JPS6182990A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS6182990A JPS6182990A JP59202043A JP20204384A JPS6182990A JP S6182990 A JPS6182990 A JP S6182990A JP 59202043 A JP59202043 A JP 59202043A JP 20204384 A JP20204384 A JP 20204384A JP S6182990 A JPS6182990 A JP S6182990A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- laser
- curvature
- mirror
- divergence angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発ａｐは、被加工物にレーザビームを照射してレー
ザ刀ロエを行うレーザ加工装置、特に加工レンズに入射
するレーザビームのビーム径の変化をなくそうとしたも
のに関するものである。
ザ刀ロエを行うレーザ加工装置、特に加工レンズに入射
するレーザビームのビーム径の変化をなくそうとしたも
のに関するものである。
従来、この種のレーザ加工装置として、第２図に示すも
のがあった。図において、（１１はレーザビーム（３）
を出射するレーザ発振器、（２ａ）、（２ｂ）はレーザ
ビーム（Ａ）’を伝送するためにレーザ発振器（１１の
出射口前方に設けられた相対向して平行な反射ミラー、
（３）は加工レンズである。
のがあった。図において、（１１はレーザビーム（３）
を出射するレーザ発振器、（２ａ）、（２ｂ）はレーザ
ビーム（Ａ）’を伝送するためにレーザ発振器（１１の
出射口前方に設けられた相対向して平行な反射ミラー、
（３）は加工レンズである。
従来のレーザ加工装置は、上記のように構成され、レー
ザビーム囚は反射ミラー（２ａ）、 （２ｂ）によって
反射されて伝送されてゆき、加工レンズ（３）に入射し
、刀りエレンズ（３）により透過集光されられて被加工
物に照射され、被加工物を刀Ｕ工する。
ザビーム囚は反射ミラー（２ａ）、 （２ｂ）によって
反射されて伝送されてゆき、加工レンズ（３）に入射し
、刀りエレンズ（３）により透過集光されられて被加工
物に照射され、被加工物を刀Ｕ工する。
上記のような従来のレーザ加工装置では、反射鏡（２ａ
）、 （２ｂ）はその曲率が変わらないものであるから
、レーザ発振器（１１を出射するレーザビーム囚の発散
角が例えば第２図に示すようにαからβへというよう大
きくなるように変化した場合、反射ミラー（２ａ）、
（２ｂ）で反射され、刀ロエレンズ（３）に入射するレ
ーザビーム囚は１からβ′となり、そのビーム径が変化
してしまう。このように、加工レンズ（３）に入射する
レーザビーム（Ａ）のビーム径が変化すると、その加工
条件が変化し、一定の加工性能が得られないという問題
点があった。
）、 （２ｂ）はその曲率が変わらないものであるから
、レーザ発振器（１１を出射するレーザビーム囚の発散
角が例えば第２図に示すようにαからβへというよう大
きくなるように変化した場合、反射ミラー（２ａ）、
（２ｂ）で反射され、刀ロエレンズ（３）に入射するレ
ーザビーム囚は１からβ′となり、そのビーム径が変化
してしまう。このように、加工レンズ（３）に入射する
レーザビーム（Ａ）のビーム径が変化すると、その加工
条件が変化し、一定の加工性能が得られないという問題
点があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、レーザ発振器からのレーザビームの発散角が変化
しても加工レンズに入射するレーザビームのビーム径の
変化をできるだけ少なくして一定の加工性能を発揮する
レーザ加工装置を得ることを目的とする。
ので、レーザ発振器からのレーザビームの発散角が変化
しても加工レンズに入射するレーザビームのビーム径の
変化をできるだけ少なくして一定の加工性能を発揮する
レーザ加工装置を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザ加工装置は、レーザ発振器から出
射されたレーザビームを反射して伝送する反射ミラーを
その曲率がレーザ発振器から出射するレーザビームの発
散角の変化に対応して可変する反射境として構成したも
のである。
射されたレーザビームを反射して伝送する反射ミラーを
その曲率がレーザ発振器から出射するレーザビームの発
散角の変化に対応して可変する反射境として構成したも
のである。
この発明においては、レーザ発振器かラル−ザビームの
発散角が変化しても、そのレーザビームを反射して伝送
する反射ミラーがその曲率をレーザビームの発散角の変
化に対応して変え、加工レンズに入射するレーザビーム
のビーム径の変化をなくしているので、その加工条件は
変化せず一定のビーム径のレーザビームが被加工物を照
射する。
発散角が変化しても、そのレーザビームを反射して伝送
する反射ミラーがその曲率をレーザビームの発散角の変
化に対応して変え、加工レンズに入射するレーザビーム
のビーム径の変化をなくしているので、その加工条件は
変化せず一定のビーム径のレーザビームが被加工物を照
射する。
第１図は、この発明の一実施例を示す概略構成図である
。図において、（１）はレーザビーム囚を出射するレー
ザ発振器、（２）はレーザビーム（４）を伝送するため
にレーザ発振器（１）の出射口前方に設けられた第１の
反射ミラー、（３）は第１の反射ミラー（２）の反射光
を反射する第２の曲率制御反射ミラーで、その曲率がレ
ーザ発振器（１１より出射するレーザビーム（Ａ）の発
散角に対応して変化するように構成されている。（４）
は曲率制御反射ミラー（３）の反射光を反射して加工レ
ンズ（５）に伝送するための第６の反射ミラーである。
。図において、（１）はレーザビーム囚を出射するレー
ザ発振器、（２）はレーザビーム（４）を伝送するため
にレーザ発振器（１）の出射口前方に設けられた第１の
反射ミラー、（３）は第１の反射ミラー（２）の反射光
を反射する第２の曲率制御反射ミラーで、その曲率がレ
ーザ発振器（１１より出射するレーザビーム（Ａ）の発
散角に対応して変化するように構成されている。（４）
は曲率制御反射ミラー（３）の反射光を反射して加工レ
ンズ（５）に伝送するための第６の反射ミラーである。
上記のように構成されたレーザ加工装置においては、レ
ーザ発振器ｆｉｌより出射されるレーザビーム囚の発散
角が例えば第１図ておいて破線の矢印ス示す小さい発散
角αから二点鎖点の矢印で示す大きい発散角βに変化し
たとすると、曲率制御反射ミラー（３）の曲率なその発
散角の変化に対応して小さくなるように変える。即ち、
曲率制御反射ミラー（３）の反射面を第１図において破
線で示ｆ（３ａ）から実線で示す（６ｂ）へと変える。
ーザ発振器ｆｉｌより出射されるレーザビーム囚の発散
角が例えば第１図ておいて破線の矢印ス示す小さい発散
角αから二点鎖点の矢印で示す大きい発散角βに変化し
たとすると、曲率制御反射ミラー（３）の曲率なその発
散角の変化に対応して小さくなるように変える。即ち、
曲率制御反射ミラー（３）の反射面を第１図において破
線で示ｆ（３ａ）から実線で示す（６ｂ）へと変える。
このように、曲率制御反射ミラー（３）の曲率ン変える
ことによジ、曲率制御反射ミラー（３）で反射された反
射光であるレーザビーム（４）の発散角β′は小さくさ
せられる。
ことによジ、曲率制御反射ミラー（３）で反射された反
射光であるレーザビーム（４）の発散角β′は小さくさ
せられる。
従って、第３の反射ミラー（４）に曲率制御反射ミラー
（３）によって入射させら九るレーザビーム（４）の発
散角β′は、レーザ発振器（１１より出射されるレーザ
ビーム（４）の発散角αが小さい時の発散角α′の場合
と同じとなるように制御されることとなる。このため、
第６の反射ミラー（４）で反射されて加工レンズ・（５
）に入射するレーザビーム（Ａ）のビーム径りは変らず
、また変ったとしてもそのビーム径の変化は極〈小さい
。従って、レーザ発振器（１１より出射されるレーザビ
ーム１人の発散角が例えばαからβへと大きくなるよう
に変化しても、力Ｉエレンズ（５１に入射スるレーザビ
ーム（５）のビーム径りを加工レンズ（５）のＯ−０断
面で常に略一定とすることができるＱ 逆に、レーザ発振器（１１より出射されるレーザビーム
（５）の発散角が大きい発散角βから小さい発散角αへ
と変化した場合には、曲率制御反射ミラー（３）の曲率
な前述と反対にその発散角の変化に対応して大きくなる
ように変えればよいことになる。
（３）によって入射させら九るレーザビーム（４）の発
散角β′は、レーザ発振器（１１より出射されるレーザ
ビーム（４）の発散角αが小さい時の発散角α′の場合
と同じとなるように制御されることとなる。このため、
第６の反射ミラー（４）で反射されて加工レンズ・（５
）に入射するレーザビーム（Ａ）のビーム径りは変らず
、また変ったとしてもそのビーム径の変化は極〈小さい
。従って、レーザ発振器（１１より出射されるレーザビ
ーム１人の発散角が例えばαからβへと大きくなるよう
に変化しても、力Ｉエレンズ（５１に入射スるレーザビ
ーム（５）のビーム径りを加工レンズ（５）のＯ−０断
面で常に略一定とすることができるＱ 逆に、レーザ発振器（１１より出射されるレーザビーム
（５）の発散角が大きい発散角βから小さい発散角αへ
と変化した場合には、曲率制御反射ミラー（３）の曲率
な前述と反対にその発散角の変化に対応して大きくなる
ように変えればよいことになる。
この発明は、以上説明したとおり、レーザビームを伝送
するための反射ミラーをその曲率がレーザ発掘器より出
射するレーザビームの発散角の変化に対応して可変する
ようにしたので、レーザ発振器よ）出射するレーザビー
ムの発散角が変化しても反射ミラーの曲率を制御して刀
ロエレンズに入射するレーザビームのビーム径の変化を
なくするか、あったとしてもできるだけ少くシ、常に一
定のビーム径のレーザビームを被加工物に照射でき、安
定した〃ロエが行えるという効果がある。
するための反射ミラーをその曲率がレーザ発掘器より出
射するレーザビームの発散角の変化に対応して可変する
ようにしたので、レーザ発振器よ）出射するレーザビー
ムの発散角が変化しても反射ミラーの曲率を制御して刀
ロエレンズに入射するレーザビームのビーム径の変化を
なくするか、あったとしてもできるだけ少くシ、常に一
定のビーム径のレーザビームを被加工物に照射でき、安
定した〃ロエが行えるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略構成図、第２図
は従来のレーザ加工＠良の概略構成図である０ 図において、（１１はレーザ覚振器、（２）は反射ミラ
ー、＋３１は曲率制御反射ミラー、（４）は反射ミラー
、（５）は加工レンズ、囚はレーザビームである。 なお、各図中同一符号は同一または相幽部分を示すＯ
は従来のレーザ加工＠良の概略構成図である０ 図において、（１１はレーザ覚振器、（２）は反射ミラ
ー、＋３１は曲率制御反射ミラー、（４）は反射ミラー
、（５）は加工レンズ、囚はレーザビームである。 なお、各図中同一符号は同一または相幽部分を示すＯ
Claims (2)
- （１）レーザビームを出射するレーザ発振器と、レーザ
ビームを伝送するための少なくとも１枚の反射ミラーと
、反射ミラーで反射されたレーザビームを透過集光して
被加工物に照射させる加工レンズを備えたレーザ加工装
置において、前記少なくとも一枚の反射ミラーは、その
曲率がレーザ発振器より出射するレーザビームの発散角
の変化に対応して可変する曲率制御反射ミラーであるこ
とを特徴とするレーザ加工装置。 - （２）前記レーザ発振器から出射されるレーザビームは
その波長範囲が１μｍから５０μｍであることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59202043A JPS6182990A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59202043A JPS6182990A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182990A true JPS6182990A (ja) | 1986-04-26 |
Family
ID=16450977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59202043A Pending JPS6182990A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6182990A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2674782A1 (fr) * | 1991-03-15 | 1992-10-09 | Diehl Gmbh & Co | Dispositif destine a influencer le faisceau dans l'usinage de pieces avec un faisceau laser a haute energie. |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP59202043A patent/JPS6182990A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2674782A1 (fr) * | 1991-03-15 | 1992-10-09 | Diehl Gmbh & Co | Dispositif destine a influencer le faisceau dans l'usinage de pieces avec un faisceau laser a haute energie. |
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