JP4627893B2 - レーザ加工方法およびその装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ワークにレーザ加工を行うレーザ加工方法およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、レーザ発振器から出力されたレーザビームをベンドミラーを介してレーザ加工ヘッドに備えられた集光レンズで集光せしめた後、この集光レンズから加工すべきワークへ向けて前記レーザビームを照射せしめることにより、ワークにレーザ加工を行うレーザ加工装置が一般的に良く知られている。そして、レーザ発振器から出力されるレーザビームとして、単一ビームが用いられ、レーザ加工ヘッドは1ヘッド又は2ヘッドの構造で構成されている。
【0003】
また、複数のレーザ発振器から出力された各レーザビームを集光する方法として、同一波長ビームに関しては用いられている。さらに異波長ビームに関しても個々の波長毎に各々集光レンズを複数用意し加工する方法も用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のレーザ加工装置では、例えば炭素を含んだワーク(材料)に切断、溶接加工を施すと、切断面または溶接部近傍に微細なクラックなどが入り、材料強度を落とす要因となり、そのエネルギーを最適化する条件を導き出すのに多くの時間と、トライヤルを必要としていた。
【0005】
また、従来のレーザ切断加工では、切断面はエッジになっており、切断ワークの用途によっては切断後に面取り加工する場合がある。そのツールとして、ヤスリやサンダーを用いて簡易的に行ったり、又は再度レーザビームを当て面取り加工を行っている。
【0006】
この上述した面取り加工手段ではレーザ切断後の次工程になる為、多くの時間とコストがかかってしまうという問題がある。
【0007】
この発明の目的は、レーザ切断、レーザ溶接などのレーザ加工時、例えばクラックなどが入りやすいワークを加工するのに、最適な条件で加工できるようにしたり、またレーザ切断と面取り加工を同時に行い得るようにし、複数の異波長ビームを単数の集光レンズで集光させたレーザ加工方法およびその装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためにこの発明のレーザ加工方法は、複数のレーザ発振器から出力された各異波長のレーザビームを同一光軸に集合せしめた後、この集合されたレーザビームをレーザ加工ヘッドに備えられた単数の集光レンズで集光せしめ、ついで、単数の集光レンズから加工すべきワークへ向けて集光されたレーザビームを照射せしめてワークにレーザ切断加工と面取り加工を同時に行うレーザ加工方法であって、一方のレーザ発振器から出力されたレーザビームを、ベンドミラーによって前記集光レンズ方向へ曲げた後、上記ベンドミラーと前記集光レンズとの間において他方のレーザ発振器から出力されたレーザビームを同一光軸に集合してレーザ加工を行うとき、集光レンズを通過したときの屈折率の違いによって各レーザビームの焦点位置を変え、適宜一方のレーザビームを、レーザ切断による切断幅よりも幅広くワーク表面に照射して、レーザ切断加工と面取り加工を同時に行うことを特徴とするものである。
【0013】
したがって、複数のレーザ発振器から出力された各異波長のレーザビームは同一光軸に集合された後、この集合されたレーザビームはレーザ加工ヘッドに備えられた単数の集光レンズで集光される。ついで、単数の集光レンズで集光されたレーザビームは加工すべきワークへ向けて照射されてワークにレーザ切断加工と面取り加工が同時に行われる。
【0014】
而して、面取り加工の二次加工の工程が削除され、従来のヤスリ仕上げに対して面取りの品質の向上が図られる。
【0016】
したがって、各異波長のレーザビームを異エネルギー密度とすることにより、一方のレーザビームが予熱として利用されたり、面取り加工に利用されると共に他方のレーザビームでレーザ加工が行われ、高速化、省エネルギー化が図られたり、又は二次加工の工程が削減されると共に面取りの品質の向上が図られる。
【0017】
また、この発明のレーザ加工装置は、一方のレーザ発振器から出力されたレーザビームをレーザ加工ヘッドに備えた集光レンズ方向へ曲げるためのベンドミラーと前記集光レンズとの間に、他方のレーザ発振器から出力されたレーザビームを同一光軸に集合せしめると共にこの集合されたレーザビームを前記レーザ加工ヘッドに備えられた前記集光レンズに集光せしめるダイクロイックミラーを設け、前記集光レンズを通過したときの屈折率の違いによって各レーザビームの焦点位置を変え、適宜一方のレーザビームを、レーザ切断による切断幅よりも幅広くワーク表面に照射する構成であることを特徴とするものである。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【0026】
図1を参照するに、レーザ加工装置1は複数の例えばYAGレーザ発振器3A、CO2レーザ発振器3Bを備えている。このYAGレーザ発振器3A、CO2レーザ発振器3Bからそれぞれ異波長のYAGレーザビームLB1、CO2レーザビームLB2が出力されてダイクロイックミラー5における同一軸上に集合される。このダイクロイックミラー5における同一軸上に集合されたYAGレーザビームLB1のほとんどは反射されると共にダイクロイックミラー5における同一軸上に集合されたCO2レーザビームLB2はほとんど透過される。なお、図1において前記ダイクロイックミラー5の上方には漏れ光吸収ダンパー7が設けられており、YAGレーザ発振器3Aから出力されたYAGレーザビームLB1がダイクロイックミラー5から漏れる一部を吸収するものである。
【0027】
前記ダイクロイックミラー5の図1において左側にはベンドミラー9が設けられており、このベンドミラー9の下方には二次元レーザ加工ヘッド11が設けられている。しかも、この二次元レーザ加工ヘッド11内には単数の集光レンズ13が備えられている。また、前記二次元レーザ加工ヘッド11の下方には加工すべきワークWが図1において左右方向および紙面に対して直交する方向へ移動自在に設けられている。
【0028】
上記構成により、YAGレーザ発振器3A、CO2レーザ発振器3Bからそれぞれ異波長のYAGレーザビームLB1、CO2レーザビームLB2が出力されてダイクロイックミラー5における同一軸上に集合される。この集合されたYAGレーザビームLB1、CO2レーザビームLB2はベンドミラー9で曲げられて二次元レーザ加工ヘッド11内に備えられた単数の集光レンズ13で集光される。ついで、単数の集光レンズ13で集光されたYAGレーザビームLB1、CO2レーザビームLB2は加工すべきワークWへ向けられて照射されることにより、ワークWにレーザ加工が行われることになる。
【0029】
前記YAGレーザビームLB1とCO2レーザビームLB2を同一軸に導き集光させたときに、屈折率の違いにより焦点が変わる。そこで、例えばYAG焦点にワークWを置いた場合、CO2レーザビームLB2は完全に集光されていないため、エネルギー密度が低い。すなわち、このCO2レーザビームLB2を予熱として利用し、レーザ加工が行われることとなる。その結果、レーザ加工時の微細クラックの防止を図ることができると共に高速化、省エネルギー化を図ることができる。
【0030】
前記レーザ加工としては、切断、溶接および表面焼き入れが挙げられ、さらに、溶接加工とクラッディング加工との複合加工も行うことができる。ワークWとしてタングステンを用いて溶接を行い、ニッケルでクラッディング加工が行われる。
【0031】
上記の場合に、ワークWに切断、溶接を行うとき、CO2レーザビームLB2で予熱し、YAGレーザビームLB1で切断が行われる。また、CO2レーザビームLB2で予熱し、YAGレーザビームLB1で切断が行われ、さらに、CO2レーザビームLB2で焼鈍が行われる。CO2レーザビームLB2で予熱し、YAGレーザビームLB1で溶接が行われる。あるいは、CO2レーザビームLB2で予熱し、YAGレーザビームLB1でクラッディングが行われ、さらに、CO2レーザビームLB2でる。焼鈍が行われる。
【0032】
図2には図1に代わる他の実施の形態が示されている。図2において、図1における部品と同じ部品には同一の符号を付して異なる点について説明すると、二次元レーザ加工ヘッド11の代わりに三次元レーザ加工ヘッド15を設けたものである。この三次元レーザ加工ヘッド15は複数のベンドミラー17、19と単数の集光レンズ21を備えている。この三次元レーザ加工ヘッド15を使用した場合には例えばワークWを固定し、三次元レーザ加工ヘッド15を図2において左右方向、紙面に対して直交する方向および上下方向へ移動せしめてレーザ加工が行われるものである。
【0033】
上記構成により、YAGレーザ発振器3A、CO2レーザ発振器3Bからそれぞれ異波長のYAGレーザビームLB1、CO2レーザビームLB2が出力されてダイクロイックミラー5における同一軸上に集合される。この集合されたYAGレーザビームLB1、CO2レーザビームLB2はベンドミラー9で曲げられて二次元レーザ加工ヘッド11内に備えられたベンドミラー17、19で曲げられた後、単数の集光レンズ21で集光される。ついで、単数の集光レンズ21で集光されたYAGレーザビームLB1、CO2レーザビームLB2は加工すべきワークWへ向けられて照射されることにより、ワークWにレーザ加工が行われることになる。
【0034】
而して、上記の実施の形態と同様の作用が行われると共に効果を発揮するものである。
【0035】
図3、図4にはそれぞれ図1、図2に代わる他の実施の形態が示されている。
図3、図4において、図1、図2における部品と同じ部品には同一の付して重複する説明は省略する。すなわち、図3、図4において、YAGレーザ発振器3Aと漏れ光吸収ダンパー7との間における水平上にはYAGレーザ発振器3Aから漏れ光吸収ダンパー7に向けてコリメーションミラー23、ダイクロイックミラー25が設けられている。しかも、ダイクロイックミラー25は、ベンドミラー9の下方に設けられている。
【0036】
上記構成により、図3、図4において、CO2レーザ発振器3B、YAGレーザ発振器3Aからそれぞれ異波長のCO2レーザビームλ1、YAGレーザビームλ2が出力されて、CO2レーザビームλ1はベンドミラー9で曲げられた後、ダイクロイックミラー25へ、また、YAGレーザビームλ2はコリメーションミラー23を経て、CO2レーザビームλ1とYAGレーザビームλ2はダイクロイックミラー25における同一軸上に集合される。この集合されたCO2レーザビームλ1、YAGレーザビームλ2は二次元レーザ加工ヘッド11の場合にはそのまま単数の集光レンズベンドミラー9へ、三次元レーザ加工ヘッド15の場合には三次元レーザ加工ヘッド15内に備えられたベンドミラー17、19で曲げられた後、単数の集光レンズ21で集光される。ついで、単数の集光レンズ13、21で集光されたCO2レーザビームλ1とYAGレーザビームλ2は、図5に示されているように、加工すべきワークWへ向けられて照射されることにより、ワークWにレーザ切断加工と面取り加工が同時に行われることになる。
【0037】
波長の異なるCO2レーザビームλ1とYAGレーザビームλ2を同時にワークWに照射すると、単数の集光レンズ13,21を通過したときに屈折率の違いにより焦点が変わっているため、ワークWの表面には切断幅より幅広くレーザビームが照射される。そのYAGレーザビームλ2により、切断部端面が溶け、R面取り加工やC面取り加工を行うことができる。
【0038】
しかも、図5に示されているように、R面取りやC面取りの大きさは集光レンズ13,21とワークWのとの距離Lによって任意に変えられる。あるいは集光レンズ13,21は固定でYAGレーザビームλ2の出力、切断速度、アシストガスの種類を変えることにより任意に変えられるものである。その一例として、図6、図7にそれぞれ示されているように、R面取り加工やC面取り加工の場合、YAGレーザビームλ2の出力とコーナR、コーナCとの関係があり、一定の加工条件下のもとでYAGレーザビームλ2の出力の変化によりコーナR、コーナCの大きさを変えることができるものである。
【0039】
したがって、YAGレーザ発振器3A、CO2レーザ発振器3Bから出力された各異波長のCO2レーザビームλ1とYAGレーザビームλ2は同一光軸に集合された後、この集合されたCO2レーザビームλ1とYAGレーザビームλ2はレーザ加工ヘッド11、15に備えられた単数の集光レンズ13,21で集光される。ついで、単数の集光レンズ13,21で集光されたCO2レーザビームλ1とYAGレーザビームλ2は加工すべきワークWへ向けて照射されてワークWにレーザ切断加工と面取り加工が同時に行われるから、面取り加工の二次加工の工程を削除でき、従来のヤスリ仕上げに対して面取りの品質の向上を図ることができる。
【0040】
前記図1〜図4において、YAGレーザ発振器3A、CO2レーザ発振器3Bを用いる代わりに、複数のレーザ発振器として異波長かつ異エネルギー密度を出力せしめるレーザ発振器を用いて対応することもできる。
【0041】
なお、この発明は、前述した発明の実施の形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他の態様で実施し得るものである。前述した実施の形態において、漏れ光吸収ダンパー7を設けなくても構わない。また、レーザビームは2波長でなく複数の波長であっても構わない。
【0045】
【発明の効果】
以上のごとき説明より理解されるように、本発明によれば、複数のレーザ発振器から出力された各異波長のレーザビームは同一光軸に集合された後、この集合されたレーザビームはレーザ加工ヘッドに備えられた単数の集光レンズで集光される。ついで、単数の集光レンズで集光されたレーザビームは加工すべきワークへ向けて照射されてワークにレーザ切断加工と面取り加工が同時に行われる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のレーザ加工装置を説明する説明図である。
【図2】この発明の他のレーザ加工装置を説明する説明図である。
【図3】この発明の図1に代わるレーザ加工装置を説明する説明図である。
【図4】この発明の図2に代わる他のレーザ加工装置を説明する説明図である。
【図5】図3、図4に示したレーザ加工装置でレーザ切断加工と面取り加工を同時に行ったときの作用説明図である。
【図6】レーザ出力とコーナRとの関係を示したグラフである。
【図7】レーザ出力とコーナCとの関係を示したグラフである。
【符号の説明】
1 レーザ加工装置
3A YAGレーザ発振器
3B CO2レーザ発振器
5,25 ダイクロイックミラー
7 漏れ光吸収ダンパー
9 ベンドミラー
11 二次元レーザ加工ヘッド
13、21 集光レンズ
17、19 ベンドミラー
23 コリメーションミラー
Claims (2)
- 複数のレーザ発振器から出力された各異波長のレーザビームを同一光軸に集合せしめた後、この集合されたレーザビームをレーザ加工ヘッドに備えられた単数の集光レンズで集光せしめ、ついで、単数の集光レンズから加工すべきワークへ向けて集光されたレーザビームを照射せしめてワークにレーザ切断加工と面取り加工を同時に行うレーザ加工方法であって、一方のレーザ発振器から出力されたレーザビームを、ベンドミラーによって前記集光レンズ方向へ曲げた後、上記ベンドミラーと前記集光レンズとの間において他方のレーザ発振器から出力されたレーザビームを同一光軸に集合してレーザ加工を行うとき、集光レンズを通過したときの屈折率の違いによって各レーザビームの焦点位置を変え、適宜一方のレーザビームを、レーザ切断による切断幅よりも幅広くワーク表面に照射して、レーザ切断加工と面取り加工を同時に行うことを特徴とするレーザ加工方法。
- 一方のレーザ発振器から出力されたレーザビームをレーザ加工ヘッドに備えた集光レンズ方向へ曲げるためのベンドミラーと前記集光レンズとの間に、他方のレーザ発振器から出力されたレーザビームを同一光軸に集合せしめると共にこの集合されたレーザビームを前記レーザ加工ヘッドに備えられた前記集光レンズに集光せしめるダイクロイックミラーを設け、前記集光レンズを通過したときの屈折率の違いによって各レーザビームの焦点位置を変え、適宜一方のレーザビームを、レーザ切断による切断幅よりも幅広くワーク表面に照射する構成であることを特徴とするレーザ加工装置。
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JPH09225665A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-09-02 | Seiko Epson Corp | ガラス基板面取り方法及びその方法を用いた液晶パネル用ガラス基板及び液晶パネル |
JPH11773A (ja) * | 1997-06-11 | 1999-01-06 | Nec Corp | レーザ加工装置およびその方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09225665A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-09-02 | Seiko Epson Corp | ガラス基板面取り方法及びその方法を用いた液晶パネル用ガラス基板及び液晶パネル |
JPH11773A (ja) * | 1997-06-11 | 1999-01-06 | Nec Corp | レーザ加工装置およびその方法 |
JPH11309594A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置およびその加工部品 |
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