JPH09304471A - 試料実測式環境試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 安全性を維持しつつ温度制御の精度向上を図
る。 【解決手段】 センサ用ＩＣ６１〜６５及びそのジャン
クション電圧降下Ｖｆ測定ボード９１でＶｆを実測し、
これを実測ジャンクション温度Ｔｊｐに換算し、これが
設定値になるように制御部２１で加熱器３の出力を制御
すると共に、Ｔｊｐの異常時には、比較計算部２３及び
切換部２４によって、制御部２１による制御から安全制
御部２２による制御に切り換え、吹出口空気温度が設定
値になるように制御する。試験するＩＣが初めてのもの
であるときには、予備運転制御部でＶｆとＴｊｐとの関
係を実測する予備運転を自動的に行える。 【効果】 試料自体の温度検出により制御の精度が向上
すると共に、センサ用ＩＣが不良品であるような場合に
も装置の安全性が確保される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被試験物が入れら
れる試験室内に送る空気温度を制御できる環境試験装置
に関し、特に半導体デバイスのバーンイン試験に好都合
に利用される。

【０００２】

【従来の技術】恒温槽等の環境試験装置では、通常、槽
内の空気吹出口等の適当な位置に温度センサを設け、そ
の検出値が目的とする試験温度になるようにヒータの出
力を制御するようにしている。しかしながら、このよう
な制御方法では、測定点の温度と試験される試料位置の
温度との差、試料の近傍の環境温度と試料自体の温度と
の差等が発生するため、本来制御すべき試料自体の温度
条件を精度良く制御することができなかった。又、例え
ば半導体デバイスのバーンイン試験のように、試料を動
作させつつ環境試験するときには、試料が発熱によって
温度上昇する場合がある。このような試験では、槽内温
度を制御しても、試料自体の温度との差が大きくなり、
試料自体の温度管理は特に難しかった。

【０００３】このような問題を解決すべく、試験する半
導体にこれと同じトランジスタを実測用センサとして取
り付け、その測定電圧から試験する半導体の動作時の温
度上昇を計算し、これに半導体の置かれている環境温度
を加えて、本来管理されるべきジャンクション温度を算
出し、これを制御対象とする発明が提案されている（特
開昭６３−１１５０７４号公報参照）。しかしながら、
このような試験は半導体の製造中のスクリーニングのた
めに行われるものであるから、試料の中には不良品が混
在していて、実測した温度が異常値を示したり、センサ
が故障する等により、制御が暴走して槽内を安全な温度
に制御できない場合がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術に於
ける上記問題を解決し、被試験物に目的とする温度条件
を精度良く与えられると共に、被試験物やセンサに異常
が発生しても温度制御の安全性を確保できる環境試験装
置を提供することを課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、請求項１の発明は、被試験物が入れられる
試験室内に送る空気温度を制御できる環境試験装置にお
いて、前記被試験物の温度を検出する温度検出手段と、
該温度検出手段で検出した検出温度が所定値になるよう
に前記空気温度を制御する制御部と、前記被試験物にと
って安全な温度環境になるように前記空気温度を制御す
る安全制御部と、前記検出温度を該検出温度が正常であ
ると想定されるときの想定温度と比較する比較部と、前
記検出温度と前記想定温度との相違が所定量より大きく
なると前記検出温度による制御から前記安全制御部を使
用する制御に切り換える切換部と、を有することを特徴
とする。

【０００６】請求項２の発明は、上記に加えて、前記被
試験物は多数の半導体デバイスであり、前記温度検出手
段は前記半導体デバイスの中の特定のものと該特定のも
のの順方向の電圧を検出できる端子に接続された電圧検
出手段とを有することを特徴とする。

【０００７】請求項３の発明は、上記に加えて、前記試
験室内を順次異なった複数の設定温度になるように制御
し、それぞれの設定温度になると前記電圧検出手段で前
記順方向の電圧を検出し、検出した電圧と前記試験室内
の温度との対応を前記比較部に入力させるように制御す
る予備運転制御手段を有することを特徴とする。

【０００８】請求項４の発明は、請求項２の発明の特徴
に加えて、前記安全制御部は、前記空気温度を検出する
空気温度検出手段と、該空気温度検出手段で検出した温
度が所定温度になるように制御する空気温度制御部とを
有することを特徴とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は本発明を適用した環境試験
装置の一例である恒温槽の全体構成を示す。恒温槽は、
断熱壁１で囲われていて、内部には、モータ２ａで回転
される送風機２、加熱器３、空気ダクトを形成するよう
に設けられた多孔板４、試験室５等が配設されている。
試験室５内には、被試験物としての半導体デバイス（以
下「ＩＣ」という）６が装着された多数のソケット７を
取り付けたバーンインボード８が、図示しない支持枠等
に多段又は多段且つ多列に積載される。このような恒温
槽は、ＩＣのバーンイン試験に用いられる。

【００１０】恒温槽の温度制御系としては、温度検出手
段を構成するジャンクション温度検出用（センサ用）Ｉ
Ｃ６１〜６５、これらを装着したセンサ用ＩＣソケット
７（７１〜７５）、これに接続されたプリント配線６１
ａ〜６５ａ、及びこれらが接続された電圧検出手段でも
あるジャンクション電圧降下測定ボード９１等、該測定
ボード９１で検出した検出温度であるジャンクション温
度が所定値になるように制御する制御部２１、被試験物
であるＩＣにとって安全な温度環境になるように温度制
御できる安全制御部２２、検出したジャンクション温度
をこれが正常であると想定されるときの想定温度と比較
する比較部としての比較計算部２３、検出温度と想定温
度との相違が所定量より大きくなると制御部２１による
制御から安全制御部２２を使用する制御に切り換える切
換部２４等を備えている。符号２５は、ジャンクション
温度及び槽内への空気の吹出口温度の制御目標値を設定
する設定部である。制御部２１、安全制御部２２、比較
計算部２３、切換部２４等は、制御装置２０内において
例えばマイコン等で一体的に形成される。

【００１１】ジャンクション温度検出用ＩＣ６１〜６５
は、他のＩＣ６と同じものであるが、試験時には使用さ
れない余分の端子であって順方向の電圧であるジャンク
ション電圧降下（Ｖｆ）を検出できる端子がジャンクシ
ョン電圧降下測定ボード部９１に接続される。このよう
なＩＣ６１〜６５は、ＩＣの中の特定のものとして、本
例では、バーンインボード８のうちの適当な段ものとし
て図示のバーンインボード８１の四隅部及び中央部に配
置されている。但し、ジャンクション温度検出用ＩＣは
１つだけであってもよく、又は、他の段や列を含めて更
に多くの個数あってもよい。

【００１２】ジャンクション電圧降下測定ボード９１
は、恒温槽の外部に設置されるドライバー／テストボー
ド９の一部分に形成されていて、ジャンクション温度検
出用ＩＣ６１〜６５とは、ＩＣソケット７１〜７５、プ
リント配線６１ａ〜６５ａ、並びにエッジコネクタ及び
中継ボード部１０を介して接続される。そして、それぞ
れのＩＣに微小定電流が流されたときのジャンクション
電圧降下Ｖｆを測定することができる。このＶｆは、ジ
ャンクション温度Ｔｊとほぼ直線的な関係になり、同じ
ＩＣに対しては同じ特性となる。生産され試験される特
定のＩＣのＶｆとＴｊとの関係を、例えば後述するよう
な方法で予め求めておく。この関係は、曲線や数表、数
式等として表される。

【００１３】比較計算部２３は、上記の曲線又は数式等
を予め入力するための入力部分を備えていて、測定ボー
ド９１で測定したＩＣの試験時におけるジャンクション
電圧降下の実測値Ｖｆｐを受信し、これを上記の曲線等
によってジャンクション温度実測値Ｔｊｐに換算する。
そして、ジャンクション温度が正常であると想定される
ときの想定温度として例えば温度設定器２５で設定され
ているジャンクション温度設定値Ｔｊｓを設定器２５か
ら入力し、ＴｊｐとＴｊｓとを比較する。なお、設定器
２５内でＴｊｓをＶｆに置換し、比較計算部２３ではＶ
ｆの設定値Ｖｆｓと実測値Ｖｆｐとを比較するようにし
てもよい。

【００１４】Ｔｊｐの正常値はＩＣの種類によって異な
るが、例えば２００°Ｃ程度である。この比較の結果、
その差が例えば５０°Ｃ程度以上という大きな値になっ
ていれば、ジャンクション温度の制御状態における正常
な変動範囲を明らかに超えているため、そのセンサ用Ｉ
Ｃは不良であると判断し、これを温度制御に用いる実測
値から除外する。なお、差（上記では５０°Ｃ）に代え
て、例えば３０％というような比率を用いてもよい。

【００１５】次に、本例では実測値Ｔｊｐが複数個（５
つ）あるので、その中で正常範囲にあるものから、単純
平均値、最大値及び最小値を除いた平均値、中央値、標
準偏差値等の何れかを求め、これを出力値とする。正常
範囲のＴｊｐがなかったようなときには、異常信号を発
信する。Ｔｊの測定個所が一か所のみである場合には、
当然このような計算は行われない。

【００１６】切換部２４は、比較計算部２３の出力を受
信し、それが正常範囲のＴｊｐの平均値等であれば、こ
れを制御部２１に送るが、異常信号のときには、これを
安全制御部２２に送り、制御部２１による制御から安全
制御部２２を使用する制御に切り換える。Ｔｊの測定値
が１つだけの場合には、その値又は異常信号を発信する
ことになる。

【００１７】制御部２１は、Ｔｊｐの平均値等を受信す
ると、通常の温度制御と同様に、これが設定器２５で設
定した設定値Ｔｊｓになるように、それらの値の偏差や
実測値の変化率等から、加熱器３の出力を制御する制御
値を発信する。これにより、試験室に送られる空気温度
が制御される。

【００１８】ＩＣのジャンクション温度は、ＩＣを試験
するときの通電時におけるＩＣの消費電力、それによる
発生熱量、ＩＣ自体の温度と周囲温度との温度差に伴う
放熱量、ＩＣの周囲と恒温槽の吹出口との温度差等の諸
条件によって定まるので、これらの関係からジャンクシ
ョン温度と吹出口空気温度との関係を推定し、吹出口空
気温度を設定値にして制御することによっても間接的に
制御され得るが、このような制御では、精度良くジャン
クション温度を制御することができない。本発明の制御
によれば、試験対象のＩＣそのものを使用してＩＣ自体
の温度を検出し、加熱器の出力制御を介して、ジャンク
ション温度が決定される条件である吹出口空気温度を制
御するので、本来管理されるべきジャンクション温度を
精度良く設定値に維持することができる。又、試験する
試料毎にジャンクション温度センサを着脱する必要がな
いので、試験時に余分な操作や時間がかからない。

【００１９】安全制御部２２は、切換部２４から異常信
号を受信すると、温度センサ１０の実測値Ｔｐを入力
し、これが同じく入力される設定器２５で設定された設
定値Ｔｓになるように加熱器３の出力を制御する。この
Ｔｓは、上記のような関係から、ＩＣが不良品でないと
きにジャンクション温度が目的とする試験温度になるよ
うな値であり、正常にジャンクション温度制御が行われ
ているときの吹出口温度に相当する。例えば吹出口温度
が１００°Ｃのときにジャンクション温度が２００°Ｃ
になっていれば、Ｔｓは１００°Ｃになる。

【００２０】温度センサ１０は、被試験物と同じＩＣを
用いたセンサ用ＩＣとは異なり、不良品である可能性は
なく、又自己発熱もしないので、その検出値が異常にな
ることは殆どない。従って、ジャンクション温度の検出
値が異常である場合に、温度センサ１０を用いた制御に
切り換えれば、ジャンクション温度を精度よく制御する
ことまではできないにしても、槽内温度をほぼ適正値に
制御することができ、ＩＣにとって安全な環境温度を維
持することは可能になる。その結果、試験されるＩＣの
安全性が確保され、且つ試験を中断する必要もなくな
る。但し、安全制御部２２は、このように槽内を設定温
度に制御する代わりに、現状の温度に保持する制御、槽
内温度を漸次常温まで下げる制御等を行うものであって
もよい。

【００２１】図２は、ＩＣのジャンクション電圧降下Ｖ
ｆとジャンクション温度Ｔｊとの関係を求める方法の一
例として、図１に示す恒温槽及びその制御装置の一部分
を用いて、実際のバーンイン試験に先立って行う予備運
転の工程をフローチャートで示す。

【００２２】予備運転準備（Ｓー１）は、バーンイン本
試験を行うときと同じであり、図１に示すように試験す
るＩＣ６をＩＣソケット７に装着したバーンインボード
８を恒温槽内に多段又は多段且つ多列に搭載し、図示し
ない電源を入れる等により機器類や制御装置を動作可能
な状態にする。バーンインボード８には、センサ用ＩＣ
６１〜６５を装着したバーンインボード８（８１）が含
まれている。

【００２３】キャリブレーション温度設定（Ｓー２）で
は、温度設定部２５によって常温からＩＣの動作時に相
当する吹出口又は吸込口温度を段階的に順次設定する。
ＩＣの動作時の温度が２００°Ｃであれば、例えば常温
から２００°Ｃまでを等間隔に５段階程度の温度に設定
する。

【００２４】温度制御（Ｓー３）では、恒温槽を運転し
て、センサ１０で測定した吹出口又は吸込口温度が前記
設定温度になるように安全制御部２２でヒータ３の温度
を制御する。ジャンクション温度測定（Ｓー４）では、
センサ用ＩＣ６１〜６５に微小電流を流してジャンクシ
ョン電圧降下測定ボード９１でＶｆを測定する。

【００２５】ジャンクション温度安定判断（Ｓー５）で
は、槽内温度が安定した後、ＩＣのジャンクション部分
の温度が槽内温度とほぼ同じ温度になって安定したかど
うかを判断する。この判断は、例えばＶｆの変化率が一
定範囲内に収束した事をもって行われる。

【００２６】ジャンクション電圧降下記憶（Ｓー６）で
は、ジャンクション温度安定判断（Ｓー５）後にＶｆを
測定し、このデータ及びこのときの温度設定部の設定温
度を対応させて比較計算部２３に記憶させる。なお、こ
の予備運転ではＩＣを作動させるための電圧は印加され
ない。その結果、ＩＣに微小定電流を流しても、これに
よってＩＣが発熱することはないので、設定した槽内温
度がジャンクション温度とほぼ同じ温度になる。

【００２７】終了判断（Ｓー７）は、１つの温度設定に
対して以上の（Ｓー１）から（Ｓー６）までの工程が実
行される毎に行われ、例えば前記の如く設定温度を５段
階にするときには、このような工程が５回繰り返される
と終了判断が出され、予備運転が終了する。比較計算部
２３には、常温から２００°Ｃまでの５段階の設定温度
従ってジャンクション温度と、それぞれに対応して測定
されたＶｆとが記憶される。

【００２８】以上のような予備運転は、人の操作を介在
させて行われてもよいし、タイマやカウンタの使用、セ
ンサ値や制御信号のやり取り、必要データの事前の入力
等により、当初のキャリブレーション温度設定を含めて
全て自動的に行われるようにしてもよい。このような予
備運転は１種類のＩＣについては一度だけ行えばよく、
以後のＩＣの装着されたバーンインボードを交換して繰
り返し行われるバーンイン試験では、最初に行った予備
運転で記憶されたデータが使用される。

【００２９】図３は、制御装置２０に予備運転を自動的
に行える予備運転制御部２６を設けた場合の制御部分の
構成例を示す。予備運転制御部２６は、設定器２５に順
次異なった設定温度を与えるＴｓ付与部分２６ａ、切換
部２４に安全制御部２２を用いる制御に切り換えるよう
に指示する指示部分２６ｂ、ジャンクション電圧測定ボ
ード９１の測定したＶｆを入力してその変化率を演算
し、これが一定範囲内に収束するとそのときのＶｆを比
較計算部２３に与えるＶｆ付与部分２６ｃ、及び、セン
サ１０による検出温度を入力してこれを比較計算部２３
に与えるＴｐ付与部分２６ｄを備えている。

【００３０】この制御部２６によれば、図２に示す予備
運転フローを自動的に行うことができる。即ち、Ｔｓ付
与部分２６ａで例えば５段階の温度を設定すると（Ｓー
２）、２６ａが１番目の温度を設定器２５に与えると共
に、指示部分２６ｂがＴｓとＴｐとを用いた安全制御部
２２による制御を行うように切換部２４に指示を出し、
安全制御部２２が温度制御を行ない（Ｓー３）、Ｖｆ測
定ボード９１がＶｆを測定し（Ｓー４）、その値をＶｆ
付与部分２６ｃが入力してその変化率を計算し、これが
一定範囲内に収束したかどうかによりジャンクション温
度が安定したかどうかを判断し（Ｓー５）、安定すると
そのＶｆを比較計算部２３に与えてこれを記憶させ、こ
れに対応した温度としてＴｐ付与部分２６ｄがそのとき
のＴｐを比較計算部２３に与える。これにより、１番目
のキャリブレーションが終了し、Ｔｐ付与部分２６ｄが
Ｔｓ付与部分２６ａに終了信号を送り、２６ａは２番目
の温度を設定器２５に送り、以下同様の測定が行われ、
５段階の温度についてＶｆと予備運転ではジャンクショ
ン温度に相当するＴｐとの対応が測定される。

【００３１】なお、温度安定時にはＴｐはＴｓとほぼ同
じ値になるから、Ｔｐ付与部分２６ｄを設けず、Ｔｓ付
与部分２６ａ又は設定部２５により、Ｖｆに対応したジ
ャンクション温度としてＴｓを比較計算部２３に送るよ
うにしてもよい。

【００３２】バーンイン本試験は次のように行われる。
予備運転のときと同様に、センサ用ＩＣ６１〜６５を装
着したバーンインボード８（８１）を含むバーンインボ
ードが装着される。設定器２５では、ジャンクション温
度Ｔｊｓとして例えば２００°Ｃが設定される。センサ
用ＩＣ６１〜６５を含む全てのＩＣ６には例えば５Ｖ程
度の動作用の電圧が印加されると共に、センサ用ＩＣ６
１〜６５には例えば１０μＡ程度の微小定電流が流さ
れ、ジャンクション電圧Ｖｆの検出が可能な状態にされ
る。そして、図示しないバーンイン試験のスタートボタ
ンが押されると、機器類や制御装置が作動して、バーン
イン試験が開始される。

【００３３】それぞれのセンサ用ＩＣ６１〜６５では、
ボード９１を介してそれぞれのジャンクション電圧降下
Ｖｆｐが検出され、これが比較計算部２３に送られる。
比較計算部２３では、予備運転等で記憶されているＶｆ
とＴｊとの関係から、前記Ｖｆｐがジャンクション温度
実測値Ｔｊｐに換算され、更に、それぞれのＴｊｐが設
定温度Ｔｊｓ（前例では２００°Ｃ）と比較される。こ
の場合、上記のように段階的に測定された予備運転デー
タを用いるときには、各段階の中間は、比例部分の計算
で算出されてもよいし、予め直線等で補完した曲線を作
成しておき、これを読み取らせるようにしてもよい。

【００３４】ＩＣが動作状態にされ、その電力消費によ
って温度上昇すると、これが不良品でなく正常に動作し
ているときには、環境温度プラス温度上昇によってＴｊ
ｐが２００°Ｃ程度になる。従って、検出したＴｊｐの
うち例えば１５０°Ｃ〜２３０°Ｃ程度の範囲を超える
ものがあれば、不良品と見做してこれを除外し、他の検
出値の平均値を切換部２４に送る。全てのＴｊｐが上記
範囲にない場合には、切換部２４に異常信号を送る。な
お、スタート直後には恒温槽内が低温であるためＴｊｐ
が異常に低くなるので、スタートから一定時間までは吹
出口温度による制御を用いたり、切換部２４に送る異常
信号を留保する等の適当な措置がとられる。

【００３５】切換部２４が正常範囲のＴｊｐの平均値を
受信すると、この信号が制御部２１に送られる。制御部
２１は、Ｔｊｐの平均値等を受信すると、これが設定器
２５で設定した設定値Ｔｊｓになるように、両者の値の
偏差に対応した出力を加熱器３に与え、加熱器３の加熱
量を制御することによって試験室に送られる空気温度が
制御し、その結果、発熱によって更に上昇するジャンク
ション温度が設定値になるように制御する。このような
制御によれば、吹出口とは異なった温度になるジャンク
ション温度を精度良く且つ簡単に検出し、精度良く制御
することができる。

【００３６】切換部２４が異常信号を受信すると、この
信号が安全制御部２２に送られる。これにより、安全制
御部２２は、温度センサ１０の実測値Ｔｐを入力し、こ
れが設定器２５で設定された設定値Ｔｓとして例えば１
００°Ｃになるように加熱器３の出力を制御する。この
制御により、試験されるＩＣ６がセンサ用のＩＣ６１〜
６５のように不良品でない場合には、それらのジャンク
ション温度は２００°Ｃ程度になり、ＩＣの安全性が確
保されると共に、一応ＩＣの試験の続行も可能になる。

【００３７】所定時間ＩＣのジャンクション温度を目的
とする温度に曝して、試験されるＩＣのデータを測定
し、良品／不良品のスクリーニングができると、バーン
イン試験は終了する。このように本発明の恒温槽によれ
ば、安全に精度良く、且つ試験を中断することなく自動
的にバーンイン試験を完了させることができる。なお以
上では、環境試験装置が恒温槽である場合について説明
したが、本発明は、温度制御に加えて湿度制御機能を備
えたような他の環境試験装置にも適用できるものであ
る。

【００３８】

【発明の効果】以上の如く本発明によれば、請求項１の
発明においては、被試験物の温度を温度検出手段で検出
して制御部でこの温度が目的とする所定値になるように
制御するので、被試験物自体の温度を直接検出して精度
良く制御することができる。しかし、環境試験装置が発
熱する被試験物を対象とし、このような被試験物が不良
品等で発熱が異常であったり、温度検出手段が故障する
こともあり、このような場合にも常に被試験物温度の検
出による制御を行うと、制御が暴走することになる。こ
のため、請求項１の発明では更に、安全制御部と比較部
と切換部とを設け、検出温度を正常時の温度と比較し、
異常な温度である場合には、切換部によって制御部によ
る制御から安全制御部による制御に切り換えるので、制
御の暴走が防止され、装置や被試験物の安全性が確保さ
れる。

【００３９】請求項２の発明においては、被試験物が多
数の半導体デバイスである場合に、温度検出手段とし
て、半導体デバイスの中の特定のものを定め、その順方
向の電圧を検出できる端子に接続された電圧検出手段を
設けるので、半導体デバイスのジャンクション温度と順
方向電圧との一定の関係を利用して、本来管理されるべ
きジャンクション温度を、直接的に容易且つ正確に検出
することができる。

【００４０】請求項３の発明においては、予備運転制御
手段を設けるので、前記順方向の電圧と半導体デバイス
のジャンクション温度との対応を求めるキャリブレーシ
ョンのための予備運転を自動的に行うことができる。そ
の結果、時間がかかり測定項目や判断事項もある煩雑な
運転を人が行う必要がなくなり、省力化が図られると共
に、キャリブレーション精度を向上させることができ
る。

【００４１】請求項４の発明においては、安全制御部を
空気温度制御部とし、試験室内に送る空気温度を検出し
てこの温度が所定温度になるように制御するので、上記
特定の検出用半導体デバイスが不良品等である場合に
も、その温度検出による制御から吹出口温度制御に切り
換えることにより、バーンイン試験を完了させることが
でき、試験の能率を低下させることがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した環境試験装置の一例である恒
温槽の全体構成を示す説明図である。

【図２】上記恒温槽でセンサ用ＩＣのキャリブレーショ
ンを行うための予備運転の工程を示すフローチャートで
ある。

【図３】予備運転制御部に関連する部分の構成例を示す
ブロック図である。

【符号の説明】

５ 試験室 ６ 半導体デバイス（被試験物） １０ 温度センサ（空気温度検出手段） ２１ 制御部 ２２ 安全制御部 ２３ 比較計算部（比較部） ２４ 切換部 ２６ 予備運転制御部（予備運転制御手段） ６１〜６５ ジャンクション温度検出用（センサ用）Ｉ
Ｃ（温度検出手段） ７１〜７５ センサ用ＩＣソケット（温度検出手段） ９１ ジャンクション電圧降下測定ボード（温度
検出手段）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被試験物が入れられる試験室内に送る空
   気温度を制御できる環境試験装置において、 前記被試験物の温度を検出する温度検出手段と、該温度
   検出手段で検出した検出温度が所定値になるように前記
   空気温度を制御する制御部と、前記被試験物にとって安
   全な温度環境になるように前記空気温度を制御する安全
   制御部と、前記検出温度を該検出温度が正常であると想
   定されるときの想定温度と比較する比較部と、前記検出
   温度と前記想定温度との相違が所定量より大きくなると
   前記検出温度による制御から前記安全制御部を使用する
   制御に切り換える切換部と、を有することを特徴とする
   環境試験装置。
2. 【請求項２】 前記被試験物は多数の半導体デバイスで
   あり、前記温度検出手段は前記半導体デバイスの中の特
   定のものと該特定のものの順方向の電圧を検出できる端
   子に接続された電圧検出手段とを有することを特徴とす
   る請求項１に記載の環境試験装置。
3. 【請求項３】 前記試験室内を順次異なった複数の設定
   温度になるように制御し、それぞれの設定温度になると
   前記電圧検出手段で前記順方向の電圧を検出し、検出し
   た電圧と前記試験室内の温度との対応を前記比較部に入
   力させるように制御する予備運転制御手段を有すること
   を特徴とする請求項２に記載の環境試験装置。
4. 【請求項４】 前記安全制御部は、前記空気温度を検出
   する空気温度検出手段と、該空気温度検出手段で検出し
   た温度が所定温度になるように制御する空気温度制御部
   とを有することを特徴とする請求項２に記載の環境試験
   装置。