JPS638124A

JPS638124A - 搬送装置

Info

Publication number: JPS638124A
Application number: JP14860286A
Authority: JP
Inventors: Noriyasu Kashima; 規安加島; Koichiro Atsumi; 幸一郎渥美; Yukihiro Iketani; 之宏池谷; Keitaro Okano; 岡野　恵太郎
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-06-25
Filing date: 1986-06-25
Publication date: 1988-01-13
Anticipated expiration: 2011-01-10
Also published as: JPH08621B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明はマガジンに多段に収納されたワークを取出し
て搬送するための搬送装置に関する。

（従来の技術）たとえば半導体装置の製造においては、ウェハプロセス
終了後の半導体チップ上の電極を引出してパッケージの
リードとするため、リードフレームに半導体チップを固
定するダイボンディング、チップ上の電極とリードフレ
ームのリード間を配線するワイヤボンディング、樹脂で
パッケージを形成する樹脂封止などが行われる。これら
の工程および工程間ではワークとしてのリードフレーム
を単位として製造が行われるため、上記リードフレーム
の搬送が重要である。

第５図はワイヤボンディング工程におけるリードフレー
ムを搬送する搬送装置の一部を示したものであって、マ
ガジン１に収納されたリードフレーム２は送り爪３によ
って１枚ずつ引出され、ガイドレール４の上に搭載され
、別の送り爪３′、３″によって搬送されたガイドレー
ル４の他端に置かれたもう１つの空のマガジン５に収納
される。

これらマガジン１および５はマガジンエレベータ６およ
び７に載せられており、マガジンエレベータ６および７
はそれぞれモータ８および９の回転により駆動されるリ
ードスクリュー１０および１１によって摺動軸１２と１
３．１４と１５に沿って上下する。また、ガイドレール
４の中央部にはワイヤボンディング装置１６が設けられ
ており、そのアーム１７が動くことにより、その下にあ
るリードフレーム２のダイボンディングされた半導体チ
ップ１８の電極とリードフレーム２のリード間にワイヤ
１９が配線される。

ここで、ガイドレール４、マガジンエレベータ６．７、
送り爪３および図示されていない送り爪の駆動機構など
はリードフレーム２の搬送装置を構成する。

ところで、リードフレーム２には第６図に示すように位
置決め孔２ａと送り孔２ｂとが形成されており、この送
り孔２ｂに上記送り爪３．３′が係合して上記リードフ
レーム２がマガジン１から取出される。

しかしながら、上記送り孔２ｂはリードフレーム２の品
種によってその形状や位置などが異なるため、品種を変
えたときには上記送り爪３．３′を送り孔２ｂの形状に
対応したものに交換したり、その取付位置を調節しなけ
ればならないなどの問題があった。

（発明が解決しようとする問題点）この発明は、ワークの品種を変えた場合に、部品の交換
や種々の調節などをせずにすむようにした搬送装置を提
供することを目的とする。

［発明の構成］（問題点を解決するための手段及び作用）この発明は、
ワークが多段に収納され一端側に取出開口部を有するマ
ガジンと、このマガジンを案内に沿って昇降駆動する駆
動機構と、上記案内の所定位１に上記マガジンの取出開
口部に対向して配設されこのマガジンに収納されたワー
クを厚さ方向に挟持して取出す取出機構とを具備する。

そして、ワークの品種に応じて部品の交換や調節などを
行なわなくとも、上記ワークを搬送できるようにしたも
のである。

（実施例）以下、この発明の一実施例を第１図乃至第４図を参照し
て説明する。第４図に示す搬送装置はマガジンエレベー
タ２１を有する。このマガジンエレベータ２１にはワー
クとしてのリードフレーム２２が収容されたマガジン２
３が載置されている。また、マガジンエレベータ２１は
モータ２４の回転によりリードスクリュウ２５によって
摺動軸２６．２７に沿って上下駆動されるようになって
いる。なお、マガジン２３は両端が開口し、一端側が取
出開口部２３ａとなっている。

上記マガジンエレベータ２１と対向して一対のフレーム
２８が配設されている。このフレーム２８の上端にはそ
れぞれガイドレール２９が敷設されている。また、上記
マガジンエレベータ２１と上記フレーム２８との間にお
いて、摺動輪２６．２７に沿う所定位置に上記マガジン
２３の取出開口部２３ａに対向して後述する取出機構３
１が設けられ、この取出機構３１によって上記マガジン
２３内のリードフレーム２２が取出されるようになって
いる。

上記取出機構３１は第１図乃至第３図に示すように上記
フレーム２８の一方の端面に一端を固着して上下方向に
平行に離間して設けられた一対のガイド軸３２を有する
。これらガイド軸３２にはスライド体３３がスライド自
在に支持されている。

このスライド体３３の上部には第１の支軸３４と第２の
支軸３５とが回転自在に支持されている。

上記第１の支軸３４には第１の挟持部材３６が嵌着され
、第２の支軸３５には第２の挟持部材３７が嵌着されて
いる。これら挟持部材３６．３７からは所定間隔で離間
対向した第１の舌片３８と第２の舌片３９とが上記マガ
ジン２３の方向に向かってほぼ水平に延出されている。

また、下方に位置する第２の挟持部材３７からは上記第
２の舌片３９に対してほぼ直角な作動片４１が下方へ向
かって延出されている。

上記第１の支軸３４と第２の支軸３５の他端には互いに
歯合した第１の歯車４２と第２の歯車４３とがそれぞれ
嵌着されている。また、上記スライド体３３の下端には
上記作動片４１の端部の一側面にロッド４４を対向させ
て第１のエアシリンダ４５が設けられている。また、作
動片４１の他側面にはこの作動片４１の一側面が上記ロ
ッド４４に当接する方向に付勢したばね４６が設けら６
一れている。したがって、上記第１のエアシリンダ４５が
作動してそのロッド４４が突出方向に付勢され、作動片
４１が押圧されると、第２の挟持部材３７が第２の支軸
３５とともに第１図に示す矢印ａ方向に回動する。する
と、一対の歯車４２．４３を介して第１の挟持部材３６
が矢印ａと逆方向である矢印す方向に回動するから、第
１、第２の舌片３８．３９が閉じることになる。

また、上記一方のフレーム２８の側面には第２のエアシ
リンダ４７がその軸線を上記スライド体３３の移動方向
と平行にして取付片４８によって取付けられている。こ
の第２のエアシリンダ４７のロッド４７ａは連結片４９
によって上記スライド体３３に連結されている。したが
って、上記スライド体３３は上記第２のエアシリンダ４
７によって第１図に矢印Ｃで示すように一対のガイド軸
３２に沿って駆動されるようになっている。つまり、ス
ライド体３３はマガジンエレベータ２１に対して接離す
る方向に駆動されるようになっている。

また、上記フレーム２８の先端部分にはベルト５１を介
してモータ５２によって回転駆動される駆動ローラ５３
と、この駆動ローラ５３に対して接離する方向に変位自
在な従動ローラ５４とが上記一対の舌片３８．３９とほ
ぼ同じ高さで配置されている。この従動ローラ５４は通
常上記駆動ローラ５３に対して離間していて、上記取出
機構３１によりマガジン２３から後述するごとくリード
フレーム２２が取出されると、駆動ローラ５３に転接す
る方向に駆動され、そのリードフレーム２２の上下面を
一対のローラ５３．５４で挟持して搬送するようになっ
ている。これら一対のローラ５３．５４によって搬送さ
れたリードフレーム２２は上記ガイドレール２９に送ら
れ、このガイドレール２９に沿って図示せぬ送り機構で
ピッチ送りされるようになっている。また、ガイドレー
ル２９の中央部にはワイヤボンディング装置５５が設け
られており、そのアーム５６が動くことにより、その下
にあるリードフレーム２２にダイボンディングされた半
導体チップ５７の電極とり−ドフレーム２２のリード間
にワイヤ５８が配線されるようになっている。

つぎに、上記構造の搬送装置によってマガジン２３から
リードフレーム２２を搬送するときの作動を説明する。

まず、モータ２４によってリードスクリュウ２５を介し
てマガジン２３が駆動され、このマガジン２３内のリー
ドフレーム２２がガイドレール２９の搬送面の高さとほ
ぼ一致すると、第２のエアシリンダ４７が作動してその
ロッド４７ａが突出方向に付勢され、取出機構３１のス
ライド体３３が第１図に鎖線で示すようにマガジン２３
の方向へ前進する。すると、開状態にある一対の挟持部
材３６．３７の舌片３８．３９間にリードフレーム２２
の一端部が入込む。つぎに、第１のエアシリンダ４５が
作動して一対の舌片３８．３９が閉方向に付勢され、こ
れら舌片３８．３９によって上記リードフレーム２２の
端部が挟持される。

このように一対の舌片がリードフレーム２２の一端部を
挟持すると、上記第２のエアシリンダー〇− ４７の付勢が解除され、スライド体３３が上記リードフ
レーム２２とともに後退する。スライド体３３が後退す
ると、上記リードフレーム２２の一端部が駆動ローラ５
３上に位置し、従動ローラ５４が閉じる方向に駆動され
、これら一対のローラ５３．５４によって上記リードフ
レーム２２が挟持される。また、リードフレーム２２が
挟持されると、第１のシリンダ４５の付勢が解除され、
一対の舌片３８．３９によるリードフレーム２２の挟持
状態が解除され、また上記駆動ローラ５３スがモータ５７によって駆動されて上記リードフレーム２
２をガイドレール２９の搬送面に送り込む。

すると、そのリードフレーム２２は図示せぬ送り機構に
よってピッチ送りされてワイヤボンディング装置５５に
よってワイヤボンディングされることになる。

つまり上記構成の搬送装置によれば、リードフレーム２
２を取出機構３１の一対の挟持部材３６．３７の舌片３
８．３９によってその厚さ方向から挟持してマガジン２
３から取出し搬送するようにしだから、品種の変更など
で上記リードフレーム２２の形状などが異なっても、と
くに部品の変更や種々の調節をすることなくそのリード
フレーム２２をマガジン２３から取出すことができる。

［発明の効果］以上述べたようにこの発明は、マガジンに収容されたワ
ークを取出機構によってその厚さ方向から挟持して取出
すようにした。したがって、ワークに形成された送り孔
に送り爪を係合させて上記ワークを搬送する従来のよう
にワークの品種が変わる毎に送り爪を異なるものに変え
たり、種々の調節をしなければならないということがな
いから、品種交換時における生産性の向上を計ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す要部を拡大した側面
図、第２図は同じく平面図、第３図は第２図■−■線に
沿う断面図、第４図は全体の概略的斜視図、第５図は従
来の装置の概略的斜視図、第６図はリードフレームの平
面図である。２２・・・リードフレーム、２３・・・マガジン、２４
・・・モータ、２５・・・リードスクリュウ、２６．２
７・・・摺動軸、３１・・・取出機構、３６．３７・・
・挟持部材、３８．３９・・・舌片。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦第２図第３図第４図

Claims

【特許請求の範囲】

ワークが多段に収納され一端側に取出開口部を有するマ
ガジンと、このマガジンを案内に沿って昇降駆動する駆
動機構と、上記案内の所定位置に上記マガジンの取出開
口部に対向して配設されこのマガジンに収納されたワー
クを厚さ方向に挟持して取出す取出機構とを具備したこ
とを特徴とする搬送装置。