JPH04200990A - 光路移動型レーザ切断機 - Google Patents
光路移動型レーザ切断機Info
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- JPH04200990A JPH04200990A JP2336510A JP33651090A JPH04200990A JP H04200990 A JPH04200990 A JP H04200990A JP 2336510 A JP2336510 A JP 2336510A JP 33651090 A JP33651090 A JP 33651090A JP H04200990 A JPH04200990 A JP H04200990A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- optical system
- laser
- optical path
- cutting machine
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 71
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 claims description 18
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光路移動型レーザ切断機に関し、特にレーザ発
振器から切断加工位置までの距離が長く、大ストローク
を有する光路移動型レーザ切断機に関する。
振器から切断加工位置までの距離が長く、大ストローク
を有する光路移動型レーザ切断機に関する。
従来、レーザ発振器からの出力ビームを、位置が移動す
る集光用光学系で集光しワーク上に照射して加工を行う
光路移動型レーザ切断機が知られている。
る集光用光学系で集光しワーク上に照射して加工を行う
光路移動型レーザ切断機が知られている。
第3図は従来の光路移動型レーザ切断機の概略図である
。光路移動型レーザ切断機は、レーザ共振器1及び集光
用光学系10から構成される。切断加工時には、集光用
光学系10全体を矢印11の方向に移動し、または、ワ
ーク20を紙面に垂直方向に移動しながら、ワーク20
を切断する。
。光路移動型レーザ切断機は、レーザ共振器1及び集光
用光学系10から構成される。切断加工時には、集光用
光学系10全体を矢印11の方向に移動し、または、ワ
ーク20を紙面に垂直方向に移動しながら、ワーク20
を切断する。
しかし、従来の光路移動型レーザ切断機には、レーザ共
振器1から集光用光学系10までの距離dに制約がある
という問題点があった。これを第4図によって説明する
。
振器1から集光用光学系10までの距離dに制約がある
という問題点があった。これを第4図によって説明する
。
第4図は従来技術によるビーム径の伝播特性を示す図で
ある。レーザ共振器1から射出されるレーザビーム30
のビーム径φは、第4図に示すように、空間を伝播する
際に回折現象によって拡大する。すなわち、ビーム径φ
は距離dに応じて拡大する。
ある。レーザ共振器1から射出されるレーザビーム30
のビーム径φは、第4図に示すように、空間を伝播する
際に回折現象によって拡大する。すなわち、ビーム径φ
は距離dに応じて拡大する。
ビーム径φが拡大すると、集光レンズ12で集光する際
に回折限界が小さくなるため、焦点径が減少する。この
集光特性の変化は切断特性に影響を与える。
に回折限界が小さくなるため、焦点径が減少する。この
集光特性の変化は切断特性に影響を与える。
安定した切断特性を得ようとする時、これは望ましくな
いので、ビーム径φがほぼ一定となるような範囲D(例
えば2〜8m)でしか用いることができない。
いので、ビーム径φがほぼ一定となるような範囲D(例
えば2〜8m)でしか用いることができない。
点Aが許容ビーム径φの上限値φ。を示ずものとすれば
、距離dlを越えた所では切断ができない。また、距離
dが小さずぎるとモード構偕がニアフィールドパターン
となり、切断特性に変化を与えるので距離dには下限値
d。がある。距離dの下限値d。は実用」二問題となら
ないが、」二限値d1はレーザ切断機のストローク(a
o d+に相当)を限定するので問題である。
、距離dlを越えた所では切断ができない。また、距離
dが小さずぎるとモード構偕がニアフィールドパターン
となり、切断特性に変化を与えるので距離dには下限値
d。がある。距離dの下限値d。は実用」二問題となら
ないが、」二限値d1はレーザ切断機のストローク(a
o d+に相当)を限定するので問題である。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、レ
ーザ共振器の近接点から遠距離まで、拡大されたストロ
ークで−様な切断を行うことができる光路移動型レーザ
切断機を提供することを目的とする。
ーザ共振器の近接点から遠距離まで、拡大されたストロ
ークで−様な切断を行うことができる光路移動型レーザ
切断機を提供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、レーザ発振器か
らの出力ビームを、位置が移動する集光用光学系で集光
しワーク上に照射して切断加工を行う光路移動型レーザ
切断機において、前記レーザ発振器と前記集光用光学系
との間の光路上に出し入れ可能にレーザビーム収束用光
学系を設けたことを特徴とする光路移動型レーザ切断機
が、提供される。
らの出力ビームを、位置が移動する集光用光学系で集光
しワーク上に照射して切断加工を行う光路移動型レーザ
切断機において、前記レーザ発振器と前記集光用光学系
との間の光路上に出し入れ可能にレーザビーム収束用光
学系を設けたことを特徴とする光路移動型レーザ切断機
が、提供される。
レーザビーム収束用光学系が、レーザ発振器と集光用光
学系との間の光路上に出し入れ可能に設けられる。レー
ザ発振器からワークの加工点までの距離が近い場合は、
レーザビーム収束用光学系を用いずに、本来のレーザビ
ームによって切断加工を行う。一方、レーザ発振器から
ワークの加工点までの距離が遠い場合は、レーザビーム
収束用光学系を光路上に設けてレーザビームを集光し、
ビーム径を縮小する。
学系との間の光路上に出し入れ可能に設けられる。レー
ザ発振器からワークの加工点までの距離が近い場合は、
レーザビーム収束用光学系を用いずに、本来のレーザビ
ームによって切断加工を行う。一方、レーザ発振器から
ワークの加工点までの距離が遠い場合は、レーザビーム
収束用光学系を光路上に設けてレーザビームを集光し、
ビーム径を縮小する。
したがって、レーザ共振器の近い場所から遠方まで−様
な切断ができ、ストロークの拡大を図ることができる。
な切断ができ、ストロークの拡大を図ることができる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は本発明の光路移動型レーザ切断機の概略図であ
る。図中1は、レーザ共振器であり、全反射鏡2及び出
力結合鏡3から構成される。
る。図中1は、レーザ共振器であり、全反射鏡2及び出
力結合鏡3から構成される。
レーザ共振器1内のレーザ光定在波4は、その一部が出
力結合鏡3を透過して出力ビーム30になる。この出力
ビーム30は、レーザビーム収束用光学系5 (例えば
凸レンズ、詳細は後述する)を経由して、反射鏡13に
よって下方に曲げられた後、集光レンズ12でワーク2
0の」−に集光する。ワーク20上では、焦点における
100万W/cI11以上の極めて高いエネルギー密度
による加熱によって蒸発、熔融などが発生し、それによ
ってワーク20の穿孔、切断が行われる。
力結合鏡3を透過して出力ビーム30になる。この出力
ビーム30は、レーザビーム収束用光学系5 (例えば
凸レンズ、詳細は後述する)を経由して、反射鏡13に
よって下方に曲げられた後、集光レンズ12でワーク2
0の」−に集光する。ワーク20上では、焦点における
100万W/cI11以上の極めて高いエネルギー密度
による加熱によって蒸発、熔融などが発生し、それによ
ってワーク20の穿孔、切断が行われる。
切断加工時には、」−述したように、集光用光学系10
全体を矢印11の方向に移動し、または、ワーク20を
紙面に垂直方向に移動しながら、ワーク20上に形状切
断を行う。
全体を矢印11の方向に移動し、または、ワーク20を
紙面に垂直方向に移動しながら、ワーク20上に形状切
断を行う。
上記したレーザビーム収束用光学系5は、レーザ共振器
1と集光用光学系10の間の光路」−に、出し入れ可能
に設置される。ずなわち、レーザ共振器1から集光用光
学系10までの距離dが遠い場合(例えば8m以上の場
合)に光路上に設置され、近い場合(例えば8m以下の
場合)には光路から外され、P側に設置される。
1と集光用光学系10の間の光路」−に、出し入れ可能
に設置される。ずなわち、レーザ共振器1から集光用光
学系10までの距離dが遠い場合(例えば8m以上の場
合)に光路上に設置され、近い場合(例えば8m以下の
場合)には光路から外され、P側に設置される。
第2図は本発明によるビーム径φの伝播特性を示す図で
ある。ワーク20の加工点がレーザ共振器1の近くにあ
る場合、ずなわぢ、切断加工が範囲D(doくdくdI
)で行われる場合は、レーザビーム収束用光学系5はP
側に設置され、通常の切断加工が行われる。
ある。ワーク20の加工点がレーザ共振器1の近くにあ
る場合、ずなわぢ、切断加工が範囲D(doくdくdI
)で行われる場合は、レーザビーム収束用光学系5はP
側に設置され、通常の切断加工が行われる。
ワーク20の加工点がレーザ共振器1から遠い場合、ず
なわぢ、切断加工がd>d、の範囲で行われる場合は、
レーザビーム収束用光学系5は光路上に設置される。こ
のとき、ビーム径φは、レーザビーム収束用光学系5の
集光作用によって縮小され、dl、12間の実線で示す
ようになる。
なわぢ、切断加工がd>d、の範囲で行われる場合は、
レーザビーム収束用光学系5は光路上に設置される。こ
のとき、ビーム径φは、レーザビーム収束用光学系5の
集光作用によって縮小され、dl、12間の実線で示す
ようになる。
集光レンズ12による集光特性はd、からd2までの範
囲ではdlより近い範囲りの場合とほぼ同一になる。し
たがって、d、、12間でも範囲りと同様に−様な切断
加工を行うことができる。
囲ではdlより近い範囲りの場合とほぼ同一になる。し
たがって、d、、12間でも範囲りと同様に−様な切断
加工を行うことができる。
この方法で従来技術ではd。−dlまでであったストロ
ークをd。−d2まで拡大することができる。
ークをd。−d2まで拡大することができる。
また、同様にして、レーザビーム収束用光学系5を複数
設置すれば、d > d 2の範囲でも−様な切断加工
を行うことができ、ストロークをさらにd−o d2
以上まで拡大することができる。
設置すれば、d > d 2の範囲でも−様な切断加工
を行うことができ、ストロークをさらにd−o d2
以上まで拡大することができる。
」−記の説明では、レーザビーム収束用光学系5が凸レ
ンズである場合を説明したが、反射鏡の場合でも本発明
の趣旨は同様に実現できる。
ンズである場合を説明したが、反射鏡の場合でも本発明
の趣旨は同様に実現できる。
以上説明したように本発明では、レーザビーム収束用光
学系をレーザ発振器と集光用光学系との間の光路上に出
し入れ可能に設けるように構成しだので、レーザ共振器
の近接点から遠距離まで拡大されたストロークで−様な
切断加工を行うことができる。
学系をレーザ発振器と集光用光学系との間の光路上に出
し入れ可能に設けるように構成しだので、レーザ共振器
の近接点から遠距離まで拡大されたストロークで−様な
切断加工を行うことができる。
第1図は本発明の光路移動型レーザ切断機の概略図、
第2図は本発明によるビーム径φの伝播特性を示す図、
第3図は従来の光路移動型レーザ切断機の概略図、
第4図は従来技術によるビーム径の伝播特性を示す図で
ある。 1 レーザ共振器 5 レーザビーム収束用光学系10
集光用光学系 20 ワーク d レーザ共振器と集光用光学系間の距離 φ ビーム径 特許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖
ある。 1 レーザ共振器 5 レーザビーム収束用光学系10
集光用光学系 20 ワーク d レーザ共振器と集光用光学系間の距離 φ ビーム径 特許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖
Claims (5)
- (1)レーザ発振器からの出力ビームを、位置が移動す
る集光用光学系で集光しワーク上に照射して切断加工を
行う光路移動型レーザ切断機において、 前記レーザ発振器と前記集光用光学系との間の光路上に
出し入れ可能にレーザビーム収束用光学系を設けたこと
を特徴とする光路移動型レーザ切断機。 - (2)前記レーザビーム収束用光学系は、前記レーザ発
振器から前記ワークの加工点までの距離が近い場合、前
記光路上から外し、遠い場合、前記光路上に設置するよ
うに構成したことを特徴とする請求項1記載の光路移動
型レーザ切断機。 - (3)前記レーザビーム収束用光学系は凸レンズから成
ることを特徴とする請求項1記載の光路移動型レーザ切
断機。 - (4)前記レーザビーム収束用光学系は反射鏡から成る
ことを特徴とする請求項1記載の光路移動型レーザ切断
機。 - (5)前記レーザビーム収束用光学系は複数であること
を特徴とする請求項1記載の光路移動型レーザ加工機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2336510A JPH04200990A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 光路移動型レーザ切断機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2336510A JPH04200990A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 光路移動型レーザ切断機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04200990A true JPH04200990A (ja) | 1992-07-21 |
Family
ID=18299877
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2336510A Pending JPH04200990A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 光路移動型レーザ切断機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04200990A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08112687A (ja) * | 1994-10-14 | 1996-05-07 | Amada Co Ltd | 光軸移動レーザ加工装置 |
JP2012151434A (ja) * | 2011-01-20 | 2012-08-09 | Lts Co Ltd | レーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置 |
CN103744183A (zh) * | 2014-01-24 | 2014-04-23 | 哈尔滨工业大学 | 一种红外宽波段多干扰复合光学系统 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6037287A (ja) * | 1983-08-09 | 1985-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | ビ−ム移動型レ−ザ加工装置 |
JPS60240396A (ja) * | 1984-05-15 | 1985-11-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パルス発振レ−ザ溶接装置 |
JPS63154285A (ja) * | 1986-12-15 | 1988-06-27 | Amada Co Ltd | レ−ザ加工機 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP2336510A patent/JPH04200990A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6037287A (ja) * | 1983-08-09 | 1985-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | ビ−ム移動型レ−ザ加工装置 |
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JP2012151434A (ja) * | 2011-01-20 | 2012-08-09 | Lts Co Ltd | レーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置 |
CN103744183A (zh) * | 2014-01-24 | 2014-04-23 | 哈尔滨工业大学 | 一种红外宽波段多干扰复合光学系统 |
CN103744183B (zh) * | 2014-01-24 | 2016-01-20 | 哈尔滨工业大学 | 一种红外宽波段多干扰复合光学系统 |
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