JPWO2006118033A1 - シート状アンダーフィル材および半導体装置の製造方法 - Google Patents
シート状アンダーフィル材および半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2006118033A1 JPWO2006118033A1 JP2007514624A JP2007514624A JPWO2006118033A1 JP WO2006118033 A1 JPWO2006118033 A1 JP WO2006118033A1 JP 2007514624 A JP2007514624 A JP 2007514624A JP 2007514624 A JP2007514624 A JP 2007514624A JP WO2006118033 A1 JPWO2006118033 A1 JP WO2006118033A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive layer
- bump
- sheet
- underfill material
- adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 109
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 30
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 88
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 32
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 50
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 49
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 claims description 9
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 claims description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 8
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 24
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 24
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 20
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 19
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 17
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 17
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 12
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 9
- 229920001684 low density polyethylene Polymers 0.000 description 7
- 239000004702 low-density polyethylene Substances 0.000 description 7
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 7
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 6
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 5
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 5
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 4
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 4
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 4
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 3
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 3
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N Furan Chemical compound C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 101150003230 UL27 gene Proteins 0.000 description 2
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 2
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 2
- 101150029683 gB gene Proteins 0.000 description 2
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003067 (meth)acrylic acid ester copolymer Polymers 0.000 description 1
- KDTZBYPBMTXCSO-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyphenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1OC1=CC=CC=C1 KDTZBYPBMTXCSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N Butyraldehyde Chemical compound CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001050985 Disco Species 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical group ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N edrophonium chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](C)(C)C1=CC=CC(O)=C1 BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 229920006242 ethylene acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001038 ethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- QDYTUZCWBJRHKK-UHFFFAOYSA-N imidazole-4-methanol Chemical compound OCC1=CNC=N1 QDYTUZCWBJRHKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229920000554 ionomer Polymers 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 229920000092 linear low density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004707 linear low-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229940117841 methacrylic acid copolymer Drugs 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920001083 polybutene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920006290 polyethylene naphthalate film Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 239000004848 polyfunctional curative Substances 0.000 description 1
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 1
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920006264 polyurethane film Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920001289 polyvinyl ether Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000009864 tensile test Methods 0.000 description 1
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
- 229920006305 unsaturated polyester Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/293—Organic, e.g. plastic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/27—Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/563—Encapsulation of active face of flip-chip device, e.g. underfilling or underencapsulation of flip-chip, encapsulation preform on chip or mounting substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
- H01L2224/113—Manufacturing methods by local deposition of the material of the bump connector
- H01L2224/1133—Manufacturing methods by local deposition of the material of the bump connector in solid form
- H01L2224/1134—Stud bumping, i.e. using a wire-bonding apparatus
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/13001—Core members of the bump connector
- H01L2224/13099—Material
- H01L2224/131—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/13001—Core members of the bump connector
- H01L2224/13099—Material
- H01L2224/131—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/13138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/13144—Gold [Au] as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/27—Manufacturing methods
- H01L2224/274—Manufacturing methods by blanket deposition of the material of the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/27—Manufacturing methods
- H01L2224/274—Manufacturing methods by blanket deposition of the material of the layer connector
- H01L2224/2743—Manufacturing methods by blanket deposition of the material of the layer connector in solid form
- H01L2224/27436—Lamination of a preform, e.g. foil, sheet or layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/731—Location prior to the connecting process
- H01L2224/73101—Location prior to the connecting process on the same surface
- H01L2224/73103—Bump and layer connectors
- H01L2224/73104—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/8119—Arrangement of the bump connectors prior to mounting
- H01L2224/81191—Arrangement of the bump connectors prior to mounting wherein the bump connectors are disposed only on the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83191—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/10—Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00013—Fully indexed content
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01004—Beryllium [Be]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01019—Potassium [K]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01025—Manganese [Mn]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/013—Alloys
- H01L2924/0132—Binary Alloys
- H01L2924/01322—Eutectic Alloys, i.e. obtained by a liquid transforming into two solid phases
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/06—Polymers
- H01L2924/078—Adhesive characteristics other than chemical
- H01L2924/07802—Adhesive characteristics other than chemical not being an ohmic electrical conductor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/35—Mechanical effects
- H01L2924/351—Thermal stress
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/28—Web or sheet containing structurally defined element or component and having an adhesive outermost layer
- Y10T428/2839—Web or sheet containing structurally defined element or component and having an adhesive outermost layer with release or antistick coating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
ところで、近年、上記のバンプの一種として、先端が鋭利な形状のスタッドバンプと呼ばれるものが採用されている。特許文献1のような手法では、このようなスタッドバンプが対象であっても上記の傾向は変わらず、温度および圧力の緻密な制御を行わなければならない。さらに、スタッドバンプはバンプの径に比してバンプの高さが高いため、バンプ頂部が折れやすく、またバンプの根本に空気を巻き込みやすくボイドが発生しやすい。
(1)半導体のフリップチップ実装工程に用いられるシート状アンダーフィル材であって
基材と、その上に剥離可能に形成された接着剤層を含み、
前記基材の貯蔵弾性率が1.0×106 Pa〜4.0×109Paであり、破断応力が1.0×105 Pa〜2.0×108Paであり、ヤング率が1.0×107 Pa〜1.1×1010Paであり、
前記接着剤層の貯蔵弾性率が1.0×104 Pa〜1.0×107Paであり、破断応力が1.0×103 Pa〜3.0×107Paであるシート状アンダーフィル材。
(2)前記接着剤層が、常温貼付可能な粘接着剤からなり、
前記基材の貯蔵弾性率、破断応力およびヤング率、ならびに前記接着剤層の貯蔵弾性率および破断応力が、常温(25℃)で測定される値であることを特徴とする(1)に記載のシート状アンダーフィル材。
(3)前記接着剤層が、100℃以下の貼付温度で貼付可能な熱可塑性接着剤からなり、
前記基材の貯蔵弾性率、破断応力およびヤング率、ならびに前記接着剤層の貯蔵弾性率および破断応力が、当該貼付温度で測定される値であることを特徴とする(1)に記載のシート状アンダーフィル材。
(4)回路面にバンプを有する半導体ウエハの回路面に、(1)〜(3)の何れかに記載のシート状アンダーフィル材を、該バンプが接着剤層を貫通するように貼付する工程、
該半導体ウエハを回路毎に個別のチップに切断分離する工程、
接着剤層面から基材を剥離し、バンプ頂部を露出させる工程、
チップ搭載用基板の所定位置に、チップのバンプ形成面を載置し、チップとチップ搭載用基板との導通を確保しながら、接着剤層を介してチップをチップ搭載用基板に接着固定する工程を含む半導体装置の製造方法。
(5)バンプ頂部を露出させた段階で、バンプ頂部が接着剤層面より2μm以上突出していることを特徴とする(4)に記載の半導体装置の製造方法。
(6)バンプがスタッドバンプであることを特徴とする(4)または(5)に記載の半導体装置の製造方法。
2…接着剤層
3…剥離フィルム
4…シート状アンダーフィル材
5…バンプ
6…半導体ウエハ
7…半導体チップ
図1に示すように、本発明のフリップチップ実装に用いられるシート状アンダーフィル材(以下、単に「シート状アンダーフィル材4」と記載する)は、基材1と、その片面に形成された接着剤層2とからなり、その使用前には接着剤層2を保護するための剥離フィルム3が接着剤層2上に仮着されている。
すなわち、基材1の貯蔵弾性率は、1.0×106 Pa〜4.0×109Pa、好ましくは1.0×107 Pa〜1.0×109Pa、さらに好ましくは5.0×107 Pa〜5.0×108Paである。また、基材1の破断応力は、1.0×105 Pa〜2.0×108Pa、好ましくは1.0×106 Pa〜1.0×108Pa、さらに好ましくは5.0×106 Pa〜5.0×107Paである。さらに、基材1のヤング率は、1.0×107 Pa〜1.1×1010Pa、好ましくは2.0×107 Pa〜1.0×109Pa、さらに好ましくは5.0×107 Pa〜5.0×108Paである。なお、基材1の貯蔵弾性率、破断強度およびヤング率は、シート状アンダーフィル材を被着体へ貼付する温度において測定される値である。すなわち、常温で貼付を行うシート状アンダーフィル材であれば、上記諸物性の値は常温(25℃)における値であり、貼付温度が70℃であれば、70℃で測定される値である。
接着剤層2を貫通したバンプ5の先端は基材1を部分的に断裂させて基材1の下面に貫入している。基材1の破断応力が高すぎると、バンプ5は基材1を断裂できず接着剤層を貫通できなくなるか、突出したバンプ5の先端が直進できずに折れ曲がり、チップ搭載基板との導通不良となるおそれがある。基材1の破断応力が低すぎれば、貼付時あるいは剥離時などでシート材が切断しやすくなるなど機械的な取り扱い性に劣るようになる。
本発明において使用する接着剤層2は、貯蔵弾性率は1.0×104 Pa〜1.0×107Pa、好ましくは2.0×104 Pa〜5.0×106Pa、さらに好ましくは5.0×104 Pa〜1.0×106Paである。また、接着剤層2の破断応力は1.0×103 Pa〜3.0×107Pa、好ましくは1.0×104 Pa〜2.0×107Pa、さらに好ましくは1.0×105 Pa〜8.0×106 Paである。なお、接着剤層2の貯蔵弾性率および破断強度もシート状アンダーフィル材を被着体に貼付する温度において測定される値である。
接着剤層2の破断応力が高すぎると、バンプ5が接着剤層2の移動で大きな抵抗を受けバンプ5が接着剤層2を貫通することができなくなる。接着剤層2の破断応力が低すぎると、シート状アンダーフィル材をバンプ面に貼付する際に接着剤層2が割れ使用不能となるおそれがある。
常温で粘着性を有する粘接着剤としては、たとえば常温で感圧接着性を有するバインダー樹脂と熱硬化性樹脂との混合物が挙げられる。常温で感圧接着性を有するバインダー樹脂としては、たとえばアクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリビニルエーテル、ウレタン樹脂、ポリアミド等が挙げられる。熱硬化性樹脂は、一般的にはエポキシ、フェノキシ、フェノール、レゾルシノール、ユリア、メラミン、フラン、不飽和ポリエステル、シリコーン等であり、適当な硬化促進剤と組み合わせて用いられる。このような熱硬化性樹脂は種々知られており、本発明においては特に制限されることなく公知の様々な熱硬化性樹脂を用いることができる。また粘接着剤には基材1との剥離性を制御するため、ウレタン系アクリレートオリゴマーなどのエネルギー線硬化性樹脂を配合することが好ましい。エネルギー線硬化性樹脂を配合すると、エネルギー線照射前は基材1とよく密着し、エネルギー線照射後は基材1から剥離しやすくなる。この場合、被着体貼付時点でエネルギー線照射は行われていないので、接着剤層2の貯蔵弾性率および破断強度はエネルギー線硬化前の状態で測定される値である。照射するエネルギー線としては、紫外線や電子線等があげられる。
この際、ボイドの発生なく回路面を覆い、かつバンプが接着剤層を貫通するため、バンプの平均高さ(HB)と、接着剤層の厚み(TA)との比(HB/TA)が1.0/0.3〜1.0/0.95、好ましくは1.0/0.5〜1.0/0.9、さらに好ましくは1.0/0.6〜1.0/0.85、特に好ましくは1.0/0.7〜1.0/0.8の範囲にある。バンプの平均高さ(HB)は、図2に示しように、チップ表面(バンプを除く回路面)からバンプ頂部までの高さであり、バンプが複数ある場合には、これらの算術平均による。
また、シート状アンダーフィル材4における 基材の厚み(TS)と、接着剤層の厚み(TA)との比(TS/TA)は、好ましくは0.5以上、さらに好ましくは1.0以上、特に好ましくは2.0以上の範囲にある。
上記のようなシート状アンダーフィル材4は、回路面にバンプを有する半導体ウエハの回路面に、貼付すると同時に、該バンプが接着剤層を貫通し、バンプ頂部を基材内に貫入する工程を含む半導体装置の製造方法、特に後述する本発明に係る半導体装置の製造方法において好ましく使用される。
本発明のシート状アンダーフィル材4の使用前には、前述したように、接着剤層2を保護するために、剥離フィルム3が仮着されていてもよい。このような剥離フィルムとしては、従来から粘着テープ類に使用されてきた種々の剥離フィルムが特に制限されることなく使用できる。
まず、図2に示すように、回路面にバンプ5を有する半導体ウエハ6を準備する。回路やバンプの形成は、常法により行われる。バンプの形状は、特に限定はされないが、本発明のシート状アンダーフィル材は、スタッドバンプのように鋭利な先端頂部を有するバンプに特に好適に適用できる。
次いで、半導体ウエハ6を回路毎に個別のチップに切断分離する。ウエハ6の切断分離法は、特に限定されず、従来より公知の種々の方法により行われる。たとえば、ウエハ6の裏面側に通常のダイシングテープを貼着し、これを介してリングフレームに固定して、ダイシング装置を用いてウエハを切断分離し、チップを得ることができる。また、レーザーダイシング等の種々のダイシング法を採用することもできる。
このような工程を経ることで、図4に示すように、回路面が接着剤層で覆われ、かつバンプ頂部が接着剤層を貫通し、バンプ頂部が接着剤層2から突出したチップ7が得られる。なお、本発明では、バンプ頂部が露出した段階で、該バンプ頂部が接着剤層面より好ましくは2μm以上、さらに好ましくは4μm以上、特に好ましくは6〜20μm突出させる。以下、接着剤層表面からバンプ頂部までの高さをバンプの貫通量と呼ぶ。バンプの貫通量は、バンプ高さ(HB)と、接着剤層の厚み(TA)との比(HB/TA)や、シート状アンダーフィル材の貼付条件を適宜に選択することで、好適な範囲に制御することができる。一般的には、HB/TAが大きい程、バンプの貫通量も大きくなり、またシート状アンダーフィル材の貼付時の圧力が高い程、バンプの貫通出量が大きくなる。
その後、樹脂封止などの公知の工程を経ることで半導体装置が得られる。
(実施例)
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
「バンプ貫通量」
ウエハ上の所定位置にバンプボンダー(SBB4(新川社製))を用い金ボールハンダを形成し、これを溶融、引き伸ばし、高さ65μmのバンプを形成した。
実施例11〜20および比較例3〜4でバンプ付きチップに貼付したシート状アンダーフィル材において、接着剤層表面側に全てのバンプ頂部が突出したか、ピックアップ後のチップを電子顕微鏡((株)日立製作所製、日立走査電子顕微鏡S-2360)を用いて観察した。続いて、広視野コンフォーカル顕微鏡(レーザーテック(株)製、HD100D)を用いて接着剤層表面側に突出したバンプの高さ(単位:μm、接着剤層表面からバンプ頂点までの距離)を計測(n=10)し、その平均値をバンプ貫通量とした。
「基材の貯蔵弾性率」
基材を4mm×30mmの大きさに切り取り(つかみ間距離:約20mm)、動的粘弾性測定用のサンプルとした。動的粘弾性測定装置((株)オリエンテック社製、RHEOVIBRON DDV-II-EP)により周波数11Hzで貯蔵弾性率を測定した。
「基材の破断応力」および「基材のヤング率」
実施例および比較例のシート材に用いた基材をJIS K-7127に基づき、それぞれの破断応力およびヤング率を測定した。
「接着剤層の貯蔵弾性率」
接着剤層を厚さ3mmとなるように積層し、動的粘弾性測定用のサンプルとした。動的粘弾性測定装置(レオメトリックス社製、RDA-II)により周波数1Hzで貯蔵弾性率を測定した。
「接着剤層の破断応力」
接着剤層を厚さ200μmとなるように積層し、15mm×50mmの大きさに切り取り、引張試験用のサンプル(つかみ間距離:30mm)とした。引張試験機((株)オリエンテック社製、テンシロンRTA-100)により引張速度200mm/分で破断するまで引張り、破断応力を測定した。
(A)バインダー樹脂
A1:ブチルアクリレート55重量部、メチルメタクリレート10重量部、グリシジルメタクリレート20重量部と2−ヒドロキシエチルアクリレート15重量部とを共重合してなる重量平均分子量30万の共重合体を有機溶媒(トルエン/酢酸エチル=6/4)に溶解した溶液(固形濃度50%)
A2:ブチルアクリレート55重量部、メチルメタクリレート10重量部、グリシジルメタクリレート20重量部と2−ヒドロキシエチルアクリレート15重量部とを共重合してなる重量平均分子量80万の共重合体を有機溶媒(トルエン/酢酸エチル=6/4)に溶解した溶液(固形濃度35%)
A3:ブチルアクリレート30重量部、メチルメタクリレート10重量部、グリシジルメタクリレート10重量部、2−ヒドロキシエチルアクリレート15重量部、酢酸ビニル35重量部を共重合してなる重量平均分子量78万の共重合体を有機溶媒(トルエン/酢酸エチル=6/4)に溶解した溶液(固形濃度35%)
A4:ブチラール樹脂(電気化学工業(株)製、デンカブチラール♯6000−C)を有機溶媒(メチルエチルケトン/トルエン/酢酸エチル=2/1/1)に溶解した溶液(固形分が30%)
(B)熱硬化性樹脂(エポキシ樹脂)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)社製、エピコート828、エポキシ当量180〜200eq/g)22重量部と、固形ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、エピコート1055、エポキシ当量800〜900eq/g)を有機溶媒(メチルエチルケトン)に溶解した溶液(固形濃度が60%)の固形分量で44重量部相当と、o-クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬(株)社製、EOCN-104S、エポキシ当量210〜230g/eq)を有機溶媒(メチルエチルケトン)に溶解した溶液(固形濃度が70%)の固形分量で14重量部相当との混合物
(C)熱活性型潜在性硬化剤
ジシアンジアミド(旭電化工業(株)製、ハードナー3636AS)1重量部と2-フェニル-4,5-ヒドロキシメチルイミダゾール(四国化成工業(株)製、キュアゾール2PHZ)1重量部の混合物を、有機溶媒(メチルエチルケトン)に溶解した溶液(固形濃度が30%)
(D)エネルギー線硬化性樹脂
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(E)光重合開始剤
イルガキュア184(チバスペシャリティケミカルズ社製)を有機溶媒(トルエン)に溶解した溶液(固形濃度が30%)
(F)イソシナネート系架橋剤
コロネートL(日本ポリウレタン工業(株)製)を有機溶媒(トルエン)に溶解した溶液(固形濃度が38%)
(G)熱可塑性樹脂(ポリイミド系樹脂)
G1:UL27(商品名、宇部興産(株)社製)
G2:UL004(商品名、宇部興産(株)社製)
(実施例1)
上記成分を固形重量比で、(A1)20重量部、(B)80重量部、(C)2重量部、(D)10重量部、(E)0.3重量部、(F)0.3重量部を混合し、メチルエチルケトンを固形濃度が55%になるように混合して粘接着剤組成物を得た。剥離フィルム(リンテック(株)製、SP-PET3811、厚さ38μm)の剥離処理面にこの粘接着剤組成物を、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。次に低密度ポリエチレンフィルム(厚さ110μm、表面張力34mN/m)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(実施例2)
上記成分を固形重量比で、(A2)40重量部、(B)80重量部、(C)2重量部、(D)10重量部、(E)0.3重量部、(F)0.3重量部を混合し、メチルエチルケトンを固形濃度が55%になるように混合して粘接着剤組成物を得た。剥離フィルム(SP-PET3811)の剥離処理面にこの粘接着剤組成物を、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。次に低密度ポリエチレンフィルム(厚さ110μm)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(実施例3)
上記成分を固形重量比で、(A2)20重量部、(B)80重量部、(C)2重量部、(D)5重量部、(E)0.15重量部、(F)0.3重量部を混合し、メチルエチルケトンを固形濃度が55%になるように混合して粘接着剤組成物を得た。剥離フィルム(SP-PET3811)の剥離処理面にこの粘接着剤組成物を、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。次に低密度ポリエチレンフィルム(厚さ110μm)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(実施例4)
上記成分を固形重量比で、(A3)20重量部、(B)80重量部、(C)2重量部、(D)10重量部、(E)0.3重量部、(F)0.3重量部を混合し、メチルエチルケトンを固形濃度が45%になるように混合して粘接着剤組成物を得た。剥離フィルム(SP-PET3811)の剥離処理面にこの粘接着剤組成物を、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。次に低密度ポリエチレンフィルム(厚さ110μm)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(実施例5)
上記成分を固形重量比で、(A2)15重量部、(A4)5重量部、(B)80重量部、(C)2重量部、(D)10重量部、(E)0.3重量部、(F)0.3重量部を混合し、メチルエチルケトンを固形濃度が45%になるように混合して粘接着剤組成物を得た。剥離フィルム(SP-PET3811)の剥離処理面にこの粘接着剤組成物を、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。次に低密度ポリエチレンフィルム(厚さ110μm)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(実施例6)
上記成分(G1)を剥離フィルム(SP-PET3811)の剥離処理面に、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、130℃で1分間乾燥した。次に低密度ポリエチレンフィルム(厚さ110μm)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(実施例7)
実施例1で得られた粘接着剤組成物を、剥離フィルム(SP-PET3811)の剥離処理面に、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。次に直鎖低密度ポリエチレンフィルム(厚さ100μm、表面張力34mN/m)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(実施例8)
実施例1で得られた粘接着剤組成物を、剥離フィルム(SP-PET3811)の剥離処理面に、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。次にエチレン/メタクリル酸共重合体フィルム(厚さ80μm、エチレン/メタクリル酸=91/9(重量比)、表面張力35mN/m)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(実施例9)
実施例1で得られた粘接着剤組成物を、剥離フィルム(SP-PET3811)の剥離処理面に、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。次に塩化ビニルフィルム(厚さ90μm、表面張力40mN/m)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(実施例10)
実施例1で得られた粘接着剤組成物を、剥離フィルム(SP-PET3811)の剥離処理面に、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。次に剥離処理したポリプロピレンフィルム(厚さ80μm、表面張力35mN/m)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(比較例1)
上記成分(G2)を、剥離処理したポリエチレンナフタレートフィルム(厚さ38μm)の剥離処理面に、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、130℃で1分間乾燥した。次に低密度ポリエチレンフィルム(厚さ110μm、表面張力35mN/m)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(比較例2)
実施例1で得られた粘接着剤組成物を、剥離フィルム(SP-PET3811)の剥離処理面に、乾燥後の塗布厚が50μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。次にアルキッド樹脂からなる剥離剤で剥離処理したポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ50μm、表面張力38mN/m)に貼合し、シート状アンダーフィル材を得た。
(半導体装置の製造工程)
バンプボンダー((株)新川製、SBB4)を用いてシリコンウエハ(6インチ、厚さ300μm)の所定位置に金ボールハンダを形成し、これを溶融引き延ばし切断した。これにより高さ65μmのスタッドバンプを形成したウエハを用意した。
実装後、実施例6および比較例1を除き150℃のオーブン中で60分保持し、粘接着剤層を完全に硬化させ半導体装置を得た。得られた半導体装置の各端子間の抵抗値を低抵抗率計(三菱化学(株)製、Loresta-GP MCP-T600)を用いて測定し、実施例1〜10について導通すべき端子間が導通状態であること、その他の端子間では絶縁であることを確認した。また、比較例1,2については、いずれの端子間でも絶縁であった。
Claims (6)
- 半導体のフリップチップ実装工程に用いられるシート状アンダーフィル材であって
基材と、その上に剥離可能に形成された接着剤層を含み、
前記基材の貯蔵弾性率が1.0×106 Pa〜4.0×109Paであり、破断応力が1.0×105 Pa〜2.0×108Paであり、ヤング率が1.0×107 Pa〜1.1×1010Paであり、
前記接着剤層の貯蔵弾性率が1.0×104 Pa〜1.0×107Paであり、破断応力が1.0×103 Pa〜3.0×107Paであるシート状アンダーフィル材。 - 前記接着剤層が、常温貼付可能な粘接着剤からなり、
前記基材の貯蔵弾性率、破断応力およびヤング率、ならびに前記接着剤層の貯蔵弾性率および破断応力が、常温(25℃)で測定される値であることを特徴とする請求項1に記載のシート状アンダーフィル材。 - 前記接着剤層が、100℃以下の貼付温度で貼付可能な熱可塑性接着剤からなり、
前記基材の貯蔵弾性率、破断応力およびヤング率、ならびに前記接着剤層の貯蔵弾性率および破断応力が、当該貼付温度で測定される値であることを特徴とする請求項1に記載のシート状アンダーフィル材。 - 回路面にバンプを有する半導体ウエハの回路面に、請求項1〜3の何れかに記載のシート状アンダーフィル材を、該バンプが接着剤層を貫通するように貼付する工程、
該半導体ウエハを回路毎に個別のチップに切断分離する工程、
接着剤層面から基材を剥離し、バンプ頂部を露出させる工程、
チップ搭載用基板の所定位置に、チップのバンプ形成面を載置し、チップとチップ搭載用基板との導通を確保しながら、接着剤層を介してチップをチップ搭載用基板に接着固定する工程を含む半導体装置の製造方法。 - バンプ頂部を露出させた段階で、バンプ頂部が接着剤層面より2μm以上突出していることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- バンプがスタッドバンプであることを特徴とする請求項4または5に記載の半導体装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005129502 | 2005-04-27 | ||
JP2005129502 | 2005-04-27 | ||
PCT/JP2006/308190 WO2006118033A1 (ja) | 2005-04-27 | 2006-04-19 | シート状アンダーフィル材および半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006118033A1 true JPWO2006118033A1 (ja) | 2008-12-18 |
Family
ID=37307834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007514624A Pending JPWO2006118033A1 (ja) | 2005-04-27 | 2006-04-19 | シート状アンダーフィル材および半導体装置の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090075429A1 (ja) |
JP (1) | JPWO2006118033A1 (ja) |
KR (1) | KR20080003002A (ja) |
TW (1) | TWI407513B (ja) |
WO (1) | WO2006118033A1 (ja) |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100757910B1 (ko) * | 2006-07-06 | 2007-09-11 | 삼성전기주식회사 | 매립패턴기판 및 그 제조방법 |
JP2008288455A (ja) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置の実装方法及び半導体装置実装品 |
JP5032231B2 (ja) * | 2007-07-23 | 2012-09-26 | リンテック株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2010199187A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US20110151114A1 (en) * | 2009-12-18 | 2011-06-23 | Cooledge Lighting, Inc. | Composite patterning device and method for removing elements from host substrate by establishing conformal contact between device and a contact surface |
JP5592762B2 (ja) * | 2010-11-11 | 2014-09-17 | 積水化学工業株式会社 | 半導体加工用接着シート及び半導体チップの実装方法 |
WO2012106223A2 (en) * | 2011-02-01 | 2012-08-09 | Henkel Corporation | Pre-cut wafer applied underfill film on dicing tape |
JP2014511559A (ja) * | 2011-02-01 | 2014-05-15 | ヘンケル コーポレイション | プレカットされウェハに塗布されるアンダーフィル膜 |
JP5830250B2 (ja) * | 2011-02-15 | 2015-12-09 | 日東電工株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
TWI430376B (zh) * | 2011-02-25 | 2014-03-11 | The Method of Fabrication of Semiconductor Packaging Structure | |
CN103137501A (zh) * | 2011-11-28 | 2013-06-05 | 日东电工株式会社 | 半导体装置的制造方法 |
US8872358B2 (en) * | 2012-02-07 | 2014-10-28 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Sealant laminated composite, sealed semiconductor devices mounting substrate, sealed semiconductor devices forming wafer, semiconductor apparatus, and method for manufacturing semiconductor apparatus |
JP5965185B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-08-03 | デクセリアルズ株式会社 | 回路接続材料、及びこれを用いた半導体装置の製造方法 |
US9202714B2 (en) * | 2012-04-24 | 2015-12-01 | Micron Technology, Inc. | Methods for forming semiconductor device packages |
US8756546B2 (en) | 2012-07-25 | 2014-06-17 | International Business Machines Corporation | Elastic modulus mapping of a chip carrier in a flip chip package |
US8650512B1 (en) | 2012-11-15 | 2014-02-11 | International Business Machines Corporation | Elastic modulus mapping of an integrated circuit chip in a chip/device package |
JP6040737B2 (ja) * | 2012-12-05 | 2016-12-07 | 住友ベークライト株式会社 | 接着フィルム、電子部品の製造方法、および電子部品 |
EP2948506B1 (en) * | 2013-01-23 | 2019-08-14 | Henkel IP & Holding GmbH | Underfill composition and packaging process using the same |
JP5976573B2 (ja) | 2013-03-13 | 2016-08-23 | 日東電工株式会社 | 補強シート及び二次実装半導体装置の製造方法 |
FR3003688B1 (fr) * | 2013-03-22 | 2016-07-01 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'assemblage flip chip comportant le pre-enrobage d'elements d'interconnexion |
JP6157890B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2017-07-05 | 日東電工株式会社 | アンダーフィル材、封止シート及び半導体装置の製造方法 |
JP6131115B2 (ja) * | 2013-06-13 | 2017-05-17 | パナック株式会社 | 固体高分子型燃料電池シール材用の樹脂組成物、該樹脂組成物を用いた固体高分子型燃料電池用のシール材、及び該シール材を用いた固体高分子型燃料電池 |
JP6573882B2 (ja) * | 2013-08-02 | 2019-09-11 | アルファ・アセンブリー・ソリューションズ・インコーポレイテッドAlpha Assembly Solutions Inc. | カプセル化用のデュアルサイド補強フラックス |
US20150064851A1 (en) * | 2013-09-03 | 2015-03-05 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Pre-applied underfill |
JP5761294B2 (ja) * | 2013-10-03 | 2015-08-12 | 日立化成株式会社 | 回路部材接続用接着シート及び半導体装置 |
JP6347657B2 (ja) * | 2014-04-22 | 2018-06-27 | デクセリアルズ株式会社 | 保護テープ、及びこれを用いた半導体装置の製造方法 |
US10126153B2 (en) * | 2014-07-22 | 2018-11-13 | Deere & Company | Particulate matter impact sensor |
JP6599134B2 (ja) | 2015-06-04 | 2019-10-30 | デクセリアルズ株式会社 | 保護テープ、及びこれを用いた半導体装置の製造方法 |
TWI671831B (zh) * | 2015-09-30 | 2019-09-11 | 日商富士軟片股份有限公司 | 半導體元件的製造方法 |
JP6721963B2 (ja) * | 2015-10-28 | 2020-07-15 | 日東電工株式会社 | バンプ根元補強用シート |
MY186938A (en) | 2015-11-04 | 2021-08-26 | Lintec Corp | Curable resin film and first protective film forming sheet |
JP7382708B2 (ja) * | 2018-06-29 | 2023-11-17 | リンテック株式会社 | 実装方法 |
US10729067B2 (en) | 2018-10-20 | 2020-08-04 | Deere & Company | Biomass impact sensor having a conformal encasement enveloping a pressure sensitive film |
CN112967985B (zh) * | 2020-09-28 | 2022-04-19 | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 | 转移结构及其制作方法、芯片转移方法、显示面板及装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005028734A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Nitto Denko Corp | 積層シート |
JP2005064239A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Lintec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2005093788A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2005206665A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Nitto Denko Corp | シート状半導体封止用樹脂組成物 |
JP2006261529A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Lintec Corp | フリップチップ実装用アンダーフィルテープおよび半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3604248B2 (ja) * | 1997-02-25 | 2004-12-22 | 沖電気工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
FR2823596B1 (fr) * | 2001-04-13 | 2004-08-20 | Commissariat Energie Atomique | Substrat ou structure demontable et procede de realisation |
TWI309882B (en) * | 2003-04-16 | 2009-05-11 | Oki Electric Ind Co Ltd | Semiconductor device, heat dissipation structure of semiconductor device and method of making the same |
TWI318649B (en) * | 2003-06-06 | 2009-12-21 | Hitachi Chemical Co Ltd | Sticking sheep, connecting sheet unified with dicing tape,and fabricating method of semiconductor device |
MY142246A (en) * | 2003-06-10 | 2010-11-15 | Hitachi Chemical Co Ltd | Adhesive film and process for preparing the same as well as adhesive sheet and semiconductor device |
KR100696287B1 (ko) * | 2004-01-28 | 2007-03-19 | 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤 | 반도체 웨이퍼의 보호방법 |
-
2006
- 2006-04-19 WO PCT/JP2006/308190 patent/WO2006118033A1/ja active Application Filing
- 2006-04-19 US US11/912,825 patent/US20090075429A1/en not_active Abandoned
- 2006-04-19 JP JP2007514624A patent/JPWO2006118033A1/ja active Pending
- 2006-04-19 KR KR1020077027194A patent/KR20080003002A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-04-26 TW TW095114829A patent/TWI407513B/zh active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005028734A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Nitto Denko Corp | 積層シート |
JP2005064239A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Lintec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2005093788A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2005206665A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Nitto Denko Corp | シート状半導体封止用樹脂組成物 |
JP2006261529A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Lintec Corp | フリップチップ実装用アンダーフィルテープおよび半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090075429A1 (en) | 2009-03-19 |
TW200727374A (en) | 2007-07-16 |
KR20080003002A (ko) | 2008-01-04 |
TWI407513B (zh) | 2013-09-01 |
WO2006118033A1 (ja) | 2006-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPWO2006118033A1 (ja) | シート状アンダーフィル材および半導体装置の製造方法 | |
JP5032231B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006261529A (ja) | フリップチップ実装用アンダーフィルテープおよび半導体装置の製造方法 | |
JP4668001B2 (ja) | ダイシング・ダイボンド兼用シートおよびこれを用いた半導体装置の製造方法 | |
JP4717052B2 (ja) | ダイシング・ダイボンドフィルム | |
JP4536660B2 (ja) | ダイシング・ダイボンド用粘接着シートおよび半導体装置の製造方法 | |
JP2011187571A (ja) | ダイシング・ダイボンドフィルム | |
JP2002299378A (ja) | 導電体付接着シート、半導体装置製造方法および半導体装置 | |
JP2006303472A (ja) | ダイシング・ダイボンドフィルム | |
JP4766200B2 (ja) | 接着剤組成物及び半導体装置の製造方法 | |
JPWO2004109786A1 (ja) | 接着シート、ダイシングテープ一体型接着シート、及び半導体装置の製造方法 | |
KR20120028253A (ko) | 다이싱?다이본드 필름 | |
JP2009170787A (ja) | ダイシング・ダイボンドフィルム | |
JP2011080033A (ja) | 接着剤組成物、接着剤シート及び半導体装置の製造方法 | |
JP2008135448A (ja) | ダイシング・ダイボンドフィルム | |
JP4067308B2 (ja) | ウエハダイシング・接着用シートおよび半導体装置の製造方法 | |
JP2012089630A (ja) | 半導体用フィルムおよび半導体装置 | |
JP2005064239A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2013038181A (ja) | ダイシング・ダイボンドフィルム | |
JP2004095844A (ja) | ウエハダイシング・接着用シートおよび半導体装置の製造方法 | |
JP4372463B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5224710B2 (ja) | 半導体装置の製造方法に用いられる接着剤 | |
JP2012216651A (ja) | 半導体装置 | |
JP2012184288A (ja) | 回路接続用接着剤、回路接続用接着シート及び半導体装置の製造方法 | |
JP2004256695A (ja) | 接着シート、ならびにこれを用いた半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111101 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111227 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120427 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120522 |