JP2931312B2 - 欠陥検査方法 - Google Patents
欠陥検査方法Info
- Publication number
- JP2931312B2 JP2931312B2 JP63089377A JP8937788A JP2931312B2 JP 2931312 B2 JP2931312 B2 JP 2931312B2 JP 63089377 A JP63089377 A JP 63089377A JP 8937788 A JP8937788 A JP 8937788A JP 2931312 B2 JP2931312 B2 JP 2931312B2
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- JP
- Japan
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- defect inspection
- pixel data
- addition
- inspection method
- Prior art date
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- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 発明の目的； （産業上の利用分野） この発明は、カラーテレビ用ブラウン管のシャドーマ
スク，レンチキュラーレンズ等の工業製品における黒点
やピンホール等の欠陥を検査する欠陥検査方法に関す
る。
スク，レンチキュラーレンズ等の工業製品における黒点
やピンホール等の欠陥を検査する欠陥検査方法に関す
る。
（従来の技術） 従来、カラーテレビ用ブラウン管のシャドーマスク，
レンチキュラーレンズ等の工業製品の検査方法として
は、特開昭61−256237号記載の周期性パターンの欠陥検
査方法が知られている。
レンチキュラーレンズ等の工業製品の検査方法として
は、特開昭61−256237号記載の周期性パターンの欠陥検
査方法が知られている。
（発明が解決しようとする課題） しかし、上記方法では撮像管等のエリアセンサを用い
て画面毎の処理を行なうため、例えば紙やレンチキュラ
ーレンズシート等の長尺物を検査するには間欠動作（撮
像中は停止）が必要である。更に、読取られた画像毎の
処理には例えば512×512,1024×1024ビット等の大容量
のメモリが必要になる。又、撮影する撮像管等の撮像素
子の仕様により解像度が決定されるため、撮影条件設定
に制約が多かった。
て画面毎の処理を行なうため、例えば紙やレンチキュラ
ーレンズシート等の長尺物を検査するには間欠動作（撮
像中は停止）が必要である。更に、読取られた画像毎の
処理には例えば512×512,1024×1024ビット等の大容量
のメモリが必要になる。又、撮影する撮像管等の撮像素
子の仕様により解像度が決定されるため、撮影条件設定
に制約が多かった。
この発明は上述のよな事情からなされたものであり、
この発明の目的は、長尺物が連続的に処理できると共
に、高性能な欠陥検査方法を提供することにある。
この発明の目的は、長尺物が連続的に処理できると共
に、高性能な欠陥検査方法を提供することにある。
発明の構成； （課題を解決するための手段） この発明は欠陥検査方法に関し、この発明の上記目的
は、ラインセンサ等により試料を線走査して直線上の映
像信号を得ると共に、前記試料上の走査位置を所定の搬
送量で移動することにより、前記映像信号から２次元画
像信号を得、この２次元画像信号をA/Dコンバータによ
り周期的にA/D変換して連続する複数のデジタルの画素
データを得て、これら画素データを加算手段により、複
数回の走査での対応する画素のデータ同志を加算して得
た加算データを記憶手段に順次記憶して行き、前記記憶
手段より一走査線内の画素データ数を一単位とする単位
で、複数単位分の加算データを読み出して、演算手段で
各単位間の対応する画素データ同志で加減演算をして得
た演算データの値を予め欠陥を検出するために設定され
た検出レベルと比較することにより、前記試料上の走査
位置から欠陥検査をすることにより達成される。
は、ラインセンサ等により試料を線走査して直線上の映
像信号を得ると共に、前記試料上の走査位置を所定の搬
送量で移動することにより、前記映像信号から２次元画
像信号を得、この２次元画像信号をA/Dコンバータによ
り周期的にA/D変換して連続する複数のデジタルの画素
データを得て、これら画素データを加算手段により、複
数回の走査での対応する画素のデータ同志を加算して得
た加算データを記憶手段に順次記憶して行き、前記記憶
手段より一走査線内の画素データ数を一単位とする単位
で、複数単位分の加算データを読み出して、演算手段で
各単位間の対応する画素データ同志で加減演算をして得
た演算データの値を予め欠陥を検出するために設定され
た検出レベルと比較することにより、前記試料上の走査
位置から欠陥検査をすることにより達成される。
（作用） この発明の欠陥検査方法では、所定の搬送量で移動す
る試料をライセンサ等で読取って２次元画像信号を得、
この２次元画像信号をA/DコンバータでA/D変換して複数
のデジタル画素データを作成し、これら画素データを加
算手段により所定の方法で加算して得た加算データを順
次記憶手段に記憶すると共に、遅延回路を介して演算器
により演算して得た演算データを比較回路に入力する共
に、欠陥を示す値と比較することにより欠陥検出を行な
い、長尺物を連続的に処理することができ、しかも高性
能に欠陥検出するようにしている。
る試料をライセンサ等で読取って２次元画像信号を得、
この２次元画像信号をA/DコンバータでA/D変換して複数
のデジタル画素データを作成し、これら画素データを加
算手段により所定の方法で加算して得た加算データを順
次記憶手段に記憶すると共に、遅延回路を介して演算器
により演算して得た演算データを比較回路に入力する共
に、欠陥を示す値と比較することにより欠陥検出を行な
い、長尺物を連続的に処理することができ、しかも高性
能に欠陥検出するようにしている。
（実施例） 第１図は、この発明の欠陥検査方法の様子を示してい
る。
る。
この欠陥検査方法では、Ｍ方向に定速で連続的に搬送
されるシート状の被検体１を下部に設けられた透過照明
２により照明すると共に、被検体１を透過した透過光TK
を上方に設けられたラインセンサカメラ３で撮像し、得
られたアナログの画素データGDを欠陥検査装置10でデー
タ処理をして欠陥信号KSを出力するようになっている。
されるシート状の被検体１を下部に設けられた透過照明
２により照明すると共に、被検体１を透過した透過光TK
を上方に設けられたラインセンサカメラ３で撮像し、得
られたアナログの画素データGDを欠陥検査装置10でデー
タ処理をして欠陥信号KSを出力するようになっている。
第２図は欠陥検査装置10のブロック構成例を示してい
る。
る。
この欠陥検査装置10では、ラインセンサカメラ３から
の画素データGDがA/Dコンバータ11に入力され、A/D変換
された画素データDD（8bit程度）が加算回路12に入力さ
れる。加算回路12で指定された走査回数だけ対応する画
素データを繰返し加算された加算データDD1が、ライン
メモリ13に順次記憶される。このラインメモリ13に記憶
されるデータは、ランダムなノイズ成分が抑制されたデ
ータである。ただし、上記搬送される被検体１の送り量
は、加算する走査回数でラインセンサカメラ３の画素サ
イズに相当する距離又はそれ以下の移動速度とする。ま
た、この搬送は間欠送りにしても良い。ラインメモリ13
に記憶されたデータDD2は加算処理が終る毎に読出さ
れ、遅延回路14,15により数ラインずつ遅延されたデー
タDD3,DD4となる。演算器16,17は遅延回路14,15で設定
されたライン数離れた点の同一画素により加算データの
差データDD4,DD5を出力し、演算器18は差データDD4及び
DD5の差を演算し、差データDD6を出力する。
の画素データGDがA/Dコンバータ11に入力され、A/D変換
された画素データDD（8bit程度）が加算回路12に入力さ
れる。加算回路12で指定された走査回数だけ対応する画
素データを繰返し加算された加算データDD1が、ライン
メモリ13に順次記憶される。このラインメモリ13に記憶
されるデータは、ランダムなノイズ成分が抑制されたデ
ータである。ただし、上記搬送される被検体１の送り量
は、加算する走査回数でラインセンサカメラ３の画素サ
イズに相当する距離又はそれ以下の移動速度とする。ま
た、この搬送は間欠送りにしても良い。ラインメモリ13
に記憶されたデータDD2は加算処理が終る毎に読出さ
れ、遅延回路14,15により数ラインずつ遅延されたデー
タDD3,DD4となる。演算器16,17は遅延回路14,15で設定
されたライン数離れた点の同一画素により加算データの
差データDD4,DD5を出力し、演算器18は差データDD4及び
DD5の差を演算し、差データDD6を出力する。
ここにおいて、第３図は、ラインセンサカメラ３の１
つの画素のデータ変化と演算器16〜18の出力を説明して
おり、ラインメモリ13から出力されたデータDD2がP1
を、遅延回路14からのデータDD3がP2を、遅延回路15か
らのデータDD4がP3をそれぞれ示している。このとき、
演算器16よりの差データDD4は DD4＝P1−P2 ……（１） のようになり、演算器17よりの差データDD5は DD5＝P2−P3 ……（２） となる。そこで、演算器18の差データDD6は DD6＝（P1−P2）−（P2−P3） ＝（P1＋P3）−2P2 ……（３） となる。つまり、差データDD6の値は第３図のP1とP3の
平均とP2の差を意味し、これはP2近傍の傾きの影響を取
除いた画素データの変化量となる。そこで、差データDD
6を比較回路19に入力し、予め閾値発生回路20で設定さ
れた欠陥レベルを示す閾値SDと比較すれば、微小欠陥が
あった場合に欠陥信号KSが出力される。
つの画素のデータ変化と演算器16〜18の出力を説明して
おり、ラインメモリ13から出力されたデータDD2がP1
を、遅延回路14からのデータDD3がP2を、遅延回路15か
らのデータDD4がP3をそれぞれ示している。このとき、
演算器16よりの差データDD4は DD4＝P1−P2 ……（１） のようになり、演算器17よりの差データDD5は DD5＝P2−P3 ……（２） となる。そこで、演算器18の差データDD6は DD6＝（P1−P2）−（P2−P3） ＝（P1＋P3）−2P2 ……（３） となる。つまり、差データDD6の値は第３図のP1とP3の
平均とP2の差を意味し、これはP2近傍の傾きの影響を取
除いた画素データの変化量となる。そこで、差データDD
6を比較回路19に入力し、予め閾値発生回路20で設定さ
れた欠陥レベルを示す閾値SDと比較すれば、微小欠陥が
あった場合に欠陥信号KSが出力される。
発明の効果； この発明の欠陥検査方法によれば被検体を連続的に画
像処理することができるので、大容量メモリが不要な利
点がある。又、高価な遅延回路が数ラインですむ利点が
ある。又、水平方向に例えば512〜5000PIXのラインセン
サを垂直方向は移動速度設定により任意設定することが
可能で、解像度の選択が自由にできる利点がある。さら
に、長尺物の被検体を連続的に、しかも高速度で処理で
きる利点がある。
像処理することができるので、大容量メモリが不要な利
点がある。又、高価な遅延回路が数ラインですむ利点が
ある。又、水平方向に例えば512〜5000PIXのラインセン
サを垂直方向は移動速度設定により任意設定することが
可能で、解像度の選択が自由にできる利点がある。さら
に、長尺物の被検体を連続的に、しかも高速度で処理で
きる利点がある。
第１図はこの発明の欠陥検査方法の様子を示す図、第２
図はその欠陥検査装置のブロック構成図、第３図は演算
器の説明を示す図である。 １……被検体、２……透過照明、３……ラインセンサカ
メラ、10……欠陥検査装置、11……A/Dコンバータ、12
……加算回路、13……ラインメモリ、14,15……遅延回
路、16〜18……演算器、19……比較回路、20……閾値発
生回路。
図はその欠陥検査装置のブロック構成図、第３図は演算
器の説明を示す図である。 １……被検体、２……透過照明、３……ラインセンサカ
メラ、10……欠陥検査装置、11……A/Dコンバータ、12
……加算回路、13……ラインメモリ、14,15……遅延回
路、16〜18……演算器、19……比較回路、20……閾値発
生回路。
Claims (1)
- 【請求項１】試料を線走査して直線上の映像信号を得る
と共に、前記試料上の走査位置を所定の搬送量で移動す
ることにより、前記映像信号から２次元画像信号を得、
この２次元画像信号をA/Dコンバータにより周期的にA/D
変換して連続する複数のデジタルの画素データを得て、
これら画素データを加算手段により、複数回の走査での
対応する画素のデータ同志を加算して得た加算データを
記憶手段に順次記憶して行き、前記記憶手段より一走査
線内の画素データ数を一単位とする単位で、複数単位分
の加算データを読み出して、演算手段で各単位間の対応
する画素データ同志で加減演算をして得た演算データの
値を予め欠陥を検出するために設定された検出レベルと
比較することにより、前記試料上の走査位置から欠陥検
査をするようにしたことを特徴とする欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63089377A JP2931312B2 (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63089377A JP2931312B2 (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01260585A JPH01260585A (ja) | 1989-10-17 |
| JP2931312B2 true JP2931312B2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=13968995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63089377A Expired - Lifetime JP2931312B2 (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2931312B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6108068B2 (ja) * | 2012-11-13 | 2017-04-05 | 東洋製罐株式会社 | 缶体検査装置及び方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5952776B2 (ja) * | 1976-05-18 | 1984-12-21 | 石川島播磨重工業株式会社 | 探傷装置 |
-
1988
- 1988-04-12 JP JP63089377A patent/JP2931312B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01260585A (ja) | 1989-10-17 |
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