JPH0439584Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この考案は、電子部品、特に半導体集積回路
（以下、デバイスという。）の製造工程にて用いら
れるバーンイン装置に関するものであり、特にバ
ーンイン装置のバイアス切断を自動化した技術に
関するものである。

＜従来の技術＞ 電子部品、特にデバイスの製造工程において
は、市場へ出荷された後の製品の信頼性向上のた
めに、品質を一定に揃えるためのスクリーニング
や、初期不良を減らすための加速試験などが行わ
れている。このような工程の１つとしてバーンイ
ン工程がある。

この工程においては、あらかじめ定められた諸
条件を満足するために、所定時間（たとえば24^H，
48^H等）にわたつて恒温槽内を所定温度（たとえ
ば125℃）に保持し、かつ電気的駆動条件を満た
さなければならない。

このための従来のバーンイン装置は、デバイス
を高温に保持する恒温槽、電圧を印加する各種電
源、クロツクを発生するクロツク回路、入力ドラ
イバ回路、デバイスの動作状態を検出するセンス
回路及び装置全体の制御回路などから構成されて
いる。

このようなバーンイン装置の動作に即して、バ
ーンイン工程を説明する。

まずデバイスをソケツトにより実装したそれぞ
れのデバイス専用のバーンインボードを恒温槽内
に搬入・装着する。電圧クロツク等を決めるプロ
グラム及びバーンイン温度等を所定の条件に設定
し、タイマのスイツチを入れバーンインを開始す
る。

設定時間が経過するとタイマが作動して、ヒー
タのスイツチが切れる。

バーンイン効果をより高めるための条件として
は、恒温槽内の温度が高温から常温近く（40〜50
℃）に降下するまでの間、電気的駆動条件を印加
させ続けることが必要である。そのため恒温槽内
の温度が所定の温度以下に降下した後、バイアス
電源を切り、デバイスを恒温槽より搬出してい
た。

＜考案が解決しようとする問題点＞ 上記の恒温槽内の温度が所定の温度以下に降下
したか否かの判断は、作業者が温度表示器又は作
業者自身の感覚で行つていた。

それゆえ、恒温槽内の温度が降下する度合が外
部温度によつて違い、また作業者により感覚の差
があるために、バイアス電源OFF時の恒温槽内
の温度がバーンイン実施ごとに必ずしも一定して
いなかつた。このため厳密なバーンイン条件を実
行することが困難であり、バーンインそのものの
効果が薄れることさえあつた。

また作業者はヒータが切れて後に、恒温槽内の
温度の所定温度への下降時をのがさないために、
該温度が所定温度に下降するまでの間時々恒温槽
内温度をチエツクする必要があつた。

さらに装置がまだ熱いうちに手でさわつたり、
人体の露出している部分が触れたために火傷を負
つたりする不慮の事故が発生する危険性があつ
た。

この考案はこれらの問題点に鑑み、簡単に正確
なバーンイン条件を実行できると共に、作業者が
安心して使用できる信頼性・安全性が高いバーン
イン装置を提供することを目的とする。

＜問題点を解決するための手段＞ この考案は上記の問題点を解決するためにつま
り上記目的を達成するため、被試験物が装着され
る恒温槽を加熱して指定温度に保持しかつ設定時
間経過後にタイマにより停止されるヒータと、恒
温槽に装着された被試験物に電気的駆動条件を印
加する手段とを備えたバーンイン装置において、
恒温槽内の温度が設定温度に至つたことを検出す
る温度検出器と、この温度検出器からの検出信号
がヒータ停止後に出力されると被試験物への電気
的駆動条件の印加を停止する制御部とを備えたも
のである。

＜作用＞ 被試験物を恒温槽内に装着する。そしてヒータ
の作動時間をタイマに設定し、恒温槽内を保持す
べき温度を指定し、被試験物への電気的駆動すべ
き温度を設定する。そのうえで電気的駆動条件の
印加及びヒータの作動を開始する。被試験物は指
定温度に保持されると共に、電気的駆動条件が印
加される。

設定時間経過後にタイマが作動して、ヒータの
作動を停止する。このために恒温槽内の温度は序
序に下降していき、ついには設定温度に至る。温
度検出器はこれを検出し、制御部に検出信号を出
力する。この検出信号により制御部は、被試験物
への電気的駆動条件の印加を停止する。

以上の作用によりバーンイン装置の操作を自動
化ならしめている。

＜実施例＞ 第１図ａ，ｂはこの考案の一実施例のバーンイ
ン装置の概略を示す。この実施例は従来のバーン
イン装置を改良して、この考案に適用した構成例
である。

第１図ａにおいて、１は恒温槽、２はバイアス
印加用電源、３はバーンイン条件設定部及びバー
ンイン装置制御部、４は電源スイツチ、５はヒー
タスイツチである。６はヒータ制御用温度検出
器、７はバイアスOFF用温度検出器であり、こ
れらの温度検出器は温度設定部、比較部、温度表
示部及び後述する温度検出部からなり、温度検出
部により検出した恒温槽１内の温度と設定温度と
を比較して、その結果をバーンイン装置制御部３
に出力するものである。

第１図ｂにおいて、８は外部と恒温槽１内の空
気循環を行うフアン、９はヒータである。１０
は、デバイスがソケツトにより実装されるバーン
インボードで収納ラツク１１に装着されるもので
ある。１２は、フアン８による空気流を示す矢印
である。６ａは、ヒータ制御用温度検出器６の温
度検出部であり、フアン８の入口側に付設されて
いる。７ａは、バイアスOFF用温度検出器７の
温度検出部であり、フアン８の出口側に付設され
ている。バイアスOFF用温度検出器７はこの考
案において新規に付加したものであるが、温度検
出部７ａは他の温度検出器たとえばヒータ制御用
温度検出器６ないし保安装置用温度検出器等の温
度検出部と兼ねることができるので、この考案を
従来の装置に適用する場合でも新たに付設しなく
ともよい。この実施例においては、この温度検出
部７ａは温度記録計の温度検出部と兼用になつて
いる。

この装置の動作を第２図を用いて説明する。

第２図は第１図ａ，ｂのバーンイン装置の恒温
槽１内の温度変化を示す図で、縦軸は温度、横軸
は時間を示す。

まずデバイスをソケツトによりバーンインボー
ド１０に実装し、このバーンインボード１０を収
納ラツク１１に装着する。そして電源スイツチ４
及びヒータスイツチ５をONする。ただしこの時
点ではヒータ９はONしない。次にバイアス印加
用電源２のバイアススイツチをONする（第２図
中Ａ）。それからバーンイン条件設定部３にバイ
アス印加条件及びタイマ作動時間等を設定し、温
度検出部６，７にそれぞれバーンイン温度（恒温
槽１内の温度が保持されるべき温度）及びバイア
スOFF温度（25〜40℃程度）を設定する。そし
て装着されたデバイスにおける不良デバイスの有
無の確認（これを行うにはバイアス印加が不可
欠）及びバイアス印加条件が実行されていること
の確認等を行つたうえで、タイマをONして（同
図中Ｂ）ヒータ９をONする。

ヒータ９の加熱により恒温槽１内の温度が上昇
し、バイアスOFF温度に至る（同図中Ｃ）。温度
検出器７はこれを検出して検出信号を制御部３に
送出するが、タイマが作動中であるので制御部３
はバイアス印加を続行させる。

恒温槽１内の温度はさらに上昇し、バーンイン
温度に至る（同図中Ｄ）。温度検出器６はこれを
検出して検出信号を制御部３に送出する。制御部
３はこの検出信号をもとにヒータ９をフイードバ
ツク制御し、恒温槽１内の温度をバーンイン温度
に保持せしめる。

タイマの設定時間が経過すると（同図中Ｅ）タ
イマがOFFして、ヒータ９がOFFされる。制御
部３はこれを検知して、フアン８を始動する。フ
アン９の作動による外部との空気循環（第１図ｂ
中矢印１２で示す）により、恒温槽１内の温度が
下降し始める。

この温度がバイアスOFF温度に至ると（第２
図中Ｆ）、これを温度検出器７が検出し検出信号
を制御部３に送出する。制御部３は、タイマ９の
OFF後にこの検出信号が送出されたことを判断
して、バイアス印加を停止する。なおバイアスス
イツチON後はバイアス印加は制御部３の制御下
に入るので、バーンイン途中で誤つてバイアスス
イツチがOFFされてもバイアス印加がOFFされ
ることはない。

＜考案の効果＞ この考案は以上説明したように、ヒーターの停
止と同時に始動するフアンにより被試験物を冷却
するとともに、恒温槽内の温度が設定温度に下つ
たことを検出する温度検出器からの検出信号によ
り被試験物への電気的駆動条件の印加を停止する
ようにしたので、恒温槽内の温度を測定すること
により被試験物の温度を推定することができ、正
確なバーンインを実行できるものである。

またバーンイン終了を自動化できたので、恒温
槽内の温度を度々チエツクするという作業を省略
できる。

さらに内部が高温状態の作動中のバーンイン装
置を操作する必要がないので、安全性が大幅に向
上した。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂはこの考案の一実施例のバーンイ
ン装置を示し、第１図ａはバーンイン装置の正面
図、第１図ｂは恒温槽内の説明図である。第２図
は第１図ａ，ｂのバーンイン装置の恒温槽内の温
度変化を示す図である。 １……恒温槽、２……デバイス印加用電源、３
……バーンイン条件設定部及びバーンイン装置制
御部、４……電源スイツチ、５……ヒータスイツ
チ、６……ヒータ制御用温度検出器、６ａ……温
度検出部、７……バイアスOFF用温度検出器、
７ａ……温度検出部、８……フアン、９……ヒー
タ、１０……バーンインボード、１１……収納ラ
ツク、１２……フアン８による空気流を示す矢
印、Ａ……バイアス印加ON時、Ｂ……ヒータ
ON時、Ｅ……ヒータOFF時、Ｆ……バイアス印
加OFF時。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被試験物が装着される恒温槽と、該恒温槽内を
   加熱して指定温度に保持するヒーターと、該ヒー
   ターの設定時間経過後に該ヒーターを停止させる
   タイマーと、該タイマーによるヒーターの停止と
   同時に始動するフアンと、前記恒温槽に装着され
   た被試験物に電気的駆動条件を印加する手段と、
   前記恒温槽内の温度が設定温度に下つたことを検
   出する温度検出器と、この温度検出器からの検出
   信号がヒーター停止後に出力されると被試験物へ
   の電気的駆動条件の印加を停止する制御部とを備
   えたことを特徴とするバーンイン装置。