JPWO2006075687A1 - パターン欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
信号線や電源線といった極く単純な形状のパターンに対しては、以上の例のように検査感度の適切な設定が可能であるが、パターン形状がより複雑且つ微小になると、以下述べるような問題が生じ、検査感度を適正化することが難しくなる。
上記の課題について、本発明者は、実パターンと基準パターンとのずれに関して、当該ずれの発生に規則性が存在し、尚且つ、その規則性が基準パターンの形状と関連性があることを見出し、本発明をなすに至った。
設計データに基づいた基準パターンの画像と、前記被検査パターンの画像とを比較して、パターンずれが生じている箇所における座標及びずれ量を含む不一致情報を検出する第1の工程と、前記不一致情報の中から、前記ずれ量が所定のしきい値よりも小さい箇所の不一致情報を抽出する第2の工程とを備え、前記基準パターンのパターン形状に応じて前記しきい値を調整して、前記抽出を行なうことを特徴とする。
本発明によれば、本発明のパターン欠陥検査方法では、レチクルあるいは半導体ウェーハに形成された複雑且つ微小なパターンの欠陥検査に際し、パターンの複雑度に応じて検査感度を変えるようにしているので、従来に比べて、検査感度のより適切な設定が可能となる。そして、本発明のパターン欠陥検査方法は、擬似欠陥の数を大幅に減少することを実現可能とし、検査精度の向上とともに検査時間の短縮を図る上で有益である。
図1は、本発明の実施に用いるパターン欠陥検査装置を示すブロック図である。
次に、図1に示したパターン欠陥検査装置を利用したパターン欠陥検査において、パターン形状の複雑度を示す指標としてパターンの角部数に代えてパターン角部における角度を用いる。本実施例では、この角度が所定値を超えるか否かに応じて異なるしきい値を設定する例について述べる。
次に、図6、図7を参照し、検査感度を調整した例を説明する。本実施例では、パターン形状の複雑度を示す指標として、基準パターンにおける隣り合う角部間の距離を用い、この距離が所定値を超えるか否かに応じて、異なるしきい値を設定する。
次に、図8、図9を参照し、検査感度を調整した例を説明する。本実施例では、パターン形状の複雑度を示す指標として、基準パターンにおけるパターンの幅、すなわち、パターンの長手方向に対する垂直の方向の長さを用い、この長さが所定値を超えるか否かに応じて、異なるしきい値を設定する。
次に、図10〜図17を参照し、本実施形態による検査の流れを説明する。なお、本実施例のパターン欠陥検査においても、説明の際に、図1に示したパターン欠陥装置のブロック図を使用する。
(1)パターンの角部数を用い、パターンの角部数が所定数を超えるか否かに応じて異なるしきい値を設定した例、
(2)パターン角部における角度が所定値を超えるか否かに応じて異なるしきい値を設定した例、
(3)基準パターンにおける隣り合う角部間の距離が所定値を超えるか否かに応じて異なるしきい値を設定した例、
(4)基準パターンにおけるパターンの幅が所定値を超えるか否かに応じて異なるしきい値を設定した例
について述べたが、これらの指標を組み合わせて用いることによって、より実際的な検出感度の設定を行うことも可能である。
2 XYステージ
3 照明用光源
4 対物レンズ
5 ハーフミラー
6 CCDイメージセンサ
7 画像取得部
8 比較部
9 画像処理部
10 ステージ制御部
11 基準データ生成部
12 検査感度設定部
13 欠陥判定部
14 欠陥記憶部
21、23、25、27、29、31、45、47 基準パターン
22、24、26、28、30、32、46、48 レチクルパターン
101 設計データ
103 検査用設計データ
105 検査データ
114 検査感度データ
126 レチクルパターン
200 枠
210 特定エリア
220 欠陥
250 グリッド
Claims (17)
- 被検査パターンの画像を基準パターンの画像と比較して、前記被検査パターンの欠陥を検査するパターン欠陥検査方法において、
前記基準パターンにおけるパターン形状に応じて検査感度を調整する
ことを特徴とするパターン欠陥検査方法。 - 記憶部を備えたパターン欠陥検査装置により、基準パターンの画像と被検査パターンの画像とを比較して、前記被検査パターンの欠陥を検査するパターン欠陥検査方法において、
前記基準パターンにおけるパターン形状に応じた検査感度の関連付け情報を、予め、前記記憶部に記憶する工程と、
前記記憶部から抽出した前記関連付け情報に基づいて、前記パターン欠陥検査装置の検査感度を調整する工程とを備える
ことを特徴とするパターン欠陥検査方法。 - 前記検査感度は、前記基準パターンの有する角部の数が所定の値以上のときに、前記基準パターンの有する角部の数が前記所定の値よりも少ないときと比べて高く設定される
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパターン欠陥検査方法。 - 前記検査感度は、前記基準パターンにおける角部の角度が所定の角度よりも小さいときに、前記基準パターンにおける角部の角度が前記所定の値以上のときと比べて低く設定される
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパターン欠陥検査方法。 - 前記検査感度は、前記基準パターンにおける隣り合う角部間の距離が所定の長さよりも短いときに、前記基準パターンにおける隣り合う角部間の距離が前記所定の長さ以上のときと比べて低く設定される
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパターン欠陥検査方法。 - パターン欠陥検査装置により、レチクル或いは半導体ウェーハ上に形成された被検査パターンについてのパターン欠陥を検出するパターン欠陥検査方法において、
設計データに基づいた基準パターンの画像と、前記被検査パターンの画像とを比較して、パターンずれが生じている箇所における座標及びずれ量を含む不一致情報を検出する第1の工程と、
前記不一致情報の中から、前記ずれ量が所定のしきい値よりも小さい箇所の不一致情報を抽出する第2の工程とを備え、
前記基準パターンのパターン形状に応じて前記しきい値を調整して、前記抽出を行なう
ことを特徴とするパターン欠陥検査方法。 - 前記抽出を行なう際に、前記基準パターンにおけるパターン形状に応じた特定エリアを設け、前記特定エリア内の前記しきい値を、前記特定エリア外の前記しきい値よりも大きく設定する
ことを特徴とする請求項6に記載のパターン欠陥検査方法。 - 前記しきい値の情報を、予め、前記記憶部に記憶させておき、
前記抽出を行なう際に、前記パターン形状に応じたしきい値を、前記記憶部から入手する
ことを特徴とする請求項6または7に記載のパターン欠陥検査方法。 - 前記特定エリアの情報を、予め、前記記憶部に記憶させておき、
前記抽出を行なう際に、前記パターン形状に応じた特定エリアを、前記記憶部から入手する
ことを特徴とする請求項7に記載のパターン欠陥検査方法。 - 前記抽出を行なう際に、前記基準パターンにおける角部の数が所定の数よりも大きいときのしきい値を、前記基準パターンにおける角部の数が所定の数以下のときのしきい値よりも大きい値に設定する
ことを特徴とする請求項6又は7に記載のパターン欠陥検査方法。 - 前記抽出を行なう際に、前記基準パターンにおける角度の数が所定の角度よりも小さいときのしきい値を、前記基準パターンにおける角部の角度が所定の数以上のときのしきい値よりも大きい値に設定する
ことを特徴とする請求項6又は7に記載のパターン欠陥検査方法。 - 前記抽出を行なう際に、前記基準パターンにおける隣り合う角部間の距離が所定の長さよりも小さいときのしきい値を、前記基準パターンにおける隣り合う角部間の距離が所定の長さ以上のときのしきい値よりも大きい値に設定する
ことを特徴とする請求項6又は7に記載のパターン欠陥検査方法。 - 前記抽出を行なう際に、前記基準パターンにおける長手方向と垂直方向の幅が所定の長さよりも小さいときのしきい値を、前記基準パターンにおける前記幅が所定の長さ以上のときのしきい値よりも大きい値に設定する
ことを特徴とする請求項6又は7に記載のパターン欠陥検査方法。 - パターン欠陥検査装置により、所定の検査領域ごとに、レチクル或いは半導体ウェーハ上に形成された被検査パターンについてのパターン欠陥を検出するパターン欠陥検査方法において、
設計データに基づいた基準パターンの画像と、前記被検査パターンの画像とを比較して、パターンずれが生じている箇所における座標及びずれ量を含む不一致情報を検出する第1の工程と、
前記不一致情報の中から、前記ずれ量が所定のしきい値よりも小さい箇所の不一致情報を抽出する第2の工程とを備え、
前記基準パターンの有する角部のうち、隣り合う前記検査領域内で同じ座標に存在する角部を除いたものを、検査対象の角部として認識した後、
前記検査対象の角部の数が所定の値以上のときのしきい値を、前記検査対象における角部の数が前記所定の値より小さいときのしきい値と比べて大きな値に設定して、前記抽出を行なう
ことを特徴とするパターン欠陥検査方法。 - パターン欠陥検査を行なったレチクルを使用して、ウェーハ上にパターンを形成する半導体装置の製造方法において、
前記レチクルのパターン欠陥検査は、
被検査パターンの画像を基準パターンの画像と比較して、前記被検査パターンの欠陥を検査する際に、前記基準パターンにおけるパターン形状に応じて検査感度を調整することにより行なう
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - パターン欠陥検査を行なったレチクルを使用して、ウェーハ上にパターンを形成する半導体装置の製造方法において、
前記レチクルのパターン欠陥検査は、
記憶部を備えたパターン欠陥検査装置により、基準パターンの画像と被検査パターンの画像とを比較して、前記被検査パターンの欠陥を検査する方法であって、
前記基準パターンにおけるパターン形状に応じた検査感度の関連付け情報を、予め、前記記憶部に記憶する工程と、
前記記憶部から抽出した前記関連付け情報に基づいて、前記パターン欠陥検査装置の検査感度を調整する工程とを備える
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 被検査パターンの画像を基準パターンの画像と比較して、前記被検査パターンの欠陥を検査するパターン欠陥検査工程と、
当該欠陥を修復する工程とを備え、
前記パターン欠陥検査工程では、前記基準パターンにおけるパターン形状に応じて検査感度を調整する
ことを特徴とするパターン欠陥検査方法。
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