JPS6349388A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS6349388A JPS6349388A JP61192186A JP19218686A JPS6349388A JP S6349388 A JPS6349388 A JP S6349388A JP 61192186 A JP61192186 A JP 61192186A JP 19218686 A JP19218686 A JP 19218686A JP S6349388 A JPS6349388 A JP S6349388A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- wavelength
- processing
- laser beam
- light
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザ光を用いて加工を行なうレーザ加工装
置に関するものである。
置に関するものである。
（従来の技術）
以下、図面を参照しながら従来のレーザ加工装置につい
て説明を行なう。
て説明を行なう。
第２図は、従来のレーザ加工装置の一例を示したもので
ある。第２図において、１はレーザ光を取り出すために
設けられた出力鏡、２はレーザ光を偏光するために設け
られた光学部品、３はレーザ光の方向を加工に適した方
向に変えるための全反射鏡、４はレーザビームを集光す
るためのレンズ、そして５は加工面にレーザビームを導
くためのトーチである。
ある。第２図において、１はレーザ光を取り出すために
設けられた出力鏡、２はレーザ光を偏光するために設け
られた光学部品、３はレーザ光の方向を加工に適した方
向に変えるための全反射鏡、４はレーザビームを集光す
るためのレンズ、そして５は加工面にレーザビームを導
くためのトーチである。
以上のように構成されたレーザ加工装置について、以下
にその動作について説明をする。
にその動作について説明をする。
まず、出力鏡１を出たレーザ光は、光学部品２で加工に
適した特徴をもつレーザ光にされ、全反射鏡３で加工す
る方向に向けられる。さらに、レンズ４で加工面付近で
焦点を結ぶように集光され、トーチ５により加工面に導
かれる。そして、加工面に導かれたレーザ光は切断、溶
接および熱処理等に利用される。
適した特徴をもつレーザ光にされ、全反射鏡３で加工す
る方向に向けられる。さらに、レンズ４で加工面付近で
焦点を結ぶように集光され、トーチ５により加工面に導
かれる。そして、加工面に導かれたレーザ光は切断、溶
接および熱処理等に利用される。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、ある特定の波長を持つレーザ光は加工材
料に当たるとその一部は吸収され、残りは反射される。
料に当たるとその一部は吸収され、残りは反射される。
加工される材料が特有に持つ光学的性質のうちレーザ光
と同じ波長の光に対する反射率が高いと、レーザ光が有
効に作用せず各種加工が困難になるばかりでなく１反射
されたレーザ光が強くなると作業者が危険にさらされる
ことになる。また１反射されたレーザ光の一部が発振器
に逆戻りすると、レーザ出力が不安定になる。
と同じ波長の光に対する反射率が高いと、レーザ光が有
効に作用せず各種加工が困難になるばかりでなく１反射
されたレーザ光が強くなると作業者が危険にさらされる
ことになる。また１反射されたレーザ光の一部が発振器
に逆戻りすると、レーザ出力が不安定になる。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、前記の欠点である加工材料によるレーザ光の
反射を防止するため、加工材料に合わせて反射率の低い
波長にレーザ光の波長を変調する素子を発振器内の出力
鏡とトーチの間の光路上に設けたものである。
反射を防止するため、加工材料に合わせて反射率の低い
波長にレーザ光の波長を変調する素子を発振器内の出力
鏡とトーチの間の光路上に設けたものである。
（作 用）
前記の構造を用いることにより、次のような作用効果が
得られる。
得られる。
１、 レーザ光の反射光が少なくなるので、加工を効率
的に行なうことができるだけでなく、使用するレーザ光
に対して反射率が高い材料でも加工できるようになり、
レーザ加工装置の利用分野が拡大する。
的に行なうことができるだけでなく、使用するレーザ光
に対して反射率が高い材料でも加工できるようになり、
レーザ加工装置の利用分野が拡大する。
２、 レーザ光の反射が減少するので、レーザ加工作業
の安全性が向上する。
の安全性が向上する。
３、 レーザ光の戻り光によって誘発されるレーザ発振
の不安定性が減少する。
の不安定性が減少する。
以上の３つの作用効果により、本発明を用いたレーザ加
工装置は加工可能な材料が増加し、利用分野が飛躍的に
拡がるだけでなく、レーザ発振器の安定性が確保される
。さらに、作業者の安定性の向上を図ることができる。
工装置は加工可能な材料が増加し、利用分野が飛躍的に
拡がるだけでなく、レーザ発振器の安定性が確保される
。さらに、作業者の安定性の向上を図ることができる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明を行なう。
明を行なう。
第１図は、本発明を実施したレーザ装置の一例を示して
いる。第１図に於いて、６はレーザ光の波長を変調する
素子である。そして、その他の構成は第２図に示す従来
例と同じである。
いる。第１図に於いて、６はレーザ光の波長を変調する
素子である。そして、その他の構成は第２図に示す従来
例と同じである。
前記の構成に於いて、加工材料が特有に持つ光学的性質
のうちレーザ光と同じ波長に対する反射率が低い加工材
料は効果的に加工されるが、反射率が高い加工材料はレ
ーザ光が反射され、エネルギーが加工材料に注入できず
、加工が極めて困難になる。
のうちレーザ光と同じ波長に対する反射率が低い加工材
料は効果的に加工されるが、反射率が高い加工材料はレ
ーザ光が反射され、エネルギーが加工材料に注入できず
、加工が極めて困難になる。
そこでこのような現象を防止するため、レーザ波長変調
素子を発振器内の出力鏡とトーチの間に設置して、レー
ザ光の波長を反射率の低い波長に変換し、加工の効率を
向上させるばかりでなく、レーザ加工の対象となる材料
が拡大される。また、レーザ戻り光に誘発されるレーザ
発振の不安定性も減少させることが可能である。さらに
、レーザ反射光が減少することにより、レーザ加工作業
者の安全性も向上する。
素子を発振器内の出力鏡とトーチの間に設置して、レー
ザ光の波長を反射率の低い波長に変換し、加工の効率を
向上させるばかりでなく、レーザ加工の対象となる材料
が拡大される。また、レーザ戻り光に誘発されるレーザ
発振の不安定性も減少させることが可能である。さらに
、レーザ反射光が減少することにより、レーザ加工作業
者の安全性も向上する。
（発明の効果）
以上の説明からも明らかなように１本発明によればレー
ザ加工が効率的に行なわれレーザ加工の利用分野が拡大
されるだけでなく、レーザ発振器の安定性も向上する。
ザ加工が効率的に行なわれレーザ加工の利用分野が拡大
されるだけでなく、レーザ発振器の安定性も向上する。
さらに、レーザ加工作業者の安全性が向上し、その効果
は大である。
は大である。
第１図は、本発明の実施例の１つを示す図、第２図は、
従来のレーザ加工装置の一例を示す図である・ １・・・出力鏡、 ２・・・光学部品、 ３・・・全反
射ｍ、 ４・・・レンズ、 ５・・・トーチ、 ６・
・・レーザ光の波長を変調する素子。
従来のレーザ加工装置の一例を示す図である・ １・・・出力鏡、 ２・・・光学部品、 ３・・・全反
射ｍ、 ４・・・レンズ、 ５・・・トーチ、 ６・
・・レーザ光の波長を変調する素子。
Claims (1)
- レーザ光を用いて切断、溶接および熱処理等を行なうレ
ーザ加工装置において、レーザ発振器内の出力鏡とトー
チの間の光路上にレーザ光の波長を変調する素子を設け
たことを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192186A JPS6349388A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192186A JPS6349388A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6349388A true JPS6349388A (ja) | 1988-03-02 |
Family
ID=16287109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61192186A Pending JPS6349388A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6349388A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7170030B2 (en) * | 2003-09-12 | 2007-01-30 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for repair of reflective photomasks |
| CN103302402A (zh) * | 2012-03-16 | 2013-09-18 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
-
1986
- 1986-08-19 JP JP61192186A patent/JPS6349388A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7170030B2 (en) * | 2003-09-12 | 2007-01-30 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for repair of reflective photomasks |
| US7759606B2 (en) | 2003-09-12 | 2010-07-20 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for repair of reflective photomasks |
| CN103302402A (zh) * | 2012-03-16 | 2013-09-18 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
| CN103302402B (zh) * | 2012-03-16 | 2016-04-06 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
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