JPH0359362B2 - - Google Patents
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- JPH0359362B2 JPH0359362B2 JP6954881A JP6954881A JPH0359362B2 JP H0359362 B2 JPH0359362 B2 JP H0359362B2 JP 6954881 A JP6954881 A JP 6954881A JP 6954881 A JP6954881 A JP 6954881A JP H0359362 B2 JPH0359362 B2 JP H0359362B2
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- Japan
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- binarized
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 7
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000013139 quantization Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は部品等の位置決め及び形状の検査を行
う装置に関するものである。
う装置に関するものである。
従来のこの種の装置は２値化処理を行つてい
た。すなわち２値化処理を行う装置はテレビカメ
ラより得られた濃淡画像からあるしきい値により
０と１による２値画像に変換し、しかる後に位置
を求めたり形状の検査を行う等の処理を行つてい
る。そのため第１図に示すような白の部分１、灰
色の部分２、黒の部分３より成る部分の形状の検
査、あるいは部品の白い傷と黒い傷の両方の検出
は２値化処理では不可能となつてしまう。また２
値化処理により可能な対象であつても安定な２値
化画像を得るためには均一な照明、シエーデイン
グの少ないテレビカメラ装置、適正に２値化レベ
ルを保つといつた条件を守らねばならず、これら
条件の整備に多大な労力を要した。
た。すなわち２値化処理を行う装置はテレビカメ
ラより得られた濃淡画像からあるしきい値により
０と１による２値画像に変換し、しかる後に位置
を求めたり形状の検査を行う等の処理を行つてい
る。そのため第１図に示すような白の部分１、灰
色の部分２、黒の部分３より成る部分の形状の検
査、あるいは部品の白い傷と黒い傷の両方の検出
は２値化処理では不可能となつてしまう。また２
値化処理により可能な対象であつても安定な２値
化画像を得るためには均一な照明、シエーデイン
グの少ないテレビカメラ装置、適正に２値化レベ
ルを保つといつた条件を守らねばならず、これら
条件の整備に多大な労力を要した。
本発明はテレビカメラの出力である濃淡画像に
対し一種の微分操作を与えて得られる境界値近傍
画像を定義し、この信号に対しパターンエツチン
グ法もしくは特開昭55−52906号公報に開示され
た手法を適用して部品等の位置決め及び形状の検
査を行うもので、これにより従来の２値化処理に
よる不都合をなくそうとするものである。
対し一種の微分操作を与えて得られる境界値近傍
画像を定義し、この信号に対しパターンエツチン
グ法もしくは特開昭55−52906号公報に開示され
た手法を適用して部品等の位置決め及び形状の検
査を行うもので、これにより従来の２値化処理に
よる不都合をなくそうとするものである。
濃淡画像に対し微分を行うことにより濃淡が急
激に変化している部分を検出し、物体の境界を得
る手法は広く行なわれており、デイジタル画像処
理における例として以下のものが良く知られてい
る。すなわち添字ｉ，ｊにより与えられる位置の
濃度をｆ（ｉ，ｊ）とするｘ方向の微分△xf＝ｆ
（ｉ，ｊ）−ｆ（ｉ−１，ｊ），ｙ方向の微分△yf＝
ｆ（ｉ，ｊ）−ｆ（ｉ，ｊ−１）を計算し、これら
の値もしくは√（△）2＋（△）2により得られ
る
勾配により境界を得る手法がある。
激に変化している部分を検出し、物体の境界を得
る手法は広く行なわれており、デイジタル画像処
理における例として以下のものが良く知られてい
る。すなわち添字ｉ，ｊにより与えられる位置の
濃度をｆ（ｉ，ｊ）とするｘ方向の微分△xf＝ｆ
（ｉ，ｊ）−ｆ（ｉ−１，ｊ），ｙ方向の微分△yf＝
ｆ（ｉ，ｊ）−ｆ（ｉ，ｊ−１）を計算し、これら
の値もしくは√（△）2＋（△）2により得られ
る
勾配により境界を得る手法がある。
またラプラシアン〓2f＝ｆ（ｉ＋１，ｊ）＋（ｉ
−１，ｊ）＋ｆ（ｉ，ｊ＋１）＋（ｉ，ｊ−１）−4f
（ｉ，ｊ）により境界を得る手法がある。
−１，ｊ）＋ｆ（ｉ，ｊ＋１）＋（ｉ，ｊ−１）−4f
（ｉ，ｊ）により境界を得る手法がある。
さてデイジタル濃淡画像より上記のｘ方向微
分、ｙ方向微分、勾配、ラプラシアンを得、これ
らに対しパターンマツチング法、若しくはパター
ンマツチング法に類似した手法を適用しても満足
すべき結果は得られない。その理由は２つあり第
１のものはデイジタル的な位置において得られた
濃淡画像のｘ方向微分値、ｙ方向微分値、勾配、
ラプラシアン等の値はサンプリング毎に変化する
ことにある。すなわち第２図においてａ点とｂ点
の間の微分値に対し、勾配の中間点をサンプリン
グしているｃ点とｄ点の間の微分値もしくはｄ点
とｅ点の間の微分値の方は前者な値の約半分の値
となつておりサンプリング位置が毎回少しずつ変
ることにより結果が著しく異なつている。
分、ｙ方向微分、勾配、ラプラシアンを得、これ
らに対しパターンマツチング法、若しくはパター
ンマツチング法に類似した手法を適用しても満足
すべき結果は得られない。その理由は２つあり第
１のものはデイジタル的な位置において得られた
濃淡画像のｘ方向微分値、ｙ方向微分値、勾配、
ラプラシアン等の値はサンプリング毎に変化する
ことにある。すなわち第２図においてａ点とｂ点
の間の微分値に対し、勾配の中間点をサンプリン
グしているｃ点とｄ点の間の微分値もしくはｄ点
とｅ点の間の微分値の方は前者な値の約半分の値
となつておりサンプリング位置が毎回少しずつ変
ることにより結果が著しく異なつている。
第２の理由はこれらの値は濃度の急激な変化に
対応した点のみで大きな変化を持ちそれ以外では
０となることが多くパターンマツチング法、もし
くはパターンマツチング法に類似した手法を適用
した場合、量子化誤差又は形状の若干の差異によ
るパターンのずれに対してマツチング率が急激に
変化し不安定かつ人間の目による評価と著しく異
なつた結果しか得られないことが多い。第３図か
ら第８図はこれらの理由を具体的に示す例で第３
図のように縦軸に対しわずかに傾いた境界を持つ
画像をサンプリングして第４図の０〜10の間の値
のサンプリング値を得ると、この勾配は第５図の
ようになり更にこの勾配を７のしきい値により２
値化すると第６図の微分２値化画像を得ることが
できる。この値は先にのべた第１の理由により境
界が飛んでおりかつ第７図の縦軸に対し傾かない
境界に対する第８図の微分２値化画像とのマツチ
ングを行うと一致点が４ケ所に対し不一致点が10
個所あり第３図と第７図は形が似ているにもかか
わらず微分２値化画像の一致率は低いことがわか
る。
対応した点のみで大きな変化を持ちそれ以外では
０となることが多くパターンマツチング法、もし
くはパターンマツチング法に類似した手法を適用
した場合、量子化誤差又は形状の若干の差異によ
るパターンのずれに対してマツチング率が急激に
変化し不安定かつ人間の目による評価と著しく異
なつた結果しか得られないことが多い。第３図か
ら第８図はこれらの理由を具体的に示す例で第３
図のように縦軸に対しわずかに傾いた境界を持つ
画像をサンプリングして第４図の０〜10の間の値
のサンプリング値を得ると、この勾配は第５図の
ようになり更にこの勾配を７のしきい値により２
値化すると第６図の微分２値化画像を得ることが
できる。この値は先にのべた第１の理由により境
界が飛んでおりかつ第７図の縦軸に対し傾かない
境界に対する第８図の微分２値化画像とのマツチ
ングを行うと一致点が４ケ所に対し不一致点が10
個所あり第３図と第７図は形が似ているにもかか
わらず微分２値化画像の一致率は低いことがわか
る。
本発明はこのような欠点を除去したもので以下
図面の一実施例により説明する。第９図はこの主
要な回路で４はテレビカメラ、５Ａ／Ｄ変換器、
６，８，１０はデータを記憶するシフトレジス
タ、７，９はテレビカメラ走査線の約２本分のデ
ータを記憶するシフトレジスタ、１１，１２，１
３，１４は減算器、１５，１６，１７，１８，１
９，２０，２１，２２は比較器、２３，２４はゲ
ート回路、２５は被検査パターンメモリ、２６は
標準パターンメモリ、２７はクロツク制御回路、
２８，２９はゲート回路、３０は累算器である。
図面の一実施例により説明する。第９図はこの主
要な回路で４はテレビカメラ、５Ａ／Ｄ変換器、
６，８，１０はデータを記憶するシフトレジス
タ、７，９はテレビカメラ走査線の約２本分のデ
ータを記憶するシフトレジスタ、１１，１２，１
３，１４は減算器、１５，１６，１７，１８，１
９，２０，２１，２２は比較器、２３，２４はゲ
ート回路、２５は被検査パターンメモリ、２６は
標準パターンメモリ、２７はクロツク制御回路、
２８，２９はゲート回路、３０は累算器である。
次に構成にもとづく動作は、２段階に分れてお
り、まず第１の段階となる映像の書込みは次のよ
うに行なわれる。
り、まず第１の段階となる映像の書込みは次のよ
うに行なわれる。
第９図において、テレビカメラ４から画面走査
に従つて出力される映像信号は画面を構成する各
画素のの位置でＡ／Ｄ変換器５によりサンプリン
グされ、その値はシフトレジスタ６に入力され
る。シフトレジスタ６〜１０は、シフトレジスタ
６を構成する１段目のレジスタ６ａの出力、シフ
トレジスタ８を構成する１段目のレジスタ８ａの
出力、およびシフトレジスタ１０を構成する１段
目のレジスタ１０ａの出力が画面の同一列とな
る。そして、これらシフトレジスタ６ａ，８ａ，
１０ａは互いに２行ずつ離れた画素となるように
構成されているため、シフトレジスタ８を構成す
る３段目のレジスタ８ｃの出力を画素ｆ（３，３）
とする５×ｆの画素間の演算が画面走査に従つて
画面全体について行なわれる。ただし、全画面の
うち、上下、左右の周辺２画素については、演算
の対象とせずその内側についてのみ演算を行うも
のとする。
に従つて出力される映像信号は画面を構成する各
画素のの位置でＡ／Ｄ変換器５によりサンプリン
グされ、その値はシフトレジスタ６に入力され
る。シフトレジスタ６〜１０は、シフトレジスタ
６を構成する１段目のレジスタ６ａの出力、シフ
トレジスタ８を構成する１段目のレジスタ８ａの
出力、およびシフトレジスタ１０を構成する１段
目のレジスタ１０ａの出力が画面の同一列とな
る。そして、これらシフトレジスタ６ａ，８ａ，
１０ａは互いに２行ずつ離れた画素となるように
構成されているため、シフトレジスタ８を構成す
る３段目のレジスタ８ｃの出力を画素ｆ（３，３）
とする５×ｆの画素間の演算が画面走査に従つて
画面全体について行なわれる。ただし、全画面の
うち、上下、左右の周辺２画素については、演算
の対象とせずその内側についてのみ演算を行うも
のとする。
すなわち前記第９図におけるテレビカメラ４に
より得られた映像信号はＡ／Ｄ変換器５によりサ
ンプリング及びデイジタル化され、 ｆ（３，５）−ｆ（３，３）， ｆ（５，３）−ｆ（３，３）， ｆ（１，３）−ｆ（３，３）， ｆ（３，１）−ｆ（３，３）， に相当する値を与えることになる。これらの出力
は第９図の比較器１５，１６，１７，１８，１
９，２０，２１，２２に与えられ、比較器１５，
１７，１９，２１においては正の値をもつしきい
値と比較され、この値以上の時、正の２値化境界
近傍画像の論理出力１を得、比較器１６，１８，
２０，２２においては先の比較器１５，１７，１
９，２１に与えられている正の値をもつしきい値
と絶対値の等しい負の値をもつしきい値と比較さ
れこの値以下の時、負の２値化境界近傍画像の論
理出力１を得る。比較器１５，１７，１９，２１
の出力はゲート回路２３においてORされ比較器
１６，１８，２０，２２の出力はゲート回路２４
においてORされクロツク制御回路２７の発生す
るアドレス信号及びクロツク信号に従つて被検査
パターンのメモリ２５に映像画面に対応する順序
で記憶される。
より得られた映像信号はＡ／Ｄ変換器５によりサ
ンプリング及びデイジタル化され、 ｆ（３，５）−ｆ（３，３）， ｆ（５，３）−ｆ（３，３）， ｆ（１，３）−ｆ（３，３）， ｆ（３，１）−ｆ（３，３）， に相当する値を与えることになる。これらの出力
は第９図の比較器１５，１６，１７，１８，１
９，２０，２１，２２に与えられ、比較器１５，
１７，１９，２１においては正の値をもつしきい
値と比較され、この値以上の時、正の２値化境界
近傍画像の論理出力１を得、比較器１６，１８，
２０，２２においては先の比較器１５，１７，１
９，２１に与えられている正の値をもつしきい値
と絶対値の等しい負の値をもつしきい値と比較さ
れこの値以下の時、負の２値化境界近傍画像の論
理出力１を得る。比較器１５，１７，１９，２１
の出力はゲート回路２３においてORされ比較器
１６，１８，２０，２２の出力はゲート回路２４
においてORされクロツク制御回路２７の発生す
るアドレス信号及びクロツク信号に従つて被検査
パターンのメモリ２５に映像画面に対応する順序
で記憶される。
この回路では、２値化された境界近傍画像を扱
うため出力の対象となる位置の画素の映像データ
とこの画素から上下左右に各々２画素の距離を持
つ４つの画素のそれぞれの映像データとの差を求
めこれらの値のうち少なくとも一つが正の値を持
つしきい値を超えないか、またはこれらの値のう
ち少なくとも１つの負の値をもつしきい値を超え
ないかを計算しているが、これらの正の最大値
（正の境界近傍画像）及び負の最小値（負の境界
近傍画像）を求め、しかる後、それぞれを正の値
を持つしきい値及び負の値を持つしきい値により
２値化しても同じ結果を得られることは明白であ
る。
うため出力の対象となる位置の画素の映像データ
とこの画素から上下左右に各々２画素の距離を持
つ４つの画素のそれぞれの映像データとの差を求
めこれらの値のうち少なくとも一つが正の値を持
つしきい値を超えないか、またはこれらの値のう
ち少なくとも１つの負の値をもつしきい値を超え
ないかを計算しているが、これらの正の最大値
（正の境界近傍画像）及び負の最小値（負の境界
近傍画像）を求め、しかる後、それぞれを正の値
を持つしきい値及び負の値を持つしきい値により
２値化しても同じ結果を得られることは明白であ
る。
さて以上の動作により被検査パターンメモリ２
５に記憶された正常な部品による２値化境界近傍
画像は標準パターンメモリ２６に移されて記憶さ
れ、新たに検査を必要とする部品による２値化境
界近傍画像を被検査パターンメモリ２５に記憶さ
れた状態で動作の第２段階とする標準パターンを
用いて部品の位置検出及び形状の検査を以下のよ
うに行う。
５に記憶された正常な部品による２値化境界近傍
画像は標準パターンメモリ２６に移されて記憶さ
れ、新たに検査を必要とする部品による２値化境
界近傍画像を被検査パターンメモリ２５に記憶さ
れた状態で動作の第２段階とする標準パターンを
用いて部品の位置検出及び形状の検査を以下のよ
うに行う。
すなわちクロツク制御回路２７より発生するア
ドレス信号及びクロツク信号によりパターンマツ
チングを行う標準パターンを標準パターンメモリ
２６より、またパターンマツチングの対象となる
パターンを被検査パターンメモリ２５より順次読
み出し、読み出された２つの正の２値化境界近傍
画像信号の排他論理和をゲート回路２８により
得、読み出された２つの負の２値化境界近傍画像
信号の排他論理和をゲート回路２９により得、こ
れらのゲート出力をパターンマツチングの範囲に
ついて累算器３０により加算し評価を得る。位置
検出は以上の動作を同一の標準パターンに対応し
て被検査パターンメモリの読み出し領域を順次ず
らしていきながら行い評価の最小となる被検査パ
ターンの読み出し領域座標を求めることにより行
われ、形状検査はこの評価の最小値、もしくは評
価の最小となる被検査パターンの読み出し領域座
標において別途評価領域を変化させてパターンマ
ツチングを行うことにより行なわれる。
ドレス信号及びクロツク信号によりパターンマツ
チングを行う標準パターンを標準パターンメモリ
２６より、またパターンマツチングの対象となる
パターンを被検査パターンメモリ２５より順次読
み出し、読み出された２つの正の２値化境界近傍
画像信号の排他論理和をゲート回路２８により
得、読み出された２つの負の２値化境界近傍画像
信号の排他論理和をゲート回路２９により得、こ
れらのゲート出力をパターンマツチングの範囲に
ついて累算器３０により加算し評価を得る。位置
検出は以上の動作を同一の標準パターンに対応し
て被検査パターンメモリの読み出し領域を順次ず
らしていきながら行い評価の最小となる被検査パ
ターンの読み出し領域座標を求めることにより行
われ、形状検査はこの評価の最小値、もしくは評
価の最小となる被検査パターンの読み出し領域座
標において別途評価領域を変化させてパターンマ
ツチングを行うことにより行なわれる。
以上実施例により説明したが、第３図の縦軸に
対しわずかに傾いた境界を持つ画像に対し本発明
の実施例を適用すれば、第１１図のような正の境
界近傍画像及び第１２図のような負の境界近傍画
像を得ることができ、これらを７により２値化し
て正及び負の２値化境界近傍画像を得、正の２値
化境界近傍画像の論理が１の部分を十で負の２値
化境界近傍画像の論理が１の部分を一で同時に示
すことにより第１３図の２値化境界近傍画像が得
られる。第１３図の２値化境界近傍画像は、第６
図の微分画像の欠点であつた勾配の中間点をサン
プリングすることによる飛びがなくなると共に第
７図の境界が縦軸に対して傾かない時得られる第
１４図の２値化境界近傍画像とのパターンマツチ
ングを行うと一致点が24ケ所に対し不一致点が16
ケ所と前に述べた微分画像の時より大巾に改善さ
れていることに示されるように量子化誤差による
パターンずれに対してマツチング率が急激に悪く
ならないため適当な評価を与えることができる効
果を持つ。
対しわずかに傾いた境界を持つ画像に対し本発明
の実施例を適用すれば、第１１図のような正の境
界近傍画像及び第１２図のような負の境界近傍画
像を得ることができ、これらを７により２値化し
て正及び負の２値化境界近傍画像を得、正の２値
化境界近傍画像の論理が１の部分を十で負の２値
化境界近傍画像の論理が１の部分を一で同時に示
すことにより第１３図の２値化境界近傍画像が得
られる。第１３図の２値化境界近傍画像は、第６
図の微分画像の欠点であつた勾配の中間点をサン
プリングすることによる飛びがなくなると共に第
７図の境界が縦軸に対して傾かない時得られる第
１４図の２値化境界近傍画像とのパターンマツチ
ングを行うと一致点が24ケ所に対し不一致点が16
ケ所と前に述べた微分画像の時より大巾に改善さ
れていることに示されるように量子化誤差による
パターンずれに対してマツチング率が急激に悪く
ならないため適当な評価を与えることができる効
果を持つ。
第１図は２値化処理により処理できないパター
ンの例を示す図、第２図は安定な微分値が得られ
ない例を示す図、第３図は縦軸に対しわずかに傾
いた境界を持つ画像の例を示す図、第４図は第３
図を数値化した図、第５図は第４図の勾配を示す
図、第６図は勾配を７のしきい値により２値化し
た微分２値化画像を示す図、第７図は縦軸に対し
傾かない境界を持つ画像の例を示す図、第８図は
第７図に対する微分２値化画像を示す図、第９図
は本発明の一実施例による形状検査装置のブロツ
ク図、第１０図は本発明による一実施例の画面に
おける関係を示す図、第１１図は第３図の画像に
対し本発明を適用して得た正の境界近傍画像を示
す図、第１２図は同じく第３図の画像に対し本発
明を適用して得た負の境界近傍画像を示す図、第
１３図は第１１図及び第１２図を７のしきい値に
より２値化して得た２値化境界近傍画像を示す
図、第１４図は第７図の画像に対し本発明を適用
して得た２値化境界近傍画像を示す図である。 ４……テレビカメラ、６，８，１０……シフト
レジスタ、１１〜１４……減算器、２３，２４，
２８，２９……ゲート回路。
ンの例を示す図、第２図は安定な微分値が得られ
ない例を示す図、第３図は縦軸に対しわずかに傾
いた境界を持つ画像の例を示す図、第４図は第３
図を数値化した図、第５図は第４図の勾配を示す
図、第６図は勾配を７のしきい値により２値化し
た微分２値化画像を示す図、第７図は縦軸に対し
傾かない境界を持つ画像の例を示す図、第８図は
第７図に対する微分２値化画像を示す図、第９図
は本発明の一実施例による形状検査装置のブロツ
ク図、第１０図は本発明による一実施例の画面に
おける関係を示す図、第１１図は第３図の画像に
対し本発明を適用して得た正の境界近傍画像を示
す図、第１２図は同じく第３図の画像に対し本発
明を適用して得た負の境界近傍画像を示す図、第
１３図は第１１図及び第１２図を７のしきい値に
より２値化して得た２値化境界近傍画像を示す
図、第１４図は第７図の画像に対し本発明を適用
して得た２値化境界近傍画像を示す図である。 ４……テレビカメラ、６，８，１０……シフト
レジスタ、１１〜１４……減算器、２３，２４，
２８，２９……ゲート回路。
Claims (1)
- １ 撮像装置から出力される映像信号を画素毎に
サンプリングしてデジタル化するＡ／Ｄ変換器
と、このＡ／Ｄ変換器の信号を入力して、出力の
対象となる位置の画素を中心として、上下左右に
少なくとも２画素の距離を持つ位置の画素のデー
タを記憶するシフトレジスタと、このシフトレジ
スタの信号を入力し、上記出力の対象となる位置
の画素を基準として、上記上下左右の画素をそれ
ぞれ減算する減算器と、これら減算器の信号の絶
対値がしきい値より大きいとき２値化信号を出力
する比較器と、これら比較器の信号から得られた
２値化境界近傍画像と、標準パターンとをパター
ンマツチングにより比較して形状の検査を行なう
累算器とを備えた形状検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6954881A JPS57184908A (en) | 1981-05-08 | 1981-05-08 | Shape detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6954881A JPS57184908A (en) | 1981-05-08 | 1981-05-08 | Shape detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57184908A JPS57184908A (en) | 1982-11-13 |
| JPH0359362B2 true JPH0359362B2 (ja) | 1991-09-10 |
Family
ID=13405877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6954881A Granted JPS57184908A (en) | 1981-05-08 | 1981-05-08 | Shape detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57184908A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5999203A (ja) * | 1982-11-18 | 1984-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学距離計による段差点検出方法 |
| JPH0629683Y2 (ja) * | 1984-01-06 | 1994-08-10 | パイオニア株式会社 | 計測電気信号レベル急変化検知装置 |
| JPS61102507A (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-21 | Amada Co Ltd | 計測検査システム |
-
1981
- 1981-05-08 JP JP6954881A patent/JPS57184908A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57184908A (en) | 1982-11-13 |
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