JPH01260585A - 欠陥検査方法 - Google Patents
欠陥検査方法Info
- Publication number
- JPH01260585A JPH01260585A JP63089377A JP8937788A JPH01260585A JP H01260585 A JPH01260585 A JP H01260585A JP 63089377 A JP63089377 A JP 63089377A JP 8937788 A JP8937788 A JP 8937788A JP H01260585 A JPH01260585 A JP H01260585A
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- Japan
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
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- 241000238631 Hexapoda Species 0.000 abstract 1
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
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- 206010064127 Solar lentigo Diseases 0.000 description 1
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Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的。
（産業上の利用分野）
この発明は、カラーテレビ用ブラウン管のシャドーマス
ク、レンチキュラーレンズ等の工業製品におりる黒点や
ビンポール等の欠陥を検査する欠陥検査方法に関する。
ク、レンチキュラーレンズ等の工業製品におりる黒点や
ビンポール等の欠陥を検査する欠陥検査方法に関する。
（従来の技術）
従来、カラーテレビ用ブラウン管のシャドーマスク１
レンチキュラー１ノンズ等の工業製品の検査方法として
は、特開昭ｆｉｌ−２５６２３７号記載の周期性パタ一
記載欠陥検査方法が知られている。
レンチキュラー１ノンズ等の工業製品の検査方法として
は、特開昭ｆｉｌ−２５６２３７号記載の周期性パタ一
記載欠陥検査方法が知られている。
（発明か解決しようとする課題）
しかし、上記方法では撮像管等のエリアセンサを用いて
画面毎の処理を行／ｌうため、例えは紙やレンヂキュラ
ーレンズシート等の長尺物を検査するには間欠動作（撮
像中は停止）か必要である。
画面毎の処理を行／ｌうため、例えは紙やレンヂキュラ
ーレンズシート等の長尺物を検査するには間欠動作（撮
像中は停止）か必要である。
更に、読取られた画像毎の処理には例えは５１７×５１
２、ｌ０２４ｘ １０２４ヒッｌ−等の大容量のメモリ
か必要になる。又、１１ν影する撮像管等の撮像素子の
仕様により解像度か決定されるため、撮ｊｊｉ三条件設
定に制約か多かった。
２、ｌ０２４ｘ １０２４ヒッｌ−等の大容量のメモリ
か必要になる。又、１１ν影する撮像管等の撮像素子の
仕様により解像度か決定されるため、撮ｊｊｉ三条件設
定に制約か多かった。
この発明は」二連のよな事・［１１から）了されたもの
であり、この発明の目的は、長尺物か連続的に処理でき
ると共に、高性能な欠陥検査方法を提イ貝することにあ
る。
であり、この発明の目的は、長尺物か連続的に処理でき
ると共に、高性能な欠陥検査方法を提イ貝することにあ
る。
発明の構成。
（課題を）す？決するだめの手段）
この発明は欠陥検査方法に関し、この発明の」−記目的
は、ラインメモリ等により試着を線走査して直線上の映
像信号を得ると共に、前記試着」二の走査位置を所定の
１般送量で移動させることにより、前記映像信号から２
次元画像信−号をマｑ、この２次元画像信号をＡ／Ｉｌ
ｌコンバータにより周期的にΔ／Ｄ変換して連続する複
数のデジタルの画素データを得て、こ１＋ら画素データ
を加算手段により、複数回の走査てのス１応する画素の
データ同志を加算して得た加算データを記憶手段に記憶
して行き、前記記憶手段より所定量の加算データな読出
して、７可算手段で演算をして得た演算データの値を予
め欠陥を検出するために設定された検出レベルと比較す
ることに、前記試料上の走査位置から欠陥検査をするこ
とにより達成される。
は、ラインメモリ等により試着を線走査して直線上の映
像信号を得ると共に、前記試着」二の走査位置を所定の
１般送量で移動させることにより、前記映像信号から２
次元画像信−号をマｑ、この２次元画像信号をＡ／Ｉｌ
ｌコンバータにより周期的にΔ／Ｄ変換して連続する複
数のデジタルの画素データを得て、こ１＋ら画素データ
を加算手段により、複数回の走査てのス１応する画素の
データ同志を加算して得た加算データを記憶手段に記憶
して行き、前記記憶手段より所定量の加算データな読出
して、７可算手段で演算をして得た演算データの値を予
め欠陥を検出するために設定された検出レベルと比較す
ることに、前記試料上の走査位置から欠陥検査をするこ
とにより達成される。
（作用）
この発明の欠陥検査方法では、所定の搬送量で移動する
試料をライセンサ等で読取フて２次元画画像信号を得、
この２次元画像信号をへ／ＤコンバータてΔ／Ｄ変換し
て複数のデジタル画素データを作成し、これら画素デー
タを加算手段により所定の方法て加算して得た加佐デー
タを順次記憶手段に記憶すると共に、遅延回路を介して
演算器により演算して得た演算データを比較回路に人力
する共に、欠陥を示ず値と比較することにより欠陥検出
を行ない、長尺物を連続的に処理することかてぎ、しか
も高・［」２酸に欠陥検出するようにしＣいる。
試料をライセンサ等で読取フて２次元画画像信号を得、
この２次元画像信号をへ／ＤコンバータてΔ／Ｄ変換し
て複数のデジタル画素データを作成し、これら画素デー
タを加算手段により所定の方法て加算して得た加佐デー
タを順次記憶手段に記憶すると共に、遅延回路を介して
演算器により演算して得た演算データを比較回路に人力
する共に、欠陥を示ず値と比較することにより欠陥検出
を行ない、長尺物を連続的に処理することかてぎ、しか
も高・［」２酸に欠陥検出するようにしＣいる。
（実施例）
第１図は、この発明の欠陥検査方法の様子を示している
。
。
この欠陥検査方法では、Ｍ方向に定速で連続的に搬送さ
れるシー１〜状の被検体１をＴ部に設りられた透過照明
２により照明すると共に、被検体１を透過した透過光Ｔ
Ｋを」二方に設りられたラインセンサカメラ３て撮像し
、摺られたアナログの画素データＧＤを欠陥検査装置ｌ
Ｏでデータ処理をして欠陥信号ＫＳを出力するようにな
っている。
れるシー１〜状の被検体１をＴ部に設りられた透過照明
２により照明すると共に、被検体１を透過した透過光Ｔ
Ｋを」二方に設りられたラインセンサカメラ３て撮像し
、摺られたアナログの画素データＧＤを欠陥検査装置ｌ
Ｏでデータ処理をして欠陥信号ＫＳを出力するようにな
っている。
第２図は欠陥検査装置ｌＯのブロック構成例を示してい
る。
る。
この欠陥検査装置１０ては、ラインセンサカメラ３から
の画素データＧＤかＡ／Ｄコンバータ１１に人力され、
へ／Ｄ変換された画素データＤＤ（８ｂｉｔ程度）が加
算回路１２に人力される。加算回路１２て指定された走
査回数だり対応する画素データをａ返し加算された加算
データＤＤＩ か、ラインメモリ１３に順次記憶される
。このラインメモリ１３に記１意さ］するデータは、ラ
ンタムノＪノイズ成分か抑制さねたデータである。たた
し、」二記搬送される被検体１の送り刑は、加算する走
査回数てラインセンサカメラ３の画素サイズに相当する
距離又はそれり下の移動速度とする。また、この搬送は
間欠送りにしても良い。ラインメモリ１３に記憶された
データＤＤ２Ｌｌ加算処理か終る毎に読出され、遅延回
路１４．１５により数ラインずつ遅延されたデータＤＤ
３ 。
の画素データＧＤかＡ／Ｄコンバータ１１に人力され、
へ／Ｄ変換された画素データＤＤ（８ｂｉｔ程度）が加
算回路１２に人力される。加算回路１２て指定された走
査回数だり対応する画素データをａ返し加算された加算
データＤＤＩ か、ラインメモリ１３に順次記憶される
。このラインメモリ１３に記１意さ］するデータは、ラ
ンタムノＪノイズ成分か抑制さねたデータである。たた
し、」二記搬送される被検体１の送り刑は、加算する走
査回数てラインセンサカメラ３の画素サイズに相当する
距離又はそれり下の移動速度とする。また、この搬送は
間欠送りにしても良い。ラインメモリ１３に記憶された
データＤＤ２Ｌｌ加算処理か終る毎に読出され、遅延回
路１４．１５により数ラインずつ遅延されたデータＤＤ
３ 。
ＤＤ４ となる。演算器１６．１７は遅延回路１４．１
５で設定されたライン数冊れた点の同一画素により加算
データの差データＤＤ４ 、ＤＤ５を出力し、演算器１
８は差データＤＤ４及びＤＤ５の差を演算し、差データ
ＤＤ６を出力する。
５で設定されたライン数冊れた点の同一画素により加算
データの差データＤＤ４ 、ＤＤ５を出力し、演算器１
８は差データＤＤ４及びＤＤ５の差を演算し、差データ
ＤＤ６を出力する。
ここにおいて、第３図は、ラインセンサカメラ３の１つ
の画素のデータ変化と演算器１６〜１８の出力を説明し
ており、ラインメ干り１３から出力されたデータＤＤ２
かＰｌを、遅延回路１４からのデータＤＤ３かＰ２を、
遅延回路１５からのデータＤＤ４／Ｊ）Ｐ３をそれぞれ
示している。このとき、演算器１６よりの差データＤＤ
４ は ＤＤ４ ＝ ＰＩ −Ｐ２ ・・・・
・・・・・（１）のように２Ｊす、演算器１７よりの差
データＤＤ５はＤＤ５ ＝ Ｐ２− Ｐ３
・・・・・・・・・（２）となる。そこて、演算
器１８の差データＤＤ６はＤＤ６ ＝ （Ｐｌ、
−Ｐ２） −（ｉ’２ − Ｐ３ ）＝（ＰＩ
→ １１３） −２Ｐ２・・・・・・・・・（３
） となる。つまり、差データＤＤ６の４９’４は第３図の
ＰｌとＰ３の平均と１〕２の差を意味し、これ幻Ｐ２近
傍の傾きの影響を取除いた画素データの変化量と／ざる
。
の画素のデータ変化と演算器１６〜１８の出力を説明し
ており、ラインメ干り１３から出力されたデータＤＤ２
かＰｌを、遅延回路１４からのデータＤＤ３かＰ２を、
遅延回路１５からのデータＤＤ４／Ｊ）Ｐ３をそれぞれ
示している。このとき、演算器１６よりの差データＤＤ
４ は ＤＤ４ ＝ ＰＩ −Ｐ２ ・・・・
・・・・・（１）のように２Ｊす、演算器１７よりの差
データＤＤ５はＤＤ５ ＝ Ｐ２− Ｐ３
・・・・・・・・・（２）となる。そこて、演算
器１８の差データＤＤ６はＤＤ６ ＝ （Ｐｌ、
−Ｐ２） −（ｉ’２ − Ｐ３ ）＝（ＰＩ
→ １１３） −２Ｐ２・・・・・・・・・（３
） となる。つまり、差データＤＤ６の４９’４は第３図の
ＰｌとＰ３の平均と１〕２の差を意味し、これ幻Ｐ２近
傍の傾きの影響を取除いた画素データの変化量と／ざる
。
そこて、差データＤＤ６を比較回路１９に人力し、予め
閾値発生回路２０て設定された欠陥レベルを示ず閾値５
Ｄど比較ずれｉＪ、微小欠陥かあった場合に欠陥信号Ｋ
Ｓか出力される。
閾値発生回路２０て設定された欠陥レベルを示ず閾値５
Ｄど比較ずれｉＪ、微小欠陥かあった場合に欠陥信号Ｋ
Ｓか出力される。
発明の効果。
この発明の欠陥検査方法によれは被検体をｉ！ｌｉ続的
に画像処理することかできるので、大容量メモリか不要
な利点かある。又、高価な遅延回路か数ラインですむ利
点かある。又、水平方向に例えは５１２〜５０００Ｉ’
ｌＸのラインセンサを垂直方向は移動速度設定により任
忌設定することか可能て、解像度のｊ巽択か自由にてき
る利点かある。ざらに、長尺物の被検体を連続的に、し
かも高速度て処理できる利点かある。
に画像処理することかできるので、大容量メモリか不要
な利点かある。又、高価な遅延回路か数ラインですむ利
点かある。又、水平方向に例えは５１２〜５０００Ｉ’
ｌＸのラインセンサを垂直方向は移動速度設定により任
忌設定することか可能て、解像度のｊ巽択か自由にてき
る利点かある。ざらに、長尺物の被検体を連続的に、し
かも高速度て処理できる利点かある。
第１図はこの発明の欠陥検査方法の様子を示す図、第２
図はその欠陥検査装置のブロック構成図、第３図は演算
器の説明を示す図である。 １・・被検体、２・・・透過照明、３・・・ラインセン
サカメラ、１０・・・欠陥検査装置、１１・・・ 八
／Ｄ コンバータ、１２・・・加算回路、１３・・・
ラインメモリ、１４゜１５・・・遅延回路、１６〜１８
・・・演算器、１９・・・比較回路、２０・・閾値発生
回路。 出願人代理人 安 形 Ｈ［三
図はその欠陥検査装置のブロック構成図、第３図は演算
器の説明を示す図である。 １・・被検体、２・・・透過照明、３・・・ラインセン
サカメラ、１０・・・欠陥検査装置、１１・・・ 八
／Ｄ コンバータ、１２・・・加算回路、１３・・・
ラインメモリ、１４゜１５・・・遅延回路、１６〜１８
・・・演算器、１９・・・比較回路、２０・・閾値発生
回路。 出願人代理人 安 形 Ｈ［三
Claims (1)
- １、試料を線走査して直線状の映像信号を得ると共に、
前記試料上の走査位置を所定の搬送量で移動することに
より、前記映像信号から２次元画像信号を得、この２次
元画像信号をＡ／Ｄコンバータにより周期的にＡ／Ｄ変
換して連続する複数のデジタルの画素データを得て、こ
れら画素データを加算手段により、複数回の走査での対
応する画素のデータ同志を加算して得た加算データを記
憶手段に順次記憶して行き、前記記憶手段より所定量の
加算データを読出して、演算手段で所定の演算をして得
た演算データの値を予め欠陥を検出するために設定され
た検出レベルと比較することにより、前記試料上の走査
位置から欠陥検査をするようにしたことを特徴とする欠
陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63089377A JP2931312B2 (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63089377A JP2931312B2 (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01260585A true JPH01260585A (ja) | 1989-10-17 |
| JP2931312B2 JP2931312B2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=13968995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63089377A Expired - Lifetime JP2931312B2 (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2931312B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014077099A1 (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-22 | 東洋製罐グループホールディングス株式会社 | 缶体検査装置及び方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52140388A (en) * | 1976-05-18 | 1977-11-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Flaw detector |
-
1988
- 1988-04-12 JP JP63089377A patent/JP2931312B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52140388A (en) * | 1976-05-18 | 1977-11-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Flaw detector |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014077099A1 (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-22 | 東洋製罐グループホールディングス株式会社 | 缶体検査装置及び方法 |
| JP2014098574A (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 缶体検査装置及び方法 |
| US9885667B2 (en) | 2012-11-13 | 2018-02-06 | Toyo Seikan Group Holdings, Ltd. | Can body inspection apparatus and method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2931312B2 (ja) | 1999-08-09 |
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