JPWO2007023557A1 - 電子部品試験装置および電子部品試験装置における温度制御方法 - Google Patents
電子部品試験装置および電子部品試験装置における温度制御方法 Download PDFInfo
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Abstract
ICデバイスDの内部に設けられたサーマルダイオードの電圧に基づいてICデバイスDの温度を測定する温度測定装置51と、プッシャ150に設けられた温度センサ154および温度印加装置153と、所定のICデバイスDについての温度測定装置51による測定温度と温度センサ154による測定温度との差から補正値を算出するキャリブレーション手段とを備えており、実稼動中に温度測定装置51によって被試験ICデバイスDの温度を測定し、得られた測定温度とキャリブレーション手段で算出した補正値とに基づいて温度印加装置153を制御する電子部品試験装置1。
Description
本発明は、ICデバイスなどの電子部品を試験するための装置であって、電子部品の温度制御を行うことのできる電子部品試験装置、およびかかる電子部品試験装置における温度制御方法に関するものである。
ICデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造された電子部品を試験する電子部品試験装置が必要とされている。
電子部品試験装置を用いたICデバイスの試験は、例えば、次のようにして行われる。ソケットが取り付けられたテストヘッドの上方に、被試験ICデバイスを搬送した後、被試験ICデバイスを押圧してソケットに装着することによりソケットの接続端子と被試験ICデバイスの外部端子とを接触させる。その結果、被試験ICデバイスは、ソケット、テストヘッドおよびケーブルを通じてテスタ本体に電気的に接続される。そして、テスタ本体からケーブルを通じてテストヘッドに供給されるテスト信号を被試験ICデバイスに印加し、被試験ICデバイスから読み出される応答信号をテストヘッドおよびケーブルを通じてテスタ本体に送ることにより、被試験ICデバイスの電気的特性を測定する。
上記試験は、被試験ICデバイスに熱ストレスを与えて行うことが多い。被試験ICデバイスに熱ストレスを与える方法として、例えば、被試験ICデバイスをテストヘッドに搬送する前に、予めヒートプレートにより所定の設定温度に加熱しておく方法が用いられるが、さらに、被試験ICデバイスを搬送(吸着)・押圧する装置にヒータを設け、そのヒータにより被試験ICデバイスを加熱することも行われている。
被試験ICデバイスの加熱温度を正確に制御するには、被試験ICデバイスの温度を測定することが必要である。ここで、ICデバイスの種類によっては、その内部にサーマルダイオードを備えているものがあり、このサーマルダイオードの電圧を計測することにより、被試験ICデバイスの温度を測定することが可能である。
しかしながら、サーマルダイオードを利用して測定する被試験ICデバイスの温度は必ずしも正確でない場合が多く、その測定温度をそのまま利用したのでは、被試験ICデバイスの加熱温度を正確に制御することは難しい。
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、電子部品の内部の温度検出器を利用しつつ、電子部品の温度制御を正確に行うことのできる電子部品試験装置および温度制御方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、第1に本発明は、電子部品の内部に設けられた温度検出器からの検出信号に基づいて前記電子部品の内部温度を測定する第1の温度測定装置と、前記電子部品の外部に配設されて前記電子部品に熱的に結合された状態で前記電子部品の温度を測定することのできる、基準の温度を測定する第2の温度測定装置と、前記電子部品に熱的に結合されて加熱または吸熱により前記電子部品を温度制御することのできる温度制御装置と、前記温度制御装置と前記電子部品とを所定の一定温度にした状態における、前記第1の温度測定装置による第1測定温度と前記第2の温度測定装置による基準の温度である第2測定温度との差から、前記第1の温度測定装置に対する補正値を算出するキャリブレーション手段と、を備え、実稼動中において、前記第1の温度測定装置によって被試験電子部品の内部温度を測定し、得られた第1測定温度と前記キャリブレーション手段で算出した補正値とに基づいて前記電子部品の内部温度を特定し、前記温度制御装置を加熱または吸熱制御して前記電子部品の内部温度を所定温度にする、ことを特徴とする電子部品試験装置を提供する(発明1)。
電子部品の内部に設けられた温度検出器としては、例えば、サーマルダイオード、静電気保護用ダイオード等が挙げられる。この温度検出器は、電子部品の温度計測を本来の目的とする必要はなく、何らかの方法により電子部品の温度計測に役立つものであれば足りる。
一般的に、電子部品の内部に設けられた温度検出器を利用した電子部品の測定温度は、必ずしも正確でない場合があるが、上記発明(発明1)のようにキャリブレーション手段で算出した補正値を用いることにより、電子部品の内部に設けられた温度検出器を利用して電子部品の正確な温度を取得することができ、したがって、より正確に電子部品の温度制御を行うことが可能となる。
上記発明(発明1)において、前記温度検出器は、前記電子部品内に形成されたサーマルダイオードであってもよい(発明2)。試験に付されている電子部品の温度は動的に変動することがあるが、一般的にサーマルダイオードは温度検出に関して高速な応答性を有しているため、温度変化する電子部品を所定の温度範囲に維持しながら試験することが可能となる。
上記発明(発明1)において、前記第2の温度測定装置は、前記電子部品の外部端子を接続相手のソケット方向へ押圧し、かつ前記電子部品に熱的に結合するプッシャに設けられていることが好ましい(発明3)。プッシャは電子部品に直接接触するため、第2の温度測定装置をプッシャに設けることにより、電子部品の温度を正確に測定することが可能である。
上記発明(発明1)において、前記温度制御装置は、前記電子部品の外部端子を接続相手のソケット方向へ押圧し、且つ前記電子部品に熱的に結合するプッシャに設けられていることが好ましい(発明4)。プッシャは電子部品に直接接触するため、温度制御装置をプッシャに設けることにより、電子部品の温度制御を効果的に行うことが可能である。
上記発明(発明1)においては、被試験電子部品の品種切り替え時に、前記キャリブレーション手段を実行すること(発明5)、あるいは、被試験電子部品の品種切り替え時に、オペレータに対して前記キャリブレーション手段の実行を促す手段(例えば、モニタへのメッセージの表示、スピーカからの音声案内等)を備えていることが好ましい(発明6)。キャリブレーション手段によって取得する補正値は、通常、電子部品の品種毎に異なるからである。なお、全ての被試験電子部品毎にキャリブレーション手段を実行すると、スループットに与える影響が大きくなる。
また、上記発明(発明1)においては、電子部品のロット毎の試験開始前に、前記キャリブレーション手段を実行すること(発明7)、あるいは、電子部品のロット毎の試験開始前に、オペレータに対して前記キャリブレーション手段の実行を促す手段(例えば、モニタへのメッセージの表示、スピーカからの音声案内等)を備えていることが好ましい(発明8)。電子部品の品種が同じでも、ロット毎のプロセスの違いにより電子部品またはその内部の温度検出器の特性が変化して補正値が変わる場合があるからである。
第2に本発明は、あらかじめ、電子部品の内部に設けられた温度検出器からの検出信号に基づいて前記電子部品の内部温度(ジャンクション温度)を測定するとともに、前記電子部品の外部に配設されて前記電子部品に熱的に結合された温度測定装置によって前記電子部品の基準の温度を測定し、前記で測定された両測定温度の差から当該温度検出器の補正値を算出して保存しておき、実稼動中に試験に付される電子部品の温度検出器からの検出信号に基づいて当該電子部品の内部温度を測定して得られた内部測定温度と、当該電子部品と同一品種の電子部品について保存されている前記補正値とに基づいて、当該電子部品を加熱または吸熱して当該電子部品の内部温度を所定温度に制御する、ことを特徴とする電子部品試験装置における温度制御方法を提供する(発明9)。
上記発明(発明9)においては、前記補正値の算出を、被試験電子部品の品種切り替え時に行うことが好ましく(発明10)、特に、前記補正値の算出を、電子部品のロット毎の試験開始前にも行うことが好ましい(発明11)。
第3に本発明は、電子部品の内部に設けられた温度検出器からの信号を受けて前記電子部品の内部温度を測定する第1の温度測定装置と、前記電子部品の外部に配設されて前記電子部品に熱的に結合された状態で前記電子部品の温度を測定することのできる、基準の温度を測定する第2の温度測定装置と、前記電子部品に熱的に結合されて加熱または吸熱により前記電子部品を温度制御することのできる温度制御装置と、前記温度制御装置と前記電子部品とを所定の一定温度にした状態における、前記第1の温度測定装置による第1測定温度と前記第2の温度測定装置による基準の温度である第2測定温度との差から、前記第1の温度測定装置に対する補正値を算出するキャリブレーション手段と、を備えることを特徴とする電子部品試験装置を提供する(発明12)。
本発明によれば、電子部品の内部の温度検出器を利用しつつ、電子部品の温度制御を正確に行うことができる。
1…電子部品試験装置
10…電子部品ハンドリング装置(ハンドラ)
20…テストヘッド
150…プッシャ
153…温度印加装置(温度制御装置)
154…温度センサ(第2の温度測定装置)
51…温度測定装置(第1の温度測定装置)
D…ICデバイス(電子部品)
10…電子部品ハンドリング装置(ハンドラ)
20…テストヘッド
150…プッシャ
153…温度印加装置(温度制御装置)
154…温度センサ(第2の温度測定装置)
51…温度測定装置(第1の温度測定装置)
D…ICデバイス(電子部品)
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1および図2に示すように、電子部品試験装置1は、電子部品ハンドリング装置(以下「ハンドラ」という。)10とテストヘッド20とテスタ本体30とを備え、テストヘッド20とテスタ本体30とはケーブル40を介して電気的に接続されている。
図1および図2に示すように、電子部品試験装置1は、電子部品ハンドリング装置(以下「ハンドラ」という。)10とテストヘッド20とテスタ本体30とを備え、テストヘッド20とテスタ本体30とはケーブル40を介して電気的に接続されている。
ハンドラ10には基板109が設けられており、基板109上に空トレイ101、供給トレイ102、分類トレイ103、2つのX−Y搬送装置104,105、ヒートプレート106および2つのバッファ部108が設けられている。また、基板109には開口部110が形成されており、図2に示すように、ハンドラ10の背面側に配置されたテストヘッド20のコンタクト部201には、基板109の開口部110を通じてICデバイスDが装着されるようになっている。
電子部品試験装置1は、ハンドラ10の供給トレイ102に搭載された試験前のICデバイス(電子部品の一例)Dを、2つのX−Y搬送装置104,105によって順次搬送するとともに、一方のX−Y搬送装置105によってテストヘッド20のコンタクト部201に押し付け、テストヘッド20およびケーブル40を介してICデバイスDの試験を実行した後、試験済みのICデバイスDを試験結果に従って分類トレイ103に格納するように構成されている。
なお、本実施形態では、内部に温度検出器としてのサーマルダイオードを備えているICデバイスDを試験対象とする。サーマルダイオードの両端子はICデバイスDの外部端子に接続されているものとする。サーマルダイオードに微少な一定の電流を流したときに得られる順方向の電圧の推移特性は、集積回路の形成形態により異なるが、特に同一製造プロセス又は同一生産ロットに係るICデバイスの場合には一定した推移特性を示す。即ち、あるジャンクション温度における順方向電圧値と温度係数ΔV/℃とは、同一製造プロセス又は同一生産ロットの場合、近似した特性を示す。このため、このサーマルダイオードの電圧を測定することにより、集積回路のジャンクション温度(接合部温度)、ひいてはICデバイスDの温度を的確に知ることができる。
以下、各装置について説明する。
以下、各装置について説明する。
一方のX−Y搬送装置104は、X軸方向に沿って設けられた2本のレール104aと、Y軸方向に沿って2本のレール104aに移動可能に取り付けられたレール104bと、レール104bに移動可能に取り付けられた取付ベース104cと、取付ベース104cに取り付けられた2つのICデバイス吸着装置104dとを備えている。レール104bはX軸方向に移動可能であり、取付ベース104cはY軸方向に移動可能であるため、ICデバイス吸着装置104dは、分類トレイ103から、供給トレイ102、空トレイ101、ヒートプレート106および2つのバッファ部108に至る領域まで移動することができる。
図2および図3に示すように、ICデバイス吸着装置104dの下端部には、ICデバイスDを吸着することのできる吸着部14が設けられており、この吸着部14は、Z軸アクチュエータ(図示せず)によってロッドを介してZ軸方向(すなわち上下方向)に移動可能となっている。
なお、本実施形態では、取付ベース104cに2つのICデバイス吸着装置104dが設けられているため、一度に2個のICデバイスDを吸着、搬送および解放することが可能である。
他方のX−Y搬送装置105は、X軸方向に沿って設けられた2本のレール105aと、Y軸方向に沿って2本のレール105aに移動可能に取り付けられたレール105bと、レール105bに移動可能に取り付けられた取付ベース105cと、取付ベース105cに取り付けられた2つのICデバイス吸着装置105dとを備えている。レール105bはX軸方向に移動可能であり、取付ベース105cはY軸方向に移動可能であるため、ICデバイス吸着装置105dは、2つのバッファ部108とテストヘッド20との間の領域を移動することができる。
図2および図3に示すように、ICデバイス吸着装置105dの下端部には、ICデバイスDを吸着するとともに、吸着したICデバイスDをテストヘッド20のコンタクト部201に押し付けることのできる吸着・押圧部15が設けられており、この吸着・押圧部15は、Z軸アクチュエータ(図示せず)によってロッド151を介してZ軸方向(すなわち上下方向)に移動可能となっている。
なお、本実施形態では、取付ベース105cに2つのICデバイス吸着装置105dが設けられているため、一度に2個のICデバイスDを吸着、搬送、押圧および解放することが可能である。
2つのバッファ部108は、レール108aおよびアクチュエータ(図示せず)によって2つのX−Y搬送装置104,105の動作領域の間を往復移動可能となるように構成されている。図1中上側のバッファ部108は、ヒートプレート106から搬送されてきたICデバイスDをテストヘッド20へ移送する作業を行い、図1中下側のバッファ部108は、テストヘッド20でテストを終了したICデバイスDを払い出す作業を行う。これら2つのバッファ部108の存在により、2つのX−Y搬送装置104,105は互いに干渉し合うことなく同時に動作できるようになっている。
基板109上においてX−Y搬送装置104の動作領域に設けられた供給トレイ102は、試験前のICデバイスDを搭載するトレイであり、分類トレイ103は、試験済みのICデバイスDを試験結果に応じたカテゴリに分類して格納するトレイであり、本実施形態では分類トレイ103は4つ設けられている。
また、基板109上に設けられたヒートプレート106は、たとえばヒータを備えた金属製のプレートであって、ICデバイスDを落とし込む複数の凹部106aが形成されており、この凹部106aに供給トレイ102から試験前のICデバイスDがX−Y搬送装置104により移送されるようになっている。ヒートプレート106は、ICデバイスDに所定の熱ストレスを印加するための加熱源であり、ICデバイスDはヒートプレート106で所定の温度に加熱された後、図1において上側のバッファ部108を介してテストヘッド20のコンタクト部201に装着されるようになっている。
図3に示すように、テストヘッド20のコンタクト部201には、接続端子であるプローブピン202aを有するソケット202が固定してある。プローブピン202aは、ICデバイスDの接続端子に対応する数およびピッチで設けられており、上方向にバネ付勢されている。このプローブピン202aは、テストヘッド20を介してテスタ本体30に電気的に接続されている。
ソケット202には、図3に示すように、開口部203aおよびガイドピン203bを有するソケットガイド203が装着されており、ICデバイス吸着装置105dの吸着・押圧部15に吸着保持されたICデバイスDが、ソケットガイド203の開口部203aを通じてソケット202に押し付けられるようになっている。
吸着・押圧部15は、ロッド151の下端部に取り付けられたプッシャ150と、プッシャ150が嵌合するプッシャベース152とを備えている。上記のように、ICデバイスDがソケット202に押し付けられるとき、ソケットガイド203に設けられたガイドピン203bが、プッシャベース152に形成されたガイド孔152aに挿入され、これによりICデバイスDとソケット202との位置合わせが行われる。
プッシャ150の下端部には、吸着・押圧部15が吸着保持しているICデバイスDの温度を測定することのできる温度センサ154が設けられている。また、プッシャ150の内部には、吸着・押圧部15が吸着保持しているICデバイスDを加熱または冷却することのできる温度印加装置153が設けられている。温度印加装置153としては、例えば、ヒータ、ペルチェ素子、冷媒等を使用することができる。温度センサ154および温度印加装置153は、図示しない温度制御部に電気的に接続されている。なお、温度センサ154と温度印加装置153との間には、断熱材を介在させることが好ましい。
ソケット202は、ソケットボード204上に設けられており、ソケットボード204の下側にはパフォーマンスボード5が配置されている。パフォーマンスボード5には、ICデバイスD内のサーマルダイオードの電圧を計測してICデバイスDの温度を測定することのできる温度測定装置51が設けられている。この温度測定装置51は、温度センサ154および温度印加装置153と同じく、図示しない温度制御部に電気的に接続されている。
なお、プッシャ150の温度センサ154は、ICデバイスD内のサーマルダイオードを利用した温度測定装置51の温度校正用にも使用する基準の温度を測定するため、白金温度センサのように、経時変化が小さく安定したものを適用することが好ましい。
ハンドラ10には、図示しないモニタ(表示装置)が設けられている。このモニタには、ICデバイスDの品種切り替え時およびICデバイスDのロット毎の試験開始前に、オペレータに対して後述するキャリブレーションの実行を促すよう、メッセージが表示されるようになっていてもよい。また、ICデバイスの品種切り替え時において、未だキャリブレーションが行われていない場合は、所望により、試験の実行を禁止する制御手段が設けられていてもよい。
本実施形態に係る電子部品試験装置1では、ICデバイスDの品種切り替え時およびICデバイスDのロット毎の試験開始前に、次のようにしてキャリブレーションを実行する。このキャリブレーションは、自動的に実行してもよいし、マニュアルによって実行してもよい。
X−Y搬送装置104のICデバイス吸着装置104dは、ハンドラ10の供給トレイ102に搭載されたICデバイスDを吸着保持してヒートプレート106の凹部106aまで移送し、その凹部106a上でICデバイスDを解放する。ICデバイスDは、ヒートプレート106で所定の時間放置されることにより、所定の温度(例えば60℃)に加熱される。X−Y搬送装置104のICデバイス吸着装置104dは、ヒートプレート106で所定の温度に加熱されたICデバイスDを吸着保持し、レール108aの図1中左端に位置しているバッファ部108に移送して、バッファ部108上でICデバイスDを解放する。
ICデバイスDが載置されたバッファ部108は、レール108aの図1中右端まで移動する。X−Y搬送装置105のICデバイス吸着装置105dは、移動してきたバッファ部108上のICデバイスDを吸着保持し、テストヘッド20のコンタクト部201に移送する。そして、ICデバイス吸着装置105dのプッシャ150は、基板109の開口部110を通じてICデバイスDをコンタクト部201のソケット202に押し付け、ICデバイスDの外部端子をソケット202のプローブピン202aにコンタクトさせる。
このとき、プッシャ150の温度センサ154によってICデバイスDの測定温度T1を測定するとともに、パフォーマンスボード5の温度測定装置51によって、ICデバイスD内のサーマルダイオードに一定の電流を印加したときの電圧値を計測し、当該計測した電圧値に基づいてICデバイスDの測定温度T2とする。このときの測定温度T2の値は、終始一貫して用いられる非校正の温度値と仮定する。これらの情報は、温度制御部に送信される。
温度制御部は、温度センサ154による測定温度T1と、温度測定装置51による非校正の測定温度T2との差(T1−T2)を算出して、これを補正値T3として登録(記憶)する。例えば、温度センサ154による測定温度T1が60℃、温度測定装置51による非校正の測定温度T2が58℃であった場合、その差2℃を補正値T3として登録する。ここで、デバイスは、高温試験/低温試験の何れにおいても、ほぼ一定した設定温度条件で試験実施される場合が多いので、全温度範囲に対する校正を行う必要性はない。なお、任意の設定温度条件で試験実施したい場合には、複数の温度ポイント(例えば120℃,100℃,80℃)における差(T1−T2)を各々算出(例えば2℃,0℃,−2℃)する。これから、係数は(2℃−(−2℃))/(120℃−80℃)=0.1として得られる。得られた係数を補正値T3と共に登録しておくことで、任意の設定温度条件で運用可能になる。
以上のようにして取得する補正値T3は、通常、ICデバイスDの品種により異なるため、上記キャリブレーションは、ICデバイスDの品種切り替え時に行う。また、ICデバイスDの品種が同じでも、ロット毎のプロセスの違いによりICデバイスDのサーマルダイオードの特性がわずかに変化し得るため、上記キャリブレーションは、ICデバイスDのロット毎の試験開始前にも行うことが望ましい。
次に、実稼動時における電子部品試験装置1の動作を説明する。
ICデバイスDをソケット202にコンタクトさせるまでの動作は、上記キャリブレーションにおける動作と同じである。
ICデバイスDをソケット202にコンタクトさせるまでの動作は、上記キャリブレーションにおける動作と同じである。
プッシャ150がICデバイスDをコンタクト部201のソケット202に押し付け、ICデバイスDの外部端子がソケット202のプローブピン202aに接続したら、温度測定装置51によって、ICデバイスD内のサーマルダイオードの電圧を計測してICデバイスDの測定温度T4を求め、その情報を温度制御部に送信する。
温度制御部は、キャリブレーションで登録された補正値T3を読み出し、上記温度測定装置51で測定された測定温度T4に補正値T3を加えた値(T4+T3)を、ICデバイスDの実際の温度T5として使用する。そして、実際の温度T5が目的とする温度とずれている場合には、ICデバイスDが目的温度となるように、プッシャ150内部の温度印加装置153を制御する。また、それに加えて、ヒートプレート106の温度制御を行ってもよい。
例えば、温度測定装置51で測定された測定温度T4が59℃であり、補正値T3が2℃であった場合には、ICデバイスDの実際の温度T5を61℃と判断し、目的温度が60℃であった場合には、ICデバイスDの温度が1℃下がるように、プッシャ150内部の温度印加装置153を制御する。また、例えば、温度測定装置51で測定された測定温度T4が57℃であり、補正値T3が2℃であった場合には、ICデバイスDの実際の温度T5を59℃と判断し、目的温度が60℃であった場合には、ICデバイスDの温度が1℃上がるように、プッシャ150内部の温度印加装置153を制御する。
上記のようにしてICデバイスDの温度制御が連続的に維持されながらデバイス試験が開始されると、ICデバイスDにはテスタ本体30からテストヘッド20を通じてテスト信号が印加され、ICデバイスDからの応答信号はテストヘッド20を通じてテスタ本体30に送られる。これにより、ICデバイスDの良否判定、性能別のランク分けが行われる。ここで、ICデバイスDの消費電力は試験条件により動的に変動するが、ICデバイスD内のサーマルダイオードが数ミリ秒程度の高速な温度検出の応答性を有しているので、実用的に所定の温度範囲を維持して試験を行うことができる。
ICデバイスDの試験が終了したら、X−Y搬送装置105のICデバイス吸着装置105dは、試験済みのICデバイスDをレール108aの図1中右端に位置しているバッファ部108に移送し、バッファ部108は図1中左端まで移動する。X−Y搬送装置104のICデバイス吸着装置104dは、試験済みのICデバイスDをバッファ部108から吸着保持し、試験結果に従って分類トレイ103に格納する。
一般的に、ICデバイスDの内部に存在するサーマルダイオード等を利用したICデバイスDの測定温度は、必ずしも正確でない場合があるが、上記のようにキャリブレーションによる補正値を用いることにより、サーマルダイオードの高速な温度検出の応答性を利用してICデバイスDの的確な温度制御が可能となる。
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
例えば、上記ハンドラ10は、チャンバレスタイプのハンドラであるが、チャンバタイプのハンドラであってもよい。この場合、プッシャ150の温度印加装置153に加えて又はプッシャ150の温度印加装置153に替えて、チャンバ内を循環するエアによってICデバイスDに温度を印加してもよい。
また、本実施形態では、ICデバイス内のサーマルダイオードを利用してICデバイスの温度を測定したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ICデバイス内の内部温度(ジャンクション温度)が測定可能な他の温度検出器(温度依存要素)を利用してICデバイスの温度を測定してもよい。例えば、試験実行時に使用されない入力端子や出力端子が存在する場合や、試験の実行に支障とならない入力端子や出力端子が存在する場合においては、それらの入力端子や出力端子に接続されている静電気保護用ダイオードを適用してもよい。但し、この場合には電源ノイズの影響を受け易くなるため、電源ノイズを除去する処理が必要となる。さらには、ICデバイス内のジャンクション温度と相関関係を示す他の温度依存要素を利用してもよい。
また、補正値T3の取得は、一定の温度状態で行えばよい。従って、ICデバイスに電源を供給しない無消費電力とした条件、またはICデバイスに一定電力を供給した実稼働に近い条件、の何れの条件でも補正値T3を取得することができる。なお、電源供給時において、静電気保護用ダイオードを温度測定に適用する場合には、電源供給をOFFした直後に温度測定することで、電源ノイズの影響を受けないようにすることが可能である。
また、本実施形態では、ICデバイス内のサーマルダイオードを温度測定装置51のみが利用する場合について説明したが、テスタ本体30側でもICデバイス内の温度検出にサーマルダイオードを使用したい場合がある。この場合には、サーマルダイオードに印加する電流を温度測定装置51側から供給するか、テスタ本体30側から供給するかを予め決めておき、サーマルダイオードの両端の電圧信号を温度測定装置51が受けるように接続することで、両者にて利用することができる。これにより、テスタ本体30側とハンドラ10側との両者でICデバイスのジャンクション温度の状況を常時把握できる。
また、本実施形態では、ICデバイス内のサーマルダイオードからの信号を温度測定装置51が受信する接続構成で説明したが、テスタ本体30側でサーマルダイオードの信号を受信できる接続構成とし、テスタ本体30側で計測した電圧値または演算処理した測定温度T2をハンドラ10側の温度測定装置51に供給するようにしてもよい。これにより、テスタ本体30側とハンドラ10側との両者でICデバイスのジャンクション温度の状況を常時把握できる。
本発明の電子部品試験装置および温度制御方法は、電子部品の正確な温度制御を必要とする試験を行うのに有用である。
Claims (12)
- 電子部品の内部に設けられた温度検出器からの検出信号に基づいて前記電子部品の内部温度を測定する第1の温度測定装置と、
前記電子部品の外部に配設されて前記電子部品に熱的に結合された状態で前記電子部品の温度を測定することのできる、基準の温度を測定する第2の温度測定装置と、
前記電子部品に熱的に結合されて加熱または吸熱により前記電子部品を温度制御することのできる温度制御装置と、
前記温度制御装置と前記電子部品とを所定の一定温度にした状態における、前記第1の温度測定装置による第1測定温度と前記第2の温度測定装置による基準の温度である第2測定温度との差から、前記第1の温度測定装置に対する補正値を算出するキャリブレーション手段と、を備え、
実稼動中において、前記第1の温度測定装置によって被試験電子部品の内部温度を測定し、得られた第1測定温度と前記キャリブレーション手段で算出した補正値とに基づいて前記電子部品の内部温度を特定し、前記温度制御装置を加熱または吸熱制御して前記電子部品の内部温度を所定温度にする、
ことを特徴とする電子部品試験装置。 - 前記温度検出器は、前記電子部品内に形成されたサーマルダイオードであることを特徴とする請求項1に記載の電子部品試験装置。
- 前記第2の温度測定装置は、前記電子部品の外部端子を接続相手のソケット方向へ押圧し、かつ前記電子部品に熱的に結合するプッシャに設けられていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品試験装置。
- 前記温度制御装置は、前記電子部品の外部端子を接続相手のソケット方向へ押圧し、且つ前記電子部品に熱的に結合するプッシャに設けられていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品試験装置。
- 被試験電子部品の品種切り替え時に、前記キャリブレーション手段を実行することを特徴とする請求項1に記載の電子部品試験装置。
- 被試験電子部品の品種切り替え時に、オペレータに対して前記キャリブレーション手段の実行を促す手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の電子部品試験装置。
- 電子部品のロット毎の試験開始前に、前記キャリブレーション手段を実行することを特徴とする請求項1に記載の電子部品試験装置。
- 電子部品のロット毎の試験開始前に、オペレータに対して前記キャリブレーション手段の実行を促す手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の電子部品試験装置。
- あらかじめ、電子部品の内部に設けられた温度検出器からの検出信号に基づいて前記電子部品の内部温度を測定するとともに、前記電子部品の外部に配設されて前記電子部品に熱的に結合された温度測定装置によって前記電子部品の基準の温度を測定し、前記で測定された両測定温度の差から当該温度検出器の補正値を算出して保存しておき、
実稼動中に試験に付される電子部品の温度検出器からの検出信号に基づいて当該電子部品の内部温度を測定して得られた内部測定温度と、当該電子部品と同一品種の電子部品について保存されている前記補正値とに基づいて、当該電子部品を加熱または吸熱して当該電子部品の内部温度を所定温度に制御する、
ことを特徴とする電子部品試験装置における温度制御方法。 - 前記補正値の算出は、電子部品の品種切り替え時に行うことを特徴とする請求項9に記載の電子部品試験装置における温度制御方法。
- 前記補正値の算出は、電子部品のロット毎の試験開始前に行うことを特徴とする請求項9に記載の電子部品試験装置における温度制御方法。
- 電子部品の内部に設けられた温度検出器からの信号を受けて前記電子部品の内部温度を測定する第1の温度測定装置と、
前記電子部品の外部に配設されて前記電子部品に熱的に結合された状態で前記電子部品の温度を測定することのできる、基準の温度を測定する第2の温度測定装置と、
前記電子部品に熱的に結合されて加熱または吸熱により前記電子部品を温度制御することのできる温度制御装置と、
前記温度制御装置と前記電子部品とを所定の一定温度にした状態における、前記第1の温度測定装置による第1測定温度と前記第2の温度測定装置による基準の温度である第2測定温度との差から、前記第1の温度測定装置に対する補正値を算出するキャリブレーション手段と、
を備えることを特徴とする電子部品試験装置。
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