JPS6355650B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6355650B2 JPS6355650B2 JP56162725A JP16272581A JPS6355650B2 JP S6355650 B2 JPS6355650 B2 JP S6355650B2 JP 56162725 A JP56162725 A JP 56162725A JP 16272581 A JP16272581 A JP 16272581A JP S6355650 B2 JPS6355650 B2 JP S6355650B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- scanning
- defect
- pixel position
- scanning period
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 66
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 7
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えば錠剤の如き被検査対象物を、
工業用テレビカメラの如き撮像デバイスによりラ
スタ走査して得られる撮像信号の2値化データか
ら該対象物における欠陥(例えば欠け、傷、汚れ
など)を検出する欠陥検出回路に関するものであ
り、更に詳しくは、該欠陥が被検査対象物の周辺
の縁部にあつて輪郭とまぎらわしく、通常のラス
タ走査によつては検出困難な欠陥についても、こ
れを検出しうるようにした欠陥検出回路に関する
ものである。
工業用テレビカメラの如き撮像デバイスによりラ
スタ走査して得られる撮像信号の2値化データか
ら該対象物における欠陥(例えば欠け、傷、汚れ
など)を検出する欠陥検出回路に関するものであ
り、更に詳しくは、該欠陥が被検査対象物の周辺
の縁部にあつて輪郭とまぎらわしく、通常のラス
タ走査によつては検出困難な欠陥についても、こ
れを検出しうるようにした欠陥検出回路に関する
ものである。
一般に、錠剤のごとき被検査対象物における欠
け、傷、汚れなどの欠陥は、対象物のどの部分に
生じても同じように検出されなければならない。
しかし、対象物の内側にある欠陥は、周囲から孤
立しているので、カメラの水平走査方向における
走査出力のレベル変化を見るだけで検査できる
が、周辺部すなわち縁部に生じた欠陥は、対象物
の輪郭の1部となつてしまうので、水平走査方向
における走査出力のレベル変化だけでみていたの
では検出されないことがある。
け、傷、汚れなどの欠陥は、対象物のどの部分に
生じても同じように検出されなければならない。
しかし、対象物の内側にある欠陥は、周囲から孤
立しているので、カメラの水平走査方向における
走査出力のレベル変化を見るだけで検査できる
が、周辺部すなわち縁部に生じた欠陥は、対象物
の輪郭の1部となつてしまうので、水平走査方向
における走査出力のレベル変化だけでみていたの
では検出されないことがある。
以下、このことを詳しく説明する。被検査対象
物上の欠陥検出回路としては、カメラの1走査周
期の走査線毎に現われる走査出力レベルの大幅な
変化点を求め、その変化点の数が対象物の輪郭に
起因して生じる同様な変化点の数より多いかどう
かで欠陥の有無を検出するものが知られている。
物上の欠陥検出回路としては、カメラの1走査周
期の走査線毎に現われる走査出力レベルの大幅な
変化点を求め、その変化点の数が対象物の輪郭に
起因して生じる同様な変化点の数より多いかどう
かで欠陥の有無を検出するものが知られている。
第1図はかかる欠陥検出回路の原理説明図であ
り、第2図イ,ロは第1図における走査線イ,ロ
に沿つたカメラの走査出力のビデオ波形を示す波
形図、である。
り、第2図イ,ロは第1図における走査線イ,ロ
に沿つたカメラの走査出力のビデオ波形を示す波
形図、である。
第1図において、1は被検査対象物、2は内側
の欠陥、3は周辺部の欠陥、イとロはそれぞれカ
メラによる走査線を示す。第2図において、6と
8はそれぞれビデオ波形、7は走査出力レベルの
変換点(被検査対象物で云うと反射光量の大小の
変化点、濃淡変化点とも云う)、Sは水平同期信
号、を示す。
の欠陥、3は周辺部の欠陥、イとロはそれぞれカ
メラによる走査線を示す。第2図において、6と
8はそれぞれビデオ波形、7は走査出力レベルの
変換点(被検査対象物で云うと反射光量の大小の
変化点、濃淡変化点とも云う)、Sは水平同期信
号、を示す。
第1図、第2図を参照する。被検査対象物1の
うちで欠陥のないところでの走査線イによるビデ
オ波形は6のようになり、対象物の輪郭に起因し
て2つだけ濃淡変化点7が現われるのに比べ、欠
陥のあるところでの走査線ロによるビデオ波形は
8のようになつて、欠陥に起因する変化点7′,
7′が、輪郭に起因する変化点7,7に加わるの
で、この変化点の数の差によつて欠陥の検出が可
能である。しかしながら、ビデオ波形8の波形か
ら分かるように周辺に欠陥のある場合には、欠陥
が輪郭の一部となり、その部分の欠陥自体による
変化点は別に現われず、検出ができない。
うちで欠陥のないところでの走査線イによるビデ
オ波形は6のようになり、対象物の輪郭に起因し
て2つだけ濃淡変化点7が現われるのに比べ、欠
陥のあるところでの走査線ロによるビデオ波形は
8のようになつて、欠陥に起因する変化点7′,
7′が、輪郭に起因する変化点7,7に加わるの
で、この変化点の数の差によつて欠陥の検出が可
能である。しかしながら、ビデオ波形8の波形か
ら分かるように周辺に欠陥のある場合には、欠陥
が輪郭の一部となり、その部分の欠陥自体による
変化点は別に現われず、検出ができない。
また、周辺における欠陥を輪郭の変動として検
出する方法としては、対象物の形状が円形である
ならば、その円形形状の座標を記憶しておき、入
力された走査出力データと、原点を一致させた上
で座標の比較を行い、ずれ量を求めて周辺におけ
る欠陥を判定するものがある。これだと、大幅な
輪郭変動ほど検出し易く、局所的な変動は検出し
にくいので、小さな周辺部の欠陥検出には適さな
い。また、対象物の大きさの変動に影響され易
い。さらに、座標を逐次的に比較していくので、
演算処理に時間がかかり、座標記憶のためにメモ
リが必要となり、コスト的に高価になるという欠
点もある。
出する方法としては、対象物の形状が円形である
ならば、その円形形状の座標を記憶しておき、入
力された走査出力データと、原点を一致させた上
で座標の比較を行い、ずれ量を求めて周辺におけ
る欠陥を判定するものがある。これだと、大幅な
輪郭変動ほど検出し易く、局所的な変動は検出し
にくいので、小さな周辺部の欠陥検出には適さな
い。また、対象物の大きさの変動に影響され易
い。さらに、座標を逐次的に比較していくので、
演算処理に時間がかかり、座標記憶のためにメモ
リが必要となり、コスト的に高価になるという欠
点もある。
本発明は、上述の如き従来技術の欠点を除去す
るためになされたものであり、従つて本発明の目
的は、輪郭の一部となつた欠陥を、内側にある欠
陥と同じように検出することができ、しかも、そ
のために処理時間を多く必要とすることなく、1
画面の撮像終了と同時に検出を終り、また特別に
座標記憶用のメモリを必要としない安価な欠陥検
出回路を提供することにある。
るためになされたものであり、従つて本発明の目
的は、輪郭の一部となつた欠陥を、内側にある欠
陥と同じように検出することができ、しかも、そ
のために処理時間を多く必要とすることなく、1
画面の撮像終了と同時に検出を終り、また特別に
座標記憶用のメモリを必要としない安価な欠陥検
出回路を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明では、被検査
対象物を撮像デバイスによりラスタ走査して得ら
れる撮像信号の2値化データから該対象物におけ
る欠陥を検出する欠陥検出回路において、前記ラ
スタ走査における少なくとも連続した2走査周期
分の2値化データを1走査周期分ずつ区切つて蓄
積するデータ蓄積手段と、第1の走査周期分にお
ける特定の画素位置のデータと第2の走査周期分
における対応した画素位置のデータとを前記蓄積
手段から読み出して比較する手段と、比較の結果
として、ラスタ走査における或る連続した2走査
周期分の2値化データについて、第1の走査周期
分における特定画素位置の2値化データの論理レ
ベルと、続く第2の走査周期分における対応した
画素位置の2値化データの論理レベルと、が或る
第1の極性方向において異なり、その後のラスタ
走査における別の連続した2走査周期分の2値化
データについて、第1の走査周期分における特定
画素位置の2値化データの論理レベルと、続く第
2の走査周期分における対応した画素位置の2値
化データの論理レベルと、が前記第1の極性方向
とは反対の第2の極性方向において異なるとき、
欠陥有りと判定する判定回路と、を具備した。以
下、本発明の動作原理を説明する。
対象物を撮像デバイスによりラスタ走査して得ら
れる撮像信号の2値化データから該対象物におけ
る欠陥を検出する欠陥検出回路において、前記ラ
スタ走査における少なくとも連続した2走査周期
分の2値化データを1走査周期分ずつ区切つて蓄
積するデータ蓄積手段と、第1の走査周期分にお
ける特定の画素位置のデータと第2の走査周期分
における対応した画素位置のデータとを前記蓄積
手段から読み出して比較する手段と、比較の結果
として、ラスタ走査における或る連続した2走査
周期分の2値化データについて、第1の走査周期
分における特定画素位置の2値化データの論理レ
ベルと、続く第2の走査周期分における対応した
画素位置の2値化データの論理レベルと、が或る
第1の極性方向において異なり、その後のラスタ
走査における別の連続した2走査周期分の2値化
データについて、第1の走査周期分における特定
画素位置の2値化データの論理レベルと、続く第
2の走査周期分における対応した画素位置の2値
化データの論理レベルと、が前記第1の極性方向
とは反対の第2の極性方向において異なるとき、
欠陥有りと判定する判定回路と、を具備した。以
下、本発明の動作原理を説明する。
第3図は本発明の動作原理説明図である。第3
図イは、周辺に欠陥のない被検査対象物1を垂直
方向にラスタ走査する場合を想定して描いた説明
図である。第3図イにおいて、走査出力のレベル
変化点はaとbであり、a点では(暗→明)、b
点では(明→暗)であることが分かる。
図イは、周辺に欠陥のない被検査対象物1を垂直
方向にラスタ走査する場合を想定して描いた説明
図である。第3図イにおいて、走査出力のレベル
変化点はaとbであり、a点では(暗→明)、b
点では(明→暗)であることが分かる。
第3図ロは、周辺に欠陥3のある被検査対象物
1を、該欠陥位置を通るように垂直方向にラスタ
走査した場合を想定して描いた説明図である。こ
の場合は、走査出力のレベル変化点は、a,bの
ほか、欠陥3に起因してc点とd点が生じる。レ
ベルの変化は、c点では(明→暗)、d点では
(暗→明)となり、欠陥に起因して生じた変化点
b,dにおけるレベル変化の態様と、正常な周辺
に起因して生じる変化点a,bにおけるレベル変
化の態様は丁度、逆の関係になつていることが分
かる。従つてこの点に着目すれば、対象物の周辺
における欠陥を検出できる筈である。
1を、該欠陥位置を通るように垂直方向にラスタ
走査した場合を想定して描いた説明図である。こ
の場合は、走査出力のレベル変化点は、a,bの
ほか、欠陥3に起因してc点とd点が生じる。レ
ベルの変化は、c点では(明→暗)、d点では
(暗→明)となり、欠陥に起因して生じた変化点
b,dにおけるレベル変化の態様と、正常な周辺
に起因して生じる変化点a,bにおけるレベル変
化の態様は丁度、逆の関係になつていることが分
かる。従つてこの点に着目すれば、対象物の周辺
における欠陥を検出できる筈である。
しかし、一般に対象物を欠陥検査のためにラス
タ走査するときは、水平走査がなされており、垂
直走査は行なつていない。従つて水平走査を行な
いながら、上記の検出原理を利用して欠陥を検出
する方法を講じなければならない。この方法を第
3図ハを参照して次に説明する。
タ走査するときは、水平走査がなされており、垂
直走査は行なつていない。従つて水平走査を行な
いながら、上記の検出原理を利用して欠陥を検出
する方法を講じなければならない。この方法を第
3図ハを参照して次に説明する。
第3図ハを参照する。同図において、xは第1
の水平走査線であり、yは続いてなされる第2の
水平走査線である。次にyを改めて第1の水平走
査線とすると、zは続いてなされる第2の水平走
査線ということになる。そこで、それぞぜ第1の
水平走査線と第2の水平走査線との間で或る特定
の対応した画素位置A,Bの間、B,Cの間で論
理レベルの変化を検出し、しかもそのレベル変化
の態様が、A,Bの間では例えば0→1であると
したら、B,Bの間では1→0であるというよう
に、極性が反対であるとき、上述の原理に基づき
欠陥を検出することができる。検出すべき欠陥の
大小により、相互に比較すべき位置A,B,Cに
おける各画素数を大きく、或いは小さく、選択す
るとよい。
の水平走査線であり、yは続いてなされる第2の
水平走査線である。次にyを改めて第1の水平走
査線とすると、zは続いてなされる第2の水平走
査線ということになる。そこで、それぞぜ第1の
水平走査線と第2の水平走査線との間で或る特定
の対応した画素位置A,Bの間、B,Cの間で論
理レベルの変化を検出し、しかもそのレベル変化
の態様が、A,Bの間では例えば0→1であると
したら、B,Bの間では1→0であるというよう
に、極性が反対であるとき、上述の原理に基づき
欠陥を検出することができる。検出すべき欠陥の
大小により、相互に比較すべき位置A,B,Cに
おける各画素数を大きく、或いは小さく、選択す
るとよい。
以上で本発明の動作原理の説明を終わり、以
下、図を参照して本発明の一実施例を説明する。
下、図を参照して本発明の一実施例を説明する。
第4図は本発明の一実施例を示すブロツク図で
ある。同図において、9はテレビカメラからのビ
デオ信号入力、10は2値化回路、11,12は
それぞれシフトレジスタ(ラスタ走査における少
なくとも連続した2走査周期分の2値化データを
1走査周期分ずつ区切つて蓄積するデータ蓄積手
段)、13,14はそれぞれ比較回路(第1の走
査周期分における特定の画素位置のデータと第2
の走査周期分における対応した画素位置のデータ
とを前記蓄積手段から読み出して比較する手段)、
15は比較回路13の出力、16は比較回路14
の出力、である。
ある。同図において、9はテレビカメラからのビ
デオ信号入力、10は2値化回路、11,12は
それぞれシフトレジスタ(ラスタ走査における少
なくとも連続した2走査周期分の2値化データを
1走査周期分ずつ区切つて蓄積するデータ蓄積手
段)、13,14はそれぞれ比較回路(第1の走
査周期分における特定の画素位置のデータと第2
の走査周期分における対応した画素位置のデータ
とを前記蓄積手段から読み出して比較する手段)、
15は比較回路13の出力、16は比較回路14
の出力、である。
第4図において、図示せざるテレビカメラから
のビデオ信号入力9を2値化回路10において、
或る適当なしきい値レベルと比較することにより
2値化し、その2値化データを、1水平走査期間
分のデータシフト容量をもつ第1のシフトレジス
タ11に入力してシフトさせる。そして第1のシ
フトレジスタ11のシフト出力を、同じシフト容
量をもつ第2のシフトレジスタ12に入力しシフ
トさせる。両レジスタの対応するシフト位置(例
えば、QA,QB,QCの3位置)からデータを取
り出し、比較回路13に入力して比較する。この
ことは、第3図ハで説明すると、x走査線上のA
点に位置する水平方向の3画素と、y走査線上の
B点に位置する水平方向の3画素とのレベル比較
を行なうことに相当する。
のビデオ信号入力9を2値化回路10において、
或る適当なしきい値レベルと比較することにより
2値化し、その2値化データを、1水平走査期間
分のデータシフト容量をもつ第1のシフトレジス
タ11に入力してシフトさせる。そして第1のシ
フトレジスタ11のシフト出力を、同じシフト容
量をもつ第2のシフトレジスタ12に入力しシフ
トさせる。両レジスタの対応するシフト位置(例
えば、QA,QB,QCの3位置)からデータを取
り出し、比較回路13に入力して比較する。この
ことは、第3図ハで説明すると、x走査線上のA
点に位置する水平方向の3画素と、y走査線上の
B点に位置する水平方向の3画素とのレベル比較
を行なうことに相当する。
比較回路13において、シフトレジスタ11か
らの3画素分のデータA0,B0,C0と、シフトレ
ジスタ12からの3画素分のデータA1,B1,C1
を比較し、両者間のレベル変化が、例えば(明→
暗)であるとき、第1の比較回路13は有効出力
15を発生し、第2の比較回路14を起動する。
第2の比較回路14では、第1の比較回路13に
おける比較動作の時点から1水平走査分の期間経
過後に、同じく第1のシフトレジスタ11からの
3画素分のデータと第2のシフトレジスタ12か
らの3画素分のデータとのレベル比較を行なう。
このことは、第3図ハで説明すると、y走査線上
のB点に位置する水平方向の3画素と、z走査線
上のC点に位置する水平方向の3画素とのレベル
比較に相当する。その結果、両者間のレベル変化
が例えば(暗→明)であつたとすると、第2の比
較回路14は、欠陥ありの出力信号16を発生す
る。
らの3画素分のデータA0,B0,C0と、シフトレ
ジスタ12からの3画素分のデータA1,B1,C1
を比較し、両者間のレベル変化が、例えば(明→
暗)であるとき、第1の比較回路13は有効出力
15を発生し、第2の比較回路14を起動する。
第2の比較回路14では、第1の比較回路13に
おける比較動作の時点から1水平走査分の期間経
過後に、同じく第1のシフトレジスタ11からの
3画素分のデータと第2のシフトレジスタ12か
らの3画素分のデータとのレベル比較を行なう。
このことは、第3図ハで説明すると、y走査線上
のB点に位置する水平方向の3画素と、z走査線
上のC点に位置する水平方向の3画素とのレベル
比較に相当する。その結果、両者間のレベル変化
が例えば(暗→明)であつたとすると、第2の比
較回路14は、欠陥ありの出力信号16を発生す
る。
以上の説明では、3画素を単位としてレベル比
較を行なつたが、検出すべき欠陥の大小に応じ
て、任意の画素数を単位としてレベル比較を行な
うものであることは説明するまでもないであろ
う。
較を行なつたが、検出すべき欠陥の大小に応じ
て、任意の画素数を単位としてレベル比較を行な
うものであることは説明するまでもないであろ
う。
第5図は、第4図における比較回路13,14
の具体例を示す回路図である。同図において、2
2と23はそれぞれ連動スイツチ、24と40は
それぞれ3入力AND素子、25と41はそれぞ
れ3入力NOR素子、26と42はそれぞれ2入
力AND素子、27と28はそれぞれJKフリツプ
フロツプである。
の具体例を示す回路図である。同図において、2
2と23はそれぞれ連動スイツチ、24と40は
それぞれ3入力AND素子、25と41はそれぞ
れ3入力NOR素子、26と42はそれぞれ2入
力AND素子、27と28はそれぞれJKフリツプ
フロツプである。
今、(明→←暗)の変換点検出に際し、明部を論
理1、暗部を論理0に対応させて2値化するもの
とし、第5図の回路動作を説明する。
理1、暗部を論理0に対応させて2値化するもの
とし、第5図の回路動作を説明する。
第5図において、連動スイツチ22,23を図
示の位置から反対側へ切り換えておくものとす
る。上下に並んだ画素データA1,B1,C1とA0,
B0,C0につき、上(A1,B1,C1)が明(論理
1)で下(A0,B0,C0)が暗(論理0)のと
き、AND素子24のAND出力は1、NOR素子
25のNOR出力も1になりAND素子26の出力
が1となつて、JKフリツプフロツプ27がセツ
トされる。すなわち、明部から暗部への変化点が
求められたことになる。フリツプフロツプ27の
出力QAがJKフリツプフロツプ28のクリア端子
に入り、クリアを解除するのでフリツプフロツプ
28が動作可能になる。この後(1水平走査期間
経過後)で、上下のデータA1,B1,C1とA0,
B0,C0につき、上が暗で下が明になるとき、
AND素子40のAND出力は1、NOR素子41
のNOR出力も1になり、AND素子42の出力が
1となつて、フリツプフロツプ28がセツトされ
る。すなわち、暗部から明部への変化点が求めら
れたことになり、初めに明から暗の変化点があ
り、次に暗から明の変化点の現われる欠陥が検出
されたことになる。
示の位置から反対側へ切り換えておくものとす
る。上下に並んだ画素データA1,B1,C1とA0,
B0,C0につき、上(A1,B1,C1)が明(論理
1)で下(A0,B0,C0)が暗(論理0)のと
き、AND素子24のAND出力は1、NOR素子
25のNOR出力も1になりAND素子26の出力
が1となつて、JKフリツプフロツプ27がセツ
トされる。すなわち、明部から暗部への変化点が
求められたことになる。フリツプフロツプ27の
出力QAがJKフリツプフロツプ28のクリア端子
に入り、クリアを解除するのでフリツプフロツプ
28が動作可能になる。この後(1水平走査期間
経過後)で、上下のデータA1,B1,C1とA0,
B0,C0につき、上が暗で下が明になるとき、
AND素子40のAND出力は1、NOR素子41
のNOR出力も1になり、AND素子42の出力が
1となつて、フリツプフロツプ28がセツトされ
る。すなわち、暗部から明部への変化点が求めら
れたことになり、初めに明から暗の変化点があ
り、次に暗から明の変化点の現われる欠陥が検出
されたことになる。
連動スイツチ22,23の接点をともにA1,
A0,B1,B0へつながないときには、上下に並ん
だ1画素について検査を行うので、1画素相当の
大きさでも被検査対象物の周辺から内側へ入り込
んだ欠陥があれば検出される。連動スイツチ22
のみをA1,A0へつながないときには、2画素相
当分の大きさ以上、内側へ入り込んだ欠陥が検出
される。連動スイツチ22,23をともにA1,
A0,B1,B0へつないだときには、3画素相当分
の大きさ以上、内側へ入り込んだ欠陥が検出され
る。連動スイツチ22,23の切替状態によつ
て、1画素相当分以上のものを欠陥として検出す
るか、2画素相当分以上のものを欠陥とするか、
3画素相当分以上にするかの、欠陥の大きさに応
じた検出感度の設定が可能である。
A0,B1,B0へつながないときには、上下に並ん
だ1画素について検査を行うので、1画素相当の
大きさでも被検査対象物の周辺から内側へ入り込
んだ欠陥があれば検出される。連動スイツチ22
のみをA1,A0へつながないときには、2画素相
当分の大きさ以上、内側へ入り込んだ欠陥が検出
される。連動スイツチ22,23をともにA1,
A0,B1,B0へつないだときには、3画素相当分
の大きさ以上、内側へ入り込んだ欠陥が検出され
る。連動スイツチ22,23の切替状態によつ
て、1画素相当分以上のものを欠陥として検出す
るか、2画素相当分以上のものを欠陥とするか、
3画素相当分以上にするかの、欠陥の大きさに応
じた検出感度の設定が可能である。
この検査方式では、上下方向に並んだデータに
ついて明→←暗の変化点を求め、欠陥を検出するの
で、欠陥は、被検査対象物が円形であるとしたと
き、円の周辺部にあろうが、内側にあろうが、同
じように検出されることは明らかであろう。
ついて明→←暗の変化点を求め、欠陥を検出するの
で、欠陥は、被検査対象物が円形であるとしたと
き、円の周辺部にあろうが、内側にあろうが、同
じように検出されることは明らかであろう。
第6図は、第5図の回路の各部信号のタイミン
グチヤートを示したものである。同図において、
*HSYCが、テレビカメラの水平走査の同期信号
で、これに同期して、撮像画面が上から下へ順次
走査されていく。*CLOCKは、一定周期のクロ
ツク信号で、第4図11,12のシフトレジスタ
のクロツク入力であり、これに同期して、2値化
データが順次シフトされる。A0,B0,C0の信号
は、カメラから入力された画像信号を2値化した
データをクロツク信号*CLOCKによつて、順次
1ステツプ(1画素)づつシフトさせた出力であ
る。A1,B1,C1の信号は、それぞれA0,B0,
C0が1水平期間分シフトされた後の信号である。
A0,B0,C0とA1,B1,C1を同じ時点でみれ
ば、上下2段に3つ隣り合つた画素のデータがみ
られることになる。QAは、信号A1,B1,C1お
よびA0,B0,C0に従い明部から暗部への変化部
S1が検出されたときの第5図27のフリツプフ
ロツプ出力である。DEFECTは、QAが論理1と
なつた後で、信号A1,B1,C1およびA0,B0,
C0に従い暗部から明部の変化部S2が求められ
て、欠陥が検出されたときの第5図28のフリツ
プフロツプの出力である。*CLEARは、欠陥検
出を始める前に、前回の検出結果をクリアするた
めの信号である。
グチヤートを示したものである。同図において、
*HSYCが、テレビカメラの水平走査の同期信号
で、これに同期して、撮像画面が上から下へ順次
走査されていく。*CLOCKは、一定周期のクロ
ツク信号で、第4図11,12のシフトレジスタ
のクロツク入力であり、これに同期して、2値化
データが順次シフトされる。A0,B0,C0の信号
は、カメラから入力された画像信号を2値化した
データをクロツク信号*CLOCKによつて、順次
1ステツプ(1画素)づつシフトさせた出力であ
る。A1,B1,C1の信号は、それぞれA0,B0,
C0が1水平期間分シフトされた後の信号である。
A0,B0,C0とA1,B1,C1を同じ時点でみれ
ば、上下2段に3つ隣り合つた画素のデータがみ
られることになる。QAは、信号A1,B1,C1お
よびA0,B0,C0に従い明部から暗部への変化部
S1が検出されたときの第5図27のフリツプフ
ロツプ出力である。DEFECTは、QAが論理1と
なつた後で、信号A1,B1,C1およびA0,B0,
C0に従い暗部から明部の変化部S2が求められ
て、欠陥が検出されたときの第5図28のフリツ
プフロツプの出力である。*CLEARは、欠陥検
出を始める前に、前回の検出結果をクリアするた
めの信号である。
この発明によれば、撮像画面の上下方向にデー
タをみているので、円形対象物の内側にある欠陥
のように、上下、水平方向の両方向で回りから濃
淡の変化の生じる欠陥の他にも、周辺に接した欠
陥のように、水平方向では輪郭の一部とみなされ
るものでも、上下方向で回りから濃淡変化を生じ
るものが検出できる。しかも、内側にある欠陥も
含めて検出できる。処理時間は、1水平走査期間
分、データをシフトさせるだけで処理するので、
1画面の撮像期間で十分であり、処理スピードを
考慮する必要がない。
タをみているので、円形対象物の内側にある欠陥
のように、上下、水平方向の両方向で回りから濃
淡の変化の生じる欠陥の他にも、周辺に接した欠
陥のように、水平方向では輪郭の一部とみなされ
るものでも、上下方向で回りから濃淡変化を生じ
るものが検出できる。しかも、内側にある欠陥も
含めて検出できる。処理時間は、1水平走査期間
分、データをシフトさせるだけで処理するので、
1画面の撮像期間で十分であり、処理スピードを
考慮する必要がない。
対象物の外形座標そのものを求めて検査するの
ではないので、対象の大きさが拡大縮小で変化し
ても、カメラ画面内で移動しても検査には影響は
ない。
ではないので、対象の大きさが拡大縮小で変化し
ても、カメラ画面内で移動しても検査には影響は
ない。
検査対象物は、円形のものだけでなく、楕円形
のものを初め左右対象で、凸曲線より構成される
ものであれば、すべてのものの欠陥検出に本発明
は適用できる。また、第7図に示すような垂直方
向に直線的輪郭43をもつものに、本来あつては
ならない筈の凸凹D1,D2がないかどうかを検査
することにより、直線性の検査が可能である。凸
の欠陥を検出するときには、入力画像の白黒を反
転させれば、凹に変化するので、本発明の方法に
より検出が行われる。
のものを初め左右対象で、凸曲線より構成される
ものであれば、すべてのものの欠陥検出に本発明
は適用できる。また、第7図に示すような垂直方
向に直線的輪郭43をもつものに、本来あつては
ならない筈の凸凹D1,D2がないかどうかを検査
することにより、直線性の検査が可能である。凸
の欠陥を検出するときには、入力画像の白黒を反
転させれば、凹に変化するので、本発明の方法に
より検出が行われる。
第1図は従来の欠陥検出回路の原理説明図、第
2図は第1図における走査線に沿つたカメラの走
査出力のビデオ波形を示す波形図、第3図は本発
明の動作原理説明図、第4図は本発明の一実施例
を示すブロツク図、第5図は第4図における比較
回路13,14の具体例を示す回路図、第6図は
第5図における各部信号のタイミングチヤート、
第7図は本発明の用途例を示すための説明図、で
ある。 符号説明 1……被検査対象物、2……内側欠
陥、3……周辺部の欠陥、6,8……ビデオ波
形、7……走査出力レベルの変化点、9……ビデ
オ信号入力、10……2値化回路、11,12…
…シフトレジスタ、13,14……比較回路、1
5,16……出力、22,23……連動スイツ
チ。
2図は第1図における走査線に沿つたカメラの走
査出力のビデオ波形を示す波形図、第3図は本発
明の動作原理説明図、第4図は本発明の一実施例
を示すブロツク図、第5図は第4図における比較
回路13,14の具体例を示す回路図、第6図は
第5図における各部信号のタイミングチヤート、
第7図は本発明の用途例を示すための説明図、で
ある。 符号説明 1……被検査対象物、2……内側欠
陥、3……周辺部の欠陥、6,8……ビデオ波
形、7……走査出力レベルの変化点、9……ビデ
オ信号入力、10……2値化回路、11,12…
…シフトレジスタ、13,14……比較回路、1
5,16……出力、22,23……連動スイツ
チ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 被検査対象物を撮像デバイスによりラスタ走
査して得られる撮像信号の2値化データから該対
象物における欠陥を検出する欠陥検出回路におい
て、 前記ラスタ走査における少なくとも連続した2
走査周期分の2値化データを1走査周期分ずつ区
切つて蓄積するデータ蓄積手段と、 第1の走査周期分における特定の画素位置のデ
ータと第2の走査周期分における対応した画素位
置のデータとを前記蓄積手段から読み出して比較
する手段と、 比較の結果として、ラスタ走査における或る連
続した2走査周期分の2値化データについて、第
1の走査周期分における特定画素位置の2値化デ
ータの論理レベルと、続く第2の走査周期分にお
ける対応した画素位置の2値化データの論理レベ
ルと、が或る第1の極性方向において異なり、そ
の後のラスタ走査における別の連続した2走査周
期分の2値化データについて、第1の走査周期分
における特定画素位置の2値化データの論理レベ
ルと、続く第2の走査周期分における対応した画
素位置の2値化データの論理レベルと、が前記第
1の極性方向とは反対の第2の極性方向において
異なるとき、欠陥有りと判定する判定回路と、を
具備したことを特徴とする欠陥検出回路。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56162725A JPS5863838A (ja) | 1981-10-14 | 1981-10-14 | 欠陥検出回路 |
US06/432,408 US4486777A (en) | 1981-10-14 | 1982-09-30 | Defect detecting apparatus and method |
GB08228731A GB2108656B (en) | 1981-10-14 | 1982-10-07 | Detecting substrate defects |
CH5932/82A CH659707A5 (de) | 1981-10-14 | 1982-10-08 | Verfahren und schaltungsanordnung zum pruefen von gegenstaenden auf fehler anhand von binaerkodierten daten eines durch rasterabtastung erhaltenen bildsignals. |
DE19823237818 DE3237818A1 (de) | 1981-10-14 | 1982-10-12 | Verfahren zum pruefen von gegenstaenden auf fehler |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56162725A JPS5863838A (ja) | 1981-10-14 | 1981-10-14 | 欠陥検出回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5863838A JPS5863838A (ja) | 1983-04-15 |
JPS6355650B2 true JPS6355650B2 (ja) | 1988-11-04 |
Family
ID=15760083
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56162725A Granted JPS5863838A (ja) | 1981-10-14 | 1981-10-14 | 欠陥検出回路 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4486777A (ja) |
JP (1) | JPS5863838A (ja) |
CH (1) | CH659707A5 (ja) |
DE (1) | DE3237818A1 (ja) |
GB (1) | GB2108656B (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3314465A1 (de) * | 1983-04-21 | 1984-10-25 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren zur optischen oberflaechenpruefung |
DE3337468A1 (de) * | 1983-10-14 | 1985-04-25 | Optische Werke G. Rodenstock, 8000 München | Verfahren und vorrichtung zur pruefung der oberflaeche von bauteilen |
JPS60114748A (ja) * | 1983-11-26 | 1985-06-21 | Takeda Chem Ind Ltd | 固形製剤の表面異物のカメラ検査方法およびその装置 |
US4556903A (en) * | 1983-12-20 | 1985-12-03 | At&T Technologies, Inc. | Inspection scanning system |
JPS6147542A (ja) * | 1984-08-13 | 1986-03-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光フィルムの表面検査方法および装置 |
JPS6168541A (ja) * | 1984-09-12 | 1986-04-08 | Hayashi Yakuhin Kikai Kk | ビデオ式錠剤検査方法 |
JPH0616013B2 (ja) * | 1984-11-22 | 1994-03-02 | 肇産業株式会社 | 自動検査装置 |
US4697088A (en) * | 1985-06-24 | 1987-09-29 | Beltronics, Inc. | Method of and apparatus for discriminating sharp edge transitions produced during optical scanning of differently reflective regions |
KR900007548B1 (ko) * | 1985-10-04 | 1990-10-15 | 다이닛뽕스쿠링세이소오 가부시키가이샤 | 패턴 마스킹 방법 및 그 장치 |
DE3624959A1 (de) * | 1986-07-23 | 1988-01-28 | Mannesmann Ag | Automatisches verfahren zur beruehrungslosen dreidimensionalen vermessung von objekten grosser ausdehnung |
EP0263473B1 (en) * | 1986-10-03 | 1994-07-27 | Omron Tateisi Electronics Co. | Apparatus for inspecting packaged electronic device |
JPH0739999B2 (ja) * | 1991-01-24 | 1995-05-01 | 肇産業株式会社 | 欠陥検出方法 |
DE4200801A1 (de) * | 1992-01-15 | 1993-08-19 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zur durchfuehrung einer qualitaetskontrolle |
US6459448B1 (en) | 2000-04-19 | 2002-10-01 | K-G Devices Corporation | System and method for automatically inspecting arrays of geometric targets |
KR100387197B1 (ko) * | 2000-08-03 | 2003-06-12 | 주식회사 비솔 | 고속 결함 검출 시스템 및 방법 |
US7080140B2 (en) | 2001-10-05 | 2006-07-18 | International Business Machines Corporation | Storage area network methods and apparatus for validating data from multiple sources |
WO2020060772A1 (en) * | 2018-09-19 | 2020-03-26 | Corning Incorporated | Methods of measuring a size of edge defects of glass sheets using an edge defect gauge and corresponding edge defect gauge |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55129731A (en) * | 1979-03-29 | 1980-10-07 | Kan Oteru | Automatic detector for deficient tablet |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2256617C3 (de) * | 1971-11-19 | 1978-08-31 | Hitachi, Ltd., Tokio | Einrichtung zur Analyse einer Vorlage |
JPS5283745A (en) * | 1976-01-01 | 1977-07-12 | Squibb & Sons Inc | Pharmaceutically active compound |
US4207593A (en) * | 1976-07-31 | 1980-06-10 | Karl Deutsch Pruf- Und Messgeratebau Gmbh & Co. Kg | Method and apparatus for the automatic recognition and evaluation of optical crack indications on the surface of workpieces |
DE2635042C3 (de) * | 1976-08-04 | 1980-04-17 | Karl Deutsch Pruef- Und Messgeraetebau, 5600 Wuppertal | Verfahren und Vorrichtung zur Feststellung von Rissen auf der Oberfläche eines Werkstücks |
JPS55125439A (en) * | 1979-03-22 | 1980-09-27 | Hajime Sangyo Kk | Defect inspection device |
JPS55132904A (en) * | 1979-04-05 | 1980-10-16 | Fuji Electric Co Ltd | Shape inspection system |
DE2934038C2 (de) * | 1979-08-23 | 1982-02-25 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln | Rißfortschritts-Meßeinrichtung |
-
1981
- 1981-10-14 JP JP56162725A patent/JPS5863838A/ja active Granted
-
1982
- 1982-09-30 US US06/432,408 patent/US4486777A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-10-07 GB GB08228731A patent/GB2108656B/en not_active Expired
- 1982-10-08 CH CH5932/82A patent/CH659707A5/de not_active IP Right Cessation
- 1982-10-12 DE DE19823237818 patent/DE3237818A1/de active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55129731A (en) * | 1979-03-29 | 1980-10-07 | Kan Oteru | Automatic detector for deficient tablet |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH659707A5 (de) | 1987-02-13 |
US4486777A (en) | 1984-12-04 |
GB2108656A (en) | 1983-05-18 |
DE3237818A1 (de) | 1983-04-28 |
DE3237818C2 (ja) | 1991-08-22 |
GB2108656B (en) | 1985-04-24 |
JPS5863838A (ja) | 1983-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6355650B2 (ja) | ||
EP0483966B1 (en) | Method of and apparatus for inspecting a transparent or translucent article such as a bottle | |
US4523231A (en) | Method and system for automatically detecting camera picture element failure | |
JPH0526136B2 (ja) | ||
JPH0795042B2 (ja) | 繰返しパターンの欠陥検査装置 | |
JP2710527B2 (ja) | 周期性パターンの検査装置 | |
JPS6113177B2 (ja) | ||
JPH0769276B2 (ja) | 容器内面検査装置 | |
JPH09161056A (ja) | 円形容器内面検査方法 | |
JPH0236896B2 (ja) | Jikutaishobutsutainoketsukankensasochi | |
JP3234636B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP3598196B2 (ja) | 周期パターンの欠陥検査装置 | |
JPS5816837B2 (ja) | パタ−ン検出装置 | |
JPS6027064B2 (ja) | ラベルの表裏検査装置 | |
JPH04270951A (ja) | 瓶検査方法 | |
JP2634064B2 (ja) | 2値化装置 | |
JPH0477951B2 (ja) | ||
JPH11142348A (ja) | 欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置 | |
JPH0332723B2 (ja) | ||
JPS6112538B2 (ja) | ||
JPH0224322B2 (ja) | ||
JPH0480427B2 (ja) | ||
JPS61225981A (ja) | 固体撮像素子の画像欠陥補正タイミング回路 | |
JPH0359362B2 (ja) | ||
JPH1166305A (ja) | 2値化装置 |