそれぞれ処理条件（レシピ）を予め設定
する（図１中の設定及び）。製品を処理する場合、
製品番号をデータ取得部７が読み取り、データ中継部２
に送信する（２２）。データ中継部２は、受信した製品
番号を上記データ記憶部８に記憶すると共に、中央制御
部１及び装置制御部３に対して製品番号をそれぞれネッ
トワークを介して送信する（２４，２５）。製品番号を
受信した中央制御部１及び装置制御部３は、それぞれ製
品番号ごとに予め設定された処理条件を装置制御情報と
してデータ中継部２に返信する（２６，２７）。

【００６６】中央制御部１及び装置制御部３の双方から
受信した処理条件は、データ中継部２内の処理条件確認
手段によって、互いに一致しているか否かが確認された
後、確認結果に応じた指示を装置制御部３に対して発行
する。具体的には、上記処理条件確認手段は、受信した
２つの処理条件が互いに一致する場合に装置制御部３に
対して製品処理の指示を発行する一方、不一致の場合に
アラーム等を発して装置制御部３の装置４に対する処理
を停止させる。このように、処理条件の確認を行うこと
によって、従来、チェック無しで無条件に装置４に発行
されていた処理条件（レシピ）を事前にチェックするこ
とが可能となる。

【００６７】上記の説明においては、製品毎に中央制御
部１に対して処理条件等の装置制御情報を要求／受信す
る場合を例示したが、本発明はこれに限定されるもので
はない。すなわち、それほど頻繁に処理条件等の装置制
御情報の設定が変更されない場合には、データ中継部２
内のデータ記憶部８を用いることが可能である。この場
合、データ中継部２は中央制御部１に対して処理条件等
の装置制御情報の全てを定期的に要求／受信し、それら
の装置制御情報はデータ中継部２内のデータ記憶部８に
一時記憶される。

【００６８】例えば、処理条件の変更が数日に１回程度
の頻度で行われるような場合は、データ中継部２と中央
制御部１との全装置制御情報（処理条件）の要求／受信
用の通信回数を１日当たり数回程度に設定しておく。そ
して、要求／受信用の通信時には、装置制御情報（処理
条件）の更新状況をチェックして、処理条件が更新され
ていれば、データ記憶部８内の装置制御情報（処理条
件）の更新を行うようにすればよい。そのようにすれ
ば、データ記憶部８に記憶しておいた装置制御情報を参
照すればよいので、製品処理毎に中央制御部１に対する
装置制御情報要求／受信の通信を行うことが不要とな
り、中央制御部１に対する通信頻度を確実に軽減するこ
とが可能となる。

【００６９】データ中継部２は、中央制御部１が正常に
稼働しているときはオンライン運転機能により動作して
いるが、中央制御部１がシステムダウンした場合には上
記データ記憶部８とセミオンライン運転機能とを用い、
中央制御部１の代わりに装置制御部３に装置制御情報を
提供する機能も備えている。

【００７０】図４は、中央制御部１がシステムダウンし
た場合を示すものである。中央制御部１がシステムダウ
ンすると、データ中継部２は、通常のオンライン運転か
らセミオンライン運転に運転切り替えを行う。つまり、
データ中継部２において、中央制御部１への製品の装置
制御情報（処理条件）の要求／受信に係る通信が行われ
ない代わりに、データ中継部２内の上記データ記憶部８
に記憶しておいた装置制御情報（処理条件）と、装置制
御部３から受信した装置制御情報（処理条件）とが互い
に一致するか否かが上記処理条件確認手段によって確認
される。上記処理条件確認手段は、受信した２つの処理
条件が互いに一致する場合に装置制御部３に対して製品
処理の指示を発行する一方、不一致の場合にアラーム等
を発して装置制御部３の装置４に対する処理を停止させ
る。

【００７１】データ中継部２は、中央制御部１のシステ
ムダウン時の装置稼働情報を確保する機能と、中央制御
部１の正常復帰後に、システムダウン時に記憶した情報
を中央制御部１に転送する機能も備えている。図５
（ａ）（ｂ）は、中央制御部１がシステムダウンした場
合、及び復旧した場合の装置稼働情報の処理形態をそれ
ぞれ示している。

【００７２】中央制御部１がシステムダウンした場合、
データ中継部２の運転は通常のオンライン運転からセミ
オンライン運転に切り替えられる。図５（ａ）に示すよ
うに、セミオンライン運転に切り替えられたデータ中継
部２は、装置制御部３から受信した装置稼働情報をデー
タ記憶部８に一時記憶して蓄積しておく（２８）。

【００７３】その後、中央制御部１が正常に復旧する
と、オンライン運転に切り替わるが、図５（ｂ）に示す
ように、データ中継部２内のデータ記憶部８に蓄積され
ていた装置稼働情報は、データ中継部２内の一時記憶デ
ータ送信手段により中央制御部１にデータ転送する（３
０）。この場合、現在の製品に対する処理と並行して転
送作業を行うため、現行処理の合間を利用して送信が行
われる。それゆえ、中央制御部１のシステムダウン時の
みならず、蓄積された装置稼働情報を転送中でも通常通
り製品の処理が行える。つまり、中央制御部１がシステ
ムダウンから復旧して正常になると、データ記憶部８に
記憶された稼働情報が上記中央制御部１に送信される。
システムダウンの間に記憶された稼働情報の送信中も、
中央制御部が復帰したことにより、被制御装置の処理が
通常どおり行えるので、時間的な損失がなく、非常に効
率のよいシステムを安価に構築できる。

【００７４】従来のオンライン管理システムでは、中央
制御部のクラスター構造化により、一方の中央制御部が
システムダウンした場合でも、他方の中央制御部により
対処できるようになっているが、そのようなクラスター
構造化を実現するためには通常莫大な費用を要する。こ
れに対して、本発明によれば、データ中継部２によりセ
ミオンライン運転が行われるが、このデータ中継部２が
ほとんどの場合パソコンで構成できるので、オンライン
管理システムを安価に実現できる。

【００７５】また、中央制御部１とのネットワークが物
理的に切断された場合や、中央制御部１におけるその他
のトラブル（中央制御部１は複雑な制御を行っているた
め、ハード、ソフト共に不測のトラブルが発生する場合
もあり、またその原因解明も困難である。）発生時にも
対応できる。

【００７６】ところで、工場内に数台の予備のデータ中
継部２を設置しておき、トラブルが発生すると、これら
予備のデータ中継部２とトラブルの発生した中継部２と
を切替可能又は交換可能なようにオンライン管理システ
ムを構成することによって、最小の価格で即時のトラブ
ル対応が可能となる。この場合、工場内での複数のデー
タ中継部２の何れがトラブルを発生しても予備の数台の
データ中継部２で対応できるように、仕様を統一してお
く必要がある。

【００７７】次に、装置制御情報の中でも各製品に対し
て固有であり且つ逐次変更される情報を取得する場合、
及びデータ容量の比較的大きい情報を取得する場合のシ
ステムダウン対策について図６を参照しながら以下に説
明する。なお、前記部材と機能が同じものには、同じ参
照符号を付記し、詳細な説明を省略する。

【００７８】図６は、データ中継部２がオンライン運転
時において、前工程での装置稼働情報を必要とする場
合、前工程の装置稼働情報を取得することが可能なオン
ライン管理システムの例を示すものである。このオンラ
イン管理システムによれば、装置稼働情報を取得する工
程のデータ中継部と、その装置稼働情報を当該工程の装
置制御情報として利用するデータ中継部２とを通信ケー
ブルで接続する構成が前述の構成に追加されていること
が大きな特徴である。

【００７９】まず、前工程に係るデータ中継部２は、装
置制御部３から製品の装置稼働情報を受信して（２８）
取得する。そして、その装置稼働情報は、該データ中継
部２から中央制御部１に送信される（３３）と共に、当
該工程に係るデータ中継部２にも送信される（３４）。
装置稼働情報を受信した当該工程に係るデータ中継部２
は、データ記憶部８に装置稼働情報を記憶し、蓄積して
おく。その後、前工程で処理された製品が当該工程で処
理される際、当該工程に係るデータ中継部２は、中央制
御部１が正常稼働中の場合、中央制御部１から装置稼働
情報を取得する（２３，３１）。

【００８０】これに対して、中央制御部１がシステムダ
ウンしている場合について、図７を参照しながら以下に
説明する。

【００８１】この場合、上記データ中継部２は、セミオ
ンライン運転に切り替えられており、当該工程に係るデ
ータ中継部２内のデータ記憶部８に蓄積された装置稼働
情報が当該工程の装置制御情報とし、装置制御部３に送
信される。このように前工程での装置稼働情報を必要と
する工程に対しては、データ中継部２内のデータ記憶部
８にデータを蓄積させておくという一時記憶の形態をと
るが、このようなデータは中央制御部１が正常稼働して
いるときは不要であるので、システム構築時はこのよう
なシステム構成を必要最小限にとどめておく必要があ
る。

【００８２】逆に、通常は前工程に係るデータ中継部２
から送信されてきた装置稼働情報を当該工程での装置制
御情報として使用する一方、データ中継部２間の通信ト
ラブル発生時に中央制御部１からの装置稼働情報を受信
するように構成してもよく、この場合、中央制御部１と
の情報通信回数が削減できるという利点がある。その辺
の仕様は、構成するシステムに応じて検討すればよい。

【００８３】本発明は、以上のように、工場を管理して
いるオンライン管理システムにおいて、製品の処理条件
（レシピ）に対するチェックを厳重にするために中央制
御部１と装置制御部３の２カ所から入力設定された処理
条件（レシピ）の受信を行ない、それらの一致を確認す
るデータ中継部２を有するオンライン管理システムを提
供するものである。

【００８４】また、本発明は、上記データ中継部２が通
常運転時のオンライン運転機能の他に中央制御部１がシ
ステムダウン（故障）した場合のセミオンライン運転機
能を有し、データ中継部２が中央制御部１の代わりとな
って工場内装置４の稼働の継続を可能とするものであ
る。

【００８５】つまり、本発明に係るオンライン管理シス
テムは、中央制御部（ホストコンピュータ）１、データ
中継部（データ中継パソコン）２、及び装置制御部（装
置コントローラ）３がネットワークケーブル又は通信ケ
ーブルで接続されている。装置制御部３は、装置４に対
して通常１対１で設置されており、装置４の動作制御の
他にデータ中継部２を介して中央制御部１と双方向の通
信を行っている。

【００８６】データ中継部２は、装置制御部３と１対１
又は１対複数で接続されており、装置制御部３で取得し
た装置稼働情報を中央制御部１に送信したり、中央制御
部１上の装置制御情報を装置制御部３に送信したりする
通常のオンライン運転機能の他に、中央制御部１がシス
テムダウンした場合に行うセミオンライン運転機能を有
する。このセミオンライン運転機能は中央制御部１への
送信データを自身のデータ記憶部８に記憶する一時記憶
手段及び中央制御部１が復旧した場合にそれらの一時記
憶データを送信する一時記憶データ送信手段、及び中央
制御部１システムダウン時に装置の処理条件（レシピ）
をチェックする処理条件確認手段などを有する。

【００８７】また、データ中継部２は、中央制御部１の
代わりに装置制御部（装置コントローラ）３に対して装
置制御情報提供を行なう機能も有する。以上のセミオン
ライン運転機能を利用することにより、トラブルの影響
を最小限にくい止めることができる。また、カメラ（Ｏ
ＣＲ）、バーコードリーダ、またはＩＤリーダ等のデー
タ取得部７と装置制御部３またはデータ中継部２を通信
ケーブル等で接続することにより装置４以外からの情報
をそれらデータ取得部７から取り込むことも可能であ
る。

【００８８】また、本発明のオンライン管理システム
は、中央制御部１のシステムダウンあるいはデータ中継
部２のトラブルに対しても強いシステムとなっている。
しかし、万が一、それら両方が共にシステムダウンした
場合には、手入力手段（図示しない）を介して装置制御
部３に対して作業者が手入力することにより、処理の継
続が可能であり、更に、信頼性の高いシステムとなる。
この場合、装置４は、装置制御部３からの入力指示に従
い処理を行う。

【００８９】液晶ディスプレイや半導体チップ製造工場
等のように装置の制御と監視用に上記中央制御部１（ホ
ストコンピュータ）を導入している工場において、装置
の処理条件を上記中央制御部１及び上記装置制御部３よ
り取得し処理条件確認手段により両者の一致をデータ中
継部２で確認することによって、作業者による処理条件
設定ミスを未然に防止し、それに伴う不良製品の発生を
抑制することができる。

【００９０】また、液晶ディスプレイや半導体チップ製
造工場等のように装置の制御と監視用に上記中央制御部
１（ホストコンピニータ）を導入している工場におい
て、該中央制御部１がシステムダウンしても、上記デー
タ中継部２が一時記憶手段を用いて上記装置制御部３か
らの装置稼働情報を自身の上記データ記憶部８に一時記
憶し、中央制御部１の復旧後に、それら一時記憶データ
を中央制御部１に送信（一時記憶データ送信手段）する
セミオンライン運転機能を使用することによって、安価
でトラブルに強いシステムの構築が可能となる。

【００９１】液晶ディスプレイや半導体チップ製造工場
等のように装置の制御と監視用に中央制御部１（ホスト
コンピニータ）を導入している工場において、該中央制
御部１がシステムダウンしても、上記データ中継部２が
装置制御部３からの問い合わせに対する装置制御情報を
自身の上記データ記憶部８に記憶（一時記憶手段使用）
されたデータを基に上記中央制御部１の代わりに上記装
置制御部３に送信するセミオンライン運転機能を使用す
ることによって、安価でトラブルに強いシステムの構築
が可能となる。

【００９２】以上のように、データ中継部２を導入した
様々なシステムを示したが、工場全体のシステム構築時
には各処理装置での必要機能を十分考慮し、上記システ
ムのうち何れを導入するかを十分検討することにより、
トラブルにも強く且つ必要経費を最小限におさえること
が可能なシステム構築を実現できる。

【００９３】

【発明の効果】本発明に係るオンライン管理システム
は、以上のように、管理下にある装置に対して、収集し
たデータに基づいて統括制御を行う中央制御部と、被制
御装置を監視、制御する装置制御部と、上記中央制御部
および上記装置制御部から上記被制御装置の制御に係る
装置制御情報をネットワークを介してそれぞれ受信し、
受信した２つの装置制御情報が一致しているか否かを確
認し、不一致の場合には上記装置制御部が上記被制御装
置の制御を行うことを停止させるデータ中継部とを備え
たものである。

【００９４】それゆえ、中央制御部は、装置制御情報を
データ中継部に対してのみ送信すればよいので、中央制
御部から装置制御部を含めて複数箇所に送信する場合と
比べると、中央制御部の負担を大幅に軽減できる。

【００９５】また、上記２つの装置制御情報を受信した
データ中継部は、両者が互いに一致しているか否かを確
認するので、従来チェック無しで被制御装置に送られて
いた装置制御情報を事前にチェックすることが可能とな
る。つまり、中央制御部および装置制御部のそれぞれに
装置制御情報が設定される場合、何れか一方の設定が誤
ってなされると、不一致であることがデータ中継部によ
って確認され、装置制御部によって上記被制御装置の制
御が行われることが停止される。したがって、この場
合、装置制御部によって誤った制御が無駄に行われてし
まうことが未然に回避できるという効果を併せて奏す
る。

【００９６】上記オンライン管理システムは、上記被制
御装置の処理対象を特定するための特定情報を取得する
特定情報取得部を更に備え、上記データ中継部は該特定
情報取得部から受信した上記特定情報を記憶すると共
に、上記装置制御部は、処理対象の処理完了後、被制御
装置での稼働情報をデータ中継部に送信し、データ中継
部は、上記特定情報に紐付けて上記稼働情報を上記中央
制御部に送信し、該中央制御部は受信情報を記憶するも
のである。

【００９７】それゆえ、稼働情報を中央制御部が監視す
ることによって、被制御装置の処理を停止させて不良品
発生を防ぐといったリアルタイムな対応が可能となる。
加えて、稼働情報が上記特定情報に紐付けられて中央制
御部に記憶されるので、後々のデータ解析に利用するこ
とも可能である。また、中央制御部に記憶された上記特
定情報及びそれに付随する稼働情報に基づいて解析し、
今後の不良発生防止の対策を検討する際の貴重な資料と
して利用することもできるという効果を併せて奏する。

【００９８】上記オンライン管理システムは、上記デー
タ中継部が、上記中央制御部から受信した装置制御情報
を記憶するデータ記憶部を有し、上記中央制御部がシス
テムダウンした場合、上記中央制御部に代わって、上記
データ記憶部に記憶された装置制御情報に基づいて被制
御装置の処理を行うものである。

【００９９】それゆえ、上記中央制御部がシステムダウ
ンした場合、上記中央制御部に代わって、上記データ記
憶部に記憶された装置制御情報に基づいて、データ中継
部が装置制御部を介して被制御装置に処理を継続して行
わせることになる。つまり、システムダウンした場合、
データ記憶部に記憶された装置制御情報と、上記装置制
御部からの装置制御情報とが一致しているか否かが確認
され、上述と同様な処理が行われる。このように、中央
制御部がシステムダウンしても、被制御装置の処理を継
続して行うための構成を別途設けることが不要となるの
で、システムを複雑化することなく安価でトラブルに強
いシステムを構築できるという効果を奏する。

【０１００】上記オンライン管理システムは、上記中央
制御部がシステムダウンすると、上記装置制御部から送
信される稼働情報を上記データ記憶部に記憶し、上記中
央制御部がシステムダウンから復旧すると、上記データ
記憶部に記憶された稼働情報を上記中央制御部に送信す
るものである。

【０１０１】それゆえ、システムダウンの間に記憶され
た稼働情報の中央制御部への送信中も、中央制御部が復
帰したことにより、被制御装置の処理が通常どおり行え
るので、時間的な損失がなく、非常に効率のよいシステ
ムを安価に構築できる。しかも、システムダウンから復
旧までの間の稼動情報を、復旧後に、中央制御部に送信
することができるので、中央制御部における装置稼働状
態の監視及び後々のデータ解析が可能となるという効果
を併せて奏する。

【０１０２】本発明に係る他のオンライン管理システム
は、以上のように、管理下にある装置に対して、収集し
たデータに基づいて統括制御を行う中央制御部と、第１
及び第２被制御装置を監視、制御する第１及び第２装置
制御部と、ネットワークを介して上記中央制御部と上記
の第１及び第２装置制御部とに接続されている第１及び
第２データ中継部とを備え、上記第１データ中継部は、
上記第１被制御装置の稼働情報を上記第１装置制御部を
介して受信すると、上記中央制御部および上記第２デー
タ中継部に対してそれぞれ上記稼働情報を送信し、上記
第２データ中継部は受信した上記稼働情報をデータ記憶
部に記憶すると共に、上記第１被制御装置によって処理
された処理対象（製品）が上記第２被制御装置によって
処理される際、上記中央制御部が正常に稼働している場
合に上記第２装置制御部は該中央制御部から稼働情報を
受信する一方、上記中央制御部がシステムダウンしてい
る場合に上記第２装置制御部は上記の第２データ中継部
から上記データ記憶部を介して上記稼働情報を受信する
ものである。

【０１０３】それゆえ、第１被制御装置によって処理さ
れた処理対象が上記第２被制御装置によって処理される
際、上記中央制御部が正常に稼働している場合、上記第
２装置制御部は、該中央制御部から稼働情報を受信す
る。この稼働情報に基づいて、処理対象は、第２被制御
装置によって処理される。

【０１０４】一方、上記第１被制御装置によって処理さ
れた処理対象が上記第２被制御装置によって処理される
際、上記中央制御部がシステムダウンしている場合、上
記第２装置制御部は上記の第２データ中継部から上記デ
ータ記憶部を介して上記稼働情報を受信する。そして、
この稼働情報に基づいて、処理対象は、第２被制御装置
によって処理される。

【０１０５】以上のように、中央制御部がシステムダウ
ンしても、第２装置制御部は、第２データ中継部のデー
タ記憶部に記憶された稼働情報を受信できるので、この
稼働情報に基づいて、処理対象の処理が第２被制御装置
によって滞りなく行われることになる。したがって、非
常に効率のよいシステムを安価に構築できるという効果
を奏する。

【０１０６】上記オンライン管理システムは、上記デー
タ中継部と同じ機能を有する予備のデータ中継部を更に
備え、上記データ中継部がシステムダウンした場合に該
予備のデータ中継部に切り替えられる構成を有してい
る。

【０１０７】それゆえ、データ中継部がシステムダウン
しても、予備のデータ中継部により処理が継続して行わ
れるので、非常に信頼性の高いシステムを構築できると
いう効果を奏する。

【０１０８】上記オンライン管理システムは、上記装置
制御部に対して指示が入力可能な入力手段を更に備えて
いる。

【０１０９】それゆえ、たとえ、上記中央制御部および
上記データ中継部が共にシステムダウンしても、入力手
段を介して上記装置制御部に指示を入力すれば、それま
での処理を継続して行うことが可能となり、より一層、
信頼性の高いシステムを構築できるという効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のオンライン管理システムにおける処理
条件（レシピ）設定を説明する説明図である。

【図２】本発明のオンライン管理システムの構成例を示
すブロック図である。

【図３】本発明の他のオンライン管理システムの構成例
を示すブロック図である。

【図４】本発明のオンライン管理システムにおいて、中
央制御部がシステムダウンした場合の処理条件の確認を
説明する説明図である。

【図５】（ａ）は中央制御部がシステムダウンした場合
の本発明のオンライン管理システムにおける装置稼働情
報の処理を説明する説明図であり、（ｂ）は中央制御部
が正常に復旧した場合の装置稼働情報の処理を説明する
説明図である。

【図６】本発明のオンライン管理システムにおけるオン
ライン運転時の前工程の装置稼働情報の取得を説明する
説明図である。

【図７】本発明のオンライン管理システムにおけるセミ
オンライン運転時の前工程の装置稼働情報の取得を説明
する説明図である。

【図８】従来のオンライン管理システムの構成例を示す
ブロック図である。

【図９】従来の他のオンライン管理システムの構成例を
示すブロック図である。

【図１０】図９のオンライン管理システムにおける処理
条件（レシピ）設定を説明するための説明図である。

【図１１】図９のオンライン管理システムにおける処理
条件（レシピ）設定を説明するための他の説明図であ
る。

【図１２】図９の従来のオンライン管理システムにおけ
る前工程の装置稼働情報の取得を説明する説明図であ
る。

【符号の説明】

１中央制御部２データ中継部３装置制御部４装置（被制御装置）７データ取得部（特定情報取得部）８データ記憶部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】管理下にある装置に対して、収集したデー
タに基づいて統括制御を行う中央制御部と、被制御装置を監視、制御する装置制御部と、上記中央制御部および上記装置制御部から上記被制御装
置の制御に係る装置制御情報をネットワークを介してそ
れぞれ受信し、受信した２つの装置制御情報が一致して
いるか否かを確認し、不一致の場合には上記装置制御部
が上記被制御装置の制御を行うことを停止させるデータ
中継部とを備えたオンライン管理システム。
【請求項２】上記被制御装置の処理対象を特定するため
の特定情報を取得する特定情報取得部を更に備え、上記データ中継部は、該特定情報取得部から受信した上
記特定情報を記憶すると共に、上記装置制御部は、処理
対象の処理完了後、上記被制御装置での稼働情報をデー
タ中継部に送信し、データ中継部は、上記特定情報に紐
付けて上記稼働情報を上記中央制御部に送信し、該中央
制御部は受信情報を記憶することを特徴とする請求項１
に記載のオンライン管理システム。
【請求項３】上記データ中継部が、上記中央制御部から
受信した装置制御情報を記憶するデータ記憶部を有し、上記データ中継部は、上記中央制御部がシステムダウン
した場合、上記中央制御部に代わって、上記データ記憶
部に記憶された装置制御情報に基づいて上記被制御装置
の処理を行うことを特徴とする請求項２に記載のオンラ
イン管理システム。
【請求項４】上記中央制御部がシステムダウンすると、
上記装置制御部から送信される稼働情報を上記データ記
憶部に記憶し、上記中央制御部がシステムダウンから復
旧すると、上記データ記憶部に記憶された稼働情報を上
記中央制御部に送信することを特徴とする請求項３に記
載のオンライン管理システム。
【請求項５】管理下にある装置に対して、収集したデー
タに基づいて統括制御を行う中央制御部と、第１及び第２被制御装置を監視、制御する第１及び第２
装置制御部と、ネットワークを介して上記中央制御部と上記の第１及び
第２装置制御部とに接続されている第１及び第２データ
中継部とを備え、上記第１データ中継部は、上記第１被制御装置の稼働情
報を上記第１装置制御部を介して受信すると、上記中央
制御部および上記第２データ中継部に対してそれぞれ上
記稼働情報を送信すると共に、上記第２データ中継部
は、受信した上記稼働情報をデータ記憶部に記憶し、上記第１被制御装置によって処理された処理対象（製
品）が上記第２被制御装置によって処理される際、上記
中央制御部が正常に稼働している場合に上記第２装置制
御部は該中央制御部から稼働情報を受信する一方、上記
中央制御部がシステムダウンしている場合に上記第２装
置制御部は上記の第２データ中継部から上記データ記憶
部を介して上記稼働情報を受信することを特徴とするオ
ンライン管理システム。
【請求項６】上記データ中継部と同じ機能を有する予備
のデータ中継部を更に備え、上記データ中継部がシステ
ムダウンした場合に、上記予備のデータ中継部に切り替
えることを特徴とする請求項１、２、３、４、又は５に
記載のオンライン管理システム。
【請求項７】上記装置制御部に対して指示が入力可能な
入力手段を更に備えたことを特徴とする請求項１、２、
３、４、５、又は６に記載のオンライン管理システム。