JPS6437036U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6437036U JPS6437036U JP13184187U JP13184187U JPS6437036U JP S6437036 U JPS6437036 U JP S6437036U JP 13184187 U JP13184187 U JP 13184187U JP 13184187 U JP13184187 U JP 13184187U JP S6437036 U JPS6437036 U JP S6437036U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating plate
- turntable
- protrusion
- hole
- semiconductor wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第1図は本考案に係る一実施例の半導体製造装
置を示したステージの部分正面断面図、第2図は
第1図のA−A線断面図、第3図乃至第5図はウ
エーハの取出作業の工程図である。第6図は従来
の半導体製造装置の概略構成断面図、第7図は同
じくステージの平面図、第8図は第6図の要部拡
大図である。 1……エツチング装置、2……ステージ、2′
…絶縁板、2″……ターンテーブル、2c……貫
通孔、2e……突部、2f,2g……窪部、3…
…半導体ウエーハ。
置を示したステージの部分正面断面図、第2図は
第1図のA−A線断面図、第3図乃至第5図はウ
エーハの取出作業の工程図である。第6図は従来
の半導体製造装置の概略構成断面図、第7図は同
じくステージの平面図、第8図は第6図の要部拡
大図である。 1……エツチング装置、2……ステージ、2′
…絶縁板、2″……ターンテーブル、2c……貫
通孔、2e……突部、2f,2g……窪部、3…
…半導体ウエーハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 一方の電極を兼ねるターンテーブル上に貫通孔
を形成した絶縁板を載置し、この絶縁板の貫通孔
内に半導体ウエーハを載置して対向電極間にプラ
ズマを発生せしめる半導体ウエーハの気相エツチ
ング装置に於いて、 前記ターンテーブルの半導体ウエーハ載置面を
突部とし、かつ、前記突部の外縁と上記絶縁板の
内縁とに対向する窪部を刻設したことを特徴とす
る半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13184187U JPS6437036U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13184187U JPS6437036U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6437036U true JPS6437036U (ja) | 1989-03-06 |
Family
ID=31388272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13184187U Pending JPS6437036U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6437036U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006173560A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ウエハガイド、有機金属気相成長装置および窒化物系半導体を堆積する方法 |
JP2007027591A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 半導体基板用バキュ−ムチャックおよび半導体基板の搬送方法 |
JP2009182177A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理システム |
-
1987
- 1987-08-28 JP JP13184187U patent/JPS6437036U/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006173560A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ウエハガイド、有機金属気相成長装置および窒化物系半導体を堆積する方法 |
JP2007027591A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 半導体基板用バキュ−ムチャックおよび半導体基板の搬送方法 |
JP4559317B2 (ja) * | 2005-07-21 | 2010-10-06 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 半導体基板の搬送方法 |
JP2009182177A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理システム |
JP4515507B2 (ja) * | 2008-01-31 | 2010-08-04 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理システム |
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