JPH0371991A - レーザ加工方法 - Google Patents
レーザ加工方法Info
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- JPH0371991A JPH0371991A JP1205003A JP20500389A JPH0371991A JP H0371991 A JPH0371991 A JP H0371991A JP 1205003 A JP1205003 A JP 1205003A JP 20500389 A JP20500389 A JP 20500389A JP H0371991 A JPH0371991 A JP H0371991A
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、YAGレーザを用いて、透光性材料を加工す
る方法に関する。
る方法に関する。
レーザ加工は、熱加工の分野に属する。したがって、そ
の加工能率は、被加工材料の吸収性能と密接に関係して
いる。
の加工能率は、被加工材料の吸収性能と密接に関係して
いる。
加工材料がYAGレーザの波長に対して透光性材料であ
ると、YAGレーザ光がその材料を透過してしまうため
、その材料の内部での熱吸収が不充分となり、炭酸ガス
レーザと異なり、切断などの加工が不可能となる。
ると、YAGレーザ光がその材料を透過してしまうため
、その材料の内部での熱吸収が不充分となり、炭酸ガス
レーザと異なり、切断などの加工が不可能となる。
したがって、本発明の目的は、樹脂などの透光性材料を
YAGレーザ光を用いて加工するに際し、その加工効率
を高めることである。
YAGレーザ光を用いて加工するに際し、その加工効率
を高めることである。
そこで、本発明は、加工対象の透光性材料の表面にYG
Aレーザ光の吸収剤を塗布しておき、また透光性材料の
裏面側にYAGレーザ光の反射材料を設け、YAGレー
ザ光を吸収剤を介して透光性材料に照射し、さらに反射
材料によって反射させながら切断などの加工を行うよう
にしている。
Aレーザ光の吸収剤を塗布しておき、また透光性材料の
裏面側にYAGレーザ光の反射材料を設け、YAGレー
ザ光を吸収剤を介して透光性材料に照射し、さらに反射
材料によって反射させながら切断などの加工を行うよう
にしている。
このような加工方法によると、YAGレーザ光が吸収剤
に吸収され、その熱を有効に透光性材料に伝達するとと
もに、さらに透光性材料の透過レーザ光を反射材料で反
射することにより、再び透光性材料の内部に導くことに
より、YAGレーザ光の熱を最大限に利用できる。
に吸収され、その熱を有効に透光性材料に伝達するとと
もに、さらに透光性材料の透過レーザ光を反射材料で反
射することにより、再び透光性材料の内部に導くことに
より、YAGレーザ光の熱を最大限に利用できる。
図は、本発明のレーザ加工方法を示している。
加工対象の透光性材料1は、透明な材料例えばアクリル
樹脂などであり、加工テーブル2の上に置かれている。
樹脂などであり、加工テーブル2の上に置かれている。
そして、この透光性材料lの表面に加工に際し、吸収剤
3が塗布されている。この吸収剤3は、YAGレーザ光
4を能率よく吸収する材料であり、例えば黒鉛分散有機
剤、窒化ほう素粉束、またはこれらの混合物である。こ
の吸収剤3は、透光材料1の表面全体に、または加工経
路に沿って塗布されている。
3が塗布されている。この吸収剤3は、YAGレーザ光
4を能率よく吸収する材料であり、例えば黒鉛分散有機
剤、窒化ほう素粉束、またはこれらの混合物である。こ
の吸収剤3は、透光材料1の表面全体に、または加工経
路に沿って塗布されている。
また、透光性材料1の裏面側すなわち加工テーブル2の
表面側に反射材料5が設けられる。この反射材料5は、
YAGレーザ光4を高い反射率で反射する材料であり、
例えば鏡面仕上げ加工のアルミ板または銅板などである
。
表面側に反射材料5が設けられる。この反射材料5は、
YAGレーザ光4を高い反射率で反射する材料であり、
例えば鏡面仕上げ加工のアルミ板または銅板などである
。
切断などの加工時に、YAGレーザ光4は、集光レンズ
6によって加工点に収束され、加工点の吸収剤3にアシ
ストガス7を吹き付けながら連続的に、またはパルス状
の発振状態で照射される。
6によって加工点に収束され、加工点の吸収剤3にアシ
ストガス7を吹き付けながら連続的に、またはパルス状
の発振状態で照射される。
この照射状態のYAGレーザ光4は、吸収剤3に能率よ
く吸収され、透光性材料1に熱を能率よ(伝達した後、
透光性材料1の内部を透過し、反射材料5の表面で反射
し、再び透光性材料lの内部を通り、吸収剤3で再度吸
収される。したがって、YAGレーザ光4の熱エネルギ
ーは、透光性材料1の表面側の吸収剤3とその裏面側の
反射材料5の相乗作用によって、能率よく透光性材料1
に吸収される。
く吸収され、透光性材料1に熱を能率よ(伝達した後、
透光性材料1の内部を透過し、反射材料5の表面で反射
し、再び透光性材料lの内部を通り、吸収剤3で再度吸
収される。したがって、YAGレーザ光4の熱エネルギ
ーは、透光性材料1の表面側の吸収剤3とその裏面側の
反射材料5の相乗作用によって、能率よく透光性材料1
に吸収される。
このようにして、YAGレーザ光4は、透光性材料1に
対し加工経路に沿って相対的に移動し、切断などの加工
を連続的に行って行く。
対し加工経路に沿って相対的に移動し、切断などの加工
を連続的に行って行く。
なお、炭酸ガスレーザの波長は、10.6Cμm〕であ
り、YAGレーザ光の波長は1.06(μm〕であるか
ら、炭酸ガスレーザの1/lOである。
り、YAGレーザ光の波長は1.06(μm〕であるか
ら、炭酸ガスレーザの1/lOである。
このため、炭酸ガスレーザで透光性材料1の加工が可能
であるが、YAGレーザ光では透光性材料1の加工が不
可能である。しかし、本発明の方法では、上記のような
工夫によってYAGレーザ光4を用いて透光性材料1の
切断などの加工が可能となる。
であるが、YAGレーザ光では透光性材料1の加工が不
可能である。しかし、本発明の方法では、上記のような
工夫によってYAGレーザ光4を用いて透光性材料1の
切断などの加工が可能となる。
本発明では、透光性材料の表面にYAGレーザ光の吸収
剤が塗布されており、また透光性材料の裏面側にYAG
レーザ光の反射材料が介在しているため、YAGレーザ
光が吸収剤によって透光性材料に充分な熱を伝達し、ま
た反射材料で反射したYAGレーザ光が再び吸収剤によ
って吸収されて加工のための熱エネルギーとして透光性
材料に伝達される。このため、YAGレーザ光の熱エネ
ルギーが有効に利用でき、従来不可能であったYAGレ
ーザ光による透光性材料の加工が可能となる。しかも、
このような前処理が吸収剤の塗布および反射材料の設置
という簡単な対応で可能となるから、現在のYAGレー
ザ加工装置などにも簡単に利用できる。
剤が塗布されており、また透光性材料の裏面側にYAG
レーザ光の反射材料が介在しているため、YAGレーザ
光が吸収剤によって透光性材料に充分な熱を伝達し、ま
た反射材料で反射したYAGレーザ光が再び吸収剤によ
って吸収されて加工のための熱エネルギーとして透光性
材料に伝達される。このため、YAGレーザ光の熱エネ
ルギーが有効に利用でき、従来不可能であったYAGレ
ーザ光による透光性材料の加工が可能となる。しかも、
このような前処理が吸収剤の塗布および反射材料の設置
という簡単な対応で可能となるから、現在のYAGレー
ザ加工装置などにも簡単に利用できる。
図はレーザ加工方法の概略的な断面図である。
l・・透光性材料、2・・加工テーブル、3・・吸収剤
、4・・YAGレーザ光、5・・反射材料、6・・集光
レンズ、7・・アシストガス。 541−
、4・・YAGレーザ光、5・・反射材料、6・・集光
レンズ、7・・アシストガス。 541−
Claims (3)
- (1)YAGレーザ光を用いて、YAGレーザ光が透過
してしまうような透光性材料を加工する方法において、
透光性材料の表面にYAGレーザ光を吸収する吸収剤を
塗布し、上記透光性材料の裏面側にYAGレーザ光を反
射する反射材料を設けておき、YAGレーザ光を上記吸
収剤に照射して透光性材料内に導き、かつ反射材料で反
射させながら加工することを特徴とするレーザ加工方法
。 - (2)上記吸収剤を、黒鉛分散有機剤、窒化ほう素粉末
およびこれらの組み合わせ材料のいずれかとすることを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレーザ加工方法
。 - (3)反射材料をアルミニウム板、銅板のうちいずれか
1つとすることを特徴とする特許請求の範囲第1項また
は第2項記載のレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1205003A JPH0371991A (ja) | 1989-08-08 | 1989-08-08 | レーザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1205003A JPH0371991A (ja) | 1989-08-08 | 1989-08-08 | レーザ加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0371991A true JPH0371991A (ja) | 1991-03-27 |
Family
ID=16499841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1205003A Pending JPH0371991A (ja) | 1989-08-08 | 1989-08-08 | レーザ加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0371991A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5343014A (en) * | 1990-07-12 | 1994-08-30 | Nippondenso Co., Ltd. | Method of welding metals of different kind by laser |
US5968441A (en) * | 1997-10-21 | 1999-10-19 | Nec Corporation | Laser processing method |
JP2002331587A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-19 | Uchiya Thermostat Kk | フィルム接着方法 |
WO2004026522A1 (en) * | 2002-09-19 | 2004-04-01 | Gert Jan Huizinga | Method for laser working a film material and film material to be worked using that method. |
US6951994B2 (en) * | 2000-10-20 | 2005-10-04 | Rdm Corporation | System for thermal shaping of optical fibers |
JP2009154175A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Mitsubishi Materials Corp | レーザ加工用治具 |
JP2013081957A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Disco Corp | パシベーション膜が積層された基板のアブレーション加工方法 |
JP2013082564A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Disco Corp | セラミックス基板のアブレーション加工方法 |
WO2013070583A1 (en) * | 2011-11-10 | 2013-05-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Patterning of antistiction films for electromechanical systems devices |
CN108707427A (zh) * | 2018-08-10 | 2018-10-26 | 深圳市联华材料技术有限公司 | 一种基于传热介质的材料粘合方法和装置 |
-
1989
- 1989-08-08 JP JP1205003A patent/JPH0371991A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013082564A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Disco Corp | セラミックス基板のアブレーション加工方法 |
WO2013070583A1 (en) * | 2011-11-10 | 2013-05-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Patterning of antistiction films for electromechanical systems devices |
US8445390B1 (en) | 2011-11-10 | 2013-05-21 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Patterning of antistiction films for electromechanical systems devices |
CN108707427A (zh) * | 2018-08-10 | 2018-10-26 | 深圳市联华材料技术有限公司 | 一种基于传热介质的材料粘合方法和装置 |
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