JPWO2007000867A1 - 酸化ガリウム−酸化亜鉛系スパッタリングターゲット、透明導電膜の形成方法及び透明導電膜 - Google Patents
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Abstract
Description
このようなことから、ITOの代替品としてGZO膜を用いる提案がなされている。このGZOは酸化ガリウム(Ga2O3)−酸化亜鉛(ZnO)を主成分とする酸化亜鉛系の膜であるため価格が安いという利点がある。GZO 膜は、主成分であるZnOの酸素欠損により導電性が増す現象であることが知られており、導電性と光透過性という膜特性がITOに近似すれば、利用が増大する可能性がある。
スパッタリング法による膜の形成は、陰極に設置したターゲットにArイオンなどの正イオンを物理的に衝突させ、その衝突エネルギーでターゲットを構成する材料を放出させて、対面している陽極側の基板にターゲット材料とほぼ同組成の膜を積層することによって行われる。
そして、このスパッタリング法による被覆法は、処理時間や供給電力等を調節することによって、安定した成膜速度でオングストローム単位の薄い膜から数十μmの厚い膜まで形成できるという特徴を有している。
例えば、特許文献1には、その一部に、異常放電の発生がなく、安定性のある薄膜が形成できるとする酸化亜鉛系焼結体ターゲットとして、その一部のターゲット材料にGa2O3−ZnOターゲット焼結体があり、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化インジウム、酸化錫を選択的に1〜5重量%添加した酸化亜鉛を主成分とするターゲットが提案されている。
特許文献2には、異常放電の発生がなく、安定性のある薄膜が形成できるとするGZO焼結体スパッタリングターゲットとして、酸化亜鉛と酸化ガリウムの粉末の粒径を1μm以下の微細にし、焼結温度を1300〜1550°Cに調整し、酸素を導入しながら焼結して密度を向上させるという技術が提案されている。
特許文献4には、酸化亜鉛が水分と反応して電気的特性、光学特性が変化するのを防止するために、水素ガスと不活性ガスからなる雰囲気でスパッタリングする技術が提案されている。
したがって、基板上に導電膜を形成するに際しては、スパッタリングターゲット上に発生したノジュールを定期的に除去することが必要となり、これが著しく生産性を低下させるという問題となるので、ノジュールの発生の少なく、異常放電現象が生じないターゲットが求められている。
特に、最近はディスプレイ大型化の傾向にあり、大面積への成膜が要求されることから、安定した成膜ができるターゲットが、特に要求されている。
これらはいずれも、焼結体の密度を上げ、焼結体中の空孔を少なくすることにより異常放電を防止しようとするものである。しかし、このような添加材によっても、焼結密度が十分に上がらず、またバルク(体積)抵抗値が高いという問題を有している。
また、ターゲットの製造工程の改善もあるが、製造工程を複雑にすることはコスト高の要因となり、さらに焼結方法又は装置を改良して密度を上昇させようとする場合には、設備を大型にする必要があるという問題があり、工業的に効率の良い方法とは言えない。
1)酸化アルミニウムを20〜500massppm含有することを特徴とする高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット
2)酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有することを特徴とする上記1)記載の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット
3)焼結密度が5.55g/cm3以上であることを特徴とする上記1)又は2)記載の高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット
4)ターゲットのバルク抵抗値が3.0mΩ・cm以下であることを特徴とする上記1)〜3)のいずれかに記載の高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット
5)酸化アルミニウムを20〜500massppm含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛系ターゲットを用いてスパッタリング法により基板上に酸化アルミニウムを20〜500massppm含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛からなる薄膜を形成することを特徴とする透明導電膜の形成方法
6)透明導電膜中に、酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有することを特徴とする上記5)記載の透明導電膜の形成方法
7)スパッタリングにより基板上に形成された酸化アルミニウムを20〜500massppm含有することを特徴とする酸化ガリウム−酸化亜鉛系からなる導電性に優れた透明導電膜
8)透明導電膜中に、酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有することを特徴とする上記5)記載の導電性に優れた透明導電膜
、を提供する。
さらに、同ターゲットを用いて透過率が高く抵抗値が低い透明導電膜を形成することができ、それによって形成された透明導電膜を提供することができるという著しい効果を有する。
透明導電膜の面積導電率は、導電率(比抵抗の逆数)と膜厚の積で表現され、この導電率σ(Ω−1・cm−1)は膜に含まれるキャリヤ(正孔又は電子)の持つ電荷e(クーロン)とキャリヤ移動度μ(cm2/V・sec)及びキャリヤ濃度n(cm-3)の積で表される(σ(Ω−1・cm−1)=e・μ・n)。
したがって、透明導電膜の導電率を向上させ、比抵抗(抵抗率とも云う)と面積抵抗とを低下させるためには、キャリヤ移動度μ(cm2/V・sec)及びキャリヤ濃度n(cm−3)のいずれか一方又は双方を増大させればよい。
本願発明の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットは、このような膜特性をもつ透明導電膜形成用のターゲットとして優れたものである。酸化ガリウム量としては0.1〜10mass%の範囲に含有することが望ましい。より好ましい範囲は、2〜7mass%である。
一方、ターゲットのバルク抵抗値は、透明導電膜の低効率に直接反映されるので、バルク抵抗値の増加を極力抑制しなければならない。
本願発明の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットにおける高密度化が達成できるドーパントとして、酸化アルミニウム(Al2O3)20〜500massppmが極めて有効であることが分かった。また、この酸化アルミニウムはGZOに固溶し、後述するようにバルク抵抗値を低く維持することができるという特性を有するものである。この酸化アルミニウムの添加は、本発明の最も重要な点である。
また、本願発明の高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットの焼結密度は焼結条件を適宜選択することにより、5.55g/cm3以上、さらには5.6g/cm3以上を達成することが可能である。
ターゲットのバルク抵抗値は、透明導電膜の低効率に直接反映され、酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛系の導電性及び光透過性に優れた透明導電膜を得ることができる。
本発明のGZOターゲットの製造方法としては、特に制限されるものではなく、所定量(0.1〜10mass%)の酸化ガリウム(Ga2O3)の粉末と微量の酸化アルミニウム(Al2O3)20〜500massppm粉末及び残量酸化亜鉛(ZnO)粉末を準備する。
一般に、ターゲットの密度を向上させるためには、成形前の粉体が細かければ細かいほど良いと言える。通常、ジルコニアビーズやジルコニアライニングの容器を使用して粉砕する。この粉砕メディア自体は、特に汚染源(コンタミ源)とならない。これによって、粉砕のレベルを向上させ、従来に比べてさらに高純度でかつ高密度のスパッタリングターゲットを得ることができるという大きな利点がある。
なお、焼結条件は任意に変更することができ、また粉末の製造方法も上記以外にも変更可能であり、特に制限されるものではない。以上により、焼結密度5.55g/cm3以上、さらには5.6g/cm3以上を達成することができる。
この焼結体を研削、切断を行い、所定形状のスパッタリング用ターゲットに加工して、酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットを得る。
酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体ターゲットは導電性を有するので、DCスパッタで容易に成膜可能である。したがって、単純で信頼性が高く、最も安定したDCスパッタリング装置を用いて成膜するのが良い。DCスパッタリング条件の代表例を下記に示す。このスパッタリング条件も任意に変更できるものである。
スパッタガス : Ar:90〜100%、O2:10〜0%
スパッタガス圧 : 0.1〜5Pa
電力量 : 0.2〜6W/cm2
成膜速度 : 約100〜300Å/min
基板温度 : 室温〜300°C
ジルコニアメディアによる粉砕後の平均粒径が1μm以下のAl2O3粉をそれぞれ20 massppm(実施例1)、50 massppm(実施例2)、200 massppm(実施例3)、500 massppm(実施例4)に秤量するとともに、Ga2O3粉末:5mass%、残部酸化亜鉛(ZnO)となるようにそれぞれ秤量した後、これらをジルコニア(ZrO2)ボール又はビーズを粉砕メディアとして用い、アトライタで混合及び微粉砕を行い、メジアン径で0.8μmの混合粉体スラリーを得た。
このスラリーを造粒し、球状の造粒粉を得た。さらにこの造粒粉をプレス成型し、さらにCIP(等方冷間プレス)を行った。そしてこの成形体を酸素雰囲気中1500°Cの温度で4時間焼結を行い、焼結体を得た。この焼結体を研削、切断を行い、所定形状のスパッタリング用ターゲットに加工した。
なお、ターゲットに含有される酸化アルミニウム(Al2O3)は、ICP(誘導結合プラズマ法)でアルミニウムの量を測定し、ターゲット全体量に対してAl2O3換算量を求めたものである。ターゲット中に含有されるAl2O3量は焼結前の添加量にほぼ等しい量となっているのが分る。
ターゲット密度はアルキメデス法により測定した。また、バルク抵抗値は、鏡面研磨したターゲットのほぼ全域に亘る5箇所においてランダムに測定位置を定め、ターゲット切断面の表面から2mmの深さ位置で四深針法を用いて測定し、その平均値を採用した。
しかし、焼結温度が高温になると材料の蒸発(揮発)が起こり、ターゲットを構成する成分によって、蒸発量が異なるので組成変動を生ずる虞がある。特に、1400°C以上の温度では、ターゲット表面から酸化亜鉛の一部が蒸発するようになり、高温になるほどそれが顕著となる。組成変動が生じた層は切削により除去する必要があるが、高温での焼結により表面の組成ずれした層が増大すると、その切削量が増え、歩留まりが低下するという問題がでる。
高温焼結によるエネルギー損失もさることながら、この組成変動は極力抑制する必要がある。この意味からは、可能な限り1400°C以下又は、その近傍であることが望ましいと言える。
したがって、より低温での焼結が好ましいが、その場合は低密度化と高バルク抵抗化の方向へ向かうので、このバランスを調整し、要求されるターゲットの密度とバルク抵抗の条件に応じて、適宜選択するのが望ましいと言える。
すなわち、5.29〜5.47g/cm3の密度を備え、またバルク抵抗値は3.18〜12.0mΩ・cmとなり、好適な高密度及び低バルク抵抗値が得られているのが分る。
表2及び図2は1450°Cで焼結した場合であるが、酸化アルミニウムを20〜500massppm添加した本実施例の高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットは、Al2O3無添加(後述する比較例1)の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットに比べて密度が著しく改善されている。バルク抵抗値も改善されている。すなわち、5.48〜5.60g/cm3の密度を備え、またバルク抵抗値は2.60〜3.14mΩ・cmとなり、さらに好適な高密度及び低バルク抵抗値が得られているのが分る。
上記実施例から明らかなように、酸化アルミニウムの添加は、より低温での焼結、すなわち1400°C、1450°C及び1500°Cでは、いずれの場合も、無添加に比べ優れた高密度及び低バルク抵抗値を得ることができる。
スパッタガス : Ar(100%)
スパッタガス圧 : 0.6Pa
電力量 : 1500W
成膜速度 : 120Å/min
この結果、ノジュール被覆率は低く、スパッタリング5時間後のスパッタリングにおいて、異常放電の発生は殆んど観察されなかった。また、表1〜3に示すように、10時間後でも異常放電の発生回数は極めて少なかった。
また、上記成膜の比抵抗(Ω・cm)及び550nmでの透過率%の膜特性を調べたが、標準のITO膜と殆ど遜色なく、良好な可視光の透過率と高い導電性を示していた。上記実施例においては、Ga2O3 5mass%添加量の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットについて説明したが、酸化ガリウムを0.1〜10mass%の範囲であれば、同様の結果が得られる。
Al2O3粉無添加の場合(比較例1)及びジルコニアメディアによる粉砕後の平均粒径が1μm以下のAl2O3粉を1000 massppm(比較例2)、2000 massppm(比較例3)、5000 massppm(比較例2)に、それぞれ秤量するとともに、さらにGa2O3粉末を5 mass%に、残部酸化亜鉛(ZnO)となるように秤量した。
次に、ジルコニア(ZrO2)ボール(ビーズ)を粉砕メディアとして用い、これらをアトライタで混合・微粉砕を行って、メジアン径で0.8μmの混合粉体スラリーを得た。このスラリーを造粒し、球状の造粒粉を得た。
さらに、この造粒粉をプレス成型し、さらにCIP(等方冷間プレス)を行った。そしてこの成形体を大気中1400°C、1450°C、1500°Cの温度でそれぞれ5時間焼結を行い、焼結体を得た。これらの焼結体を研削、切断を行い、所定形状のスパッタリング用ターゲットに加工した。
表1及び図1に示すように、無添加の場合の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットである比較例1では、1400°Cで焼結した場合に、焼結密度は5.23g/cm3と低く、バルク抵抗値は2.09×105mΩ・cm(2.09E+05 mΩ・cm)となり異常に高くなった。
1450°Cで焼結した場合に、焼結密度は5.39g/cm3、バルク抵抗値は3.17mΩ・cmとなり、実施例の同焼結条件のターゲットと比較すると悪い値となっているのがわかる。
また、1500°Cで焼結した場合には、焼結密度は5.52g/cm3と、いずれの実施例よりも低く、またバルク抵抗値も3.00mΩ・cmと高くなった。
これらに示すように、より低温の焼結条件では、いずれの実施例よりも低高密度及び高バルク抵抗となり、酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットとして不適であるのが分る。
次に、実施例と同様の条件で、これらの焼結体ターゲットを用いてガラス基板にDCスパッタにより、次の条件で透明電極膜を形成した。
実施例と同様に、ノジュールの発生量(被覆率)はスパッタリング開始1時間後の表面観察により、異常放電は、スパッタリング5時間後の異常放電を測定した。この結果を表1に示す。
また、1450°C及び1500°Cで焼結したターゲットはDCスパッタできたが、ノジュールの被覆率及び異常放電回数が多く、不良であった。
一方、比較例2、比較例3、比較例4に示す、酸化アルミニウムを含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットでは、1450°Cで焼結した場合及び1500°Cで焼結した場合、いずれも本実施例に比較してノジュールの被覆率が高く、かつ異常放電回数が多くなり、不良であった。さらに、酸化アルミニウム5000 massppm含有ターゲットでは亀裂の発生も観察された。
しかし、酸化アルミニウム添加量20massppm未満ではその効果がなく、また酸化ジルコニウム500massppmを超えるとバルク抵抗値が増加し、また焼結密度の向上も見られなくなり、さらに割れが発生するという問題があるので、酸化ジルコニウムの添加量は20massppm〜500massppmの範囲とするのが適当である。
したがって、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ等の表示デバイスの透明電極(膜)又は太陽電池等の広範囲な用途に有用である。
このようなことから、ITOの代替品としてGZO膜を用いる提案がなされている。このGZOは酸化ガリウム(Ga2O3)−酸化亜鉛(ZnO)を主成分とする酸化亜鉛系の膜であるため価格が安いという利点がある。GZO 膜は、主成分であるZnOの酸素欠損により導電性が増す現象であることが知られており、導電性と光透過性という膜特性がITOに近似すれば、利用が増大する可能性がある。
スパッタリング法による膜の形成は、陰極に設置したターゲットにArイオンなどの正イオンを物理的に衝突させ、その衝突エネルギーでターゲットを構成する材料を放出させて、対面している陽極側の基板にターゲット材料とほぼ同組成の膜を積層することによって行われる。
そして、このスパッタリング法による被覆法は、処理時間や供給電力等を調節することによって、安定した成膜速度でオングストローム単位の薄い膜から数十μmの厚い膜まで形成できるという特徴を有している。
例えば、特許文献1には、その一部に、異常放電の発生がなく、安定性のある薄膜が形成できるとする酸化亜鉛系焼結体ターゲットとして、その一部のターゲット材料にGa2O3−ZnOターゲット焼結体があり、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化インジウム、酸化錫を選択的に1〜5重量%添加した酸化亜鉛を主成分とするターゲットが提案されている。
特許文献2には、異常放電の発生がなく、安定性のある薄膜が形成できるとするGZO焼結体スパッタリングターゲットとして、酸化亜鉛と酸化ガリウムの粉末の粒径を1μm以下の微細にし、焼結温度を1300〜1550°Cに調整し、酸素を導入しながら焼結して密度を向上させるという技術が提案されている。
特許文献4には、酸化亜鉛が水分と反応して電気的特性、光学特性が変化するのを防止するために、水素ガスと不活性ガスからなる雰囲気でスパッタリングする技術が提案されている。
したがって、基板上に導電膜を形成するに際しては、スパッタリングターゲット上に発生したノジュールを定期的に除去することが必要となり、これが著しく生産性を低下させるという問題となるので、ノジュールの発生の少なく、異常放電現象が生じないターゲットが求められている。
特に、最近はディスプレイ大型化の傾向にあり、大面積への成膜が要求されることから、安定した成膜ができるターゲットが、特に要求されている。
これらはいずれも、焼結体の密度を上げ、焼結体中の空孔を少なくすることにより異常放電を防止しようとするものである。しかし、このような添加材によっても、焼結密度が十分に上がらず、またバルク(体積)抵抗値が高いという問題を有している。
また、ターゲットの製造工程の改善もあるが、製造工程を複雑にすることはコスト高の要因となり、さらに焼結方法又は装置を改良して密度を上昇させようとする場合には、設備を大型にする必要があるという問題があり、工業的に効率の良い方法とは言えない。
1)酸化アルミニウムを20〜500massppm含有することを特徴とする高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット
2)酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有することを特徴とする上記1)記載の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット
3)焼結密度が5.55g/cm3以上であることを特徴とする上記1)又は2)記載の高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット
4)ターゲットのバルク抵抗値が3.0mΩ・cm以下であることを特徴とする上記1)〜3)のいずれかに記載の高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット
5)酸化アルミニウムを20〜500massppm含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛系ターゲットを用いてスパッタリング法により基板上に酸化アルミニウムを20〜500massppm含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛からなる薄膜を形成することを特徴とする透明導電膜の形成方法
6)透明導電膜中に、酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有することを特徴とする上記5)記載の透明導電膜の形成方法
7)スパッタリングにより基板上に形成された酸化アルミニウムを20〜500massppm含有することを特徴とする酸化ガリウム−酸化亜鉛系からなる導電性に優れた透明導電膜
8)透明導電膜中に、酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有することを特徴とする上記7)記載の導電性に優れた透明導電膜、を提供する。
さらに、同ターゲットを用いて透過率が高く抵抗値が低い透明導電膜を形成することができ、それによって形成された透明導電膜を提供することができるという著しい効果を有する。
透明導電膜の面積導電率は、導電率(比抵抗の逆数)と膜厚の積で表現され、この導電率σ(Ω−1・cm−1)は膜に含まれるキャリヤ(正孔又は電子)の持つ電荷e(クーロン)とキャリヤ移動度μ(cm2/V・sec)及びキャリヤ濃度n(cm-3)の積で表される(σ(Ω−1・cm−1)=e・μ・n)。
したがって、透明導電膜の導電率を向上させ、比抵抗(抵抗率とも云う)と面積抵抗とを低下させるためには、キャリヤ移動度μ(cm2/V・sec)及びキャリヤ濃度n(cm−3)のいずれか一方又は双方を増大させればよい。
本願発明の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットは、このような膜特性をもつ透明導電膜形成用のターゲットとして優れたものである。酸化ガリウム量としては0.1〜10mass%の範囲に含有することが望ましい。より好ましい範囲は、2〜7mass%である。
一方、ターゲットのバルク抵抗値は、透明導電膜の低効率に直接反映されるので、バルク抵抗値の増加を極力抑制しなければならない。
本願発明の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットにおける高密度化が達成できるドーパントとして、酸化アルミニウム(Al2O3)20〜500massppmが極めて有効であることが分かった。また、この酸化アルミニウムはGZOに固溶し、後述するようにバルク抵抗値を低く維持することができるという特性を有するものである。この酸化アルミニウムの添加は、本発明の最も重要な点である。
また、本願発明の高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットの焼結密度は焼結条件を適宜選択することにより、5.55g/cm3以上、さらには5.6g/cm3以上を達成することが可能である。
ターゲットのバルク抵抗値は、透明導電膜の低効率に直接反映され、酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛系の導電性及び光透過性に優れた透明導電膜を得ることができる。
本発明のGZOターゲットの製造方法としては、特に制限されるものではなく、所定量(0.1〜10mass%)の酸化ガリウム(Ga2O3)の粉末と微量の酸化アルミニウム(Al2O3)20〜500massppm粉末及び残量酸化亜鉛(ZnO)粉末を準備する。
一般に、ターゲットの密度を向上させるためには、成形前の粉体が細かければ細かいほど良いと言える。通常、ジルコニアビーズやジルコニアライニングの容器を使用して粉砕する。この粉砕メディア自体は、特に汚染源(コンタミ源)とならない。これによって、粉砕のレベルを向上させ、従来に比べてさらに高純度でかつ高密度のスパッタリングターゲットを得ることができるという大きな利点がある。
なお、焼結条件は任意に変更することができ、また粉末の製造方法も上記以外にも変更可能であり、特に制限されるものではない。以上により、焼結密度5.55g/cm3以上、さらには5.6g/cm3以上を達成することができる。
この焼結体を研削、切断を行い、所定形状のスパッタリング用ターゲットに加工して、酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットを得る。
酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体ターゲットは導電性を有するので、DCスパッタで容易に成膜可能である。したがって、単純で信頼性が高く、最も安定したDCスパッタリング装置を用いて成膜するのが良い。DCスパッタリング条件の代表例を下記に示す。このスパッタリング条件も任意に変更できるものである。
スパッタガス : Ar:90〜100%、O2:10〜0%
スパッタガス圧 : 0.1〜5Pa
電力量 : 0.2〜6W/cm2
成膜速度 : 約100〜300Å/min
基板温度 : 室温〜300°C
ジルコニアメディアによる粉砕後の平均粒径が1μm以下のAl2O3粉をそれぞれ20 massppm(実施例1)、50 massppm(実施例2)、200 massppm(実施例3)、500 massppm(実施例4)に秤量するとともに、Ga2O3粉末:5mass%、残部酸化亜鉛(ZnO)となるようにそれぞれ秤量した後、これらをジルコニア(ZrO2)ボール又はビーズを粉砕メディアとして用い、アトライタで混合及び微粉砕を行い、メジアン径で0.8μmの混合粉体スラリーを得た。
このスラリーを造粒し、球状の造粒粉を得た。さらにこの造粒粉をプレス成型し、さらにCIP(等方冷間プレス)を行った。そしてこの成形体を酸素雰囲気中1500°Cの温度で4時間焼結を行い、焼結体を得た。この焼結体を研削、切断を行い、所定形状のスパッタリング用ターゲットに加工した。
なお、ターゲットに含有される酸化アルミニウム(Al2O3)は、ICP(誘導結合プラズマ法)でアルミニウムの量を測定し、ターゲット全体量に対してAl2O3換算量を求めたものである。ターゲット中に含有されるAl2O3量は焼結前の添加量にほぼ等しい量となっているのが分る。
ターゲット密度はアルキメデス法により測定した。また、バルク抵抗値は、鏡面研磨したターゲットのほぼ全域に亘る5箇所においてランダムに測定位置を定め、ターゲット切断面の表面から2mmの深さ位置で四深針法を用いて測定し、その平均値を採用した。
しかし、焼結温度が高温になると材料の蒸発(揮発)が起こり、ターゲットを構成する成分によって、蒸発量が異なるので組成変動を生ずる虞がある。特に、1400°C以上の温度では、ターゲット表面から酸化亜鉛の一部が蒸発するようになり、高温になるほどそれが顕著となる。組成変動が生じた層は切削により除去する必要があるが、高温での焼結により表面の組成ずれした層が増大すると、その切削量が増え、歩留まりが低下するという問題がでる。
高温焼結によるエネルギー損失もさることながら、この組成変動は極力抑制する必要がある。この意味からは、可能な限り1400°C以下又は、その近傍であることが望ましいと言える。
したがって、より低温での焼結が好ましいが、その場合は低密度化と高バルク抵抗化の方向へ向かうので、このバランスを調整し、要求されるターゲットの密度とバルク抵抗の条件に応じて、適宜選択するのが望ましいと言える。
すなわち、5.29〜5.47g/cm3の密度を備え、またバルク抵抗値は3.18〜12.0mΩ・cmとなり、好適な高密度及び低バルク抵抗値が得られているのが分る。
表2及び図2は1450°Cで焼結した場合であるが、酸化アルミニウムを20〜500massppm添加した本実施例の高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットは、Al2O3無添加(後述する比較例1)の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットに比べて密度が著しく改善されている。バルク抵抗値も改善されている。すなわち、5.48〜5.60g/cm3の密度を備え、またバルク抵抗値は2.60〜3.14mΩ・cmとなり、さらに好適な高密度及び低バルク抵抗値が得られているのが分る。
上記実施例から明らかなように、酸化アルミニウムの添加は、より低温での焼結、すなわち1400°C、1450°C及び1500°Cでは、いずれの場合も、無添加に比べ優れた高密度及び低バルク抵抗値を得ることができる。
スパッタガス : Ar(100%)
スパッタガス圧 : 0.6Pa
電力量 : 1500W
成膜速度 : 120Å/min
この結果、ノジュール被覆率は低く、スパッタリング5時間後のスパッタリングにおいて、異常放電の発生は殆んど観察されなかった。また、表1〜3に示すように、10時間後でも異常放電の発生回数は極めて少なかった。
また、上記成膜の比抵抗(Ω・cm)及び550nmでの透過率%の膜特性を調べたが、標準のITO膜と殆ど遜色なく、良好な可視光の透過率と高い導電性を示していた。上記実施例においては、Ga2O3 5mass%添加量の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットについて説明したが、酸化ガリウムを0.1〜10mass%の範囲であれば、同様の結果が得られる。
Al2O3粉無添加の場合(比較例1)及びジルコニアメディアによる粉砕後の平均粒径が1μm以下のAl2O3粉を1000 massppm(比較例2)、2000 massppm(比較例3)、5000 massppm(比較例2)に、それぞれ秤量するとともに、さらにGa2O3粉末を5 mass%に、残部酸化亜鉛(ZnO)となるように秤量した。
次に、ジルコニア(ZrO2)ボール(ビーズ)を粉砕メディアとして用い、これらをアトライタで混合・微粉砕を行って、メジアン径で0.8μmの混合粉体スラリーを得た。このスラリーを造粒し、球状の造粒粉を得た。
さらに、この造粒粉をプレス成型し、さらにCIP(等方冷間プレス)を行った。そしてこの成形体を大気中1400°C、1450°C、1500°Cの温度でそれぞれ5時間焼結を行い、焼結体を得た。これらの焼結体を研削、切断を行い、所定形状のスパッタリング用ターゲットに加工した。
表1及び図1に示すように、無添加の場合の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットである比較例1では、1400°Cで焼結した場合に、焼結密度は5.23g/cm3と低く、バルク抵抗値は2.09×105mΩ・cm(2.09E+05 mΩ・cm)となり異常に高くなった。
1450°Cで焼結した場合に、焼結密度は5.39g/cm3、バルク抵抗値は3.17mΩ・cmとなり、実施例の同焼結条件のターゲットと比較すると悪い値となっているのがわかる。
また、1500°Cで焼結した場合には、焼結密度は5.52g/cm3と、いずれの実施例よりも低く、またバルク抵抗値も3.00mΩ・cmと高くなった。
これらに示すように、より低温の焼結条件では、いずれの実施例よりも低高密度及び高バルク抵抗となり、酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットとして不適であるのが分る。
次に、実施例と同様の条件で、これらの焼結体ターゲットを用いてガラス基板にDCスパッタにより、次の条件で透明電極膜を形成した。
実施例と同様に、ノジュールの発生量(被覆率)はスパッタリング開始1時間後の表面観察により、異常放電は、スパッタリング5時間後の異常放電を測定した。この結果を表1に示す。
また、1450°C及び1500°Cで焼結したターゲットはDCスパッタできたが、ノジュールの被覆率及び異常放電回数が多く、不良であった。
一方、比較例2、比較例3、比較例4に示す、酸化アルミニウムを含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲットでは、1450°Cで焼結した場合及び1500°Cで焼結した場合、いずれも本実施例に比較してノジュールの被覆率が高く、かつ異常放電回数が多くなり、不良であった。さらに、酸化アルミニウム5000 massppm含有ターゲットでは亀裂の発生も観察された。
しかし、酸化アルミニウム添加量20massppm未満ではその効果がなく、また酸化ジルコニウム500massppmを超えるとバルク抵抗値が増加し、また焼結密度の向上も見られなくなり、さらに割れが発生するという問題があるので、酸化ジルコニウムの添加量は20massppm〜500massppmの範囲とするのが適当である。
したがって、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ等の表示デバイスの透明電極(膜)又は太陽電池等の広範囲な用途に有用である。
Claims (8)
- 酸化アルミニウムを20〜500massppm含有することを特徴とする高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット。
- 酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有することを特徴とする請求項1記載の酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット。
- 焼結密度が5.55g/cm3以上であることを特徴とする請求項1又は2記載の高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット。
- ターゲットのバルク抵抗値が3.0mΩ・cm以下であることを特徴とする請求項1又は3のいずれかに記載の高密度酸化ガリウム−酸化亜鉛系焼結体スパッタリングターゲット。
- 酸化アルミニウムを20〜500massppm含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛系ターゲットを用いてスパッタリング法により基板上に酸化アルミニウムを20〜500massppm含有する酸化ガリウム−酸化亜鉛からなる薄膜を形成することを特徴とする透明導電膜の形成方法。
- 透明導電膜中に、酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有することを特徴とする請求項5記載の透明導電膜の形成方法。
- スパッタリングにより基板上に形成された酸化アルミニウムを20〜500massppm含有することを特徴とする酸化ガリウム−酸化亜鉛系からなる導電性に優れた透明導電膜。
- 透明導電膜中に、酸化ガリウムを0.1〜10mass%含有することを特徴とする請求項5記載の導電性に優れた透明導電膜。
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