KR200194289Y1 - 반도체 칩 검사 장비에서의 번-인 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 칩 검사 장비인 번-인 시스템에 관한 것으로서, 특히 정밀한 번-인 검사 시간의 설정이 가능한 번-인 시스템에 관한 것이다.
본 고안의 목적은 번-인 시스템에서 타이머의 작동 개시 시점이 번-인 챔버의 온도가 설정치로 되었을 때 발생되도록 한 것으로서, 이러한 목적은 반도체 칩 검사 온도, 시간 등 검사 조건을 입력하는 본체(10)와, 이 본체(10)에 연결된 스타트 스위치(11)와, 검사 시간을 카운트하는 타이머(3)와, 타이머(13)와 연결되고 일정 온도가 유지되는 번-인 챔버(14)와, 번-인 챔버의 온도가 일정하게 유지되는지의 여부를 감지하는 온도 센서부(15)와, 온도 센서부(15)와 스타트 스위치(11)로 부터의 출력 신호를 받아 타이머(13)를 작동시키는 타이머 신호 발생 수단(12)을 구비함으로서 달성된다.
Description
제1도는 종래의 기술에 따른 칩 반도체 칩 검사 장비인 번-인(BURN-IN) 시스템의 구성도.
제2도는 제1도의 번-인 시스템에서 번-인 챔버의 온도 상승 곡선을 나타낸 그래프.
제3도는 본 고안에 따른 번-인 시스템의 구성도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 본체 11 : 스타트 스위치
12 : AND 게이트 13 : 타이머
14 : 번-인 챔버 15 : 온도 센서부
본 고안은 반도체 칩 검사 장비인 번-인 시스템에 관한 것으로서, 특히 정밀한 번-인 검사 시간의 설정이 가능한 번-인 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 완성된 반도체 칩은 출하하기 전에 반드시 내열 시험을 거친다. 이러한 내열 시험은 번-인(BURN-IN) 시스템에서 행해지는데, 이 시스템은 번-인 챔버를 구비하고 있다. 검사 방법은 검사할 반도체 칩을 번-인 챔버에 넣고 일정한 온도로 유지하면서 일정한 시간 경과후 반도체 칩을 검사함으로서 내열 시험을 마친다.
번-인 시스템은 검사할 반도체 칩을 장진한 후 비교적 긴 시간, 가령 48시간 동안 고온(예, 섭씨 120도)에서 검사를 한다. 그리고 번-인 시스템의 챔버를 일정한 고온 상태로 가열시키는 데 상당한 시간이 소요되는데 보통 40분 이상이 소요된다.
종래의 번-인 시스템은 일정한 고열 상태로 가열시키는데 소요되는 시간도 검사시간에 포함하고 있다. 그러나 반도체 칩의 정확한 내열 시험을 위해서는 일정 온도와 일정 시간을 유지한 상태에서 행하는 것이 가장 바람직하다.
제1도는 종래의 기술에 따른 번-인 시스템의 구조를 도시하고 있다. 도시된 바와같이 이 시스템은 검사 온도, 시간 등 검사 조건을 입력하는 본체(1)와, 이 본체(1)의 연결된 스타트 스위치(2)와, 스타트 스위치(2)와 연결되고 검사 시간을 카운트하는 타이머(3)와, 타이머(3)와 연결되고 일정 온도가 유지되는 번-인 챔버(4)와, 번-인 챔버의 온도가 일정하게 유지되는지의 여부를 감지하는 온도 센서부(5)로 구성된다.
이 시스템의 동작은 다음과 같이 행해진다.
먼저 번-인 챔버(4)에 검사할 반도체 칩을 넣고 본체에서 검사 조건, 가령 검사 온도, 검사 시간을 설정한다. 그리고 스타트 스위치(2)를 온 상태로 하면 타이머(3)의 계수가 개시되고 동시에 챔버의 온도가 상승한다. 온도 센서부(5)는 챔버의 온도를 감지하여 만일 온도가 하강하였으면 히터(도시하지 않음)를 가동시켜 설정 온도로 높이고, 반대로 온도가 설정치 이상이 되면 히터의 가동을 중지시킨다.
여기서 타이머의 작동 개시는 스타트 스위치(2)가 온으로 되는 시점이다. 그러나 챔버가 가열되어 일정 온도로 되었을 때부터 반도체 칩의 실제 내열검사가 행해지는 것이다.
제2도는 종래의 번-인 시스템에서 스위치를 온 했을 때 온도 상태를 도시한 그래프이다. 이 그래프에서 알 수 있는 바와 같이 챔버의 온도가 일정하게 되는 시점은 스위치 온 후 약 45분이 경과한 후 부터이다.
따라서 반도체 칩의 정확한 검사 시간을 위해서는 타이머의 작동 개시 시점이 번-인 챔버의 온도가 설정 온도로 일정하게 유지되는 시점이어야한다. 이 경우 타이머는 스위치를 온 했을 때부터 45분 경과후부터 작동이 개시되어야 한다. 그러나 종래에는 번-인 챔버의 온도가 일정하게 되는 순간부터 작동이 개시되는 타이머가 없다.
또 온도를 소정온도까지 증가시키는데 소요되는 시간이 일정하지아니하므로 내열검사시간을 45분 더 길게 미리 설정할수도 없다.
본 고안은 종래의 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서 그 목적은 번-인 시스템에서 타이머의 작동 개시 시점이 번-인 챔버의 온도가 설정치로 되었을 때 발생되도록 한 것이다. 이러한 목적은, 번-인 시스템이 검사 온도, 시간 등 검사 조건을 입력하는 본체(10)와, 이 본체(10)에 연결된 스타트 스위치(11)와, 검사 시간을 카운트하는 타이머(3)와, 타이머(13)와 연결되고 일정 온도가 유지되는 번-인 챔버(14)와, 번-인 챔버의 온도가 일정하게 유지되는지의 여부를 감지하는 온도 센서부(15)와, 온도 센서부(15)와 스타트 스위치(11)로 부터의 출력 신호를 받아 타이머(13)를 작동시키는 타이머 신호 발생 수단(12)으로 구성된다.
제2도는 본 고안에 따른 번-인 시스템으로서, 이 시스템의 동작을 이하에서 상술한다.
첫번째로 번-인 챔버(14)에 검사할 반도체 칩을 넣고 본체(10)를 통해 반도체 칩의 검사 조건, 가령 검사 온도, 검사 시간을 설정한다. 그리고 스타트 스위치(2)를 온 상태로 하면 번-인 챔버의 온도가 상승한다. 온도 센서부(15)는 번-인 챔버(14)의 온도를 감지하여 본체(1)에서 설정한 온도까지 도달하면 출력 신호를 발생한다. 이 출력 신호는 AND 게이트(12)에 입력 되며, 여기서 스타트 스위치(11)로 부터의 출력 신호와 논리 곱을 그 결과치를 타이머(13)에 인가한다. 타이머(13)는 AND 게이트(13)의 출력 신호에 따라 작동한다. 따라서 타이머(13)의 작동 개시 시점은 반드시 번-인 챔버(14)의 온도가 설정 온도에 도달했을 때이다.
이상 설명한바와 같이 본 고안에 따른 번-인 시스템은 반도체 칩의 검사 시간을 정확하게 설정할 수 있어서 시스템의 성능 향상을 기대할수 있다.
Claims (1)
- 반도체 칩의 검사 조건을 입력하는 본체(10)와, 상기 본체(10)에 연결된 스타트 스위치(11)와, 반도체 칩 검사시간을 카운트하는 타이머(13)와, 상기 타이머(13)와 연결되고 상기 본체(10)에서 설정한 온도로 유지되는 번-인 챔버(14)와, 상기 번-인 챔버(14)의 온도가 설정 온도로 유지되는 지의 여부를 감지하는 온도 센서부(15)를 구비하여 반도체 칩의 내열 검사를 실시하는 번-인 시스템에 있어서, 상기 온도 센서부(15)의 출력신호와 상기 스타트 스위치(11)로 부터의 출력신호를 입력받아 논리곱 연산하여 타이머(13)의 작동신호를 발생하는 AND 게이트(12)를 상기 타이머(13)의 입력단에 연결 구성한 것을 특징으로 하는 반도체 칩 검사 장비의 번-인 시스템.
Priority Applications (1)
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| KR2019940006513U KR200194289Y1 (ko) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 반도체 칩 검사 장비에서의 번-인 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR2019940006513U KR200194289Y1 (ko) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 반도체 칩 검사 장비에서의 번-인 시스템 |
Publications (2)
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| KR950028687U KR950028687U (ko) | 1995-10-20 |
| KR200194289Y1 true KR200194289Y1 (ko) | 2000-12-01 |
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| KR2019940006513U KR200194289Y1 (ko) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 반도체 칩 검사 장비에서의 번-인 시스템 |
Country Status (1)
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|---|---|---|---|---|
| KR100393973B1 (ko) * | 2001-03-29 | 2003-08-06 | 주식회사 하이닉스반도체 | 번인 테스트 모드 회로 |
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1994
- 1994-03-30 KR KR2019940006513U patent/KR200194289Y1/ko not_active IP Right Cessation
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|---|---|
| KR950028687U (ko) | 1995-10-20 |
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